高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器的制造方法
【專利摘要】高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器，涉及一種半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料高純砷的上產(chǎn)用還原反應(yīng)設(shè)備。包括升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段，所述升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段依次密封連接且相互連通，升華段的開始端設(shè)置進(jìn)氣口，在產(chǎn)品段的末端設(shè)置出氣口，出氣口通過管道連接至尾氣瓶，升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段分別包括爐體，在各爐體外分別由內(nèi)而外設(shè)置爐瓦、保溫層，在爐瓦內(nèi)設(shè)置爐絲，在相鄰兩個(gè)爐體的連接處分別設(shè)置活動(dòng)保溫套，在升華段的爐體內(nèi)設(shè)置三氧化二鋁陶瓷舟，在產(chǎn)品段爐體的內(nèi)壁上設(shè)置石英瓦，在反應(yīng)段的爐體內(nèi)設(shè)置螺旋設(shè)置的盤管反應(yīng)器。通過在反應(yīng)段設(shè)置螺旋石英盤管，使得反應(yīng)形成邊長(zhǎng)，還原反應(yīng)更為充分，可有效保障還原轉(zhuǎn)化率，使得白砷全部還原成單質(zhì)砷。
【專利說明】高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種非金屬材料的工業(yè)化提純的生產(chǎn)技術(shù)，特別涉及一種半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料聞純神的上廣用還原反應(yīng)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前高純砷的生產(chǎn)方法有氯化精餾法、鉛熔池升華法和砷化氫裂解法，精制白砷還原升華法。以上方法除砷化氫裂解法無需還原外，其他方法都需設(shè)置還原裝置。
[0003]鉛熔池升華法存在質(zhì)量不能達(dá)標(biāo)；砷化氫裂解法存在砷化氫毒氣泄漏，氯化法存在氯氣和氯化氫泄露的安全隱患。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型目的在于提供一種用于高純砷生產(chǎn)的還原反應(yīng)器。
[0005]本發(fā)明包括升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段，所述升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段依次密封連接且相互連通，所述升華段的開始端設(shè)置進(jìn)氣口，在所述產(chǎn)品段的末端設(shè)置出氣口，所述出氣口通過管道連接至尾氣瓶，所述升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段分別包括爐體，在所述各爐體外分別由內(nèi)而外設(shè)置爐瓦、保溫層，在所述爐瓦內(nèi)設(shè)置爐絲，在所述相鄰兩個(gè)爐體的連接處分別設(shè)置活動(dòng)保溫套，在所述升華段的爐體內(nèi)設(shè)置三氧化二鋁陶瓷舟，在所述產(chǎn)品段爐體的內(nèi)壁上設(shè)置石英瓦，在所述反應(yīng)段的爐體內(nèi)設(shè)置螺旋設(shè)置的盤管反應(yīng)器。
[0006]本實(shí)用新型操作時(shí)，事先向升華段三氧化二鋁陶瓷舟內(nèi)置入白砷，通入惰性氣體排除空氣，然后通氫氣并逐漸升溫，升華段溫度控制在350-40(TC，反應(yīng)段溫度控制在800-1000°C，產(chǎn)品段溫度控制在300-350°C ;通過在反應(yīng)段設(shè)置螺旋石英盤管，使得反應(yīng)形成邊長(zhǎng)，還原反應(yīng)更為充分，可有效保障還原轉(zhuǎn)化率，使得白砷全部還原成單質(zhì)砷。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]如圖1所示，本高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器，包括升華段1、反應(yīng)段2、產(chǎn)品段3，升華段
1、反應(yīng)段2、產(chǎn)品段3依次密封連接且相互連通，升華段I的開始端設(shè)置進(jìn)氣口 4，在產(chǎn)品段3的末端設(shè)置出氣口 5，出氣口 5通過管道連接至尾氣瓶6，升華段1、反應(yīng)段2、產(chǎn)品段3分別包括爐體7-1、7-2、7-3，在各爐體7-1、7-2、7-3外分別由內(nèi)而外設(shè)置爐瓦8、保溫層9，在爐瓦8內(nèi)設(shè)置爐絲10，在相鄰兩個(gè)爐體的連接處分別設(shè)置活動(dòng)保溫套11，在升華段I的爐體7-1內(nèi)設(shè)置三氧化二鋁陶瓷舟12，在產(chǎn)品段3爐體7-3的內(nèi)壁上設(shè)置石英瓦13，在反應(yīng)段2的爐體內(nèi)設(shè)置螺旋設(shè)置的盤管反應(yīng)器14。
【權(quán)利要求】
1.高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器，其特征在于包括升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段，所述升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段依次密封連接且相互連通，所述升華段的開始端設(shè)置進(jìn)氣口，在所述產(chǎn)品段的末端設(shè)置出氣口，所述出氣口通過管道連接至尾氣瓶，所述升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段分別包括爐體，在所述各爐體外分別由內(nèi)而外設(shè)置爐瓦、保溫層，在所述爐瓦內(nèi)設(shè)置爐絲，在所述相鄰兩個(gè)爐體的連接處分別設(shè)置活動(dòng)保溫套，在所述升華段的爐體內(nèi)設(shè)置三氧化二鋁陶瓷舟，在所述產(chǎn)品段爐體的內(nèi)壁上設(shè)置石英瓦，在所述反應(yīng)段的爐體內(nèi)設(shè)置螺旋設(shè)置的盤管反應(yīng)器。
【文檔編號(hào)】C22B30/04GK203782210SQ201420136464
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年3月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月25日
【發(fā)明者】李顯坪, 陳琦, 劉彩玫, 潘晉, 高義, 李金
申請(qǐng)人:揚(yáng)州中天利新材料股份有限公司