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      板玻璃加工裝置及板玻璃制造方法

      文檔序號:3308624閱讀:289來源:國知局
      板玻璃加工裝置及板玻璃制造方法
      【專利摘要】提供一種板玻璃加工裝置,其能夠防止加工工具從板玻璃端面被彈出,并且能夠以快速的搬運(yùn)速度(加工速度)對板玻璃的端面進(jìn)行加工。本發(fā)明的板玻璃加工裝置(100)是通過加工工具(B)對板玻璃(A)的端面進(jìn)行加工的板玻璃加工裝置,該板玻璃加工裝置具備:壓緊力產(chǎn)生元件(110),其產(chǎn)生從加工工具(B)作用于板玻璃(A)的端面的壓緊力;緩沖元件(120),其緩沖從板玻璃(A)的端面作用于加工工具(B)的沖擊力。本發(fā)明的板玻璃加工裝置(100)進(jìn)一步包含旋轉(zhuǎn)臂部件(230)及支撐軸部件(240),加工工具(B)與旋轉(zhuǎn)臂部件(230)連結(jié),旋轉(zhuǎn)臂部件(230)可旋轉(zhuǎn)地與支撐軸部件(240)連結(jié),壓緊力產(chǎn)生元件(210)通過對旋轉(zhuǎn)臂部件(230)施加力偶而產(chǎn)生壓緊力。
      【專利說明】板玻璃加工裝置及板玻璃制造方法

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工的板玻璃加工工具、以及制造板玻璃的板玻璃制造方法。

      【背景技術(shù)】
      [0002]在板玻璃的領(lǐng)域中,為了提高液晶顯示器的制造效率,或使液晶顯示器大型化,板玻璃的尺寸已大型化。如果加大板玻璃的尺寸,則從I張板玻璃能夠獲取的玻璃基板的張數(shù)會(huì)增加,從而提高制造效率,同時(shí)也能夠制造與大型液晶顯示器對應(yīng)的玻璃基板。
      [0003]如果板玻璃的端部有傷痕,則由于從該傷痕會(huì)產(chǎn)生板玻璃的破裂等,因此對板玻璃的端部進(jìn)行倒角加工。此外,為了增加單位時(shí)間的處理數(shù)量并降低制造成本,而提高板玻璃的搬運(yùn)速度(加工速度)。
      [0004]在使用顯微鏡來觀察被倒角加工的板玻璃的端面時(shí),能夠看到板玻璃的端面上的微細(xì)的凹凸起伏。由于這種板玻璃在后續(xù)的步驟中(在顧客的步驟中)會(huì)有產(chǎn)生缺陷或裂開的可能性,因此進(jìn)行研磨加工以使板玻璃的端面均勻。然而,為了進(jìn)行研磨加工以使板玻璃的端面均勻,而需要將板玻璃的研磨裕度設(shè)定為較大,從而導(dǎo)致研磨時(shí)間變長,更難以提高板玻璃的搬運(yùn)速度(加工速度)。而且,對大型化且薄型化的板玻璃的端部進(jìn)行研磨加工時(shí),由于磨削、研磨工具對板玻璃所施加的加工力的反作用力(磨削阻力、研磨阻力)會(huì)強(qiáng)烈地產(chǎn)生作用,所以在板玻璃的端面上會(huì)產(chǎn)生缺陷或開裂。
      [0005]對于在端面上具有細(xì)微的凹凸起伏的板玻璃,提出了各種各樣的加工方法。(專利文獻(xiàn)I至專利文獻(xiàn)3)
      [0006]在先技術(shù)文獻(xiàn)
      [0007]專利文獻(xiàn)
      [0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開2000-176804號公報(bào)
      [0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-167633號公報(bào)
      [0010]專利文獻(xiàn)3:日本特表2007-500605號公報(bào)


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0011]發(fā)明所要解決的課題
      [0012]然而,根據(jù)現(xiàn)有的加工方法,將板玻璃的搬運(yùn)速度(加工速度)設(shè)為高速是有限制的,如果增加速度,則例如由于因存在于板玻璃A的端面的細(xì)微的凹凸起伏而產(chǎn)生的沖擊力(從板玻璃的端面作用于加工工具(磨石)的沖擊力)而使加工工具被彈出,造成加工工具從板玻璃的端面離開。因此,將搬運(yùn)速度(加工速度)增加到所期望的加工速度是困難的。
      [0013]本發(fā)明是鑒于上述問題而作出的,其目的在于提供一種防止加工工具從板玻璃的端面被彈出而從板玻璃的端面離開,并能夠以快速的搬運(yùn)速度(加工速度)對板玻璃的端面進(jìn)行加工的板玻璃加工裝置以及板玻璃制造方法。
      [0014]用于解決課題的手段
      [0015]本發(fā)明的板玻璃加工裝置通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工,該板玻璃加工裝置具備:壓緊力產(chǎn)生元件,該壓緊力產(chǎn)生元件產(chǎn)生從上述加工工具作用于上述板玻璃的上述端面的壓緊力;以及緩沖元件,該緩沖元件緩沖從上述板玻璃的上述端面作用于上述加工工具的沖擊力。
      [0016]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,在從上述板玻璃的上述端面作用于上述加工工具的第I力量與從上述加工工具作用于上述板玻璃的上述端面的第2力量中,上述緩沖元件僅緩沖上述第I力量。
      [0017]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,板玻璃加工裝置進(jìn)一步具備位置控制部,該位置控制部控制上述加工工具,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置,上述待機(jī)位置是上述加工工具對與上述板玻璃的上述端面的接觸進(jìn)行待機(jī)的位置,上述研磨位置是上述加工工具與上述板玻璃的上述端面接觸,并對上述端面正在進(jìn)行研磨時(shí)的位置,上述退避位置是上述加工工具相對于上述板玻璃的上述端面比上述待機(jī)位置更向逃避方向退避的位置。
      [0018]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,上述緩沖元件是阻尼器(dashpot)。
      [0019]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,上述阻尼器的工作流體是水。
      [0020]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,上述阻尼器具備活塞機(jī)構(gòu),上述活塞機(jī)構(gòu)具有相對于上述沖擊力的作用成為閉路的止回閥。
      [0021]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,上述板玻璃加工裝置包含旋轉(zhuǎn)臂部件及支撐軸部件,上述加工工具與上述旋轉(zhuǎn)臂部件連結(jié),上述旋轉(zhuǎn)臂部件可旋轉(zhuǎn)地與上述支撐軸部件連結(jié),上述壓緊力產(chǎn)生元件通過對上述旋轉(zhuǎn)臂部件施加力偶而產(chǎn)生上述壓緊力。
      [0022]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,上述位置控制部具備被驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的凸輪部件及從動(dòng)于上述凸輪部件的旋轉(zhuǎn)的凸輪從動(dòng)件,上述旋轉(zhuǎn)臂部件連動(dòng)于上述凸輪從動(dòng)件,通過上述凸輪從動(dòng)件相對于上述凸輪部件的位移,對上述旋轉(zhuǎn)臂部件施加力偶,通過對上述旋轉(zhuǎn)臂部件施加力偶,上述加工工具移動(dòng)到上述待機(jī)位置、上述研磨位置或上述退避位置。
      [0023]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,上述凸輪從動(dòng)件包含第I凸輪從動(dòng)件及第2凸輪從動(dòng)件,該第I凸輪從動(dòng)件及第2凸輪從動(dòng)件構(gòu)成為能夠在維持規(guī)定的間隔的狀態(tài)下移動(dòng),上述凸輪部件是,在一側(cè)具有能夠接觸到上述第I凸輪從動(dòng)件的第I凸輪面、并在另一側(cè)具有能夠接觸到上述第2凸輪從動(dòng)件的第2凸輪面的圓筒端面凸輪,通過連動(dòng)于上述凸輪部件的旋轉(zhuǎn),上述第I凸輪面與上述第I凸輪從動(dòng)件的接觸位置及接觸狀態(tài)、以及上述第2凸輪面與上述第2凸輪從動(dòng)件的接觸位置及接觸狀態(tài)發(fā)生變化,以使上述加工工具依次移動(dòng)到上述待機(jī)位置、上述研磨位置及上述退避位置,在上述待機(jī)位置及上述退避位置,上述旋轉(zhuǎn)臂處于不能旋轉(zhuǎn)的鎖定狀態(tài),在上述加工位置,上述旋轉(zhuǎn)臂處于能夠旋轉(zhuǎn)的自由狀態(tài)。
