加熱裝置組件和蒸鍍設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種加熱裝置組件，其中，該加熱裝置組件包括多個互相獨立的加熱部，每個所述加熱部內(nèi)均形成有加熱腔，每個所述加熱腔內(nèi)均設(shè)置有相應(yīng)的可獨立控制的加熱件，多個所述加熱部包括具有上加熱腔的上加熱部、具有下加熱腔的下加熱部和至少一個具有備用加熱腔的備用加熱部，所述上加熱部能夠與所述下加熱部組合，以形成加熱裝置，所述備用加熱部能夠與所述上加熱部和/或所述下加熱部組合以形成加熱裝置，所述備用加熱腔的尺寸不同于所述上加熱腔的尺寸和/或所述下加熱腔的尺寸。本發(fā)明還提供一種蒸鍍設(shè)備。在本發(fā)明所提供的加熱裝置組件中，多個加熱腔可以任意組合，從而可以獲得具有不同加熱腔的加熱裝置，以適用于各種型號的坩堝。
【專利說明】加熱裝置組件和蒸鍍設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于蒸鍍工藝的蒸鍍設(shè)備，具體地，涉及一種加熱裝置組件和一種包括該加熱裝置組件的加熱設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在進(jìn)行蒸鍍工藝時，需要用到蒸鍍設(shè)備。通常，蒸鍍設(shè)備可以包括加熱裝置和設(shè)置在加熱裝置內(nèi)的坩堝。將坩堝設(shè)置在加熱裝置的加熱腔內(nèi)之后，對坩堝內(nèi)的材料進(jìn)行加熱。如圖1中所示，加熱裝置包括加熱腔10和設(shè)置在加熱腔10內(nèi)的加熱件11。坩堝的形式多種多樣，利用同一種加熱腔對不同形狀的坩堝進(jìn)行加熱時，容易使得某些形狀的坩堝受熱不均勻，從而導(dǎo)致坩堝內(nèi)的材料發(fā)生噴濺現(xiàn)象或者導(dǎo)致坩堝內(nèi)的材料發(fā)生分解。
[0003]如何使加熱裝置適用于不同型號的坩堝成為本領(lǐng)域及待機(jī)解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種加熱裝置組件和一種包括該加熱裝置組件的蒸鍍設(shè)備。利用所述加熱裝置組件可以獲得多種不同結(jié)構(gòu)的加熱裝置，從而適用于多種不同型號的坩堝。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，作為本發(fā)明的一個方面，提供一種加熱裝置組件，其中，該加熱裝置組件包括多個互相獨立的加熱部，每個所述加熱部內(nèi)均形成有加熱腔，每個所述加熱腔內(nèi)均設(shè)置有相應(yīng)的可獨立控制的加熱件，多個所述加熱部包括具有上加熱腔的上加熱部、具有下加熱腔的下加熱部和至少一個具有備用加熱腔的備用加熱部，所述上加熱部能夠與所述下加熱部組合，以形成加熱裝置，所述備用加熱部能夠與所述上加熱部和/或所述下加熱部組合以形成加熱裝置，所述備用加熱腔的尺寸不同于所述上加熱腔的尺寸和/或所述下加熱腔的尺寸。
[0006]優(yōu)選地，所述上加熱部的下端面上設(shè)置有上定位件，所述下加熱部的上端面上設(shè)置有下定位件，當(dāng)所述上加熱部與所述下加熱部組合時，所述上定位件能夠和所述下定位件配合，以使所述上加熱腔與所述下加熱腔對齊。
[0007]優(yōu)選地，所述備用加熱部的下端面上設(shè)置有所述上定位件，當(dāng)所述備用加熱部與所述下加熱部組合時，所述上定位件能夠和所述下定位件配合，以使所述備用加熱腔與所述下加熱腔對齊；或者，所述備用加熱部的上端面上設(shè)置有所述下定位件，當(dāng)所述備用加熱部與所述上加熱部組合時，所述上定位件能夠和所述下定位件配合，以使所述備用加熱腔與所述上加熱腔對齊。
[0008]優(yōu)選地，所述備用加熱部能夠設(shè)置在所述上加熱部和所述下加熱部之間。
