蒸鍍源的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種蒸鍍源。根據(jù)本發(fā)明的一實施例的蒸鍍源包括：主體部件，形成為使有機物從上側(cè)排出；加熱單元，包括形成于所述主體部件的下部的第一線圈部和形成于所述主體部件的上部且比所述第一線圈部釋放相對更多的熱量的第二線圈部。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于主體部件的上側(cè)比下側(cè)能夠維持相對較高的溫度，因此能夠防止有機物在開口部發(fā)生凝固。即，蒸鍍工藝在有機物于開口部發(fā)生凝固而對蒸鍍源實施維護(hù)期間中斷的情形變少，因此使蒸鍍源的維護(hù)周期變長，從而可提高生產(chǎn)率。
【專利說明】蒸鍍源

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及蒸鍍源，尤其涉及將有機物蒸鍍到基板時所使用的蒸鍍源。

【背景技術(shù)】
[0002]作為收容蒸鍍材料的容器的蒸鍍源由電流流過壁(部件)時溫度得到提高的電阻材料制成。當(dāng)蒸鍍源中施加有電流時，其內(nèi)部的蒸鍍材料借助來自蒸鍍源的壁的輻射熱以及來自與壁之間的接觸的導(dǎo)熱而被加熱。蒸鍍源的上部部件形成有使被氣化的材料蒸氣朝外部排出的蒸氣排出開口。
[0003]另外，由于蒸氣排出開口周邊的溫度相對較低，因而會產(chǎn)生通過開口排出的一部分材料蒸氣在開口周邊發(fā)生凝固的現(xiàn)象。隨著蒸鍍工藝的進(jìn)行，材料蒸氣在開口周邊的凝固得到積累，從而使材料蒸氣不能順暢地排出，這對在基板表面上形成蒸鍍膜而言產(chǎn)生較大的影響。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種能夠防止有機物在開口處發(fā)生凝固的蒸鍍源。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的一實施例的蒸鍍源包括:主體部件，形成為使有機物從上側(cè)排出；加熱單元，包括形成于所述主體部件的下部的第一線圈部和形成于所述主體部件的上部且比所述第一線圈部釋放相對更多的熱量的第二線圈部。
[0006]在一實施例中，所述第一線圈部和第二線圈部可以由相互連接的一個線圈構(gòu)成。
[0007]在一實施例中，所述第二線圈部的長度可形成為比所述第一線圈部的長度更長。
[0008]在一實施例中，所述第二線圈部可形成為比所述第一線圈部稠密。
[0009]在一實施例中，當(dāng)沿所述主體部件的高度方向觀察時，所述第一線圈部可形成于所述主體部件的中間部分的下側(cè)，所述第二線圈部可形成于所述中間部分的上側(cè)。
[0010]在一實施例中，所述蒸鍍源可包括向所述第一線圈部和第二線圈部提供電源的一個電源部。
[0011]在一實施例中，在所述第二線圈部的熱釋放量可以為在所述第一線圈部的熱釋放量的兩倍。
[0012]在一實施例中，所述第一線圈部和第二線圈部可包圍所述主體部件的外周表面而形成。
[0013]在一實施例中，所述主體部件形成有內(nèi)部空間，所述第一線圈部和第二線圈部可形成于圍住所述主體部件的內(nèi)部空間的所述主體部件的內(nèi)壁面。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的蒸鍍源的剖視圖。
[0015]圖2為僅將圖1所示的蒸鍍源所包含的第一線圈部和第二線圈部抽出而示出的展開圖。
[0016]圖3為示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的蒸鍍源的剖視圖。
[0017]圖4為示出根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的蒸鍍源的剖視圖。
[0018]符號說明
[0019]10:有機物 100、200、300:蒸鍍源
[0020]110:主體部件111:開口部
[0021]120:加熱單元121、221、321:第一線圈部

【具體實施方式】
[0022]以下，參照附圖對本發(fā)明的多個實施例進(jìn)行詳細(xì)說明，以使本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識的技術(shù)人員能夠容易地實施。本發(fā)明可以以各種不同的形態(tài)來實現(xiàn)，并不局限于在此進(jìn)行說明的多個實施例。
[0023]而且，在多個實施例中，對于具有相同結(jié)構(gòu)的構(gòu)成要素使用相同的符號，并僅對具有代表性的第一實施例進(jìn)行說明，而在除此之外的其他實施例中，僅對與第一實施例不相同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0024]為了明確地說明本發(fā)明，省略了與說明無關(guān)的部分，在整個說明書中，對于相同或相似的構(gòu)成要素將賦予相同的附圖符號。
