一種蒸汽輸送mo源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，設(shè)置MO源儲(chǔ)存罐往MO源鋼瓶充MO源氣，兩個(gè)裝置都有液位探頭，MO源儲(chǔ)存罐加熱，MO源鋼瓶恒溫，MO源儲(chǔ)罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫；當(dāng)MO源鋼瓶液位高時(shí)，便直接從MO源鋼瓶?jī)?nèi)輸出MO源；當(dāng)MO源鋼瓶處于低液位時(shí)，便采用MO源儲(chǔ)存罐向MO源鋼瓶輸送MO源，再?gòu)腗O源鋼瓶輸出MO源，可連續(xù)使用；本系統(tǒng)通過(guò)在MO源儲(chǔ)存罐和MO源鋼瓶增加液位探頭，滿(mǎn)足了MO源監(jiān)控計(jì)量問(wèn)題；通過(guò)MO源鋼瓶可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲(chǔ)罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，整個(gè)過(guò)程只需要根據(jù)MO源鋼瓶液位控制切換使用模式，適用于MO源供應(yīng)中。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及M0源的供應(yīng)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)。 一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)

【背景技術(shù)】
[0002] M0源為高純金屬有機(jī)化合物，或叫化合物半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料，是先進(jìn)的金屬有機(jī) 化學(xué)氣相沉積（簡(jiǎn)稱(chēng)M0CVD)、金屬有機(jī)分子束外延（簡(jiǎn)稱(chēng)Μ0ΜΒΕ)等技術(shù)生長(zhǎng)半導(dǎo)體微結(jié) 構(gòu)材料的支撐材料，其優(yōu)異的電學(xué)、光學(xué)和磁學(xué)等性能，可將半導(dǎo)體和集成電路推向更高的 頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r是衡量一 個(gè)國(guó)家電子信息技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。在我國(guó)M0源已被大量用于LED、太陽(yáng)能電池、 航空航天技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域，是一項(xiàng)高新材料生產(chǎn)技術(shù)。隨著M0CVD (金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積 技術(shù)）外延技術(shù)發(fā)展，設(shè)備大型化已經(jīng)成為必然趨勢(shì)，隨之而來(lái)的原材料供應(yīng)問(wèn)題越來(lái)越突 出。M0源（金屬有機(jī)化合物）作為其中最重要的原材料，持續(xù)穩(wěn)定的M0供應(yīng)是提高M(jìn)0CVD 設(shè)備使用效率的重要手段。
[0003] 現(xiàn)如今的M0源使用方法：M0源在使用時(shí)需要保持恒溫（±0. 1 °C )，恒壓 (±ltorr)，穩(wěn)定氣體流量（±lsccm)，M0源存儲(chǔ)在鋼瓶(一般稱(chēng)為鼓泡器）中，惰性氣體(一 般用氫氣或者氮?dú)猓┩ㄟ^(guò)深入鋼瓶?jī)?nèi)部的管道進(jìn)入鼓泡器中，經(jīng)過(guò)M0源時(shí)產(chǎn)生鼓泡效應(yīng)， M0源在鼓泡過(guò)程中大量蒸發(fā)，形成M0源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來(lái)，這樣的供應(yīng) 方式在鼓泡器中M0源消耗完后，需要將鼓泡器拆卸并更換1個(gè)新的鼓泡器。由于M0源具 有可燃性和遇空氣自燃的特性，因此鼓泡器拆裝過(guò)程需要對(duì)管道系統(tǒng)進(jìn)行充分置換，并且 需要對(duì)管道接頭進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。