[0009]優(yōu)選地，所述上加熱部的下端面上設(shè)置有上定位件，所述備用加熱部的上端面上設(shè)置有中上定位件，所述備用加熱部的下端面上設(shè)置有中下定位件，所述下加熱部的上端面上設(shè)置有下定位件，所述上定位件能夠與所述中上定位件配合，所述下定位件能夠與所述中下定位件配合，使得當(dāng)所述上加熱部、所述備用加熱部和所述下加熱部組合成所述加熱裝置時，所述上加熱腔、所述備用加熱腔和所述下加熱腔能夠互相對齊。
[0010]優(yōu)選地，所述加熱裝置組件還包括防噴蓋，所述防噴蓋上設(shè)置有多個第一通孔，在獲得的所述加熱裝置中，所述防噴蓋設(shè)置在位于最上方的所述加熱部的開口處。
[0011]優(yōu)選地，所述加熱裝置組件還包括冷卻板，所述冷卻板設(shè)置在所述防噴蓋的一個端面上，所述冷卻板上設(shè)置有與所述第一通孔一一對應(yīng)的多個第二通孔。
[0012]優(yōu)選地，該加熱裝置組件包括控制器與多個所述加熱腔一一對應(yīng)的多個熱電偶，所述熱電偶和所述加熱件均與所述控制器相連，所述控制器根據(jù)所述熱電偶測得的溫度控制所述加熱件。
[0013]優(yōu)選地，每個所述加熱腔沿長度方向的尺寸大于該加熱腔沿寬度方向的尺寸，且每個所述加熱腔沿長度方向的尺寸大于該加熱腔沿高度方向的尺寸。
[0014]作為本發(fā)明的另一個方面，提供一種蒸鍍設(shè)備，該蒸鍍設(shè)備包括加熱裝置組件和坩堝，其中，所述加熱裝置組件為本發(fā)明所提供的上述加熱裝置組件，所述坩堝設(shè)置在所述加熱裝置的加熱腔內(nèi)，所述坩堝各部分的截面尺寸與所述加熱裝置的各加熱腔的內(nèi)部尺寸相對應(yīng)。
[0015]優(yōu)選地，每個所述加熱腔的長度方向的尺寸大于該加熱腔寬度方向的尺寸，且每個所述加熱腔沿長度方向的尺寸大于該加熱腔沿高度方向的尺寸，所述坩堝的截面形狀與所述加熱腔的截面形狀相匹配，且所述坩堝沿長度方向的尺寸大于所述坩堝沿寬度方向的尺寸，所述坩堝沿長度方向的尺寸大于所述坩堝沿高度方向的尺寸。
[0016]優(yōu)選地，每個加熱腔的長度方向的尺寸大于該加熱腔寬度方向的尺寸，且每個所述加熱腔沿長度方向的尺寸大于該加熱腔沿高度方向的尺寸，所述坩堝的截面形狀與所述加熱腔的截面形狀相匹配，所述加熱腔內(nèi)設(shè)置有多個沿所述加熱腔的長度方向排列的所述坩堝。
[0017]優(yōu)選地，所述坩堝包括可拆卸地連接的上坩堝部和下坩堝部。
[0018]在本發(fā)明所提供的加熱裝置組件中，多個加熱腔可以任意組合，從而可以獲得具有不同加熱腔的加熱裝置，以適用于各種型號的坩堝。在利用本發(fā)明所提供的加熱裝置組件獲得的加熱裝置對相應(yīng)的坩堝進(jìn)行加熱時，可以使得坩堝內(nèi)的材料受熱均勻，從而可以避免發(fā)生材料噴濺。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]附圖是用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0020]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的加熱裝置的剖視示意圖；
[0021]圖2是本發(fā)明所提供的加熱裝置的第一種實施方式的剖視示意圖；
[0022]圖3是圖2中的加熱裝置的上加熱腔的剖視示意圖；
[0023]圖4是圖2中的加熱裝置的下加熱腔的剖視示意圖；
[0024]圖5是本發(fā)明所提供的加熱裝置的第二種實施方式的剖視示意圖；
[0025]圖6是適用于 圖5中所示的加熱裝置的坩堝的示意圖；
[0026]圖7是本發(fā)明所提供的加熱裝置的第三種實施方式的剖視示意圖；
[0027]圖8是適用于圖7中所示的加熱裝置的坩堝的示意圖；[0028]圖9是本發(fā)明所提供的加熱裝置的第四種實施方式的剖視示意圖；