      [0024]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,在上述凸輪部件旋轉(zhuǎn)到第I旋轉(zhuǎn)相位時(shí),上述加工工具移動(dòng)到上述待機(jī)位置,上述凸輪部件旋轉(zhuǎn)到第2旋轉(zhuǎn)相位時(shí),上述加工工具移動(dòng)到上述研磨位置,上述凸輪部件旋轉(zhuǎn)到第3旋轉(zhuǎn)相位時(shí),上述加工工具移動(dòng)到上述退避位置,在上述第I旋轉(zhuǎn)相位及上述第3旋轉(zhuǎn)相位,上述凸輪部件中的介于上述第I凸輪從動(dòng)件與上述第2凸輪從動(dòng)件之間的部位的寬度,同上述第I凸輪從動(dòng)件與上述第2凸輪從動(dòng)件之間的間隔相等,在上述第2旋轉(zhuǎn)相位,上述凸輪部件中的介于上述第I凸輪從動(dòng)件與上述第2凸輪從動(dòng)件之間的部位的寬度,比上述第I凸輪從動(dòng)件與上述第2凸輪從動(dòng)件之間的間隔小,相對于位于上述第I旋轉(zhuǎn)相位的上述第I凸輪面的位置,位于上述第3旋轉(zhuǎn)相位的上述第I凸輪面之位置向上述凸輪部件的軸方向的一側(cè)偏移規(guī)定距離。
      [0025]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,上述板玻璃加工裝置具有滑動(dòng)部件及滑軌部件,上述加工工具與上述滑動(dòng)部件連結(jié),上述滑動(dòng)部件可直線滑動(dòng)地與上述滑軌部件連結(jié),上述壓緊力產(chǎn)生元件通過按壓上述滑動(dòng)部件而產(chǎn)生上述壓緊力。
      [0026]在本發(fā)明的板玻璃加工裝置中優(yōu)選的是,上述緩沖元件具備司羅氏連桿機(jī)構(gòu),上述司羅氏連桿機(jī)構(gòu)使上述沖擊力所作用的方向由水平方向轉(zhuǎn)換成垂直方向。
      [0027]本發(fā)明的板玻璃加工裝置通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工,上述板玻璃加工裝置具有:壓緊力產(chǎn)生元件,該壓緊力產(chǎn)生元件產(chǎn)生從上述加工工具作用于上述板玻璃的上述端面的壓緊力;以及位置控制部,該位置控制部控制上述加工工具,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置,上述待機(jī)位置是上述加工工具對與上述板玻璃的上述端面的接觸進(jìn)行待機(jī)的位置,上述研磨位置是上述加工工具接觸到上述板玻璃的上述端面,并對上述端面正在進(jìn)行研磨時(shí)的位置,上述退避位置是上述加工工具相對于上述板玻璃的上述端面比上述待機(jī)位置更向逃避方向退避的位置。
      [0028]本發(fā)明的板玻璃制造方法是通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工,制造上述端面被加工的板玻璃的方法,上述板玻璃制造方法包含:一邊產(chǎn)生從上述加工工具作用于上述板玻璃的上述端面的壓緊力,一邊緩沖從上述板玻璃的上述端面作用于上述加工工具的沖擊力的步驟。
      [0029]本發(fā)明的板玻璃制造方法是通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工,制造上述端面被加工的板玻璃的方法,上述板玻璃制造方法包含:控制上述加工工具,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置的步驟。
      [0030]發(fā)明效果
      [0031]根據(jù)本發(fā)明的板玻璃加工裝置及板玻璃制造方法,能夠緩沖從板玻璃的端面作用于加工工具的沖擊力。因此,能夠防止下述情況,即由于隨著板玻璃的搬運(yùn)速度的高速化而增加的對板玻璃的沖擊力,而使加工工具被彈出,導(dǎo)致板玻璃的端面離開。其結(jié)果是,能夠?qū)宀AУ陌徇\(yùn)速度設(shè)為高速,并能夠增加可搬運(yùn)至后續(xù)步驟的板玻璃的數(shù)量。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0032]圖1為表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的板玻璃加工裝置100的俯視示意圖。
      [0033]圖2為表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置200的側(cè)面示意圖。
      [0034]圖3為表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的直線滑動(dòng)型板玻璃加工裝置300的側(cè)面示意圖。
      [0035]圖4為表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的緩沖元件120的示意圖。
      [0036]圖5為表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的緩沖元件120的示意圖。
      [0037]圖6為表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的緩沖元件120的示意圖。
      [0038]圖7為表示由本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置100實(shí)現(xiàn)的板玻璃制造方法的流程圖。
      [0039]圖8為表示以板玻璃A的端面相對于搬運(yùn)方向C傾斜的姿勢研磨端面的情形的俯視不意圖。
      [0040]圖9為表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的板玻璃加工裝置500的俯視示意圖。
      [0041]圖10為從圖9的X-X線看到的位置控制部580的剖視示意圖。
      [0042]圖11為表示凸輪從動(dòng)件582相對于凸輪部件581的旋轉(zhuǎn)相位的位置的圖。
      [0043]圖12中,(a)表示凸輪部件581旋轉(zhuǎn)至第I旋轉(zhuǎn)相位的狀態(tài),(b)表示凸輪部件581旋轉(zhuǎn)至第2旋轉(zhuǎn)相位的狀態(tài),(c)表示凸輪部件581旋轉(zhuǎn)至第3旋轉(zhuǎn)相位的狀態(tài)。
      [0044]圖13中,(a)表示位于待機(jī)位置的加工工具B, (b)表示位于研磨位置的加工工具B,(C)表示位于退避位置的加工工具B。
      [0045]圖14為表示由本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置500實(shí)現(xiàn)的板玻璃制造方法的流程圖。

      【具體實(shí)施方式】
      [0046]以下,參照附圖,對本發(fā)明的板玻璃加工裝置以及板玻璃制造方法的實(shí)施方式進(jìn)行說明。但本發(fā)明不限于以下的實(shí)施方式。
      [0047][板玻璃加工裝置(基本原理)]
      [0048]圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式所涉及的板玻璃加工裝置100的俯視示意圖。板玻璃加工裝置100通過加工工具B對板玻璃A的端面進(jìn)行加工。板玻璃加工裝置100具備壓緊力產(chǎn)生元件110與緩沖元件120。
      [0049]板玻璃A具有矩形的板形狀。板玻璃A的厚度例如為0.05mm?10mm。然而,本發(fā)明不局限于此。本發(fā)明也可以適用于具有矩形以外的形狀(例如多邊形)的板玻璃A的加工、或厚度為0.05mm?1mm以外的板玻璃A的加工。
      [0050]加工工具B對板玻璃A的端面進(jìn)行加工。板玻璃A的端面加工,可以是使倒角加工后的端面的凹凸均勻的研磨處理。此外,板玻璃A的端面加工,也可以是板玻璃A的端面的倒角加工。
      [0051]板玻璃A與加工工具B相對性地進(jìn)行移動(dòng)。例如,相對于沿著板玻璃搬運(yùn)方向C移動(dòng)的板玻璃A,加工工具B在被固定的狀態(tài)下,進(jìn)行加工。此外,加工工具B也可以相對于固定的板玻璃A,一邊沿著搬運(yùn)方向C移動(dòng),一邊進(jìn)行加工。加工工具B例如是被驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的磨石,磨石一邊旋轉(zhuǎn),一邊對板玻璃A的端面進(jìn)行研磨加工。
      [0052]由于磨石的直徑越小,板玻璃A與磨石的接觸面積會(huì)越小,因此磨石從板玻璃A所接受的研磨阻力會(huì)變小,而使磨石能輕易地追蹤板玻璃A的端面。通過減少磨石的接觸面積,從而能夠減低研磨阻力。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,可以使用直徑為150_的磨石。
      [0053]壓緊力產(chǎn)生元件110產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的端面的壓緊力。例如,壓緊力產(chǎn)生元件110可以是低滑動(dòng)阻力的氣壓缸。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,考慮到通過低滑動(dòng)性而實(shí)現(xiàn)的高響應(yīng)及通過無活塞而實(shí)現(xiàn)的長壽命等,可以使用隔膜氣壓缸作為低滑動(dòng)阻力氣壓缸。
      [0054]緩沖元件120緩沖板玻璃A的端面作用于加工工具B的沖擊力。從板玻璃A的端面作用于加工工具B的沖擊力例如因存在于板玻璃A的端面上的細(xì)微的凹凸起伏而產(chǎn)生。
