一種密封性能優(yōu)良的類金剛石膜涂層室的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及了一種密封性能優(yōu)良的類金剛石膜涂層室，其設(shè)有一密封裝置，所述密封裝置包括密封基體、升降式爐門、導(dǎo)向軌道、操作桿，所述密封基體上設(shè)有導(dǎo)向軌道，所述升降式爐門上端與操作桿相連，所述升降式爐門與所述密封基體接觸處形成楔式密封配合。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊、操作靈活可靠、密封效果好。
【專利說明】一種密封性能優(yōu)良的類金剛石膜涂層室
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種類金剛石膜涂層設(shè)備，特別是涉及一種密封性能優(yōu)良的類金剛石膜涂層室。
【背景技術(shù)】
[0002]在工件表面制作類金剛石膜的過程中，首先需要將類金剛石膜涂層設(shè)備的涂層室抽取真空，然后輸入一定比例和壓力的氬氣、甲烷、氫氣等反應(yīng)氣體，這就要求涂層室必須具備良好的密封性能，否則會影響類金剛石膜涂層的鍍膜質(zhì)量。類金剛石膜涂層室的密封性關(guān)鍵在于工件進(jìn)料用的涂層室爐門的密封性?，F(xiàn)有的涂層室爐門經(jīng)常為活動鉸鏈?zhǔn)絾伍_門，這種爐門結(jié)構(gòu)靠密封條來密封，存在不耐高溫、容易老化、密封效果差的缺點，而且不便于自動操作。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、操作靈活可靠、密封效果良好的類金剛石膜涂層室。
[0004]本實用新型是通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)的:一種密封性能優(yōu)良的類金剛石膜涂層室，其特征在于:在涂層室的進(jìn)料口設(shè)有一密封裝置，所述密封裝置包括密封基體、升降式爐門、導(dǎo)向軌道、操作桿，所述密封基體焊接在涂層室的進(jìn)料口，所述密封基體上設(shè)有導(dǎo)向軌道，所述升降式爐門上端與操作桿相連，所述升降式爐門兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向耳，所述導(dǎo)向耳與導(dǎo)向軌道形成滑動配合，所述升降式爐門為楔形，與所述密封基體接觸處形成楔式雙面密封結(jié)構(gòu)，雙面密封的楔角范圍為3-8°。
[0005]本實用新型的升降式爐門可沿導(dǎo)向軌道上下滑動，實現(xiàn)爐門的啟閉運動，關(guān)閉時由于楔角的存在，升降式爐門與密封基體配合越關(guān)越緊，實現(xiàn)良好密封。開啟時，升降式爐門與密封基體的密封面快速分離，由于導(dǎo)向軌道對升降式爐門的引導(dǎo)，使升降式爐門可穩(wěn)定的停留于任意開度。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊、運行靈活、密封可靠、使用壽命長，而且特別適合于高溫場合使用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1是本實用新型的主視圖。
[0007]圖2是本實用新型的左視圖。
[0008]附圖中:I—密封基體，2—升降式爐門，3—操作桿，4一導(dǎo)向軌道，5—導(dǎo)向耳，6—填料，7一填料壓蓋，8一涂層室。
【具體實施方式】
[0009]如圖1、圖2所示，一種密封性能優(yōu)良的類金剛石膜涂層室，其特征在于:在涂層室的進(jìn)料口設(shè)有一密封裝置，所述密封裝置包括密封基體1、導(dǎo)向軌道4、升降式爐門2、操作桿3。
[0010]密封基體I焊接在涂層室8的進(jìn)料口，所述密封基體I上設(shè)有導(dǎo)向軌道4。升降式爐門2上端與操作桿3相連，操作桿3與密封基體I上部配合處設(shè)有填料6和填料壓蓋7。所述操作桿3采用絲桿結(jié)構(gòu)，并通過絲桿螺母與步進(jìn)電機相連，可自動控制升降式爐門2的開閉。
[0011]升降式爐門2的兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向耳5，所述導(dǎo)向耳5與導(dǎo)向軌道4形成滑動配合。升降式爐門2為楔形，與密封基體I接觸處形成楔式雙面密封結(jié)構(gòu)，雙面密封的楔角范圍為3-8°。導(dǎo)向軌道4采用不銹鋼、合金鋼等防腐耐磨材料，在導(dǎo)向耳5的內(nèi)表面上采用堆焊、鑲嵌或螺紋連接等形式襯入耐磨材料，使導(dǎo)向軌道4與導(dǎo)向耳5形成靈活、可靠的滑動導(dǎo)向機構(gòu)。
[0012]關(guān)閉時由于楔角a的存在，升降式爐門2與密封基體I配合越關(guān)越緊，實現(xiàn)良好密封，楔角a的范圍為3-8°。開啟時，升降式爐門2與密封基體I的密封面快速分離，由于導(dǎo)向軌道4通過升降式爐門2上的圓孔導(dǎo)向耳5對其進(jìn)行引導(dǎo)，使升降式爐門2可穩(wěn)定的停留于任意開度，實現(xiàn)良好的控制。
【權(quán)利要求】
1.一種密封性能優(yōu)良的類金剛石膜涂層室，其特征在于:在涂層室的進(jìn)料口設(shè)有一密封裝置，所述密封裝置包括密封基體、升降式爐門、導(dǎo)向軌道、操作桿，所述密封基體焊接在涂層室的進(jìn)料口，所述密封基體上設(shè)有導(dǎo)向軌道，所述升降式爐門上端與操作桿相連，所述升降式爐門兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向耳，所述導(dǎo)向耳與導(dǎo)向軌道形成滑動配合，所述升降式爐門為楔形，與所述密封基體接觸處形成楔式雙面密封結(jié)構(gòu)，雙面密封的楔角范圍為3-8°。
【文檔編號】C23C16/27GK203700515SQ201420081752
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2014年2月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月26日
【發(fā)明者】陳遠(yuǎn)達(dá), 王勝云, 何靜 申請人:湖南中航超強金剛石膜高科技有限公司