[0029]圖10是本發(fā)明所提供的加熱裝置的第五種實施方式的外觀示意圖；
[0030]圖11是防噴蓋的一種實施方式俯視示意圖；
[0031]圖12是防噴蓋和冷卻板的組合示意圖；
[0032]圖13是適用于圖10中所示的加熱裝置的坩堝的第一種實施方式；
[0033]圖14是適用于圖10中所述的加熱裝置的坩堝的第二種實施方式；
[0034]圖15是適用于圖10中所示的加熱裝置的坩堝的第三種實施方式；
[0035]圖16是適用于圖10中所示的加熱裝置的坩堝的第四種實施方式。
[0036]附圖標(biāo)記說明
[0037]10:加熱腔11:加熱件
[0038]100:上加熱腔110:上加熱件
[0039]120:上定位件130:上熱電偶
[0040]140:上殼體200:下加熱腔
[0041]210:下加熱件220:下定位件
[0042]230:下熱電偶240:下殼體
[0043]300:備用加熱腔310:備用加熱件
[0044]320:中上定位件330:備用熱電偶
[0045]340:備用殼體350:中下定位件
[0046]400:防噴蓋410:第一通孔
[0047]500:冷卻板510:第二通孔
【具體實施方式】
[0048]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0049]如圖2、圖5至圖7中所示，作為本發(fā)明的一個方面，提供一種加熱裝置組件，其中，該加熱裝置組件包括多個互相獨立的加熱部，每個所述加熱部內(nèi)均形成有加熱腔，每個所述加熱腔內(nèi)均設(shè)置有相應(yīng)的可獨立控制的加熱件，多個所述加熱部包括具有上加熱腔100的上加熱部、具有下加熱腔200的下加熱部和至少一個具有備用加熱腔300的備用加熱部，所述上加熱部可以與所述下加熱部組合，以形成加熱裝置，所述備用加熱部可以與所述上加熱部和/或所述下加熱部組合以形成加熱裝置。
[0050]在本發(fā)明中，多個所述加熱部存在多種組合方式，即，上加熱部、下加熱部和備用加熱部可以任意組合。例如，可以將所述上加熱部與所述下加熱部組合，形成第一種實施方式的加熱裝置( 如圖2所示);可以將所述上加熱部與所述備用加熱部組合，形成第二種實施方式的加熱裝置(如圖5所示)，該第二種實施方式的加熱裝置適用于對圖6中所示的坩堝進(jìn)行加熱，其中，坩堝上外徑較大的部分設(shè)置在上加熱腔100中，而坩堝上外徑較小的部分設(shè)置在備用加熱腔300中；可以將所述下加熱部與所述備用加熱部組合，形成第三種實施方式的加熱裝置(如圖7所示)，該第三種實施方式的加熱裝置適用于對圖8中所示的坩堝進(jìn)行加熱，其中坩堝上外徑較小的部分設(shè)置在備用加熱腔300中，坩堝上外徑較大的部分設(shè)置在下加熱腔200中；可以將所述上加熱部、所述下加熱部和所述備用加熱部組合，形成第四種實施方式的加熱裝置(如圖9所示)。
[0051]所述備用加熱部的備用加熱腔的尺寸不同于所述上加熱腔的尺寸和/或所述下加熱腔的尺寸，因此，利用本發(fā)明所提供的加熱裝置組件可以得到多個具有不同尺寸加熱腔的加熱裝置，從而可以適用于對不同尺寸的坩堝進(jìn)行加熱。
[0052]將所述加熱裝置設(shè)置為包括可以分離的多個加熱部的優(yōu)點還在于，加熱裝置中的一個加熱部發(fā)生故障時，可以將該加熱部從加熱裝置中拆除，對該加熱部進(jìn)行維修即可，無需對整個加熱裝置都進(jìn)行維修。并且，拆除了發(fā)生故障的加熱部后，可以更換無故障的加熱部，從而不會過多影響加熱裝置的繼續(xù)運行。
[0053]除此之外，由于每個加熱部中都設(shè)置有獨立的加熱件，因此可以獨立地控制各加熱部的加熱腔內(nèi)的溫度，從而可以根據(jù)坩堝的具體形狀控制坩堝各部分的溫度，使坩堝受熱更加均勻，從而防止坩堝內(nèi)的材料發(fā)生噴濺以及可以防止坩堝內(nèi)的材料分解。
