一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，在真空鍍膜腔室的側(cè)壁上設(shè)有調(diào)節(jié)鍍膜膜層厚度的調(diào)節(jié)手輪，調(diào)節(jié)手輪包括設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)部或外部的調(diào)節(jié)裝置和內(nèi)部的活動(dòng)擋板，調(diào)節(jié)裝置帶動(dòng)活動(dòng)擋板做往復(fù)運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié)鍍膜膜層厚度。本實(shí)用新型的有益效果是：設(shè)置可調(diào)節(jié)的活動(dòng)擋板，可方便的調(diào)節(jié)不同節(jié)點(diǎn)的鍍膜膜層的厚度，達(dá)到鍍膜厚度一致的效果，減少了生產(chǎn)成本并提高了工作效率。
【專利說明】一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及鍍膜線生產(chǎn)配件領(lǐng)域，尤其是一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍膜線的產(chǎn)品的成品率及裝載率很大程度上取決于膜厚的均勻性，在靶材質(zhì)地均勻的情況下，膜厚的均勻性主要影響因素為陰極磁場的均勻性和工藝氣體的布?xì)饩鶆蛐浴Ｄ壳盀榱私鉀Q膜厚均勻性問題，目前一般設(shè)備廠家提供的方法主要是可調(diào)磁場以及多段供氣結(jié)合工藝氣體閉環(huán)控制器(壓電閥\SPPEDFL0等)。下面分別闡述:
[0003]一、磁場調(diào)節(jié):磁場調(diào)節(jié)就是通過調(diào)整磁鋼整體向靶面靠近或遠(yuǎn)離來改變靶面磁場強(qiáng)度，從而調(diào)節(jié)整體膜厚至產(chǎn)品的要求，依靠磁軛的變形來調(diào)整局部位置的磁場強(qiáng)度非常有限，因此磁場調(diào)整不能完全解決磁鋼列陣因單塊磁鋼強(qiáng)度不同引起的局部不均勻.也就是說，磁場調(diào)節(jié)主要解決的是成膜沉積率的問題，對(duì)磁場兩端靠磁軛變形調(diào)整磁場非常有限；
[0004]二、工藝氣體調(diào)節(jié):工藝氣體調(diào)節(jié)通過的方式有多種，其中比較流行的就是二元制的多段供氣(segment gas )，其原理就是根據(jù)鍍膜線真空室內(nèi)氣流不同，為保證靶面工藝氣體均布，對(duì)沿靶面方向布置得工藝氣管分段供氣，抽氣快的地方供氣多一點(diǎn)，盡量做到靶面氣壓相同，從而保證濺射的均勻性，至于以后匹配的工藝氣體閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器，皆因電子級(jí)的反饋速度與氣體流量的機(jī)械控制，導(dǎo)致震蕩式的不穩(wěn)定調(diào)節(jié)而變成事后調(diào)節(jié)沒有太大的生產(chǎn)實(shí)際意義。工藝氣體調(diào)節(jié)有一定的調(diào)節(jié)作用，但因系統(tǒng)抽速的改變、工藝氣管分段長度及供氣口位置的局限以及摸索穩(wěn)定參數(shù)耗時(shí)太多導(dǎo)致工藝氣體調(diào)節(jié)仍然有一定的局限性。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的是提供一種克服現(xiàn)有技術(shù)不足、結(jié)構(gòu)簡單、操作方便的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板。
[0006]為了完成上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0007]—種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，在真空鍍膜腔的側(cè)壁上設(shè)有調(diào)節(jié)鍍膜膜層厚度的調(diào)節(jié)手輪，調(diào)節(jié)手輪包括設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)部或者外部的調(diào)節(jié)裝置和內(nèi)部的活動(dòng)擋板，調(diào)節(jié)裝置帶動(dòng)活動(dòng)擋板做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0008]所述的活動(dòng)擋板為L形的折板，活動(dòng)擋板直角邊的邊長比為1:2到1:5之間，活動(dòng)擋板的左端伸出的寬度大小與對(duì)應(yīng)的鍍膜膜層厚度成反比。
[0009]所述的調(diào)節(jié)裝置包括相互嚙合的齒輪座和齒條,齒輪座的轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外端固定有手輪。
[0010]所述的活動(dòng)擋板的右端固定在調(diào)節(jié)裝置的左端。
[0011]所述的調(diào)節(jié)手輪共有4或多個(gè)依次縱向排列在真空鍍膜腔室的側(cè)壁上。[0012]所述的齒輪座包括與齒條相嚙合的齒輪和固定齒輪的支撐套，在轉(zhuǎn)動(dòng)軸與齒輪座之間設(shè)有密封套。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:設(shè)置可調(diào)節(jié)的活動(dòng)擋板，可方便的調(diào)節(jié)不同節(jié)點(diǎn)的鍍膜膜層的厚度，達(dá)到鍍膜厚度一致的效果，減少了生產(chǎn)成本并提高了工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2是圖1中的調(diào)節(jié)手輪的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖3是圖2的剖面圖。
[0017]圖中，1、調(diào)節(jié)手輪，2、活動(dòng)擋板，3、齒輪座，4、齒條，5、轉(zhuǎn)動(dòng)軸，6、手輪，7、齒輪，8、
支撐套，9、密封套。
【具體實(shí)施方式】