      [0055]緩沖元件120作為減震器元件發(fā)揮作用,例如可以是阻尼器。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,緩沖元件120是非密閉式液壓阻尼器,能夠利用在水通過活塞與導(dǎo)管的空隙時(shí)的阻力,作為緩沖功能。例如,由于緩沖元件120具備止回閥,所以從板玻璃A的端面作用于加工工具B的第I力量與從加工工具B作用于板玻璃A的端面的第2力量中,緩沖元件120只緩沖第I力量(在此,第I力量沿箭頭D的方向起作用,而第2力量沿箭頭E的方向起作用)。對于緩沖元件120的詳細(xì)內(nèi)容,之后將參照圖4?圖6來進(jìn)行說明。
      [0056]此外,板玻璃加工裝置100進(jìn)一步具備臂部件130及位置控制部180。臂部件130與加工工具B連結(jié)。壓緊力產(chǎn)生元件110通過對臂部件130施加力偶而對加工工具B產(chǎn)生壓緊力。板玻璃A的行進(jìn)方向與臂部件130所構(gòu)成的夾角(圖1所示之角度Θ)優(yōu)選為25。?35°。
      [0057]位置控制部180通過控制臂部件130的位置,來控制與臂130連結(jié)的加工工具B的位置。例如,位置控制部180具備圓筒挾入凸輪和臂控制元件。位置控制部180通過圓筒挾入凸輪的旋轉(zhuǎn)控制,對臂部件130的位置進(jìn)行控制,以使加工工具B能夠依次移動(dòng)到待機(jī)位置(原點(diǎn))、研磨位置(臂自由)、退避位置的3個(gè)位置。圓筒插入凸輪由位置控制部180所控制。例如,在I秒之內(nèi),能夠使加工工具B的位置移到3個(gè)位置,包括臂部件130被鎖定的位置(待機(jī)位置或退避位置),從而能夠進(jìn)行臂部件130的高速控制。
      [0058]在研磨位置時(shí)臂部件130沒有被鎖緊,臂部件130處于臂自由狀態(tài)(解鎖狀態(tài))。在臂自由的狀態(tài)下,通過壓緊力產(chǎn)生元件I1對臂部件130施加力偶,從而對加工工具B產(chǎn)生壓緊力。
      [0059]如參照圖1所說明的,根據(jù)本發(fā)明的板玻璃加工裝置100,能夠緩沖從板玻璃A的端面作用于加工工具B的沖擊力。因此,可以防止下述情況,即由于隨著搬運(yùn)速度的高速化而增加的對板玻璃A的沖擊力,而使加工工具B被彈出,從而加工工具B從板玻璃A的端面離開。其結(jié)果是,能夠?qū)宀AУ陌徇\(yùn)速度設(shè)為高速,并能增加能可搬運(yùn)到后續(xù)步驟的板玻璃的數(shù)量。
      [0060]板玻璃加工裝置100,例如可以為旋轉(zhuǎn)型或者直線滑動(dòng)型。以下,作為關(guān)于板玻璃加工裝置100的實(shí)施方式,對旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置200及直線滑動(dòng)型板玻璃加工裝置300進(jìn)行說明。
      [0061 ][旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置]
      [0062]圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置200的側(cè)面示意圖。旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置200,通過加工工具B對板玻璃A的端面進(jìn)行加工。旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置200可以具備壓緊力產(chǎn)生元件210、緩沖元件220、旋轉(zhuǎn)臂部件230、支撐軸部件240、加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)250、連桿機(jī)構(gòu)260。
      [0063]旋轉(zhuǎn)臂部件230與加工工具B連結(jié)。支撐軸部件240可旋轉(zhuǎn)地與旋轉(zhuǎn)臂部件230連結(jié)。壓緊力產(chǎn)生元件210通過對旋轉(zhuǎn)臂部件230施加力偶,而產(chǎn)生加工工具B對板玻璃A的壓緊力。
      [0064]加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)250使加工工具B旋轉(zhuǎn)。由于加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)250的輸出越大,對來自板玻璃A的端面的回彈的阻力會(huì)越大,所以能夠進(jìn)行穩(wěn)定的加工,但需要一邊監(jiān)視馬達(dá)電流值(馬達(dá)負(fù)載率)一邊進(jìn)行操作。因此,要選定一種馬達(dá),其馬達(dá)電流值的變化明顯地顯示,且其容量不會(huì)受回彈的影響。加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)250的輸出,例如可以為lkW。
      [0065]連桿機(jī)構(gòu)260構(gòu)成為:旋轉(zhuǎn)臂部件230的動(dòng)作傳遞到緩沖元件220。連桿機(jī)構(gòu)260的詳細(xì)內(nèi)容,之后將參照圖4?圖6來進(jìn)行說明。
      [0066]此外,由于壓緊力產(chǎn)生元件210與參照圖1所說明的壓緊力產(chǎn)生元件110具有相同的功能,并且,緩沖元件220與參照圖1所說明的緩沖元件120具有相同的功能,因此在此省略詳細(xì)說明。
      [0067]旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置200進(jìn)一步具備玻璃狀態(tài)檢測部270及位置控制部280。玻璃狀態(tài)檢測部270檢測流入到旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置200的板玻璃A之玻璃狀態(tài)。例如,使流入到旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置200的板玻璃A的端面與輥接觸,檢測板玻璃A的玻璃狀態(tài)。壓緊力產(chǎn)生元件210根據(jù)板玻璃A的玻璃狀態(tài)而產(chǎn)生對加工工具B的壓緊力。位置控制部280控制旋轉(zhuǎn)臂部件230的位置。此外,位置控制部280與參照圖1所說明的位置控制部180具有相同的功能,因此在此省略詳細(xì)說明。
      [0068][直線滑動(dòng)型板玻璃加工裝置]
      [0069]圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的直線滑動(dòng)型板玻璃加工裝置300的側(cè)面示意圖。直線滑動(dòng)型板玻璃加工裝置300通過加工工具B對板玻璃A的端面進(jìn)行加工。直線滑動(dòng)型板玻璃加工裝置300可以具備壓緊力產(chǎn)生元件310、緩沖元件320、滑動(dòng)部件330、滑軌部件340、加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)350及連桿機(jī)構(gòu)360。
      [0070]滑動(dòng)部件330與加工工具B連結(jié)?;壊考?40可直線滑動(dòng)地與滑動(dòng)部件330連結(jié)。壓緊力產(chǎn)生元件310通過按壓滑動(dòng)部件330而產(chǎn)生加工工具B對板玻璃A的壓緊力。加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)350使加工工具B旋轉(zhuǎn)。如參照圖2所說明的關(guān)于加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)250的輸出,與加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)250的輸出同樣,加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)350的輸出可以是lkW。
      [0071]連桿機(jī)構(gòu)360構(gòu)成為:滑動(dòng)部件330的動(dòng)作傳遞到緩沖元件320。連桿機(jī)構(gòu)360的詳細(xì)內(nèi)容,以后將參照圖4?圖6來進(jìn)行說明。
      [0072]此外,由于壓緊力產(chǎn)生元件310與參照圖1所說明的壓緊力產(chǎn)生元件110具有相同的功能,并且,緩沖元件320與參照圖1所說明的緩沖元件120具有相同的功能,因此在此省略詳細(xì)說明。
      [0073]直線滑動(dòng)型板玻璃加工裝置300進(jìn)一步具備玻璃狀態(tài)檢測部370及位置控制部380。此外,由于玻璃狀態(tài)檢測部370與參照圖2所說明的玻璃狀態(tài)檢測部270具有相同的功能,并且,位置控制部380與參照圖1所說明的位置控制部180具有相同的功能,因此在此省略詳細(xì)說明。
      [0074][緩沖元件]
      [0075]圖4?圖6是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的緩沖元件120的示意圖。參照圖4?圖6對本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的緩沖元件120的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,緩沖元件120是非密閉式液壓阻尼器。具體而言,緩沖元件120具備孔板410、止回閥420、活塞430、罐體440、以及工作流體H。
