真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，包括固定在真空倉(cāng)體上的冷阱倉(cāng)體、設(shè)于冷阱倉(cāng)體內(nèi)部的制冷盤(pán)管和與冷阱倉(cāng)體相連的調(diào)整機(jī)構(gòu)，其中冷阱倉(cāng)體包括本體和與本體相匹配的蓋體，該蓋體位于真空倉(cāng)體的內(nèi)部，蓋體與調(diào)整機(jī)構(gòu)相連。本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)具有工作效率高和產(chǎn)能消耗低的特點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到一種捕水機(jī)構(gòu)，特別涉及到一種真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]真空涂覆設(shè)備廣泛的運(yùn)用于精密器件的鍍膜操作中，其一般包括一個(gè)真空倉(cāng)體，以滿足真空鍍膜的需要。為了使得真空倉(cāng)體圍成的腔體具有較高的真空度，現(xiàn)有的真空涂覆設(shè)備的真空倉(cāng)體中設(shè)有捕水機(jī)構(gòu)，該捕水機(jī)構(gòu)的制冷盤(pán)管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間、真空腔內(nèi)或卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位，該制冷盤(pán)管與真空室總是處于連通的狀態(tài)，當(dāng)真空涂覆設(shè)備需要開(kāi)門(mén)取出成品時(shí)，往往需要通過(guò)加熱除霜裝置對(duì)制冷盤(pán)管進(jìn)行加熱，使其在每次開(kāi)門(mén)之前恢復(fù)到常溫，以避免制冷盤(pán)管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。由于每次開(kāi)門(mén)之前都需要有加熱除霜裝置對(duì)制冷盤(pán)管進(jìn)行加熱，因此這種真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)具有工作效率低和產(chǎn)能消耗高的缺點(diǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種工作效率高和產(chǎn)能消耗低的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)。
[0004]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供了一種真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，包括固定在真空倉(cāng)體上的冷阱倉(cāng)體、設(shè)于冷阱倉(cāng)體內(nèi)部的制冷盤(pán)管和與冷阱倉(cāng)體相連的調(diào)整機(jī)構(gòu)，其中冷阱倉(cāng)體包括本體和與本體相匹配的蓋體，該蓋體位于真空倉(cāng)體的內(nèi)部，蓋體與調(diào)整機(jī)構(gòu)相連。
[0005]本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的有益效果是:由于在冷阱倉(cāng)體的本體和蓋體圍成的腔室中設(shè)有制冷盤(pán)管，且該蓋體與調(diào)整機(jī)構(gòu)相連，即可以實(shí)現(xiàn)當(dāng)真空涂覆設(shè)備的真空倉(cāng)體關(guān)門(mén)抽真空時(shí)，調(diào)整機(jī)構(gòu)控制蓋體與本體分離，此時(shí)冷阱倉(cāng)體的腔室與真空倉(cāng)體的腔室相連通，制冷盤(pán)管超低溫表面能夠有效地奪取腔室中水蒸氣，從而實(shí)現(xiàn)真空倉(cāng)體的真空腔室被快速抽真空；當(dāng)真空涂覆設(shè)備的真空倉(cāng)體需要開(kāi)門(mén)取出成品時(shí)，調(diào)整機(jī)構(gòu)控制蓋體與本體氣密封配合，此時(shí)冷阱倉(cāng)體的腔室與真空倉(cāng)體的腔室斷開(kāi)連通，因此可以直接打開(kāi)真空倉(cāng)體的倉(cāng)門(mén)，而不需要每次開(kāi)門(mén)前都需要有加熱除霜裝置對(duì)制冷盤(pán)管進(jìn)行加熱。綜上所述，本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)具有工作效率高和產(chǎn)能消耗低的優(yōu)點(diǎn)。