[0018]本實(shí)用新型為一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，設(shè)置可調(diào)節(jié)的活動(dòng)擋板，可方便的調(diào)節(jié)不同節(jié)點(diǎn)的鍍膜的厚度，達(dá)到鍍膜厚度一致的效果，減少了生產(chǎn)成本并提高了工作效率。
[0019]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。
[0020]具體實(shí)施例，如圖1至圖3所示，一種可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，包括真在真空鍍膜腔室的側(cè)壁上設(shè)有調(diào)節(jié)鍍膜膜層厚度的調(diào)節(jié)手輪I，調(diào)節(jié)手輪I包括設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)部或外部的調(diào)節(jié)裝置和內(nèi)部的活動(dòng)擋板2，調(diào)節(jié)裝置帶動(dòng)活動(dòng)擋板2做往復(fù)運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié)鍍膜厚度，將活動(dòng)擋板2設(shè)為L形的折板，活動(dòng)擋板2直角邊的邊長比為1:2到1:5，此比例為經(jīng)過試驗(yàn)后得出的最佳比例，活動(dòng)擋板(2)的左端伸出的寬度大小與對(duì)應(yīng)的鍍膜膜層厚度成反比，伸出的越多，膜層越薄。
[0021]調(diào)節(jié)裝置包括相互嚙合的齒輪座3和齒條4,齒輪座3包括與齒條4相嚙合的齒輪7和固定齒輪7的支撐套8，齒輪7與齒條4嚙合運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)齒條4做左右往復(fù)運(yùn)動(dòng)，在轉(zhuǎn)動(dòng)軸5與齒輪座3之間設(shè)有密封套9，齒輪座3的轉(zhuǎn)動(dòng)軸5的外端固定有手輪6，活動(dòng)擋板2的右端固定在調(diào)節(jié)裝置中齒條4的左端，調(diào)節(jié)手輪I共有4個(gè)或多個(gè)依次縱向排列在真空鍍膜腔室的側(cè)壁上。
[0022]順時(shí)針旋轉(zhuǎn)上部的兩個(gè)調(diào)節(jié)手輪1，則活動(dòng)擋板2會(huì)向右運(yùn)動(dòng)，未被擋板遮擋的空間變大，鍍膜膜層的厚度也變大；逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)上部的兩個(gè)調(diào)節(jié)手輪1，則活動(dòng)擋板2會(huì)向左運(yùn)動(dòng)，未被擋板遮擋的空間變小，鍍膜膜層的厚度也變小；順時(shí)針旋轉(zhuǎn)下部的兩個(gè)調(diào)節(jié)手輪1，則活動(dòng)擋板2會(huì)向左運(yùn)動(dòng)，未被擋板遮擋的空間變小，鍍膜膜層的厚度也變小；逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)下部的兩個(gè)調(diào)節(jié)手輪1，則活動(dòng)擋板2會(huì)向右運(yùn)動(dòng)，未被擋板遮擋的空間變大，鍍膜膜層的厚度也變大。通過調(diào)節(jié)4個(gè)調(diào)節(jié)手輪，完美的達(dá)到了調(diào)節(jié)鍍膜厚度的目的，達(dá)到鍍膜厚度一致的效果，減少了生產(chǎn)成本并提高了工作效率。
【權(quán)利要求】
1.一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，其特征在于:在真空鍍膜腔的側(cè)壁上設(shè)有調(diào)節(jié)鍍膜膜層厚度的調(diào)節(jié)手輪(I )，調(diào)節(jié)手輪(I)包括設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)部或者外部的調(diào)節(jié)裝置和內(nèi)部的活動(dòng)擋板(2)，調(diào)節(jié)裝置帶動(dòng)活動(dòng)擋板(2)做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，其特征在于:所述的活動(dòng)擋板(2)為L形的折板，活動(dòng)擋板(2)直角邊的邊長比為1:2到1:5之間，活動(dòng)擋板(2)的左端伸出的寬度大小與對(duì)應(yīng)的鍍膜膜層厚度成反比。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，其特征在于:所述的調(diào)節(jié)裝置包括相互嚙合的齒輪座(3)和齒條(4)，齒輪座(3)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸(5)的外端固定有手輪(6)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，其特征在于:所述的活動(dòng)擋板(3)的右端固定在調(diào)節(jié)裝置的左端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，其特征在于:所述的調(diào)節(jié)手輪(I)共有4或多個(gè)依次縱向排列在真空鍍膜腔室的側(cè)壁上。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種安裝在真空鍍膜腔室上的可調(diào)節(jié)活動(dòng)擋板，其特征在于:所述的齒輪座(3)包括與齒條(4)相嚙合的齒輪(7)和固定齒輪(7)的支撐套(8)，在轉(zhuǎn)動(dòng)軸(5 )與齒輪座(3 )之間設(shè)有密封套(9 )。
【文檔編號(hào)】C23C14/22GK203700485SQ201420018633
【公開日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2014年1月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月13日
【發(fā)明者】閆乃明, 朱世元 申請(qǐng)人:深圳市金耀玻璃機(jī)械有限公司