      [0076]活塞430響應(yīng)臂部件130的動(dòng)作沿著垂直方向(箭頭G的方向)上下移動(dòng)。在罐體440中加入工作流體H(例如水),且進(jìn)一步配置有孔板410及止回閥420。孔板410被固定在活塞430,并隨著活塞430的上下移動(dòng),孔板410也一起上下移動(dòng)??装?10是一種環(huán)狀的板,利用其上游與下游之間產(chǎn)生的壓力差進(jìn)行檢測流量。
      [0077]止回閥420相對于沖擊力的作用變成閉路。例如,止回閥420是止流閥。止回閥420能夠限制緩沖元件120的作用方向。當(dāng)加工工具B向接近板玻璃A的端面的方向移動(dòng)時(shí),通過消除緩沖效果而不會(huì)影響到臂部件130的動(dòng)作,而當(dāng)加工工具B向離開板玻璃A的端面的方向移動(dòng)時(shí),通過發(fā)揮緩沖效果而緩沖臂部件130的運(yùn)動(dòng)。
      [0078]緩沖元件120具備活塞端部480、螺旋彈簧490及拉伸彈簧495。活塞端部480被固定于活塞430,且收容在罐體440內(nèi)。螺旋彈簧490放置在活塞端部480之上,止回閥420放置在螺旋彈簧490之上。螺旋彈簧490是用于支撐止回閥420的自重的較弱的彈簧。拉伸彈簧495的一端被固定于活塞430,而拉伸彈簧495的另一端被固定在固定壁上。拉伸彈簧495的詳細(xì)內(nèi)容將后述。
      [0079]此外,本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的緩沖元件120,只要緩沖從板玻璃A的端面作用于加工工具B的沖擊力即可,不限于非密閉式液壓阻尼器,緩沖元件120也可以是其他減震元件。止回閥420及活塞430在本說明書中作為活塞機(jī)構(gòu)發(fā)揮作用。
      [0080]繼續(xù)參照圖4?圖6對本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的緩沖元件120的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。緩沖元件120具備連桿機(jī)構(gòu)260。連桿機(jī)構(gòu)260發(fā)揮功能,以使臂部件130的動(dòng)作傳遞到緩沖元件120。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,連桿機(jī)構(gòu)260例如是司羅氏連桿機(jī)構(gòu)(ScottRussell linkage mechanism)。連桿機(jī)構(gòu)260具備第I連桿部件450、第2連桿部件460及固定軸470。
      [0081]第I連桿部件450及第2連桿部件460是由不形變的部件構(gòu)成的連桿?;钊?30、第I連桿部件450、第2連桿部件460及固定軸470通過接頭而連接。
      [0082]臂部件130及第I連桿部件450通過接頭而連接,臂部件130的沿水平方向(箭頭F的方向)的動(dòng)作傳遞到第I連桿部件450。第I連桿部件450與第2連桿部件460,第I連桿部件450與活塞430通過接頭而連接,從而第I連桿部件450的動(dòng)作傳遞到活塞430。第2連桿部件460與固定軸470通過接頭而連結(jié)。固定軸470相對于罐體440固定,并引導(dǎo)活塞430的沿垂直方向(箭頭G的方向)的上下移動(dòng)。
      [0083]拉伸彈簧495解消連桿的自重。連桿的自重是孔板410、止回閥420、活塞430、第I連桿部件450、第2連桿部件460、活塞端部480及螺旋彈簧490的總重量。在罐體440是縱型(即,使活塞430在沿垂直方向(箭頭G的方向)的方向上移動(dòng)的方式)時(shí),需要考慮重力。即,由于對臂部件130的向板玻璃A的端面方向的壓緊力,所以臂部件130總是要回到板玻璃A的端面,但連桿在臂部件130離罐體440最近的位置、與臂部件130離罐體440最遠(yuǎn)的位置之間移動(dòng),從而連桿機(jī)構(gòu)的重心也會(huì)移動(dòng)。其結(jié)果是,連桿的自重的重量與壓緊力相加或相減,會(huì)存在壓緊力不均的情況。
      [0084]因此,在臂部件130離罐體440最近的位置、與臂部件130離罐體440最遠(yuǎn)的位置之間,假設(shè)臂部件130的位置與壓緊力近似于比例關(guān)系,引入拉伸彈簧495。其結(jié)果是,拉伸彈簧495支撐連桿并解消連桿的自重,從而即使臂部件130位于任何位置,連桿的自重也不會(huì)影響到壓緊力。
      [0085]進(jìn)一步,參照圖4?圖6對緩沖元件120的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖4表示狀態(tài)A。臂部件130位于離罐體440最遠(yuǎn)的位置。止回閥420阻塞孔板410的開口部的一部分。
      [0086]圖5表示狀態(tài)B。在狀態(tài)B,加工工具B接觸到板玻璃A的端面的微細(xì)凸部的結(jié)果,臂部件130位于比狀態(tài)A更接近連桿機(jī)構(gòu)260的位置。
      [0087]通過臂部件130向連桿機(jī)構(gòu)260的位置的方向按壓第I連桿部件450,使活塞430沿垂直方向向下移動(dòng)。由于活塞端部480比狀態(tài)A時(shí)更向垂直下方移動(dòng),所以孔板410向垂直下方按壓止回閥420,從而止回閥420持續(xù)閉合的狀態(tài)(即,止回閥420持續(xù)阻塞孔板410的開口部的一部分)。通過從狀態(tài)A到狀態(tài)B的轉(zhuǎn)移,孔板410及止回閥420向垂直下方移動(dòng),比孔板410的設(shè)置位置更靠下方的工作流體H,從孔板410與罐體440的內(nèi)壁之間的空隙移動(dòng)到孔板410的上方。即,在由于板玻璃A的端面的微細(xì)凸部而使沖擊力從板玻璃A的端面作用于加工工具B的情況下,壓緊力產(chǎn)生元件110產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的端面的壓緊力,同時(shí),緩沖元件120緩沖該沖擊力。
      [0088]圖6表示狀態(tài)C。即使從狀態(tài)B過了一段時(shí)間后,壓緊力產(chǎn)生元件110仍然對臂部件130持續(xù)產(chǎn)生壓緊力,因此在狀態(tài)C,臂部件130位于比狀態(tài)B離開連桿機(jī)構(gòu)260的位置。由于壓緊力產(chǎn)生元件110對臂部件130持續(xù)產(chǎn)生壓緊力,所以臂部件130將第I連桿部件450向離開罐體440的方向拉緊。其結(jié)果是,與狀態(tài)B相比,孔板410及活塞端部480更朝垂直上方移動(dòng),并且止回閥420朝垂直下方壓縮螺旋彈簧490,從而止回閥420打開(S卩,止回閥420所阻塞的孔板410的開口部的一部分被打開)。
      [0089]這樣,通過從狀態(tài)B到狀態(tài)C的轉(zhuǎn)移,孔板410及活塞端部480比狀態(tài)B更朝垂直上方移動(dòng),使得止回閥420打開時(shí),比孔板410的設(shè)置位置更靠上方的工作流體H從孔板410的開口部移動(dòng)到孔板410的下方。
      [0090]緩沖元件120的動(dòng)作狀態(tài)中(狀態(tài)A-狀態(tài)C),在狀態(tài)A,臂部件130位于離連桿機(jī)構(gòu)260最遠(yuǎn)的位置。由于加工工具B接觸到板玻璃A的端面的微細(xì)凸部,因此由狀態(tài)A轉(zhuǎn)移到狀態(tài)B,且進(jìn)一步由狀態(tài)B轉(zhuǎn)移到狀態(tài)C。由于孔板410與活塞430之間是固定的,并且活塞430與活塞端部480之間也是固定的,所以孔板410與活塞端部480之間的間隔是一定的。因此,止回閥420通過螺旋彈簧490的力量在孔板410與活塞端部480之間移動(dòng)。
      [0091]在加工工具B向離開板玻璃A的端面的方向移動(dòng)時(shí),孔板410向垂直下方按壓止回閥420。由于止回閥420持續(xù)閉合狀態(tài)而使緩沖元件120發(fā)揮緩沖效果,從而能夠緩沖臂部件130的運(yùn)動(dòng)。另一方面,由于壓緊力產(chǎn)生元件110對臂部件130持續(xù)產(chǎn)生壓緊力,因此加工工具B向接近板玻璃A的端面的方向移動(dòng),并且止回閥420向垂直下方壓縮螺旋彈簧490。其結(jié)果是,止回閥420會(huì)打開,緩沖元件120的緩沖效果消失。壓緊力產(chǎn)生元件110產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的端面的壓緊力,并持續(xù)加工工具B對板玻璃A的端面的抵接。
      [0092]如參照圖4?圖6所說明的,在本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的緩沖元件120具備作為連桿機(jī)構(gòu)260的司羅氏連桿機(jī)構(gòu)的情況下,臂部件130的沿水平方向(箭頭F的方向)的動(dòng)作能夠轉(zhuǎn)換成活塞430的沿垂直方向(箭頭G方向)的上下移動(dòng)。其結(jié)果是,能夠利用縱型液壓阻尼器作為緩沖元件120,而不需要用于防止工作流體H的洩漏的O型密封圈等密封構(gòu)造,從而能夠忽略密封阻力的影響。