[0054]容易理解的是，每個加熱部都包括設(shè)置在加熱件外部的殼體，如圖2至圖5、圖7和圖9中所示，所述上加熱部可以包括上殼體140，所述下加熱部可以包括下殼體240，所述備用加熱部可以包括備用殼體340。還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)所述上加熱部和所述下加熱部或所述備用加熱部組合形成加熱裝置時，上殼體140上還應(yīng)當(dāng)設(shè)置有與上加熱腔100相通的噴嘴，坩堝內(nèi)受熱汽化的材料通過噴嘴蒸鍍在基板上；當(dāng)所述備用加熱部與所述下加熱部組合形成加熱裝置時，所述備用殼體上還應(yīng)當(dāng)設(shè)置有與備用加熱腔300相同的噴嘴，坩堝內(nèi)受熱汽化的材料通過噴嘴蒸鍍在基板上。
[0055]在本發(fā)明中，對各加熱件的結(jié)構(gòu)也并不做限制，例如，加熱件可以為環(huán)繞加熱腔的電阻絲?？梢詫⒓訜峒烧{(diào)節(jié) 第設(shè)置在加熱腔中，即，當(dāng)將坩堝設(shè)置在加熱腔中時，可以調(diào)節(jié)加熱件與坩堝之間的距離，從而可以達(dá)到控制坩堝溫度的目的。
[0056]例如，圖2中所示的第一種實施方式適用于對尺寸均勻的坩堝進(jìn)行加熱；圖5中所示的第二種實施方式適用于對上部尺寸大于下部尺寸的坩堝進(jìn)行加熱；圖7中所示的第三種實施方式適用于對下部尺寸大于上部尺寸的坩堝進(jìn)行加熱；圖9中所示的第四種實施方式適用于對中部尺寸大于兩端尺寸的坩堝進(jìn)行加熱。
[0057]為了便于實現(xiàn)圖2中所示的第一種實施方式的加熱裝置，優(yōu)選地，可以在所述上加熱部的下端面上設(shè)置上定位件120 (如圖3所示)，在所述下加熱部的上端面上設(shè)置下定位件220 (如圖4所示)，當(dāng)所述上加熱部與所述下加熱部組合時，上定位件120和下定位件220配合，以使上加熱腔100與下加熱腔200對齊。在本發(fā)明中，對上定位件120和下定位件220的具體形狀并沒有特殊的限定，例如，如圖中所示的，上定位件120和下定位件220均為定位塊，在組裝上加熱部和下加熱部時，下定位件220位于上定位件120的內(nèi)側(cè)。或者，可以將上定位件120設(shè)置為定位銷，而將下定位件220設(shè)置為定位孔，通過銷孔配合，實現(xiàn)上加熱部和下加熱部的對準(zhǔn)。
[0058]為了便于實現(xiàn)圖5中所示的第二種實施的加熱裝置，優(yōu)選地，可以在備用加熱部的上端面上設(shè)置下定位件220，當(dāng)所述備用加熱部與所述上加熱部組合形成所述加熱裝置時，上定位件120與下定位件220配合，以使備用加熱腔300與上加熱腔100對齊。
[0059]同樣地，為了便于實現(xiàn)圖7中所示的第三種實施方式的加熱裝置，優(yōu)選地，可以在所述備用加熱部的下端面上設(shè)置上定位件120，當(dāng)所述備用加熱部與所述下加熱部組合時，上定位件120可以和下定位件220配合，以使備用加熱腔300與下加熱腔200對齊。[0060]當(dāng)待加熱的坩堝容量比較大時，為了防止坩堝內(nèi)的材料在加熱過程中分解，如圖9中所示，可以將備用加熱部設(shè)置在所述上加熱部和所述下加熱部之間。
[0061]為了便于組裝圖9中所示的第四種實施方式的加熱裝置時，優(yōu)選地，可以在所述上加熱部的下端面上設(shè)置上定位件120，在所述備用加熱部的上端面上設(shè)置有中上定位件320，在所述備用加熱部的下端面上設(shè)置中下定位件350，當(dāng)所述上加熱部、所述備用加熱部和所述下加熱部組合成圖9中所示的加熱裝置時，所述下加熱部的上端面上設(shè)置有下定位件220，上定位件120與中上定位件320配合，下定位件220與中下定位件350配合，使得上加熱腔100、備用加熱腔300和下加熱腔200互相對齊。