操作過(guò)程繁瑣，持續(xù)時(shí)間較長(zhǎng)，且操作不當(dāng)會(huì)有著火等風(fēng) 險(xiǎn)；更換新的鼓泡器后，需要在恒溫水浴槽中進(jìn)行充分的熱交換，需要較長(zhǎng)時(shí)間才能夠使鼓 泡器的溫度達(dá)到恒定，鼓泡器中M0源沒(méi)有計(jì)量和監(jiān)控設(shè)備，無(wú)法準(zhǔn)確判斷殘余量。因此解 決上述問(wèn)題就顯得十分必要了。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 本實(shí)用新型提供一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，通過(guò)設(shè)置M0源儲(chǔ)存罐往M0源 鋼瓶充M0源氣，兩個(gè)裝置都設(shè)置有液位探頭，M0源儲(chǔ)存罐加熱，M0源鋼瓶恒溫，M0源儲(chǔ)罐 溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫；當(dāng)M0源鋼瓶液位高時(shí)，便直接從M0 源鋼瓶?jī)?nèi)輸出M0源；當(dāng)M0源鋼瓶處于低液位時(shí)，便采用M0源儲(chǔ)存罐向M0源鋼瓶輸送M0 源，再?gòu)腗0源鋼瓶輸出M0源，可連續(xù)使用，解決了【背景技術(shù)】中出現(xiàn)的問(wèn)題。
[0005] 本實(shí)用新型的目的是提供一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，包括兩個(gè)M0源儲(chǔ)存 罐，一個(gè)正常使用、另一個(gè)備用，還有M0源鋼瓶，在兩個(gè)M0源儲(chǔ)存罐上左側(cè)設(shè)置帶有進(jìn)氣閥 門(mén)的進(jìn)氣管、右側(cè)設(shè)置帶有出氣閥門(mén)的出氣管；在兩個(gè)M0源儲(chǔ)存罐內(nèi)都設(shè)置有液位探頭探 測(cè)液位、外部都設(shè)置有有加熱包對(duì)M0源儲(chǔ)存罐進(jìn)行加熱；同時(shí)還在兩個(gè)M0源儲(chǔ)存罐的進(jìn)氣 管上還設(shè)置有總進(jìn)氣管，出氣管上設(shè)置有總出氣管，在總出氣管上設(shè)置有至少3個(gè)分支氣 管連接在底部外設(shè)置有恒溫水浴槽M0源鋼瓶上，M0源鋼瓶頂部也設(shè)置有液位探頭探測(cè)液 位；MO源鋼瓶頂部右側(cè)設(shè)置有出源管。
[0006] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：在分支氣管上設(shè)置有流量控制器控制氣體流量，出源管上設(shè)置 壓力控制器控制壓力。
[0007] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：在總進(jìn)氣管上第一分支氣管的左側(cè)設(shè)置第二分支氣管進(jìn)高純載 氣，第二分支氣管連接在第一分支氣管上，流量控制器在，第二分支氣管的后面，在第一分 支氣管和第二分支氣管上均設(shè)置有控制閥門(mén)控制閥門(mén)的開(kāi)啟進(jìn)氣。
[0008] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：在第一分支氣管上流量控制器下的右側(cè)設(shè)置有第三分支氣管， 第三分支氣管連接在出源管上，這樣第一分支氣管和第二分支氣管來(lái)的氣體直接出去，第 三分支氣管上設(shè)置有控制閥門(mén)。
[0009] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：在第一分支氣管上位于第三分支氣管下從上到下依次設(shè)置有控 制閥門(mén)和支管進(jìn)氣閥門(mén)，出源管上位于第三分支氣管下設(shè)置有兩個(gè)出源閥門(mén)。
[0010] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：在M0源鋼瓶上的液位探頭以及控制閥門(mén)均連接有PLC控制器控 制它們的開(kāi)啟關(guān)閉。