      [0093]此外,本發(fā)明并不限于緩沖元件120具備作為連桿機(jī)構(gòu)260的司羅氏連桿機(jī)構(gòu)。即使緩沖元件120不具備司羅氏連桿機(jī)構(gòu),緩沖元件120只要能夠緩沖從板玻璃A的端面作用于加工工具B的沖擊力,就能夠得到本發(fā)明的效果。
      [0094]以上,參照圖4?圖6說明了緩沖元件120的動(dòng)作,由于參照圖2所說明的緩沖元件220及參照圖3所說明的緩沖元件320也與緩沖元件120進(jìn)行相同的動(dòng)作,所以省略詳細(xì)說明。
      [0095]圖7是表示由本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置100實(shí)現(xiàn)的板玻璃制造方法的流程圖。以下,對由板玻璃加工裝置100實(shí)現(xiàn)的板玻璃制造方法進(jìn)行說明。根據(jù)本發(fā)明的板玻璃制造方法,通過加工工具B對板玻璃A的端面進(jìn)行加工,能夠制造板玻璃A。板玻璃制造方法通過步驟S202?步驟S206執(zhí)行,步驟204作為一邊產(chǎn)生壓緊力一邊緩沖沖擊力的步驟發(fā)揮功能。
      [0096]步驟S202:使加工工具B移動(dòng)到待機(jī)位置(原點(diǎn))。
      [0097]步驟S204:壓緊力產(chǎn)生元件110產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的端面的壓緊力。當(dāng)加工工具B接觸于板玻璃A的端面,則開始對板玻璃A進(jìn)行研磨。加工工具B與板玻璃A的端面接觸為:臂部件130相對于板玻璃A的行進(jìn)方向?yàn)?5°?35。
      [0098]在因板玻璃A的端面上存在的微細(xì)起伏而使沖擊力從板玻璃A的端面作用于加工工具B時(shí),壓緊力產(chǎn)生元件110產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的端面的壓緊力,同時(shí),緩沖元件120緩沖該沖擊力。
      [0099]步驟206:臂部件130從板玻璃A的端面放開加工工具B并使其移動(dòng)至退避位置,結(jié)束研磨。此外,在本實(shí)施方式中,退避位置與待機(jī)位置(原點(diǎn))是同一個(gè)位置。
      [0100]如參照圖1?圖7所說明的,根據(jù)本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置及板玻璃制造方法,能夠一邊產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的壓緊力,一邊緩沖從板玻璃A的端面作用于加工工具B的沖擊力。因此,能夠防止由于隨著板玻璃A的搬運(yùn)速度的高速化而增加的對加工工具B的沖擊力而使加工工具B被彈出并離開板玻璃A的端面。其結(jié)果是,能夠?qū)⒅圃彀宀AУ陌徇\(yùn)速度設(shè)為高速,并能夠增加搬運(yùn)到后續(xù)步驟的板玻璃A的數(shù)量。
      [0101]在參照圖1所說明的實(shí)施方式中,以板玻璃A的端面與搬運(yùn)方向C平行的姿勢,使加工工具B對端面進(jìn)行研磨。然而,有時(shí)會(huì)以板玻璃A的端面相對于搬運(yùn)方向C傾斜的姿勢,使加工工具B對端面進(jìn)行研磨。圖8是表示以板玻璃A的端面相對于搬運(yùn)方向C傾斜的姿勢對端面進(jìn)行研磨的情形的俯視示意圖。在圖8中,板玻璃A的端面的末端部A2,從平行搬運(yùn)時(shí)的軌道R脫離到靠近加工工具B的一側(cè)。在以圖8所示的姿勢對板玻璃A的端面進(jìn)行研磨的情況下,如果使加工工具B從研磨結(jié)束位置(實(shí)線)回到待機(jī)位置(雙點(diǎn)劃線),由于加工工具B刮住板玻璃A的端面,則有時(shí)會(huì)損傷板玻璃A的端面或加工工具B。因此,在研磨結(jié)束之后,需要使加工工具B相對于板玻璃A的端面暫時(shí)向逃避方向退避后再回到待機(jī)位置。即,需要控制加工工具B,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及比待機(jī)位置更向逃避方向退避的退避位置的3個(gè)位置。
      [0102]圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的板玻璃加工裝置500的俯視示意圖。在本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置500中,控制加工工具B,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及比待機(jī)位置更向逃避方向退避的退避位置的3個(gè)位置。以下,參照圖9對本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置500進(jìn)行說明。
      [0103]板玻璃加工裝置500通過加工工具B對板玻璃A的端面進(jìn)行加工。板玻璃加工裝置具備:壓緊力產(chǎn)生元件510、緩沖元件520、旋轉(zhuǎn)臂部件530、支撐軸部件540、加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)(未圖示)、連桿機(jī)構(gòu)(未圖示)、玻璃狀態(tài)檢測部(未圖示)以及位置控制部580。此外,對于壓緊力產(chǎn)生元件510、緩沖元件520、旋轉(zhuǎn)臂部件530、支撐軸部件540、加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、連桿機(jī)構(gòu)及玻璃狀態(tài)檢測部,由于如圖2所示的實(shí)施方式中所說明的,因此省略其說明。
      [0104]旋轉(zhuǎn)臂部件530與加工工具B連結(jié)。支撐軸部件540可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)于旋轉(zhuǎn)臂部件530。通過旋轉(zhuǎn)臂部件530的旋轉(zhuǎn),加工工具B沿對板玻璃A的端面推壓的方向(圖9所示的Kl方向:推壓方向)移動(dòng),或者沿相對于板玻璃A的端面逃避的方向(圖9所示的K2方向:逃避方向)移動(dòng)。
      [0105]在本實(shí)施方式中,旋轉(zhuǎn)臂部件530具有--第I臂部531及第2臂部532。第I臂部531的一方的端部與加工工具B連結(jié)。第I臂部531的另一方的端部及第2臂部532的一方的端部互相連結(jié)。支撐軸部件540與第I臂部531及第2臂部532的連結(jié)部位連結(jié)。壓緊力產(chǎn)生元件510通過對旋轉(zhuǎn)臂部件530的第I臂部531施加力偶而產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的壓緊力。
      [0106]位置控制部580對旋轉(zhuǎn)臂部件530的位置進(jìn)行控制,以使加工工具B依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置或退避位置。待機(jī)位置是加工工具B對與板玻璃A的端面的接觸進(jìn)行待機(jī)的位置。研磨位置是加工工具B與板玻璃A的端面接觸而對該端面正在進(jìn)行研磨時(shí)的位置。退避位置是加工工具B比待機(jī)位置更向逃避方向退避的位置。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,位置控制部580具備凸輪部件581 (圓筒挾入凸輪)及凸輪從動(dòng)件582 (臂控制元件)。
      [0107]凸輪部件581通過凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)585被驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施方式中,凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)585例如是伺服馬達(dá)。凸輪部件581通過凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)585以指定的速度旋轉(zhuǎn)到指定的相位(角度)。另外,伺服馬達(dá)可以具備減速機(jī)。
      [0108]凸輪從動(dòng)件582通過連結(jié)在旋轉(zhuǎn)臂部件530,與旋轉(zhuǎn)臂部件530連動(dòng)。在本實(shí)施方式中,凸輪從動(dòng)件582與第2臂部532連結(jié)。凸輪從動(dòng)件582從動(dòng)于旋轉(zhuǎn)的凸輪部件581,并沿凸輪部件581的軸向(箭頭Jl方向或者箭頭J2方向)進(jìn)行位移。旋轉(zhuǎn)臂部件530連動(dòng)于沿箭頭Jl方向位移的凸輪從動(dòng)件582而旋轉(zhuǎn),加工工具B沿推壓方向(箭頭Kl方向)移動(dòng)。另一方面,旋轉(zhuǎn)臂部件530連動(dòng)于沿箭頭J2方向位移的凸輪從動(dòng)件582而旋轉(zhuǎn),力口工工具B向逃避方向(箭頭K2方向)移動(dòng)。
