磨輪的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種磨輪。不管作業(yè)員是誰都能夠?qū)⒃撃ポ喦‘?dāng)?shù)鼐o固于磨削裝置的輪座。一種磨輪，其以能夠裝卸的方式安裝至在磨削裝置的主軸末端固定的輪座上，所述磨輪的特征在于，所述磨輪具備：環(huán)狀輪基座，其具有安裝至該輪座的安裝部和該安裝部的相反側(cè)的自由端部；和多個(gè)磨削磨具，它們配設(shè)在該環(huán)狀輪基座的該自由端部，在該環(huán)狀輪基座的該安裝部，在周向上分離地形成有供緊固螺栓螺合的多個(gè)內(nèi)螺紋部，該磨輪具有表示該內(nèi)螺紋部的緊固順序的緊固順序顯示標(biāo)記。
【專利說明】磨輪

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及以能夠裝卸的方式安裝至磨削裝置的輪座的磨輪。

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體晶片的表面形成有1C、LSI等多個(gè)器件，并且各個(gè)器件被分割預(yù)定線（間 隔道）劃分開來，在利用磨削裝置磨削半導(dǎo)體晶片的背面而將半導(dǎo)體晶片加工至規(guī)定的厚 度后，利用切割裝置切削分割預(yù)定線而將半導(dǎo)體晶片分割成一個(gè)一個(gè)的器件，分割出的器 件被廣泛利用在便攜電話、個(gè)人電腦等各種電子設(shè)備中。
[0003] 對晶片的背面進(jìn)行磨削的磨削裝置具備：卡盤工作臺，其保持晶片；磨削構(gòu)件，其 將磨輪支承成能夠旋轉(zhuǎn)，所述磨輪配設(shè)有對保持于該卡盤工作臺上的晶片進(jìn)行磨削的磨削 磨具；以及磨削液供給構(gòu)件，其向磨削區(qū)域供給磨削液，磨削裝置能夠?qū)⒕ハ髦疗谕?厚度。
[0004] 例如如日本特開2009-248267號公報(bào)所公開的那樣，磨輪被多個(gè)緊固螺釘以能夠 裝卸的方式緊固于輪座上，所述輪座固定在磨削裝置的主軸的末端。通常，在擰緊螺釘時(shí)， 通過連續(xù)地?cái)Q緊對置的螺釘，能夠?qū)崿F(xiàn)充分的擰緊。
[0005] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2009-248267號公報(bào)
[0006] 可是，對于例如不熟練的作業(yè)員來說，可能不知道或者忘記連續(xù)地緊固對置的螺 釘，而是例如以周向的順序來緊固，從而導(dǎo)致磨輪沒有被恰當(dāng)?shù)匕惭b至磨削裝置的輪座。
[0007] 在磨輪沒有被恰當(dāng)?shù)匕惭b至輪座的情況下，存在緊固螺栓變形、或者磨輪旋轉(zhuǎn)時(shí) 偏心而損傷主軸的可能。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明是鑒于這樣的問題而完成的，其目的在于提供一種不管作業(yè)員是誰都能夠 恰當(dāng)?shù)鼐o固至磨削裝置的輪座的磨輪。
[0009] 根據(jù)本發(fā)明，提供一種磨輪，其被以能夠裝卸的方式安裝至在磨削裝置的主軸末 端固定的輪座上，所述磨輪的特征在于，所述磨輪具備：環(huán)狀輪基座，其具有被安裝至該輪 座的安裝部和該安裝部的相反側(cè)的自由端部；和多個(gè)磨削磨具，它們被配設(shè)在該環(huán)狀輪基 座的該自由端部，在該環(huán)狀輪基座的該安裝部，在周向上分離地形成有供緊固螺栓螺合的 多個(gè)內(nèi)螺紋部，該磨輪具有表示該內(nèi)螺紋部的緊固順序的緊固順序顯示標(biāo)記。