[0006]在一些實(shí)施方式中，制冷盤(pán)管可以為螺旋狀，其一端為冷媒的流入端，另一端為冷媒的流出端，該流入端和流出端均由冷阱倉(cāng)體的內(nèi)部向外部延伸出。由于制冷盤(pán)管為緊密排列的螺旋狀，即其表面積大，因此其具有捕集水蒸氣速度快、效率高和占有體積小的優(yōu)點(diǎn)。
[0007]在一些實(shí)施方式中，調(diào)整機(jī)構(gòu)可以設(shè)于冷阱倉(cāng)體內(nèi)部，該調(diào)整機(jī)構(gòu)包括氣缸、設(shè)于氣缸內(nèi)部的柱塞和一端與柱塞相連的連桿，該連桿的另一端與蓋體相連，該氣缸固定在本體上。由于通過(guò)連桿連接柱塞和蓋體，通過(guò)控制氣缸的通氣情況就可實(shí)現(xiàn)柱塞帶動(dòng)蓋體實(shí)現(xiàn)蓋體的打開(kāi)和閉合，因此本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和控制方便的優(yōu)點(diǎn)。
[0008]在一些實(shí)施方式中，柱塞與連桿相連的一側(cè)可以設(shè)有彈簧,另一側(cè)與氣缸圍成氣腔，該彈簧與連桿套接，該彈簧的一端與柱塞相連，另一端與氣缸的內(nèi)壁相連。由于柱塞與連桿相連的一側(cè)可以設(shè)有彈簧，另一側(cè)與氣缸圍成氣腔，當(dāng)向氣腔中通入高壓空氣時(shí)，彈簧被壓縮，冷阱倉(cāng)體的蓋體被打開(kāi)；當(dāng)停止向氣腔中通入高壓空氣時(shí)，在彈簧的回復(fù)力的作用下，冷阱倉(cāng)體的蓋體閉合。因此本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和控制方便的優(yōu)點(diǎn)。
[0009]在一些實(shí)施方之中，還可以包括進(jìn)氣管，該進(jìn)氣管與氣腔相連通。通過(guò)進(jìn)氣管的連通，可以為氣腔提供所需的氣壓，從而實(shí)現(xiàn)冷阱倉(cāng)體的蓋體的打開(kāi)和閉合。
[0010]在一些實(shí)施方之中，柱塞和連桿相連的一側(cè)與氣缸圍成第一氣腔，另一側(cè)與氣缸圍成第二氣腔。由于柱塞的兩側(cè)分別形成第一氣腔和第二氣腔，通過(guò)控制第一氣腔和第二氣腔的通氣情況就可以實(shí)現(xiàn)冷阱倉(cāng)體的蓋體的打開(kāi)和閉合，因此本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和控制方便的優(yōu)點(diǎn)。
[0011]在一些實(shí)施方式中，還可以包括第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管，其中第一進(jìn)氣管與第一氣腔相連通，該第二進(jìn)氣管與第二氣腔相連通。由于相應(yīng)進(jìn)氣管和氣腔的相連通，通過(guò)進(jìn)氣管可以為相應(yīng)的氣腔提供所需的氣壓，從而實(shí)現(xiàn)冷阱倉(cāng)體的蓋體的打開(kāi)和閉合。
[0012]在一些實(shí)施方式中，還可以包括抽真空管，該抽真空管與冷阱倉(cāng)體的內(nèi)腔相連通。由于設(shè)有與冷阱倉(cāng)體的內(nèi)腔相連通的抽真空管，且該抽真空管的另一端與真空泵相連，即在正常工作中，其能夠?yàn)槔溱鍌}(cāng)體和真空倉(cāng)體的腔室中的氣流提供牽引力，同時(shí)通過(guò)該抽真空管可以及時(shí)排除除霜操作得到的水汽，因此本實(shí)用新型具有實(shí)用性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。
[0013]在一些實(shí)施方式中，蓋體的周圍可以設(shè)有密封圈。通過(guò)在蓋體的周圍設(shè)有密封圈，可以保證在蓋體閉合的情況下，其能夠與冷阱倉(cāng)體的本體更好的氣密封配合，因此本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)具有實(shí)用性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是圖1中真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3是圖2中真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)沿1-1的剖視圖；
