靶材綁定用背板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種靶材綁定用背板，包括背板本體、設(shè)置在所述背板本體內(nèi)的供冷卻水流通的水路，所述水路的進(jìn)水口和出水口位于所述背板本體側(cè)面或表面。本實(shí)用新型的靶材綁定用背板，在背板內(nèi)部設(shè)置水路，冷卻水直接在背板內(nèi)部循環(huán)，這樣靶材在鍍膜時(shí)產(chǎn)生的熱量更能及時(shí)迅速傳導(dǎo)到背板內(nèi)部的冷卻水內(nèi)，通過(guò)冷卻水的流通帶到外部，這樣不停循環(huán)的冷卻，使得靶材不變形，靶材濺射出來(lái)的原子均勻迅速附著在基板上，形成優(yōu)質(zhì)的膜層，大大有助于平面顯示器面板的線路蝕刻得更加平滑、整齊、不短路等，有效提高面板成膜時(shí)的產(chǎn)品良品率。
【專利說(shuō)明】靶材綁定用背板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種背板，尤其涉及一種靶材綁定用背板。

【背景技術(shù)】
[0002]在平板顯示器行業(yè)，包括TFT與Touch Panel行業(yè)的表面鍍膜時(shí)，膜層起導(dǎo)電線路與透明導(dǎo)電膜功能時(shí)，對(duì)蝕刻線路精度與表面粗糙度有極高的要求。在鍍膜時(shí)，大量使用金屬靶材與ITO靶材，為了迅速冷卻靶材，使靶材原子能有效、均勻沉積在面板基片上，靶材必須綁定在銅背板上。在傳統(tǒng)操作中，采用在銅背板后面放置水路通水冷卻的方法，將靶材在鍍膜時(shí)的表面高熱量導(dǎo)入背板后面的冷卻水。然而，該傳統(tǒng)的冷卻方法并不能有效地把靶材在鍍膜時(shí)的表面高熱量導(dǎo)入背板后面的冷卻水，及時(shí)把靶材溫度降低下來(lái)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種導(dǎo)熱迅速及時(shí)、冷卻效果好的靶材綁定用背板。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:提供一種靶材綁定用背板，包括背板本體、設(shè)置在所述背板本體內(nèi)的供冷卻水流通的水路，所述水路的進(jìn)水口和出水口位于所述背板本體側(cè)面或表面。
[0005]優(yōu)選地，所述水路在所述背板本體內(nèi)部呈U形、波浪形或多彎折形。
[0006]優(yōu)選地，所述背板本體為銅板。
[0007]優(yōu)選地，所述背板本體的一表面上設(shè)有用于焊接靶材的沉臺(tái)。
[0008]優(yōu)選地，所述沉臺(tái)的深度為Imm0
[0009]優(yōu)選地，所述背板本體包括底板以及蓋板，所述底板的一表面上設(shè)有內(nèi)凹的條形槽，所述蓋板蓋合焊接在所述底板的所述表面上將所述條形槽封閉形成所述水路；
[0010]所述條形槽的兩端分別延伸至所述底板的側(cè)面，在所述側(cè)面上分別形成所述進(jìn)水口和出水口 ；或者，所述蓋板上設(shè)有兩個(gè)分別對(duì)應(yīng)所述條形槽兩端端部的通孔，兩個(gè)所述通孔和對(duì)應(yīng)的所述端部分別連通形成所述進(jìn)水口和出水口。
[0011]優(yōu)選地，所述蓋板的形狀與所述條形槽形狀相對(duì)應(yīng)。
[0012]優(yōu)選地，所述背板本體包括可相互蓋合的第一蓋板和第二蓋板，所述第一蓋板和第二蓋板相向的表面上分別設(shè)有相對(duì)應(yīng)的第一條形槽和第二條形槽，所述第一蓋板和第二蓋板相向蓋合并焊接形成所述背板本體，所述第一條形槽和所述第二條形槽相向閉合形成所述水路。
[0013]優(yōu)選地，所述第一條形槽的兩端分別延伸至所述第一蓋板的側(cè)面，所述第二條形槽的兩端對(duì)應(yīng)所述第一條形槽分別延伸至所述第二蓋板的側(cè)面，所述第一條形槽的兩端端部和所述第二條形槽的兩端端部分別相向蓋合形成所述進(jìn)水口和出水口。
[0014]優(yōu)選地，所述第一條形槽的兩端貫通至所述第一蓋板與所述第二蓋板相背的表面，并在該表面上形成兩個(gè)通孔，兩個(gè)所述通孔和所述第二條形槽的兩端端部相連通形成所述進(jìn)水口和出水口 ；或者，
[0015]所述第二條形槽的兩端貫通至所述第二蓋板與所述第一蓋板相背的表面，并在該表面上形成兩個(gè)通孔，兩個(gè)所述通孔和所述第一條形槽的兩端端部相連通形成所述進(jìn)水口和出水口。
[0016]本實(shí)用新型的靶材綁定用背板，在背板內(nèi)部設(shè)置水路，冷卻水直接在背板內(nèi)部循環(huán)，這樣靶材在鍍膜時(shí)的產(chǎn)生的熱量更能及時(shí)迅速傳導(dǎo)到背板內(nèi)部的冷卻水內(nèi)，通過(guò)冷卻水的流通帶出外部，這樣不停循環(huán)的冷卻，使得靶材不變形，靶材濺射出來(lái)的原子均勻迅速附著在基板上，形成優(yōu)質(zhì)的膜層，大大有助于平面顯示器面板的線路蝕刻得更加平滑、整齊、不短路等，有效提尚面板成I旲時(shí)的廣品良品率。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，附圖中:
[0018]圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的靶材綁定用背板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是圖1所示背板沿A-A線的剖面圖；
[0020]圖3是圖1所示背板沿B-B線的剖面圖。

【具體實(shí)施方式】
[0021]為了對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對(duì)照附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】。
[0022]如圖1-3所示，本實(shí)用新型一實(shí)施例的靶材綁定用背板，包括背板本體10、設(shè)置在背板本體10內(nèi)的供冷卻水流通的水路20，水路20的進(jìn)水口 21和出水口 22位于背板本體10側(cè)面或表面。冷卻水通過(guò)進(jìn)水口 21流入水路20內(nèi)，在背板本體10內(nèi)部流通，從而可把綁定在背板上的靶材鍍膜時(shí)的產(chǎn)生的熱量及時(shí)迅速傳導(dǎo)到冷卻水內(nèi)，冷卻水通過(guò)出水口 22流通至外部而把熱量帶出，通過(guò)冷卻水不斷地進(jìn)出水路20，對(duì)背板本體10的不斷冷卻，使得靶材不變形，靶材濺射出來(lái)的原子均勻迅速附著在基板上，形成優(yōu)質(zhì)的膜層，大大有助于平面顯示器面板的線路蝕刻得更加平滑、整齊、不短路等，有效提高面板成膜時(shí)的產(chǎn)品良品率。
[0023]其中，背板本體10為銅板。水路20在背板本體10內(nèi)部可呈U形、波浪形或多彎折形等形狀，只要使得冷卻水能夠隨著水路20在背板本體10內(nèi)部各大致位置均勻流通，以帶動(dòng)熱量。進(jìn)水口 21和出水口 22可都位于背板本體10的側(cè)面或表面，或者分別位于側(cè)面和表面。
[0024]背板本體10的一表面上設(shè)有用于焊接靶材的沉臺(tái)30，靶材通過(guò)定位在沉臺(tái)30上綁定在該背板本體10上。優(yōu)選地，沉臺(tái)30的深度為1mm。靶材鍍膜時(shí)的產(chǎn)生的熱量通過(guò)其所在的背板本體10表面?zhèn)鲗?dǎo)至背板本體10內(nèi)部的水路20。
[0025]在本實(shí)施例中，背板本體10包括底板11以及蓋板12，底板11的一表面上設(shè)有內(nèi)凹的條形槽。條形槽可呈U形、波浪形或多彎折形等形狀。蓋板12蓋合焊接在底板11的該表面上將條形槽封閉形成水路20。沉臺(tái)30相背于條形槽而位于底板11的相對(duì)另一表面上。
[0026]條形槽的兩端分別延伸至底板11的側(cè)面，在側(cè)面上分別形成進(jìn)水口 21和出水口22，冷卻水從底板11的側(cè)面進(jìn)出水路20?；蛘?，蓋板12上設(shè)有兩個(gè)分別對(duì)應(yīng)條形槽兩端端部的通孔，兩個(gè)通孔和對(duì)應(yīng)的端部分別連通形成進(jìn)水口 21和出水口 22，冷卻水從蓋板12上進(jìn)出水路20。
[0027]蓋板12的形狀可與條形槽形狀相對(duì)應(yīng)，從而蓋板12只需覆蓋在條形槽上將其封閉。進(jìn)一步地，在本實(shí)施例中，條形槽呈U形，蓋板12對(duì)應(yīng)也呈U形，蓋板12在尺寸上稍大于條形槽的尺寸設(shè)置；該蓋板12的周緣通過(guò)焊接固定在條形槽槽口上，將條形槽封閉形成水路20，該水路20呈U形。水路20的兩端貫通蓋板形成進(jìn)水口 21和出水口 22。
[0028]制作時(shí)，背板本體10采用軋制TUl的銅板制作，一體式機(jī)械加工，采用數(shù)控銑床結(jié)合加工中心的工藝，保證背板的平行度和平面度。此工藝的特點(diǎn)是:工件一次裝夾，完成所有工序，可以保證加工的精度。
[0029]底板11和蓋板12之間的焊接采用電子束近常溫焊接工藝，可以取得可靠的焊接密封性能，并且保證較小的變形。此焊接工藝的特點(diǎn)是:局部電流很大、焊接可靠；整體不用加熱，變形很??；可克服傳統(tǒng)釬焊的焊接不均勻，不透徹，浸潤(rùn)不徹底的缺陷，從而達(dá)到較好的焊接強(qiáng)度和焊接密封性；不用焊料。背板整體都是相同的母材，可以進(jìn)行后續(xù)的任何熱處理而不用擔(dān)心脫焊；背板在使用過(guò)程中整體具有相同的導(dǎo)熱系數(shù)和熱膨脹系數(shù)，可以防止焊縫拉裂，避免使用過(guò)程中的滲漏，并且提高背板的使用壽命；焊接過(guò)程采用數(shù)控編程模式，完全自動(dòng)行走，排除了人為操作的不穩(wěn)定因素。
[0030]焊接后的工件可以進(jìn)行完全去應(yīng)力退火或者半去應(yīng)力退火，然后進(jìn)行整體的外形加工，得到很高的內(nèi)在質(zhì)量和較好的外觀質(zhì)量。