[0062]為了防止在加熱過程中坩堝內(nèi)的材料發(fā)生噴濺，優(yōu)選地，所述加熱裝置組件還可以包括防噴蓋400，該防噴蓋400上設(shè)置有多個第一通孔410。組成所述加熱裝置后，將防噴蓋400設(shè)置在位于最上方的加熱部的開口處設(shè)置。
[0063]雖然在圖11中所示的實施方式中，防噴蓋400為圓形該，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，本發(fā)明并不限于此，防噴蓋400可以為其他形狀，只要可以所述加熱裝置的位于最上方的加熱部的加熱腔的出口蓋住即可。當(dāng)所述加熱裝置中，位于最上方的加熱部的加熱腔的出口為圓形時，防噴蓋的端面形狀也是圓形；當(dāng)位于最上方的加熱部的加熱腔的出口為矩形時，防噴蓋的端面形狀也是矩形。第一通孔可以為圓孔，也可以為矩形孔。[0064]進(jìn)一步優(yōu)選地，如圖12所示，所述加熱裝置組件還可以包括冷卻板500，該冷卻板500設(shè)置在防噴蓋400的一個端面上，且冷卻板500上設(shè)置有多個第二通孔510，該多個第二通孔510與多個第一通孔410——對應(yīng)。
[0065]為了便于控制獲得的加熱裝置中，各個加熱腔內(nèi)的溫度，優(yōu)選地，所述加熱裝置組件還可以包括控制器與多個所述加熱腔一一對應(yīng)的多個熱電偶，所述熱電偶和所述加熱件均與所述控制器相連，所述控制器根據(jù)所述熱電偶測得的溫度控制所述加熱件。
[0066]如圖2至圖5、圖7和圖9中所示，上加熱腔100中設(shè)置有上熱電偶130、下加熱腔中設(shè)置有下熱電偶230，備用加熱腔300中設(shè)置有備用熱電偶330。利用上熱電偶130檢測上加熱腔100中的溫度，當(dāng)上加熱腔100中的溫度低于預(yù)設(shè)值時，控制器控制增加上加熱件110中通孔的電流，以產(chǎn)生更多的熱量，直至上熱電偶130檢測到的上加熱腔100中的溫度達(dá)到預(yù)設(shè)值為止；反之亦然。下加熱腔200中設(shè)置有下加熱件210，備用加熱腔300中設(shè)置有備用加熱件310，下加熱腔200和備用加熱腔300的溫度調(diào)節(jié)機(jī)制與上加熱腔100中的溫度調(diào)節(jié)機(jī)制相同，這里不再贅述。
[0067]在本發(fā)明中，對加熱裝置組件中，各加熱部的加熱腔的具體形狀并不做具體的限定。例如，每個加熱部的加熱腔都可以設(shè)置為軸線沿所述加熱裝置組件的高度方向延伸的圓柱形或長方體形。容易理解的是，每個加熱腔內(nèi)的加熱件都應(yīng)沿加熱腔的長度方向延伸。
[0068]或者，如圖10所示，可以將所述加熱部件設(shè)置為所述加熱部件的加熱腔的沿長度方向的尺寸(圖中沿y軸方向)大于所述加熱腔沿寬度方向(圖中X軸方向)的尺寸，且所述加熱部件的加熱腔的沿長度方向的尺寸大于所述加熱腔沿高度方向的尺寸(圖中z軸方向)。
[0069]作為本發(fā)明的一種實施方式，如圖10所示，所述加熱裝置垂直于長度方向(即，圖中的y軸方向)的截面為“凸”字形。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，例如，所述加熱裝置垂直于長度方向的截面還可以為矩形(即，“口”字形)。[0070]圖10中所示的加熱裝置適于對多個坩堝進(jìn)行加熱，并且圖10中所示的坩堝還適于對長度較大的坩堝進(jìn)行加熱，從而可以提高蒸鍍工藝的效率。
[0071]作為本發(fā)明的另一個方面，提供一種蒸鍍設(shè)備，該蒸鍍設(shè)備包括加熱裝置組件和坩堝，其中，所述加熱裝置組件為本發(fā)明所提供的上述加熱裝置組件，所述坩堝設(shè)置在所述加熱腔內(nèi)，所述坩堝各部分的截面尺寸與所述加熱裝置的各加熱腔的內(nèi)部尺寸相對應(yīng)。例如，圖6中所示的坩堝上外徑較大的部分對應(yīng)于圖5中的上加熱腔100，圖6中所示的坩堝上外徑較小的部分對應(yīng)于圖5中的備用加熱腔300 ;圖8中所示的坩堝上外徑較大的部分對應(yīng)于圖7中的下加熱腔200，圖8中所示的坩堝上外徑較小的部分對應(yīng)于圖7中的備用加熱腔300。