[0017]圖4是本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)另一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0019]圖1至圖3給出了本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的一個(gè)實(shí)施例，該實(shí)施例中，真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)包括固定在真空倉(cāng)體I上的冷阱倉(cāng)體2、設(shè)于冷阱倉(cāng)體2內(nèi)部的制冷盤(pán)管3、與冷阱倉(cāng)體2相連的調(diào)整機(jī)構(gòu)4以及與冷阱倉(cāng)體2的內(nèi)腔相連通的抽真空管6，其中冷阱倉(cāng)體2包括本體21和與本體21相匹配的蓋體22，該蓋體22位于真空倉(cāng)體I的內(nèi)部，蓋體22與調(diào)整機(jī)構(gòu)4相連。蓋體22的周圍為凸臺(tái)結(jié)構(gòu)，本體21上開(kāi)設(shè)有與之相匹配的凹槽，從而實(shí)現(xiàn)蓋體22和本體21的緊密配合，同時(shí)為了更好實(shí)現(xiàn)蓋體22和本體21的氣密封配合，在蓋體22凸臺(tái)結(jié)構(gòu)的表面套設(shè)有密封圈221。[0020]制冷盤(pán)管3為螺旋狀，其一端為冷媒的流入端31，另一端為冷媒的流出端32，流入端31和流出端32均由冷阱倉(cāng)體2的內(nèi)部向外部延伸出。通過(guò)冷媒在制冷盤(pán)管3中循環(huán)流動(dòng)，可以保證制冷盤(pán)管3的表面一直維持在超低溫，從而能夠有效地奪取水蒸氣，實(shí)現(xiàn)快速抽真空和滿足高的真空度要求。
[0021]調(diào)整機(jī)構(gòu)4設(shè)于冷阱倉(cāng)體2的內(nèi)部，該調(diào)整機(jī)構(gòu)4包括氣缸41、設(shè)于氣缸41內(nèi)部的柱塞42和一端與柱塞42通過(guò)螺栓固定相連的連桿43，該連桿43的另一端與蓋體22通過(guò)螺栓固定相連，氣缸41固定在本體21上。柱塞42和連桿43相連的一側(cè)與氣缸41圍成第一氣腔451，另一側(cè)與氣缸41圍成第二氣腔452，冷阱倉(cāng)體2上設(shè)有第一進(jìn)氣管51和第二進(jìn)氣管52，該第一氣腔451與第一進(jìn)氣管51相連通，該第二氣腔452與第二進(jìn)氣管52相連通，通過(guò)第一進(jìn)氣管51和第二進(jìn)氣管52，可以為相應(yīng)的第一氣腔451和第二氣腔452提供所需的氣壓。
[0022]抽真空管6的一端與冷阱倉(cāng)體2的內(nèi)腔相連通，另一端與真空泵相連。正常工作時(shí)，與抽真空管6相連的真空泵能夠?yàn)槔溱鍌}(cāng)體2和真空倉(cāng)體I的腔室中的氣流提供牽引力，即提供抽真空的動(dòng)力。當(dāng)多次捕集水蒸氣后，制冷盤(pán)管3的表層的霜層到達(dá)一定厚度，即影響到抽真空效率時(shí)，通過(guò)加熱除霜裝置對(duì)制冷盤(pán)管3進(jìn)行加熱，除去其表面的霜層，使其變?yōu)樗?，并且通過(guò)設(shè)于冷阱倉(cāng)體2上的抽真空管6，可以將冷阱倉(cāng)體2中的水汽及時(shí)抽出，即實(shí)現(xiàn)給制冷盤(pán)管3的除霜，這樣本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)又可以高效的捕集水蒸氣，且可以持續(xù)多次不用再進(jìn)行除霜操作，直到制冷盤(pán)管3表面的冰層到達(dá)一定厚度。
[0023]本實(shí)施例中真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的數(shù)量可以一個(gè)或多個(gè)，其可以安裝在相應(yīng)真空涂覆設(shè)備的任何位置，保證當(dāng)蓋體22和本體21分離時(shí)，真空倉(cāng)體I和冷阱倉(cāng)體2的腔室相連通即可。
[0024]當(dāng)使用本實(shí)施例中真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的真空涂覆設(shè)備的真空倉(cāng)體I關(guān)門(mén)抽真空時(shí)，如圖3所示，通過(guò)第二進(jìn)氣管52向第二氣腔452中通入高壓空氣，此時(shí)柱塞42被推動(dòng)向上運(yùn)動(dòng)，與柱塞42相連的連桿43會(huì)向上推動(dòng)蓋體22運(yùn)動(dòng)，即調(diào)整機(jī)構(gòu)4控制蓋體22與本體21分離，此時(shí)冷阱倉(cāng)體2的腔室與真空倉(cāng)體I的腔室相連通，制冷盤(pán)管3超低溫表面能夠有效地奪取腔室中的水蒸氣，從而實(shí)現(xiàn)真空倉(cāng)體I的真空腔室被快速抽真空。