      [0109]圖10是從圖9的X-X線看到的位置控制部580的剖面示意圖。接著,參照圖9?圖10對位置控制部580進(jìn)行說明。具體而言,位置控制部580具有2個(gè)凸輪從動(dòng)件582 (以下,有時(shí)會(huì)記載為第I凸輪從動(dòng)件582A及第2凸輪從動(dòng)件582B)。第I凸輪從動(dòng)件582A及第2凸輪從動(dòng)件582B在第2臂部532設(shè)置為具有規(guī)定間隔,并能夠一邊維持規(guī)定間隔,一邊與第2臂部532共同移動(dòng)。
      [0110]凸輪部件581是具有第I凸輪面583以及與第I凸輪面583相對的第2凸輪面584的圓筒端面凸輪。第I凸輪面583是凸輪部件581的旋轉(zhuǎn)軸的一側(cè)的面。在凸輪部件581旋轉(zhuǎn)的期間,第I凸輪面583能夠接觸到第I凸輪從動(dòng)件582A。第2凸輪面584是凸輪部件581的旋轉(zhuǎn)軸的另一側(cè)的面。在凸輪部件581旋轉(zhuǎn)的期間,第2凸輪面584能夠接觸到第2凸輪從動(dòng)件582B。
      [0111]圖11是表示凸輪從動(dòng)件582的與凸輪部件581的旋轉(zhuǎn)相位對應(yīng)的位置的示意圖。圖12是位置控制部580的立體示意圖。圖12(a)表示凸輪部件581旋轉(zhuǎn)至第I旋轉(zhuǎn)相位的狀態(tài),圖12(b)表示凸輪部件581旋轉(zhuǎn)至第2旋轉(zhuǎn)相位的狀態(tài),圖12(c)表示凸輪部件581旋轉(zhuǎn)至第3旋轉(zhuǎn)相位的狀態(tài)。圖13是表示加工工具B隨著凸輪從動(dòng)件582的位移而移動(dòng)的位置的俯視示意圖。圖13(a)表示位于待機(jī)位置的加工工具B,圖13(b)表示位于研磨位置的加工工具B,圖13(c)表示位于退避位置的加工工具B。以下,參照圖11?圖13對凸輪部件581的形狀、以及凸輪部件581的旋轉(zhuǎn)與加工工具B的位置之間的關(guān)系進(jìn)行說明。
      [0112]與凸輪部件581的旋轉(zhuǎn)連動(dòng)地,第I凸輪面583與第I凸輪從動(dòng)件582A的接觸位置及接觸狀態(tài)、第2凸輪面584與第2凸輪從動(dòng)件582B的接觸位置及接觸狀態(tài)發(fā)生變化。因此,加工工具B依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置。具體而言,凸輪部件581通過凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)585的驅(qū)動(dòng),依次旋轉(zhuǎn)到第I旋轉(zhuǎn)相位(0° )、第2旋轉(zhuǎn)相位(120° )以及第3旋轉(zhuǎn)相位(240° )。凸輪部件581旋轉(zhuǎn)到第I旋轉(zhuǎn)相位,使得加工工具B移動(dòng)到待機(jī)位置。凸輪部件581旋轉(zhuǎn)到第2旋轉(zhuǎn)相位,使得加工工具B移動(dòng)到加工位置。凸輪部件581旋轉(zhuǎn)到第3旋轉(zhuǎn)相位,使得加工工具B移動(dòng)到退避位置。
      [0113][待機(jī)位置]
      [0114]在第I旋轉(zhuǎn)相位,凸輪部件581中的介于第I凸輪從動(dòng)件582A與第2凸輪從動(dòng)件582B之間的部位的寬度,同第I凸輪從動(dòng)件582A與第2凸輪從動(dòng)件582B之間的間隔相等。通過使第I凸輪從動(dòng)件582A與第I凸輪面583接觸,第2凸輪從動(dòng)件582B與第2凸輪面584接觸,以限制第I凸輪從動(dòng)件582A及第2凸輪從動(dòng)件582B的向箭頭Jl方向(凸輪從動(dòng)件進(jìn)行位移以使加工工具B向推壓方向移動(dòng)的方向)或箭頭J2方向(凸輪從動(dòng)件進(jìn)行位移以使加工工具B向逃避方向移動(dòng)的方向)的位移,從而旋轉(zhuǎn)臂部件530處于不能旋轉(zhuǎn)的鎖定狀態(tài)。因此,在第I旋轉(zhuǎn)相位,加工工具B配置在規(guī)定位置(本實(shí)施方式中,為待機(jī)位置)而不會(huì)移動(dòng)。如圖13(a)所示,在待機(jī)位置,由搬運(yùn)方向C與旋轉(zhuǎn)臂部件530的第I臂部531的長度方向構(gòu)成的夾角ω,例如是30°。
      [0115][研磨位置]
      [0116]在第2旋轉(zhuǎn)相位,凸輪部件581中的介于第I凸輪從動(dòng)件582Α與第2凸輪從動(dòng)件582Β之間的部位之寬度(以下,有時(shí)記載為位于第2旋轉(zhuǎn)相位的凸輪寬度),比第I凸輪從動(dòng)件582Α與第2凸輪從動(dòng)件582Β之間的間隔小。第I凸輪從動(dòng)件582Α與第2凸輪從動(dòng)件582Β在一定的距離內(nèi)(從凸輪從動(dòng)件之間的間隔減去位于第2旋轉(zhuǎn)相位的凸輪寬度的距離),可自由地沿箭頭Jl方向或箭頭J2方向位移,旋轉(zhuǎn)臂部件530處于可旋轉(zhuǎn)的自由狀態(tài)。
      [0117]因此,如圖13(b)所示,在第2旋轉(zhuǎn)相位,通過凸輪部件581及凸輪部件582的向Jl方向的位移,加工工具B比待機(jī)位置更向推壓方向移動(dòng)。在加工工具B向推壓方向移動(dòng)到最大限度的位置(實(shí)線),搬運(yùn)方向C與旋轉(zhuǎn)臂部件530的第I臂部531的長度方向所構(gòu)成的夾角是ω + α。此外,通過凸輪部件581及凸輪部件582的位移,加工工具B比待機(jī)位置更向逃避方向移動(dòng)。在加工工具B向逃避方向移動(dòng)到最大限度的位置(雙點(diǎn)劃線),搬運(yùn)方向C與旋轉(zhuǎn)臂部件530的第I臂部531的長度方向所構(gòu)成的夾角是ω — α。α例如是1°。此外,α能夠通過改變從凸輪從動(dòng)件之間的間隔減去位于第2旋轉(zhuǎn)相位的凸輪寬度的距離而進(jìn)行調(diào)整。
      [0118][退避位置]
      [0119]在第3旋轉(zhuǎn)相位,凸輪部件581中的介于第I凸輪從動(dòng)件582Α與第2凸輪從動(dòng)件582Β之間的部位的寬度,同第I凸輪從動(dòng)件582Α與第2凸輪從動(dòng)件582Β之間的間隔相等。通過使第I凸輪從動(dòng)件582Α與第I凸輪面583接觸,第2凸輪從動(dòng)件582Β與第2凸輪面584接觸,以限制第I凸輪從動(dòng)件582A及第2凸輪從動(dòng)件582B在箭頭J方向上位移,從而旋轉(zhuǎn)臂部件530處于不能旋轉(zhuǎn)的鎖定狀態(tài)。
      [0120]此外,在第3旋轉(zhuǎn)相位的第I凸輪面583 (或第2凸輪面584)的位置相對于位于第I旋轉(zhuǎn)相位的第I凸輪面583 (或第2凸輪面584)的位置,向J2方向偏移規(guī)定的距離。因此,第I凸輪從動(dòng)件582A與第2凸輪從動(dòng)件582B從動(dòng)于旋轉(zhuǎn)到第3旋轉(zhuǎn)相位的凸輪部件581,向箭頭J2方向位移,使加工工具B比待機(jī)位置更向逃避方向移動(dòng)。如圖13(c)所示,在加工工具B向逃避方向移動(dòng)后的退避位置,搬運(yùn)方向C與旋轉(zhuǎn)臂部件530的第I臂部531的長度方向所構(gòu)成的夾角是ω — β。
      [0121]本實(shí)施方式中,β與α是相同的角度。即,加工工具B向逃避方向移動(dòng)到最大限度的位置(ω — α)與加工工具B的退避位置(ω — β)是相同的位置。此外,β是通過改變位于第3旋轉(zhuǎn)相位的第I凸輪面583 (或第2凸輪面584)相對于位于第I旋轉(zhuǎn)相位的第I凸輪面583 (或第2凸輪面584)的位置的偏移距離,就能夠調(diào)整。
      [0122]此外,在第I旋轉(zhuǎn)相位與第2旋轉(zhuǎn)相位之間,及第2旋轉(zhuǎn)相位與第3旋轉(zhuǎn)相位之間,第I凸輪面583與第2凸輪面584形成為--第I凸輪從動(dòng)件582Α及第2凸輪從動(dòng)件582Β的沿凸輪部件581的圓周方向的軌跡繪制等速度曲線。
      [0123]參照圖9?圖13,說明了本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置500。根據(jù)本實(shí)施方式,力口工工具B被控制為:依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置的3個(gè)位置。在此,退避位置是加工工具B比待機(jī)位置更向逃避方向退避的位置。因此,在以圖8所示的姿勢研磨板玻璃A的端面的情況下,研磨結(jié)束時(shí),能夠使加工工具B暫時(shí)向逃避方向退避后再回到待機(jī)位置。其結(jié)果是,能夠抑制加工工具B刮住板玻璃A的端面而導(dǎo)致板玻璃A或加工工具B受到損傷。此外,在本實(shí)施方式中,通過使凸輪部件581每次旋轉(zhuǎn)120°來實(shí)現(xiàn)加工工具B的3個(gè)位置的控制。因此,與通過使加工工具前后移動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)向退避位置的移動(dòng)的裝置相比,本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置500的結(jié)構(gòu)較簡易,并且不容易產(chǎn)生動(dòng)作的遲延。