[0025]在整個說明書中，當(dāng)記載為某一部分與另一部分“連接”時，這不僅包括“直接連接”的情形，還包括其中間隔著其他部件而“電連接”的情形。并且，當(dāng)記載為某一部分“包括”某一構(gòu)成要素時，如果沒有專門相反的記載，則意指還可包括其他構(gòu)成要素，而不是要排除其他構(gòu)成要素。
[0026]圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的蒸鍍源的剖視圖。
[0027]參照圖1，蒸鍍源100包括主體部件110和加熱單元120
[0028]主體部件110形成為使有機物10朝上側(cè)排出。主體部件110形成蒸鍍源100的外觀。作為主體部件110的形狀的一例，可形成為圓柱體、四棱柱等。在本發(fā)明的一實施例中，假設(shè)主體部件I1的形狀為圓柱體的情形下進(jìn)行說明。主體部件110的上部A可形成開口部111。開口部111可以是具有特定直徑的孔。與此相反，開口部111可以是噴嘴。被氣化的有機物10可通過這種開口部111被排出至外部。
[0029]加熱單元120向如上所述的主體部件110供熱。加熱單元120可形成于整個主體部件110。用于此的加熱單元120可包括第一線圈部121和第二線圈部122。第一線圈部121可形成于主體部件110的下部B。例如，第二線圈部122可形成于主體部件110中沒有形成第一線圈部121的、剩余的上部A部分。
[0030]基于這樣的加熱單元120，當(dāng)?shù)谝痪€圈部121和第二線圈部122被接通電源時，從第一線圈部121和第二線圈部122產(chǎn)生熱量。主體部件110的下部B供應(yīng)有由第一線圈部121產(chǎn)生的熱量，而主體部件110的上部A供應(yīng)有由第二線圈部122產(chǎn)生的熱量。在此，第二線圈部122比第一線圈部121形成得更稠密，因此第二線圈部122可比第一線圈部121產(chǎn)生更多的熱量。據(jù)此，相比于主體部件110的下部B，主體部件110的上部A相對維持較高的溫度，因此可防止有機物10在開口部111發(fā)生凝固。即，蒸鍍工藝被中斷的情形趨于最少(在有機物于開口部發(fā)生凝固而對蒸鍍源實施維護(hù)(maintenance)期間蒸鍍工藝將被中斷)，據(jù)此使蒸鍍源100的維護(hù)周期變長，從而可提高生產(chǎn)率。
[0031]另外，作為第一線圈部121和第二線圈部122的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的一例，當(dāng)沿主體部件110的高度方向觀察時，第一線圈部121可形成于所述主體部件的中間部分的下側(cè)，第二線圈部122可形成于所述中間部分的上側(cè)。S卩，從將主體部件110的上部A和下部B的高度分別變?yōu)檎麄€高度的1/2的基準(zhǔn)點(未圖示)開始，第一線圈部121可形成于下部B，第二線圈部122可形成于上部A。
[0032]另外，作為如上所述的加熱單元120的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的一例，在主體部件110形成有內(nèi)部空間的狀態(tài)下，第一線圈部121和第二線圈部122可形成于圍住主體部件110的內(nèi)部空間的主體部件110的內(nèi)壁面。
[0033]如上所述的第一線圈部121和第二線圈部122可由相互連接的一個線圈構(gòu)成?；谶@種結(jié)構(gòu)，可進(jìn)一步使根據(jù)本發(fā)明的一實施例的蒸鍍源100的結(jié)構(gòu)變得簡單。
[0034]而且，如果進(jìn)一步詳細(xì)說明加熱單元120的結(jié)構(gòu)的話，第二線圈部122可以是比第一線圈部121相對形成得更稠密的部件。在此，第二線圈部122比第一線圈部121相對形成得更稠密可以是指，相比于第一線圈部121，第二線圈部122的每單位長度中的線圈更多。單位長度是沿主體部件110的上下方向測量的長度。例如，第二線圈部122可以為每Icm中線圈被纏繞四次的狀態(tài)，第一線圈部121可以為每Icm中線圈被纏繞兩次的狀態(tài)。S卩，如果換一種方式來表述，則加熱單元120中構(gòu)成第二線圈部122的一個線圈的長度可形成為比構(gòu)成第一線圈部121的一個線圈的長度更長。
[0035]另外，根據(jù)本發(fā)明一實施例的蒸鍍源100可包括未圖示的電源部。這種電源部向第一線圈部121和第二線圈部122提供相同的電源。即，如上所述，根據(jù)本發(fā)明的蒸鍍源100中第一線圈部121和第二線圈部122為由一個線圈構(gòu)成且從一個電源部(未圖TjO接收相同的電源的結(jié)構(gòu)。
[0036]據(jù)此，當(dāng)增設(shè)有用于獨立地驅(qū)動第一線圈部121和第二線圈部122且獨立地控制各個線圈部的控制部等時，整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜，從而可導(dǎo)致制造成本上升。然而，根據(jù)本發(fā)明的一實施例的蒸鍍源100不僅不需要附加的控制部，而且由一個線圈來構(gòu)成第一線圈部121和第二線圈部122，因此結(jié)構(gòu)簡單，可節(jié)省制造成本。