[0010] 優(yōu)選的是，在環(huán)狀輪基座的安裝部，在周向上等間隔分離地形成有供緊固螺栓螺 合的偶數(shù)個(gè)內(nèi)螺紋部，緊固順序是連續(xù)地緊固彼此對置的內(nèi)螺紋部的順序。
[0011] 本發(fā)明的磨輪具有表示緊固順序的緊固順序顯示標(biāo)記，因此，即使是例如不熟練 的作業(yè)員，也能夠降低以錯(cuò)誤的順序進(jìn)行緊固的可能，從而，不管作業(yè)員是誰，都能夠?qū)⒃?磨輪恰當(dāng)?shù)鼐o固至磨削裝置的輪座。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012] 圖1是能夠安裝本發(fā)明的磨輪的磨削裝置的立體圖。
[0013] 圖2是示出磨輪的一個(gè)例子的立體圖。
[0014] 圖3是示出磨輪的緊固順序的示意圖。
[0015] 標(biāo)號說明
[0016] 2:磨削裝置；
[0017] 10:磨削單元；
[0018] 18 :主軸；
[0019] 22:輪座；
[0020] 23 :安裝孔；
[0021] 24:磨輪；
[0022] 25 :緊固螺栓；
[0023] 26 :環(huán)狀輪基座；
[0024] 27 :內(nèi)螺紋部(螺紋孔）；
[0025] 28 :磨削磨具；
[0026] 29 :緊固順序顯示標(biāo)記。

【具體實(shí)施方式】
[0027] 以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行說明。參照圖1，示出了適合安裝 本發(fā)明的磨輪的磨削裝置2的外觀立體圖。4是磨削裝置2的基座，在基座4的后方立起設(shè) 置有立柱6。在立柱6上固定有沿上下方向延伸的一對導(dǎo)軌8。
[0028] 磨削單元(磨削構(gòu)件）10被安裝成能夠沿著該一對導(dǎo)軌8在上下方向上移動。磨 削單元10具有主軸殼體12和保持主軸殼體12的支承部14,支承部14安裝于沿著一對導(dǎo) 軌8在上下方向上移動的移動基座16。
[0029] 磨削單元10包括：主軸18,其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式收納于主軸殼體12中；馬達(dá)20， 其驅(qū)動主軸18旋轉(zhuǎn)；輪座22,其被固定于主軸18的末端；以及磨輪24,其被以能夠裝卸的 方式安裝至輪座22。
[0030] 磨削裝置2具備磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)34,所述磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)34使磨削單元10 沿著一對導(dǎo)軌8在上下方向上移動，并由滾珠絲杠30和脈沖馬達(dá)32構(gòu)成。當(dāng)驅(qū)動脈沖馬 達(dá)32時(shí)，滾珠絲杠30旋轉(zhuǎn)，移動基座16沿上下方向移動。
[0031] 在基座4的上表面形成有凹部4a，并且在該凹部4a中配設(shè)有卡盤工作臺機(jī)構(gòu)36。 卡盤工作臺機(jī)構(gòu)36具有卡盤工作臺38,卡盤工作臺機(jī)構(gòu)36利用未圖示的移動機(jī)構(gòu)在晶片 裝卸位置A和與磨削單元10對置的磨削位置B之間沿Y軸方向移動。標(biāo)號40、42是波紋 件。在基座4的前方側(cè)配設(shè)有供磨削裝置2的操作人員輸入磨削條件等的操作面板44。
[0032] 參照圖2,示出了表示將本發(fā)明實(shí)施方式的磨輪24安裝至輪座22的狀態(tài)的立體 圖。磨輪24構(gòu)成為：該磨輪具有環(huán)狀輪基座26,該環(huán)狀輪基座26具有被安裝至輪座22的 安裝部26a和安裝部26a的相反側(cè)的自由端部26b，多個(gè)磨削磨具28呈環(huán)狀固定安裝于環(huán) 狀輪基座26的自由端部26b。