[0031]在其他實(shí)施例中，背板本體10可包括可相互蓋合的第一蓋板和第二蓋板，第一蓋板和第二蓋板相向的表面上分別設(shè)有相對(duì)應(yīng)的第一條形槽和第二條形槽，第一蓋板和第二蓋板相向蓋合并焊接形成背板本體10，第一條形槽和第二條形槽相向閉合形成水路20。
[0032]其中，第一條形槽的兩端分別延伸至第一蓋板的側(cè)面，第二條形槽的兩端對(duì)應(yīng)第一條形槽分別延伸至第二蓋板的側(cè)面，第一條形槽的兩端端部和第二條形槽的兩端端部分別相向蓋合形成進(jìn)水口 21和出水口 22?；蛘?，第一條形槽的兩端貫通至第一蓋板與第二蓋板相背的表面，并在該表面上形成兩個(gè)通孔，兩個(gè)通孔和第二條形槽的兩端端部相連通形成進(jìn)水口 21和出水口 22。又或者，第二條形槽的兩端貫通至第二蓋板與第一蓋板相背的表面，并在該表面上形成兩個(gè)通孔，兩個(gè)通孔和第一條形槽的兩端端部相連通形成進(jìn)水口 21和出水口 22。
[0033]可以理解地，設(shè)置在背板本體10中的水路20可不限于一條，也可為相互隔絕的多條。水路20的軸向段上也可有分叉段供冷卻水流通。
[0034]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的【技術(shù)領(lǐng)域】，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種靶材綁定用背板，其特征在于，包括背板本體(10)、設(shè)置在所述背板本體(10)內(nèi)的供冷卻水流通的水路(20)，所述水路(20)的進(jìn)水口(21)和出水口(22)位于所述背板本體(10)側(cè)面或表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述水路(20)在所述背板本體(10)內(nèi)部呈U形、波浪形或多彎折形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述背板本體(10)為銅板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述背板本體(10)的一表面上設(shè)有用于焊接靶材的沉臺(tái)(30)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述沉臺(tái)(30)的深度為1mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述背板本體(10)包括底板(11)以及蓋板(12)，所述底板(11)的一表面上設(shè)有內(nèi)凹的條形槽，所述蓋板(12)蓋合焊接在所述底板(11)的所述表面上將所述條形槽封閉形成所述水路(20); 所述條形槽的兩端分別延伸至所述底板(11)的側(cè)面，在所述側(cè)面上分別形成所述進(jìn)水口(21)和出水口(22);或者，所述蓋板(12)上設(shè)有兩個(gè)分別對(duì)應(yīng)所述條形槽兩端端部的通孔，兩個(gè)所述通孔和對(duì)應(yīng)的所述端部分別連通形成所述進(jìn)水口(21)和出水口(22)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述蓋板(12)的形狀與所述條形槽形狀相對(duì)應(yīng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述背板本體(10)包括可相互蓋合的第一蓋板和第二蓋板，所述第一蓋板和第二蓋板相向的表面上分別設(shè)有相對(duì)應(yīng)的第一條形槽和第二條形槽，所述第一蓋板和第二蓋板相向蓋合并焊接形成所述背板本體(10),所述第一條形槽和所述第二條形槽相向閉合形成所述水路(20 )。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述第一條形槽的兩端分別延伸至所述第一蓋板的側(cè)面，所述第二條形槽的兩端對(duì)應(yīng)所述第一條形槽分別延伸至所述第二蓋板的側(cè)面，所述第一條形槽的兩端端部和所述第二條形槽的兩端端部分別相向蓋合形成所述進(jìn)水口(21)和出水口(22)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的靶材綁定用背板，其特征在于，所述第一條形槽的兩端貫通至所述第一蓋板與所述第二蓋板相背的表面，并在該表面上形成兩個(gè)通孔，兩個(gè)所述通孔和所述第二條形槽的兩端端部相連通形成所述進(jìn)水口(21)和出水口(22);或者， 所述第二條形槽的兩端貫通至所述第二蓋板與所述第一蓋板相背的表面，并在該表面上形成兩個(gè)通孔，兩個(gè)所述通孔和所述第一條形槽的兩端端部相連通形成所述進(jìn)水口(21)和出水口(22)。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK204224694SQ201420675762
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月12日
【發(fā)明者】黃勇彪, 林文寶 申請(qǐng)人:深圳市眾誠(chéng)達(dá)應(yīng)用材料科技有限公司