[0011] 本實(shí)用新型的有益效果：本系統(tǒng)通過(guò)在M0源儲(chǔ)存罐和M0源鋼瓶增加液位探頭，滿(mǎn) 足了 M0源監(jiān)控計(jì)量問(wèn)題，客戶(hù)可以直觀的了解到M0源的使用現(xiàn)狀；通過(guò)設(shè)備自帶的M0源 鋼瓶(低溫恒溫鼓泡器）可以有效控制M0源蒸汽濃度，因此M0源儲(chǔ)罐溫度只要高于低溫鼓 泡器溫度即可，不需要精確控溫，整個(gè)過(guò)程只需要根據(jù)M0源鋼瓶(低溫恒溫鼓泡器）液位控 制切換使用模式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程一直保持持續(xù)供源，因此沒(méi)有M0源恒溫的問(wèn)題， 適用于M0源供應(yīng)中。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012] 圖1是本實(shí)用新型的示意圖。
[0013] 其中：1_第一 M0源儲(chǔ)存罐，2-第二M0源儲(chǔ)存罐，3-M0源鋼瓶，4-高純載氣進(jìn)氣 管，5-高純載氣出氣管，6-進(jìn)氣閥門(mén)，7-出氣閥門(mén)，8-液位探頭，9-加熱包，10-總進(jìn)氣管， 11-總出氣管，12-第一分支氣管，13-恒溫水浴槽，14-出源管，15-流量控制器，16-壓力控 制器，17-第二分支氣管，18-控制閥門(mén)，19-第三分支氣管，20-支管進(jìn)氣閥門(mén)，21-出源閥 門(mén)，22-PLC控制器。

【具體實(shí)施方式】
[0014] 為了加深對(duì)本實(shí)用新型的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述， 該實(shí)施例僅用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限定。
[0015] 如圖1所示，本實(shí)施例提供一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，包括有兩個(gè)儲(chǔ)存M0 源的第一 M0源儲(chǔ)存罐1和第二M0源儲(chǔ)存罐2,其中一個(gè)使用、另一個(gè)備用，還包括有M0源 鋼瓶3,在兩個(gè)M0源儲(chǔ)存罐上左側(cè)設(shè)置帶有進(jìn)氣閥門(mén)6的高純載氣進(jìn)氣管4、右側(cè)設(shè)置帶有 出氣閥門(mén)7的高純載氣出氣管5 ;在兩個(gè)M0源儲(chǔ)存罐內(nèi)都設(shè)置有液位探頭8探測(cè)液位、外部 都設(shè)置有有加熱包9對(duì)M0源儲(chǔ)存罐進(jìn)行加熱；同時(shí)還在兩個(gè)M0源儲(chǔ)存罐的高純載氣進(jìn)氣 管4上還設(shè)置有總進(jìn)氣管10,高純載氣出氣管5上設(shè)置有總出氣管11，在總出氣管11上設(shè) 置有3個(gè)第一分支氣管12連接在底部外設(shè)置有恒溫水浴槽13的M0源鋼瓶3上，M0源從 總出氣管11出來(lái)往M0源鋼瓶3內(nèi)輸送M0源，M0源鋼瓶3頂部也設(shè)置有液位探頭8探測(cè) 液位；MO源鋼瓶3頂部右側(cè)設(shè)置有出源管14, MO源從MO源鋼瓶3出來(lái)往MOCVD設(shè)備中輸 送；在第一分支氣管12上設(shè)置有流量控制器15控制氣體流量，出源管14上設(shè)置壓力控制 器16控制壓力。在總進(jìn)氣管11上第一分支氣管12的左側(cè)設(shè)置第二分支氣管17直接進(jìn)高 純載氣，第二分支氣管17連接在第一分支氣管12上，流量控制器15在第二分支氣管17的 后面，在第一分支氣管12和第二分支氣管17上均設(shè)置有控制閥門(mén)18控制氣體的進(jìn)氣。在 第一分支氣管12上流量控制器15下的右側(cè)設(shè)置有第三分支氣管19,第三分支氣管19連接 在出源管14上，這樣第一分支氣管12和第二分支氣管17來(lái)的氣體直接出去，在第三分支 氣管19上設(shè)置有控制閥門(mén)18。在第一分支氣管12上位于第三分支氣管19下從上到下依 次設(shè)置有控制閥門(mén)18和支管進(jìn)氣閥門(mén)20,出源管14上位于第三分支氣管19下設(shè)置有兩個(gè) 出源閥門(mén)21。在M0源鋼瓶3上的液位探頭8以及控制閥門(mén)18均連接有PLC控制器22控 制它們的開(kāi)啟關(guān)閉。