[0033] 輪座22固定在磨削單元(磨削構(gòu)件)10的主軸18的末端，在該輪座22上，用于安 裝磨輪24的多個(gè)、優(yōu)選是偶數(shù)個(gè)安裝孔23形成為在周向上以相等間隔分離。
[0034] 在磨輪24的環(huán)狀輪基座26的安裝部26a，以與輪座22的安裝孔23相對應(yīng)的方式 在周向上以相等間隔分離地形成有偶數(shù)個(gè)(在本實(shí)施方式中為6個(gè)）內(nèi)螺紋部(螺紋孔）27。
[0035] 而且，在環(huán)狀輪基座26的側(cè)面具有表示緊固順序的緊固順序顯示標(biāo)記29。緊固 順序顯示標(biāo)記29通過刻印、粘貼、著色等形成。如圖3的示意圖所示，該緊固順序顯示標(biāo)記 29是連續(xù)地緊固互相對置的內(nèi)螺紋部27的順序。
[0036] 例如，在將緊固螺栓25插入輪座22的安裝孔23中并將緊固螺栓25緊固于1號 位置的內(nèi)螺紋部27后，接下來將緊固螺栓25緊固于與1號對置的2號位置的內(nèi)螺紋部27 中。
[0037] 接下來，在將緊固螺栓25緊固于3號位置的內(nèi)螺紋部27后，將緊固螺栓25緊固 于與3號對置的4號位置的內(nèi)螺紋部27中，接著將緊固螺栓25緊固于5號位置的內(nèi)螺紋 部27中，最后將緊固螺栓25緊固于與5號對置的6號位置的內(nèi)螺紋部27中。
[0038] 并且，優(yōu)選的是，在將緊固螺栓25緊固至磨輪24的內(nèi)螺紋部27中時(shí)，不要將緊固 螺栓25完全擰緊，而是在如磨輪24上所顯示的緊固順序顯示標(biāo)記那樣對緊固螺栓25進(jìn)行 緊固后，最后以適當(dāng)?shù)木o固扭矩、例如4N ·πι如緊固順序顯示標(biāo)記那樣將緊固螺栓25擰緊。
[0039] 在本實(shí)施方式的磨輪24中，磨輪24的環(huán)狀輪基座26在其側(cè)面具有表示緊固順序 的偶數(shù)個(gè)緊固順序顯示標(biāo)記29,即使是不熟練的作業(yè)員，只要如緊固順序顯示標(biāo)記這樣緊 固磨輪24,就能夠?qū)⒛ポ?4恰當(dāng)?shù)匕惭b至輪座22,即使是不熟練的作業(yè)員，也能夠降低以 錯(cuò)誤的順序進(jìn)行緊固的可能，從而，不管作業(yè)員是誰，都能夠恰當(dāng)?shù)貙⒛ポ?4緊固至輪座 22〇
【權(quán)利要求】
1. 一種磨輪，其被以能夠裝卸的方式安裝至在磨削裝置的主軸末端固定的輪座上， 所述磨輪的特征在于， 所述磨輪具備： 環(huán)狀輪基座，其具有被安裝至該輪座的安裝部和該安裝部的相反側(cè)的自由端部；和 多個(gè)磨削磨具，它們被配設(shè)在該環(huán)狀輪基座的該自由端部， 在該環(huán)狀輪基座的該安裝部，在周向上分離地形成有供緊固螺栓螺合的多個(gè)內(nèi)螺紋 部， 該磨輪具有表示該內(nèi)螺紋部的緊固順序的緊固順序顯示標(biāo)記。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨輪，其中， 在所述環(huán)狀輪基座的所述安裝部，在周向上等間隔分離地形成有供緊固螺栓螺合的偶 數(shù)個(gè)內(nèi)螺紋部， 所述緊固順序是連續(xù)地緊固彼此對置的內(nèi)螺紋部的順序。
【文檔編號】B24D7/06GK104108073SQ201410150383
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年4月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月18日
【發(fā)明者】胡天令, 蔣禮 申請人:株式會社迪思科