[0072]容易理解的是，本發(fā)明所提供的上述蒸鍍設(shè)備可以包括多種具有不同形狀的坩堝，每種坩堝都對應(yīng)于一種組合方式的加熱裝置。
[0073]當(dāng)所述加熱裝置的各加熱部的加熱腔沿長度方向的尺寸大于所述加熱腔沿寬度方向的尺寸以及大于所述加熱腔沿高度方向的尺寸時，所述坩堝的尺寸可以與所述加熱裝置中各加熱腔的尺寸相匹配。即，所述坩堝沿長度方向(圖15中的y軸方向)的尺寸也可以大于所述坩堝沿寬度方向(圖15中的X軸方向)的尺寸以及所述坩堝沿高度方向(圖15中的z軸方向)的尺寸。并且，所述坩堝的垂直于y軸的截面形狀與所述加熱裝置中的加熱腔沿I軸的截面形狀相對應(yīng)。
[0074]例如，當(dāng)所述加熱裝置具有圖10中所示的垂直于y軸方向的截面為“凸”字形時，圖15中所示的坩堝垂直于y軸方向的橫截面也為“凸”字形。每個加熱裝置中設(shè)置一個坩堝即可，即，坩堝沿加熱腔的長度方向的尺寸與加熱裝置的加熱腔長度方向的尺寸相對應(yīng)。
[0075]容易理解的是，坩堝的形狀不一定與加熱腔的形狀完全一致。例如，與圖10中所示的加熱裝置向匹配的坩堝的截面不一定非得是“凸”字形，只要坩堝上部分的尺寸小于坩堝下部分的尺寸(如圖14所示)，均可以適用于圖10中所示的加熱裝置。
[0076]坩堝沿加熱腔長度方向的尺寸可以小于加熱腔沿長度方向的尺寸。如圖15和圖16所示，所述坩堝的垂直于y軸方向的截面與圖10中加熱裝置沿y軸方向的截面相匹配，但是，坩堝沿y軸方向的尺寸小于加熱裝置沿y軸方向的尺寸，因此，可以在加熱腔中設(shè)置多個坩堝，該多個坩堝沿I軸方向排列。
[0077]所述坩堝可以為一體成型的坩堝，也可以為多個部分組合而成的坩堝。例如，所述坩堝可以包括上坩堝部和下坩堝部，所述上坩堝部和所述下坩堝部可拆卸地相連。
[0078]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種加熱裝置組件，其特征在于，該加熱裝置組件包括多個互相獨立的加熱部，每個所述加熱部內(nèi)均形成有加熱腔，每個所述加熱腔內(nèi)均設(shè)置有相應(yīng)的可獨立控制的加熱件，多個所述加熱部包括具有上加熱腔的上加熱部、具有下加熱腔的下加熱部和至少一個具有備用加熱腔的備用加熱部，所述上加熱部能夠與所述下加熱部組合，以形成加熱裝置，所述備用加熱部能夠與所述上加熱部和/或所述下加熱部組合以形成加熱裝置，所述備用加熱腔的尺寸不同于所述上加熱腔的尺寸和/或所述下加熱腔的尺寸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置組件，其特征在于，所述上加熱部的下端面上設(shè)置有上定位件，所述下加熱部的上端面上設(shè)置有下定位件，當(dāng)所述上加熱部與所述下加熱部組合時，所述上定位件能夠和所述下定位件配合，以使所述上加熱腔與所述下加熱腔對齊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱裝置組件，其特征在于，所述備用加熱部的下端面上設(shè)置有所述上定位件，當(dāng)所述備用加熱部與所述下加熱部組合時，所述上定位件能夠和所述下定位件配合，以使所述備用加熱腔與所述下加熱腔對齊；或者，所述備用加熱部的上端面上設(shè)置有所述下定位件，當(dāng)所述備用加熱部與所述上加熱部組合時，所述上定位件能夠和所述下定位件配合，以使所述備用加熱腔與所述上加熱腔對齊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置組件，其特征在于，所