      [0124]此外,本實(shí)施方式中,第I旋轉(zhuǎn)相位是0°,第2旋轉(zhuǎn)相位是120°,第3旋轉(zhuǎn)相位是240°,但本發(fā)明并不限于此。第I旋轉(zhuǎn)相位,第2旋轉(zhuǎn)相位以及第3旋轉(zhuǎn)相位可以根據(jù)加工工具B的動(dòng)作的控制上的需要而設(shè)定。此外,在第I旋轉(zhuǎn)相位、第2旋轉(zhuǎn)相位以及第3旋轉(zhuǎn)相位各自的前后5°的范圍內(nèi),也可以將第I凸輪面583及第2凸輪面584形成為:第I凸輪從動(dòng)件582Α與第2凸輪從動(dòng)件582Β的沿凸輪部件581的圓周方向的軌跡繪制直線。由此,即使凸輪部件581的旋轉(zhuǎn)角度稍微偏離所期望的角度(0°、120°或240° ),也能夠?qū)⒓庸すぞ連移到所期望的位置。
      [0125]圖14是表示由本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置500實(shí)現(xiàn)的板玻璃制造方法的流程圖。以下,參照圖9?圖14,對由板玻璃加工裝置500實(shí)現(xiàn)的板玻璃制造方法進(jìn)行說明。板玻璃制造方法包含:控制加工工具B,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置的步驟。板玻璃制造方法通過步驟S602?步驟S608而執(zhí)行。
      [0126]步驟S602:使加工工具B移動(dòng)到待機(jī)位置。具體而言,通過凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)585的驅(qū)動(dòng),使凸輪部件581旋轉(zhuǎn)到第I旋轉(zhuǎn)相位。加工工具B與旋轉(zhuǎn)到第I旋轉(zhuǎn)相位的凸輪部件581連動(dòng),移動(dòng)到待機(jī)位置。在待機(jī)位置,旋轉(zhuǎn)臂部件530處于鎖定狀態(tài),加工工具B不會(huì)自由活動(dòng)。
      [0127]步驟S604:使加工工具B移動(dòng)到研磨位置。具體而言,為了使加工工具B在移動(dòng)到研磨位置的狀態(tài)下與板玻璃A的端面接觸,配合加工工具B與板玻璃A所接觸的定時(shí)來使凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)585旋轉(zhuǎn)。通過凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)585的驅(qū)動(dòng),使凸輪部件581旋轉(zhuǎn)到第2旋轉(zhuǎn)相位。加工工具B連動(dòng)于旋轉(zhuǎn)到第2旋轉(zhuǎn)相位的凸輪部件581而移動(dòng),并且,力口工工具B在與板玻璃A接觸的定時(shí),配置在研磨位置。在研磨位置,旋轉(zhuǎn)臂部件530處于自由狀態(tài),加工工具B能夠向推壓方向或逃避方向移動(dòng)。
      [0128]步驟S606:壓緊力產(chǎn)生元件510產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的端面的壓緊力。在產(chǎn)生壓緊力的狀態(tài)下,第I加工工具B從始端部Al到末端部A2對板玻璃A的端面進(jìn)行研磨。加工工具B被末端部A2壓緊,而逐漸地向逃避方向移動(dòng),其中,該末端部A2是向靠近加工工具B側(cè)偏離軌道R的端面。
      [0129]此外,在由于板玻璃A的端面上存在的微細(xì)起伏而使沖擊力從板玻璃A的端面作用于加工工具B時(shí),壓緊力產(chǎn)生元件510產(chǎn)生從加工工具B作用于板玻璃A的端面的壓緊力,同時(shí)緩沖元件520緩沖該沖擊力。
      [0130]步驟S608:使加工工具B移動(dòng)到退避位置,結(jié)束研磨。具體而言,在加工工具B的研磨進(jìn)行到研磨結(jié)束位置時(shí),通過凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)585的驅(qū)動(dòng),使凸輪部件581旋轉(zhuǎn)到第3旋轉(zhuǎn)相位。加工工具B連動(dòng)于旋轉(zhuǎn)到第3旋轉(zhuǎn)相位的凸輪部件581,向逃避方向移動(dòng)到退避位置。在退避位置,旋轉(zhuǎn)臂部件530處于鎖定狀態(tài),加工工具B不會(huì)自由活動(dòng)。
      [0131]此外,在進(jìn)一步加工下一張的板玻璃A的情況下,重復(fù)步驟S602?S608。
      [0132]如參照圖9?圖14所說明的,根據(jù)本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置500及板玻璃制造方法,在研磨結(jié)束時(shí),能夠控制加工工具B以使其暫時(shí)退避到相對于板玻璃A的端面的逃避方向后再回到待機(jī)位置。在回到待機(jī)位置時(shí),由于加工工具B與板玻璃A的端面不接觸,所以能夠抑制加工工具B刮住板玻璃A的端面而造成板玻璃A或加工工具B受到損傷。
      [0133]此外,根據(jù)本實(shí)施方式的板玻璃加工裝置500及板玻璃制造方法,直到加工工具B與板玻璃A的端面接觸為止,旋轉(zhuǎn)臂部件530處于鎖定狀態(tài),加工工具B不會(huì)自由活動(dòng)。因此,即使高速搬運(yùn)板玻璃A或加工工具B,也能夠使在加工工具B與板玻璃A的端面接觸并開始研磨時(shí)所產(chǎn)生的加工工具B的振動(dòng)得到抑制。
      [0134]此外,在上述的實(shí)施方式中,α是1°,但也可以是1°以外的角度。另外,β與α是相同的角度,但β與α也可以是不同的角度。
      [0135]此外,在上述實(shí)施方式中,位置控制部580是必要的結(jié)構(gòu),但緩沖元件520并不一定是必要的結(jié)構(gòu)。即使板玻璃加工裝置500沒有具備緩沖元件520,也能夠控制加工工具B以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置的3個(gè)位置。在某實(shí)施方式中,下述所記載的板玻璃加工裝置也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
      [0136]本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的板玻璃加工裝置具備:壓緊力產(chǎn)生元件,其產(chǎn)生從加工工具作用于板玻璃的端面的壓緊力;位置控制部,其控制加工工具以使其在待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置之間依次移動(dòng)。在此,待機(jī)位置是加工工具對與板玻璃的端面的接觸進(jìn)行待機(jī)的位置,研磨位置是加工工具與板玻璃的端面接觸而正在對該端面進(jìn)行研磨時(shí)的位置,退避位置是加工工具相對于板玻璃的端面比待機(jī)位置更向逃避方向退避的位置。此夕卜,在某實(shí)施方式中,包含控制加工工具以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置及退避位置的步驟的某板玻璃制造方法也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
      [0137]此外,在本發(fā)明的板玻璃加工裝置及板玻璃制造方法中,作為加工工具B例示了磨石,加工工具B對板玻璃A的端面進(jìn)行研磨加工,但本發(fā)明不局限于此。只要能夠加工板玻璃A的端面即可,也能夠使用磨石以外的加工工具B。進(jìn)一步,只要是對板玻璃A的端面的加工即可,本發(fā)明也可適用于對板玻璃A進(jìn)行研磨以外的加工(例如是磨削)的情況。
      [0138]工業(yè)實(shí)用性
      [0139]本發(fā)明的板玻璃加工裝置及板玻璃制造方法,適合用于板玻璃的加工及板玻璃的制造。
      [0140]附圖標(biāo)記說明
      [0141]A板玻璃
      [0142]B加工工具
      [0143]100板玻璃加工裝置
      [0144]110壓緊力產(chǎn)生元件
      [0145]120緩沖元件
      [0146]130臂部件
      [0147]180位置控制部
      [0148]200旋轉(zhuǎn)型板玻璃加工裝置
      [0149]210壓緊力產(chǎn)生元件
      [0150]220緩沖元件
      [0151]230旋轉(zhuǎn)臂部件
      [0152]240支撐軸部件
      [0153]250加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)
      [0154]260連桿機(jī)構(gòu)
      [0155]270玻璃狀態(tài)檢測部
      [0156]280位置控制部
      [0157]300直線滑動(dòng)型板玻璃加工裝置
      [0158]310壓緊力產(chǎn)生元件
      [0159]320緩沖元件
      [0160]330滑動(dòng)部件
      [0161]340滑軌部件
      [0162]350加工工具旋轉(zhuǎn)馬達(dá)
      [0163]360連桿機(jī)構(gòu)
      [0164]370玻璃狀態(tài)檢測部
