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      一種硅棒拋光裝置制造方法

      文檔序號(hào):3335419閱讀:210來源:國(guó)知局
      一種硅棒拋光裝置制造方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅棒拋光裝置,包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和砂輪,所述砂輪螺接在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)軸上;還包括防護(hù)罩和冷水箱,所述防護(hù)罩為環(huán)形,其內(nèi)部設(shè)置有冷卻槽,所述冷卻槽內(nèi)側(cè)設(shè)有噴水孔,所述防護(hù)罩固定在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上;所述冷水箱通過管道與冷卻槽連通;所述砂輪為金剛石砂輪。本實(shí)用新型有效解決了硅棒上鋸痕、“鼓肚”等問題,且拋光過程中利用水冷卻,粉塵由水帶出,減少了對(duì)工作環(huán)境的污染。
      【專利說明】一種娃棒拋光裝置

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型涉及一種拋光裝置,特別是,涉及一種硅棒拋光裝置。

      【背景技術(shù)】
      [0002]在實(shí)際的工作中,稍有疏忽就會(huì)造成硅棒的切割質(zhì)量不好。主要分為:切割的硅棒表面有鋸痕;娃棒的尺寸出現(xiàn)中間“鼓肚”現(xiàn)象;斷線引起的局部硅棒形狀彎曲等。目前車間的毛刷式的砂輪已經(jīng)不能完全去除由于切割造成的鋸痕;對(duì)于“鼓肚”問題的硅棒,由于毛刷式的砂輪的拋光能力有限,不能把中間大的尺寸去除。急需一種具有更強(qiáng)研磨能力的拋光裝置。
      實(shí)用新型內(nèi)容
      [0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅棒拋光裝置,有效解決了硅棒上鋸痕、“鼓肚”等問題,且拋光過程中利用水冷卻,粉塵由水帶出,減少了對(duì)工作環(huán)境的污染。
      [0004]為解決上述問題,本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下:
      [0005]一種硅棒拋光裝置,包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和砂輪,所述砂輪螺接在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)軸上;還包括防護(hù)罩和冷水箱,所述防護(hù)罩為環(huán)形,其內(nèi)部設(shè)置有冷卻槽,所述冷卻槽內(nèi)側(cè)設(shè)有噴水孔,所述防護(hù)罩固定在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上;所述冷水箱通過管道與冷卻槽連通;所述砂輪為金剛石砂輪。
      [0006]優(yōu)選的,所述防護(hù)罩為截面呈“凹”形的環(huán)形防護(hù)罩,所述防護(hù)罩端面內(nèi)徑不大于砂輪直徑。
      [0007]優(yōu)選的,所述防護(hù)罩通過螺栓固定在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上。
      [0008]優(yōu)選的,所述噴水孔均勻設(shè)置在冷卻槽內(nèi)側(cè)。
      [0009]優(yōu)選的,所述防護(hù)罩為金屬防護(hù)罩。
      [0010]優(yōu)選的,所述防護(hù)罩底端設(shè)置有供冷卻水流出的開口。
      [0011]相比現(xiàn)有技術(shù),本實(shí)用新型的有益效果在于:
      [0012]1、本實(shí)用新型有效解決了硅棒上鋸痕、“鼓肚”等問題,且拋光過程中利用水冷卻,粉塵由水帶出,減少了對(duì)工作環(huán)境的污染;
      [0013]2、本實(shí)用新型利用“凹”形的環(huán)形防護(hù)罩將砂輪完全保護(hù),使得砂輪高速旋轉(zhuǎn)時(shí)冷卻水全部封閉在環(huán)形防護(hù)罩內(nèi),避免水滴飛濺對(duì)生產(chǎn)造成的影響。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0014]圖1為本實(shí)用新型硅棒拋光裝置結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0015]圖2為本實(shí)用新型中防護(hù)罩結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0016]其中,I為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),2為砂輪,3為防護(hù)罩,301為冷卻槽,302為噴水孔,4為冷水箱。

      【具體實(shí)施方式】
      [0017]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
      [0018]如圖1、2所示,為硅棒拋光裝置,包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)I和砂輪2,砂輪2螺接在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)I的驅(qū)動(dòng)軸上;還包括防護(hù)罩3和冷水箱4,防護(hù)罩3為環(huán)形,其內(nèi)部設(shè)置有冷卻槽301,冷卻槽301內(nèi)側(cè)設(shè)有噴水孔302,防護(hù)罩3固定在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)I上;冷水箱4通過管道與冷卻槽301連通;砂輪2為金剛石砂輪。
      [0019]在一個(gè)具體實(shí)施例中,硅棒拋光裝置,包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)I和砂輪2,砂輪2螺接在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)I的驅(qū)動(dòng)軸上;還包括防護(hù)罩3和冷水箱4,防護(hù)罩3為截面呈“凹”形的環(huán)形金屬防護(hù)罩,防護(hù)罩3端面內(nèi)徑不大于砂輪直徑環(huán)形,其內(nèi)部設(shè)置有冷卻槽301,冷卻槽301內(nèi)側(cè)均勻設(shè)有噴水孔302,防護(hù)罩3通過螺栓固定在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)I上;冷水箱4通過管道與冷卻槽301連通;砂輪2為金剛石砂輪;防護(hù)罩3底端還設(shè)置有供冷卻水流出的開口。
      [0020]使用時(shí),驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)I開啟,砂輪2高速旋轉(zhuǎn),冷水箱4開始供水,冷卻水從冷水箱4經(jīng)管道流入冷卻槽301,然后經(jīng)過噴水孔302噴灑在砂輪2上為砂輪2降溫。
      [0021]對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思,做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變,而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種硅棒拋光裝置,包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(I)和砂輪(2),所述砂輪(2)螺接在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(I)的驅(qū)動(dòng)軸上;其特征在于,還包括防護(hù)罩(3)和冷水箱(4),所述防護(hù)罩(3)為環(huán)形,其內(nèi)部設(shè)置有冷卻槽(301),所述冷卻槽(301)內(nèi)側(cè)設(shè)有噴水孔(302),所述防護(hù)罩(3)固定在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(I)上;所述冷水箱(4)通過管道與冷卻槽(301)連通;所述砂輪(2)為金剛石砂輪。
      2.如權(quán)利要求1所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述防護(hù)罩(3)為截面呈“凹”形的環(huán)形防護(hù)罩,所述防護(hù)罩(3)端面內(nèi)徑不大于砂輪直徑。
      3.如權(quán)利要求1所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述防護(hù)罩(3)通過螺栓固定在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)⑴上。
      4.如權(quán)利要求1所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述噴水孔(302)均勻設(shè)置在冷卻槽(301)內(nèi)側(cè)。
      5.如權(quán)利要求1所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述防護(hù)罩(3)為金屬防護(hù)罩。
      6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的硅棒拋光裝置,其特征在于,所述防護(hù)罩(3)底端設(shè)置有供冷卻水流出的開口。
      【文檔編號(hào)】B24B55/02GK204075897SQ201420511736
      【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月5日
      【發(fā)明者】張建, 狄紅祥, 靳達(dá)興 申請(qǐng)人:中衛(wèi)市銀陽新能源有限公司
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