述備用加熱部能夠設(shè)置在所述上加熱部和所述下加熱部之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱裝置組件，其特征在于，所述上加熱部的下端面上設(shè)置有上定位件，所述備用加熱部的上端面上設(shè)置有中上定位件，所述備用加熱部的下端面上設(shè)置有中下定位件，所述下加熱部的上端面上設(shè)置有下定位件，所述上定位件能夠與所述中上定位件配合，所述下定位件能夠與所述中下定位件配合，使得當(dāng)所述上加熱部、所述備用加熱部和所述下加熱部組合成所述加熱裝置時，所述上加熱腔、所述備用加熱腔和所述下加熱腔能夠互相對齊。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的加熱裝置組件，其特征在于，所述加熱裝置組件還包括防噴蓋，所述防噴蓋上設(shè)置有多個第一通孔，在獲得的所述加熱裝置中，所述防噴蓋設(shè)置在位于最上方的所述加熱部的開口處。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱裝置組件，其特征在于，所述加熱裝置組件還包括冷卻板，所述冷卻板設(shè)置在所述防噴蓋的一個端面上，所述冷卻板上設(shè)置有與所述第一通孔一一對應(yīng)的多個第二通孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的加熱裝置組件，其特征在于，該加熱裝置組件包括控制器與多個所述加熱腔一一對應(yīng)的多個熱電偶，所述熱電偶和所述加熱件均與所述控制器相連，所述控制器根據(jù)所述熱電偶測得的溫度控制所述加熱件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的加熱裝置組件，其特征在于，每個所述加熱腔沿長度方向的尺寸大于該加熱腔沿寬度方向的尺寸，且每個所述加熱腔沿長度方向的尺寸大于該加熱腔沿高度方向的尺寸。
10.一種蒸鍍設(shè)備，該蒸鍍設(shè)備包括加熱裝置組件和坩堝，其特征在于，所述加熱裝置組件為權(quán)利要求1至9中任意一項所述的加熱裝置組件，所述坩堝設(shè)置在所述加熱裝置的加熱腔內(nèi)，所述坩堝各部分的截面尺寸與所述加熱裝置的各加熱腔的內(nèi)部尺寸相對應(yīng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，每個所述加熱腔的長度方向的尺寸大于該加熱腔寬度方向的尺寸，且每個所述加熱腔沿長度方向的尺寸大于該加熱腔沿高度方向的尺寸，所述坩堝的截面形狀與所述加熱腔的截面形狀相匹配，且所述坩堝沿長度方向的尺寸大于所述坩堝沿寬度方向的尺寸，所述坩堝沿長度方向的尺寸大于所述坩堝沿高度方向的尺寸。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，每個加熱腔的長度方向的尺寸大于該加熱腔寬度方向的尺寸，且每個所述加熱腔沿長度方向的尺寸大于該加熱腔沿高度方向的尺寸，所述坩堝的截面形狀與所述加熱腔的截面形狀相匹配，所述加熱腔內(nèi)設(shè)置有多個沿所述加熱腔的長度方向排列的所述坩堝。
13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中任意一項所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述坩堝包括可拆卸地連接的上坩堝部和下 坩堝部。
【文檔編號】C23C14/26GK103924197SQ201410120821
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月27日
【發(fā)明者】藤野誠治, 王小虎, 崔偉 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司