[0025]當(dāng)使用本實(shí)施例中真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的真空涂覆設(shè)備的真空倉(cāng)體I需要開(kāi)門(mén)取出成品時(shí)，通過(guò)第一進(jìn)氣管51向第一氣腔451中通入高壓空氣，此時(shí)柱塞42被推動(dòng)向下運(yùn)動(dòng)，與柱塞42相連的連桿43會(huì)向下拉動(dòng)蓋體22運(yùn)動(dòng)，即調(diào)整機(jī)構(gòu)4控制蓋體22與本體21氣密封配合，此時(shí)冷阱倉(cāng)體2的腔室與真空倉(cāng)體I的腔室斷開(kāi)連通，因此可以直接打開(kāi)真空倉(cāng)體I的倉(cāng)門(mén)，而不需要每次開(kāi)門(mén)前都需要有加熱除霜裝置對(duì)制冷盤(pán)管3進(jìn)行加熱。
[0026]一般真空涂覆設(shè)備的真空腔室中的水蒸氣主要來(lái)自外界空氣，其含量相對(duì)較少，采用本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，能夠保證制冷盤(pán)管3經(jīng)過(guò)多次捕集水蒸氣后，其表面的霜層較薄，即其表面仍然維持在超低溫，能夠有效的捕集真空腔室中的水蒸氣。在本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)經(jīng)過(guò)多次循環(huán)工作后，其表面的冰層到達(dá)一定厚度時(shí)，即制冷盤(pán)管3不能夠有效的捕集真空腔室中的水蒸氣時(shí)，首先通過(guò)調(diào)整機(jī)構(gòu)4控制蓋體22與本體21處于氣密封狀態(tài)，再通過(guò)加熱除霜裝置對(duì)制冷盤(pán)管3進(jìn)行加熱，除去其表面的霜層，讓其變?yōu)樗?，同時(shí)打開(kāi)與抽真空管6的真空泵，讓制冷盤(pán)管3表面形成的水汽從抽真空管6中排出，此時(shí)可以實(shí)現(xiàn)給制冷盤(pán)管3的除霜，這樣本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)又可以高效的捕集水蒸氣，且可以持續(xù)多次不用再進(jìn)行除霜操作，直到制冷盤(pán)管3表面的冰層到達(dá)一定厚度。當(dāng)真空涂覆設(shè)備上只設(shè)有一個(gè)本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)時(shí)，該捕水機(jī)構(gòu)進(jìn)行除霜操作可以與從真空倉(cāng)體I中取出成品操作同步，如此不需要為除霜操作花費(fèi)額外的時(shí)間，可以提高工作效率；當(dāng)真空涂覆設(shè)備上設(shè)有多個(gè)本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)時(shí)，可以多個(gè)捕水機(jī)構(gòu)交替除霜，如此即可以保證捕水效率，也可以提高工作效率。綜上所述，本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)避免了每次真空倉(cāng)體I開(kāi)門(mén)前都需要進(jìn)行加熱除霜操作，節(jié)約了生產(chǎn)時(shí)間同時(shí)也降低了產(chǎn)能的消耗。
[0027]圖4給出了本實(shí)用新型真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的另一個(gè)實(shí)施例，該實(shí)施例中，真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)與第一個(gè)實(shí)施例中不同的是:其調(diào)整機(jī)構(gòu)4包括氣缸41、設(shè)于氣缸41內(nèi)部的柱塞42和一端與柱塞42通過(guò)螺栓固定相連的連桿43,該連桿43的另一端與蓋體22通過(guò)螺栓固定相連，氣缸41與本體21為一體成型結(jié)構(gòu)。柱塞42與連桿43相連的一側(cè)設(shè)有彈簧44,另一側(cè)與氣缸41圍成氣腔45,該彈簧44與連桿43套接,彈簧44的一端與柱塞42相連，另一端與氣缸41的內(nèi)壁相連，冷阱倉(cāng)體2上設(shè)有進(jìn)氣管5，氣腔45與進(jìn)氣管5相連通，通過(guò)進(jìn)氣管5可以為氣腔45提供所需的氣壓。
[0028]該實(shí)施例與第一個(gè)實(shí)施例中的其它部分的結(jié)構(gòu)相同，它同樣能夠?qū)崿F(xiàn)相同的技術(shù)效果。
[0029]當(dāng)使用本實(shí)施例中真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的真空涂覆設(shè)備的真空倉(cāng)體I關(guān)門(mén)抽真空時(shí)，如圖4所示，通過(guò)進(jìn)氣管5向第二氣腔45中通入高壓空氣，此時(shí)柱塞42被推動(dòng)向上運(yùn)動(dòng)，與柱塞42相連的連桿43會(huì)向上推動(dòng)蓋體22運(yùn)動(dòng)，即調(diào)整機(jī)構(gòu)4控制蓋體22與本體21分離，此時(shí)冷阱倉(cāng)體2的腔室與真空倉(cāng)體I的腔室相連通，制冷盤(pán)管3超低溫表面能夠有效地奪取腔室中的水蒸氣，從而實(shí)現(xiàn)真空倉(cāng)體I的真空腔室被快速抽真空。