本系統(tǒng)當(dāng)M0源鋼瓶3液位高時(shí)，便直接從M0源鋼瓶3內(nèi)輸出M0源； 當(dāng)M0源鋼瓶3處于低液位時(shí)，便采用M0源儲(chǔ)存罐向M0源鋼瓶3輸送M0源，再?gòu)腗0源鋼瓶 3輸出M0源，可連續(xù)使用；本系統(tǒng)通過(guò)在M0源儲(chǔ)存罐和M0源鋼瓶3增加液位探頭，滿(mǎn)足了 M0源監(jiān)控計(jì)量問(wèn)題，客戶(hù)可以直觀的了解到M0源的使用現(xiàn)狀；通過(guò)設(shè)備自帶的M0源鋼瓶3 (低溫恒溫鼓泡器)可以有效控制M0源蒸汽濃度，因此M0源儲(chǔ)存罐溫度只要高于M0源鋼瓶 3 (低溫鼓泡器溫度)即可，不需要精確控溫，整個(gè)過(guò)程只需要根據(jù)M0源鋼瓶3 (低溫恒溫鼓 泡器）液位控制切換使用模式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程一直保持持續(xù)供源，因此沒(méi)有M0源 恒溫的問(wèn)題，適用于M0源供應(yīng)中。
【權(quán)利要求】
1. 一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，包括有第一 MO源儲(chǔ)存罐（1 )、第二MO源儲(chǔ)存罐 (2) 和M0源鋼瓶（3)，其特征在于：所述第一 M0源儲(chǔ)存罐（1)和第二M0源儲(chǔ)存罐（2)上左 側(cè)垂直位置設(shè)置有高純載氣的進(jìn)氣管（4)、右側(cè)設(shè)置有高純載氣出氣管（5);高純載氣進(jìn)氣 管（4)在進(jìn)口處設(shè)置有進(jìn)氣閥門(mén)（6 )，高純載氣出氣管（4)在出口處設(shè)置有出氣閥門(mén)（7 );第 一 M0源儲(chǔ)存罐（1)和第二M0源儲(chǔ)存罐（2)內(nèi)頂部均設(shè)置有液位探頭（8)、外部包有加熱包 (9) ;所述第一 M0源儲(chǔ)存罐（1)和第二M0源儲(chǔ)存罐（2)的高純載氣進(jìn)氣管（4)上水平位置 設(shè)置總進(jìn)氣管（10)，高純載氣出氣管（5)上水平位置設(shè)置有總出氣管（11);總出氣管（11) 上設(shè)置有至少3個(gè)第一分支氣管（12)，第一分支氣管（12)連接著M0源鋼瓶（3)，M0源鋼瓶 (3) 底部外設(shè)置有恒溫水浴槽（13)、頂部也設(shè)置有液位探頭（8) ;M0源鋼瓶（3)頂部右側(cè)設(shè) 置有出源管（14)。
2. 如權(quán)利要求1所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣 管（12)上設(shè)置有流量控制器（15)，出源管（14)上末段設(shè)置有壓力控制器（16)。
3. 如權(quán)利要求1所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述總進(jìn)氣管 (10) 上在第一分支氣管（12)的左側(cè)設(shè)置有第二分支氣管（17)，第二分支氣管（17)連接在 位于流量控制器（15)前端的第一分支氣管（12)上，第一分支氣管（12)和第二分支氣管 (17)上均設(shè)置有控制閥門(mén)（18)。
4. 如權(quán)利要求2所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣 管（12)上流量控制器（15)下的右側(cè)設(shè)置有第三分支氣管（19)，第三分支氣管（19)連接在 出源管（14)上，第三分支氣管（19)上設(shè)置有控制閥門(mén)（18)。
5. 如權(quán)利要求4所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣 管（12)上位于第三分支氣管（19)下從上到下依次設(shè)置有控制閥門(mén)（18)和支管進(jìn)氣閥門(mén) (20)，出源管（14)上位于第三分支氣管（19)下設(shè)置有兩個(gè)出源閥門(mén)（21)。
6. 如權(quán)利要求3或4或5所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述M0 源鋼瓶（3)上的液位探頭（8)以及控制閥門(mén)（18)均連接有PLC控制器（22)。
【文檔編號(hào)】C23C16/448GK203846101SQ201420204340
【公開(kāi)日】2014年9月24日 申請(qǐng)日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請(qǐng)人:安徽亞格盛電子新材料有限公司