一種冷卻裝置拋光液的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種冷卻裝置拋光液，冷卻桶，所述冷卻桶為雙層結(jié)構(gòu)，所述雙層之間留有空隙，所述冷卻桶內(nèi)部設(shè)有冷卻金屬軟管，所述冷卻桶側(cè)面安裝有磁力泵，T型三通球閥與所述磁力泵連通，所述T型三通球閥上接口與過濾器連接，所述T型三通球閥側(cè)面安裝有拋光液回管，所述拋光液回管前端位于所述冷卻桶上方。本實(shí)用新型的有益效果為：結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，布局緊湊，易于實(shí)施，對拋光液的冷卻效果顯著等諸多優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】一種冷卻裝置拋光液

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種冷卻裝置拋光液。

【背景技術(shù)】
[0002]目前在拋光過程中采用的拋光液是分別加入了納米級磨料的酸性或堿性的化學(xué)液體。在化學(xué)反應(yīng)過程中具有熱了的釋放，從而造成溫度的上升，而溫度又是影響反應(yīng)速度的關(guān)鍵因素。在機(jī)械作用后將反應(yīng)物及時(shí)的去除，達(dá)到反應(yīng)速度和機(jī)械去除的合理，不能出現(xiàn)去除不徹底或是過量的機(jī)械作用造成晶圓劃傷現(xiàn)象的發(fā)生。所以拋光過程中的溫度控制是非常重要的。
[0003]現(xiàn)有的拋光液冷卻桶，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作不方便，冷卻效果不明顯，導(dǎo)致拋光液的溫差較大，容易造成晶圓的劃傷現(xiàn)象出現(xiàn)。因此需要一種操作簡單，溫控性能可靠的拋光液冷卻裝置拋光液。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]針對上述問題中存在的不足之處，本實(shí)用新型提供一種冷卻裝置拋光液。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種冷卻裝置拋光液，冷卻桶，所述冷卻桶為雙層結(jié)構(gòu)，所述雙層之間留有空隙，所述冷卻桶內(nèi)部設(shè)有冷卻金屬軟管，所述冷卻桶側(cè)面安裝有磁力泵，T型三通球閥與所述磁力泵連通，所述T型三通球閥上接口與過濾器連接，所述T型三通球閥側(cè)面安裝有拋光液回管，所述拋光液回管前端位于所述冷卻桶上方。
[0006]作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述冷卻金屬軟管后端安裝有進(jìn)水管，所述進(jìn)水管前端與所述冷卻桶外層下部連通，所述金屬軟管前端安裝有出水管，所述出水管前端與所述冷卻桶外層上部連通。
[0007]作為本實(shí)用新型優(yōu)選的，所述冷卻金屬軟管與所述進(jìn)水管、以及所述出水管為剛性連接或螺紋連接。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果為:結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，布局緊湊，易于實(shí)施，對拋光液的冷卻效果顯著等諸多優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型一種冷卻裝置拋光液的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中:1、冷卻桶；2、冷卻金屬軟管；3、磁力泵；4、T型三通球閥；5、過濾器；6、拋光液回管；7、進(jìn)水管；8、出水管。

【具體實(shí)施方式】
[0011]如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種冷卻裝置拋光液，冷卻桶1，所述冷卻桶I為雙層結(jié)構(gòu)，所述雙層之間留有空隙，所述冷卻桶I內(nèi)部設(shè)有冷卻金屬軟管2，所述冷卻桶I側(cè)面安裝有磁力泵3，T型三通球閥4與所述磁力泵3連通，所述T型三通球閥4上接口與過濾器5連接，所述T型三通球閥4側(cè)面安裝有拋光液回管6，所述拋光液回管6前端位于所述冷卻桶I上方。所述冷卻金屬軟管2后端安裝有進(jìn)水管7，所述進(jìn)水管7前端與所述冷卻桶I外層下部連通，所述金屬軟管2前端安裝有出水管8，所述出水管8前端與所述冷卻桶I外層上部連通，所述冷卻金屬軟管2與所述進(jìn)水管7、以及所述出水管8為剛性連接或螺紋連接。
[0012]具體使用時(shí):冷卻水通過管路通過冷卻桶和冷卻金屬軟管形成一個(gè)循環(huán)的冷卻回路，拋光液置于冷卻桶中，由冷卻桶和冷卻金屬軟管對其進(jìn)行熱交換，磁力泵拋光液對拋光液提供壓力，使其通過T型三通球閥，然后分成兩路，一路經(jīng)過過濾器輸入至拋光機(jī)中使用，另外一路流回冷卻桶，此回路是可以對T型三通球閥進(jìn)行調(diào)節(jié)來控制機(jī)器所需要的拋光液流量。
[0013]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種冷卻裝置拋光液，其特征在于，包括: 冷卻桶(I)，所述冷卻桶⑴為雙層結(jié)構(gòu)，所述雙層之間留有空隙，所述冷卻桶⑴內(nèi)部設(shè)有冷卻金屬軟管(2)，所述冷卻桶(I)側(cè)面安裝有磁力泵(3)，T型三通球閥(4)與所述磁力泵(3)連通，所述T型三通球閥(4)上接口與過濾器(5)連接，所述T型三通球閥(4)側(cè)面安裝有拋光液回管(6)，所述拋光液回管(6)前端位于所述冷卻桶(I)上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置拋光液，其特征在于:所述冷卻金屬軟管(2)后端安裝有進(jìn)水管(7)，所述進(jìn)水管(7)前端與所述冷卻桶(I)外層下部連通，所述金屬軟管(2)前端安裝有出水管(8)，所述出水管(8)前端與所述冷卻桶(I)外層上部連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷卻裝置拋光液，其特征在于:所述冷卻金屬軟管(2)與所述進(jìn)水管(7)、以及所述出水管(8)為剛性連接或螺紋連接。
【文檔編號】B24B55/00GK204195531SQ201420492932
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月27日
【發(fā)明者】岳偉, 毛可勇, 殷華林, 李海寧, 戴安娜, 伊蓮娟, 陳志嵩 申請人:常州貝斯塔德機(jī)械股份有限公司