[0037]另外，如上所述的根據(jù)本發(fā)明的蒸鍍源100中，在第二線圈部122的熱釋放量可以為在第一線圈部121的熱釋放量的兩倍。據(jù)此，可不損壞所儲存的有機物10的同時防止有機物10在開口部111發(fā)生凝固。在此，并不用溫度來限定主體部件110的上部A的溫度和下部B的溫度。
[0038]圖2為僅將圖1所示的蒸鍍源所包含的第一線圈部和第二線圈部抽出而示出的展開圖，圖3為示出根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的蒸鍍源的剖視圖。
[0039]如圖2所示，作為前述的加熱單元120的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的一例，第一線圈部121和第二線圈部122可相對于主體部件110沿上下方向形成(以附圖為基準(zhǔn))。與此相反，如圖3所示，作為前述的加熱單元120的變形例，第一線圈部221和第二線圈部222也可以相對于主體部件110沿左右方向形成(以附圖為基準(zhǔn))。而且，雖然未圖示，第一線圈部121和第二線圈部122也可以相對于主體部件110沿對角線方向形成。
[0040]另外，如圖4所示，與前述的結(jié)構(gòu)不同地，作為前述的加熱單元120的另一變形例，第一線圈部321和第二線圈部322可包圍主體部件110的外周表面而形成。
[0041]根據(jù)本發(fā)明一實施例的蒸鍍源，由于主體部件的上側(cè)比下側(cè)能夠維持相對較高的溫度，因此能夠防止有機物在開口部發(fā)生凝固。即，蒸鍍工藝被中斷的情形趨于最少(在有機物于開口部發(fā)生凝固而對蒸鍍源實施維護(hù)(maintenance)期間蒸鍍工藝將被中斷)(，據(jù)此使蒸鍍源100的維護(hù)周期變長，從而可提高生產(chǎn)率。
[0042]到目前為止參照的附圖和所記載的發(fā)明的詳細(xì)說明僅僅是本發(fā)明的示例性的，其使用的目的僅在于對本發(fā)明進(jìn)行說明，而不是為了對含義進(jìn)行限定或者限制權(quán)利要求書所記載的本發(fā)明的范圍。因此，應(yīng)當(dāng)知曉，如果是本【技術(shù)領(lǐng)域】的具有通常知識的技術(shù)人員，則可以由上述說明實現(xiàn)多種變形例和等同的其他實施例。因而，本發(fā)明的真正的技術(shù)保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)由權(quán)利要求書記載的技術(shù)思想來確定。
【權(quán)利要求】
1.一種蒸鍍源，包括: 主體部件，形成為使有機物從上側(cè)排出； 加熱單元，包括形成于所述主體部件的下部的第一線圈部和形成于所述主體部件的上部且比所述第一線圈部釋放相對更多的熱量的第二線圈部。
2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍源，其中，所述第一線圈部和第二線圈部由相互連接的一個線圈構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求2所述的蒸鍍源，其中，所述第二線圈部的長度形成為比所述第一線圈部的長度更長。
4.如權(quán)利要求2所述的蒸鍍源，其中，所述第二線圈部形成為比所述第一線圈部稠密。
5.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍源，其中，當(dāng)沿所述主體部件的高度方向觀察時，所述第一線圈部形成于所述主體部件的中間部分的下側(cè)，所述第二線圈部形成于所述中間部分的上側(cè)。
6.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍源，其中，所述蒸鍍源包括向所述第一線圈部和第二線圈部提供電源的一個電源部。
7.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍源，其中，在所述第二線圈部的熱釋放量為在所述第一線圈部的熱釋放量的兩倍。
8.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍源，其中，所述第一線圈部和第二線圈部包圍所述主體部件的外周表面而形成。
9.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍源,其中,所述主體部件形成有內(nèi)部空間， 所述第一線圈部和第二線圈部形成于圍住所述主體部件的內(nèi)部空間的所述主體部件的內(nèi)壁面。
【文檔編號】C23C14/26GK104419898SQ201410018043
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年1月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】高晟洙, 金在福, 宋原準(zhǔn), 李寬熙 申請人:三星顯示有限公司