[0030]當(dāng)使用本實(shí)施例中真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)的真空涂覆設(shè)備的真空倉(cāng)體I需要開(kāi)門(mén)取出成品時(shí)，氣腔45通過(guò)進(jìn)氣管5與低壓空氣相連通，此時(shí)在彈簧44的回復(fù)力作用下，柱塞42被推動(dòng)向下運(yùn)動(dòng)，與柱塞42相連的連桿43會(huì)向下拉動(dòng)蓋體22運(yùn)動(dòng)，即調(diào)整機(jī)構(gòu)4控制蓋體22與本體21氣密封配合，此時(shí)冷阱倉(cāng)體2的腔室與真空倉(cāng)體I的腔室斷開(kāi)連通，因此可以直接打開(kāi)真空倉(cāng)體I的倉(cāng)門(mén)，而不需要每次開(kāi)門(mén)前都需要有加熱除霜裝置對(duì)制冷盤(pán)管3進(jìn)行加熱。
[0031]以上僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括固定在真空倉(cāng)體(I)上的冷阱倉(cāng)體(2)、設(shè)于冷阱倉(cāng)體(2)內(nèi)部的制冷盤(pán)管(3)和與冷阱倉(cāng)體(2)相連的調(diào)整機(jī)構(gòu)(4)，所述冷阱倉(cāng)體(2)包括本體(21)和與本體(21)相匹配的蓋體(22)，所述蓋體(22)位于真空倉(cāng)體Cl)的內(nèi)部，所述蓋體(22)與調(diào)整機(jī)構(gòu)(4)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述制冷盤(pán)管(3)為螺旋狀，其一端為冷媒的流入端(31)，另一端為冷媒的流出端(32)，所述流入端(31)和流出端(32)均由冷阱倉(cāng)體(2)的內(nèi)部向外部延伸出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)(4)設(shè)于冷阱倉(cāng)體(2)內(nèi)部，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)(4)包括氣缸(41)、設(shè)于氣缸(41)內(nèi)部的柱塞(42)和一端與柱塞(42)相連的連桿(43)，所述連桿(43)的另一端與蓋體(22)相連，所述氣缸(41)固定在本體(21)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述柱塞(42)與連桿(43)相連的一側(cè)設(shè)有彈簧(44),另一側(cè)與氣缸(41)圍成氣腔(45),所述彈簧(44)與連桿(43)套接，所述彈簧(44)的一端與柱塞(42)相連，另一端與氣缸(41)的內(nèi)壁相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括進(jìn)氣管(5)，所述進(jìn)氣管(5)與氣腔(45)相連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述柱塞(42)和連桿(43)相連的一側(cè)與氣缸(41)圍成第一氣腔(451)，另一側(cè)與氣缸(41)圍成第二氣腔(452)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括第一進(jìn)氣管(51)和第二進(jìn)氣管(52)，所述第一進(jìn)氣管(51)與第一氣腔(451)相連通，所述第二進(jìn)氣管(52)與第二氣腔(452)相連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括抽真空管(6)，所述抽真空管(6)與冷阱倉(cāng)體(2)的內(nèi)腔相連通。
9.根據(jù)權(quán)利要求1?8任一項(xiàng)所述的真空涂覆設(shè)備的捕水機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述蓋體(22)的周圍設(shè)有密封圈(221)。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK203668509SQ201420020266
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年1月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月13日
【發(fā)明者】劉雙良, 雷志缽 申請(qǐng)人:東莞市華星納米科技有限公司