      [0165]380位置控制部
      [0166]410 孔板
      [0167]420止回閥
      [0168]430 活塞
      [0169]440 罐體
      [0170]H工作流體
      [0171]450第I連桿部件
      [0172]460第2連桿部件
      [0173]470固定軸
      [0174]480活塞端部
      [0175]490螺旋彈簧
      [0176]500板玻璃加工裝置
      [0177]510壓緊力產(chǎn)生元件
      [0178]520緩沖元件
      [0179]530旋轉(zhuǎn)臂部件
      [0180]531第I臂部件
      [0181]532第2臂部件
      [0182]540支撐軸部件
      [0183]580位置控制部
      [0184]581凸輪部件
      [0185]582凸輪從動(dòng)件
      [0186]583第I凸輪面
      [0187]584第2凸輪面
      [0188]585凸輪部件旋轉(zhuǎn)馬達(dá)
      【權(quán)利要求】
      1.一種板玻璃加工裝置,其通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工,該板玻璃加工裝置具備: 壓緊力產(chǎn)生元件,該壓緊力產(chǎn)生元件產(chǎn)生從上述加工工具作用于上述板玻璃的上述端面的壓緊力;以及 緩沖元件,該緩沖元件緩沖從上述板玻璃的上述端面作用于上述加工工具的沖擊力。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 在從上述板玻璃的上述端面作用于上述加工工具的第1力量與從上述加工工具作用于上述板玻璃的上述端面的第2力量中,上述緩沖元件僅緩沖上述第1力量。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述板玻璃加工裝置進(jìn)一步具備位置控制部,該位置控制部控制上述加工工具,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置, 上述待機(jī)位置是上述加工工具對與上述板玻璃的上述端面的接觸進(jìn)行待機(jī)的位置,上述研磨位置是上述加工工具與上述板玻璃的上述端面接觸,并對上述端面正在進(jìn)行研磨時(shí)的位置, 上述退避位置是上述加工工具相對于上述板玻璃的上述端面比上述待機(jī)位置更向逃避方向退避的位置。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述緩沖元件是阻尼器。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述阻尼器的工作流體是水。
      6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述阻尼器具備活塞機(jī)構(gòu), 上述活塞機(jī)構(gòu)具有相對于上述沖擊力的作用成為閉路的止回閥。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述板玻璃加工裝置包括旋轉(zhuǎn)臂部件及支撐軸部件, 上述加工工具與上述旋轉(zhuǎn)臂部件連結(jié),上述旋轉(zhuǎn)臂部件可旋轉(zhuǎn)地與上述支撐軸部件連結(jié), 上述壓緊力產(chǎn)生元件通過對上述旋轉(zhuǎn)臂部件施加力偶而產(chǎn)生上述壓緊力。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述位置控制部具備: 被驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的凸輪部件;及 從動(dòng)于上述凸輪部件的旋轉(zhuǎn)的凸輪從動(dòng)件, 上述旋轉(zhuǎn)臂部件連動(dòng)于上述凸輪從動(dòng)件, 通過上述凸輪從動(dòng)件的相對于上述凸輪部件的位移,對上述旋轉(zhuǎn)臂部件施加力偶,通過對上述旋轉(zhuǎn)臂部件施加力偶,使上述加工工具移動(dòng)到上述待機(jī)位置、上述研磨位置或上述退避位置。
      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述凸輪從動(dòng)件包括第1凸輪從動(dòng)件及第2凸輪從動(dòng)件,該第1凸輪從動(dòng)件及第2凸輪從動(dòng)件構(gòu)成為能夠在維持規(guī)定的間隔的狀態(tài)下移動(dòng), 上述凸輪部件是在一側(cè)具有能夠接觸到上述第1凸輪從動(dòng)件的第1凸輪面、并在另一側(cè)具有能夠接觸到上述第2凸輪從動(dòng)件的第2凸輪面的圓筒端面凸輪, 通過連動(dòng)于上述凸輪部件的旋轉(zhuǎn),上述第1凸輪面與上述第1凸輪從動(dòng)件的接觸位置及接觸狀態(tài)、以及上述第2凸輪面與上述第2凸輪從動(dòng)件的接觸位置及接觸狀態(tài)發(fā)生變化,以使上述加工工具依次移動(dòng)到上述待機(jī)位置、上述研磨位置及上述退避位置, 在上述待機(jī)位置及上述退避位置,上述旋轉(zhuǎn)臂處于不能旋轉(zhuǎn)的鎖定狀態(tài), 在上述加工位置,上述旋轉(zhuǎn)臂處于能夠旋轉(zhuǎn)的自由狀態(tài)。
      10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 在上述凸輪部件旋轉(zhuǎn)到第1旋轉(zhuǎn)相位時(shí),上述加工工具移動(dòng)到上述待機(jī)位置, 上述凸輪部件旋轉(zhuǎn)到第2旋轉(zhuǎn)相位時(shí),上述加工工具移動(dòng)到上述研磨位置, 上述凸輪部件旋轉(zhuǎn)到第3旋轉(zhuǎn)相位時(shí),上述加工工具移動(dòng)到上述退避位置, 在上述第1旋轉(zhuǎn)相位及上述第3旋轉(zhuǎn)相位,上述凸輪部件中的介于上述第1凸輪從動(dòng)件與上述第2凸輪從動(dòng)件之間的部位的寬度,同上述第1凸輪從動(dòng)件與上述第2凸輪從動(dòng)件之間的間隔相等, 在上述第2旋轉(zhuǎn)相位,上述凸輪部件中的介于上述第1凸輪從動(dòng)件與上述第2凸輪從動(dòng)件之間的部位的寬度,比上述第1凸輪從動(dòng)件與上述第2凸輪從動(dòng)件之間的間隔小, 相對于位于上述第1旋轉(zhuǎn)相位的上述第1凸輪面的位置,位于上述第3旋轉(zhuǎn)相位的上述第1凸輪面的位置向上述凸輪部件的軸方向的一側(cè)偏移規(guī)定距離。
      11.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述板玻璃加工裝置具有滑動(dòng)部件及滑軌部件, 上述加工工具與上述滑動(dòng)部件連結(jié),上述滑動(dòng)部件可直線滑動(dòng)地與上述滑軌部件連結(jié), 上述壓緊力產(chǎn)生元件通過按壓上述滑動(dòng)部件而產(chǎn)生上述壓緊力。
      12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一所述的板玻璃加工裝置,其特征在于: 上述緩沖元件具備司羅氏連桿機(jī)構(gòu),上述司羅氏連桿機(jī)構(gòu)使上述沖擊力所作用的方向由水平方向轉(zhuǎn)換成垂直方向。
      13.一種板玻璃加工裝置,通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工,上述板玻璃加工裝置具有: 壓緊力產(chǎn)生元件,該壓緊力產(chǎn)生元件產(chǎn)生從上述加工工具作用于上述板玻璃的上述端面的壓緊力;以及 位置控制部,該位置控制部控制上述加工工具,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置, 上述待機(jī)位置是上述加工工具對與上述板玻璃的上述端面的接觸進(jìn)行待機(jī)的位置,上述研磨位置是上述加工工具接觸到上述板玻璃的上述端面,并對上述端面正進(jìn)行研磨時(shí)的位置, 上述退避位置是上述加工工具相對于上述板玻璃的上述端面比上述待機(jī)位置更向逃避方向退避的位置。
      14.一種板玻璃制造方法,是通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工,制造上述端面被加工的板玻璃的方法,上述板玻璃制造方法包含: 一邊產(chǎn)生從上述加工工具作用于上述板玻璃的上述端面的壓緊力,一邊緩沖從上述板玻璃的上述端面作用于上述加工工具的沖擊力的步驟。
      15.一種板玻璃制造方法,是通過加工工具對板玻璃的端面進(jìn)行加工,制造上述端面被加工的板玻璃的方法,上述板玻璃制造方法包含: 控制上述加工工具,以使其依次移動(dòng)到待機(jī)位置、研磨位置以及退避位置的步驟。
      【文檔編號】B24B41/053GK104349868SQ201380030367
      【公開日】2015年2月11日 申請日期:2013年6月11日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月13日
      【發(fā)明者】松下哲也, 市川耕二 申請人:日本電氣硝子株式會(huì)社
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