浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于一種浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置，其特征在于陽(yáng)極（2）與懸浮外筒（3）之間設(shè)有間隙（6），陽(yáng)極（2）為圓筒形，陽(yáng)極（2）的左側(cè)中心處設(shè)有接頭（12），接頭（12）中心設(shè)有氬氣充氣孔（10），并裝有墊圈（8），用螺母（9）與接頭（12）螺紋連接；接頭（12）上裝有絕緣套（11）；懸浮外筒（3）的左側(cè)裝有懸浮蓋板（1）；懸浮外筒（3）的外面裝有絕緣筒（5）；陽(yáng)極（2）內(nèi)設(shè)有放電的輝光腔（7）。該實(shí)用新型通過陽(yáng)極內(nèi)的輝光放電，電離氬氣形成陽(yáng)極輝光。陽(yáng)極形成電子通道，使電子束流清洗工件，同時(shí)電離的氣體離子奔向工件（陰極）對(duì)工件進(jìn)行離子清洗，傳遞動(dòng)能輔助成膜，提高膜層質(zhì)量。
【專利說明】浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空離子鍍膜設(shè)備，特別涉及一種浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]目前在真空離子鍍膜中，薄膜沉積中的離子清洗效果不好，在薄膜成膜中僅依靠偏壓電源改變成膜，其動(dòng)力特性不足，鍍膜質(zhì)量不理想。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)不足，提供一種簡(jiǎn)易等離子體源使氬氣體在電子轟擊下產(chǎn)生陽(yáng)極輝光，利用其清洗工件，并通入反應(yīng)氣體，離化后參與反應(yīng)鍍膜；陽(yáng)極電位避免自身濺射的污染，增加電子通道，使鍍膜制程中陰極源工作更穩(wěn)定的浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置。
[0004]本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置，其特征在于陽(yáng)極與懸浮外筒之間設(shè)有間隙，陽(yáng)極為圓筒形，陽(yáng)極的左側(cè)中心處設(shè)有接頭，接頭中心設(shè)有氬氣充氣孔，并裝有墊圈，用螺母與接頭螺紋連接；接頭上裝有絕緣套；懸浮外筒的左側(cè)裝有懸浮蓋板；懸浮外筒的外面裝有絕緣筒；陽(yáng)極內(nèi)設(shè)有放電的輝光腔。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果是:該實(shí)用新型通過陽(yáng)極內(nèi)的輝光放電，電離氬氣形成陽(yáng)極輝光。陽(yáng)極形成電子通道，使電子束流清洗工件，同時(shí)電離的氣體離子奔向工件(陰極)對(duì)工件進(jìn)行離子清洗，傳遞動(dòng)能輔助成膜，提高膜層質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]以下結(jié)合附圖以實(shí)施例具體說明。
[0007]圖1是浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置。
[0008]圖中:1_懸浮蓋板；2-陽(yáng)極；3_懸浮外筒；4_真空鍍膜設(shè)備殼體；5_絕緣筒；6-間隙；7_輝光腔；8-墊圈；9-螺母；10_氬氣充氣孔；11_絕緣套；12_接頭。
【具體實(shí)施方式】
[0009]實(shí)施例，參照附圖，一種浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置，其特征在于陽(yáng)極2與懸浮外筒3之間設(shè)有間隙6，陽(yáng)極2為圓筒形，陽(yáng)極2的左側(cè)中心處設(shè)有接頭12，接頭12中心設(shè)有氬氣充氣孔10，并裝有墊圈8，用螺母9與接頭12螺紋連接；接頭12上裝有絕緣套11 ;懸浮外筒3的左側(cè)裝有懸浮蓋板I ;懸浮外筒3的外面裝有絕緣筒5 ;陽(yáng)極2內(nèi)設(shè)有放電的輝光腔7。絕緣筒5裝在真空鍍膜設(shè)備殼體4上，其工作原理，陽(yáng)極2收集電子；離子奔向工件，沉積成膜。大面積的陽(yáng)極2構(gòu)成均勻的電子通道，使真空室內(nèi)電子密度呈不均勻分布。陽(yáng)極2制成如附圖1所示圓筒狀或制成條狀，其上施以比真空室殼體更高的電位，由于電位差必使電子呈條束狀優(yōu)先奔向該裝置。此束狀電子密度比周邊高，形成電子束流，有很好的清洗工件效果。通過氬氣充氣孔10向陽(yáng)極2通入氬氣，氣體會(huì)被電子電離并發(fā)出輝光，充實(shí)在輝光腔7中。輝光中電子電離氬氣產(chǎn)生更多的二次電子，維持或增強(qiáng)放電過程。電離產(chǎn)生的離子奔向負(fù)電位的工件實(shí)現(xiàn)離子清洗，并傳遞動(dòng)能輔助成膜，改善膜層質(zhì)量。
【權(quán)利要求】
1.一種浮動(dòng)電位陽(yáng)極輝光發(fā)射裝置，其特征在于陽(yáng)極(2)與懸浮外筒(3)之間設(shè)有間隙(6 )，陽(yáng)極(2 )為圓筒形，陽(yáng)極(2 )的左側(cè)中心處設(shè)有接頭(12 )，接頭(12 )中心設(shè)有氬氣充氣孔(10)，并裝有墊圈(8)，用螺母(9)與接頭(12)螺紋連接；接頭(12)上裝有絕緣套(11);懸浮外筒(3)的左側(cè)裝有懸浮蓋板(I);懸浮外筒(3)的外面裝有絕緣筒(5);陽(yáng)極(2)內(nèi)設(shè)有放電的輝光腔(7)。
【文檔編號(hào)】C23C16/513GK203613262SQ201320807894
【公開日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月11日
【發(fā)明者】陳大民 申請(qǐng)人:陳大民