一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)，包括引弧針套、引弧針、活動軸、彈簧、電磁線圈、線圈座、真空法蘭、密封圈；所述引弧針固定在活動軸的頂端，該活動軸末端設(shè)置在引弧針套的真空室內(nèi)；所述活動軸末端連接有滑塊，該活動軸末端套接有彈簧；所述引弧針套通過螺栓固定在真空法蘭上，該引弧針套與真空法蘭之間設(shè)有密封圈；所述引弧針套外側(cè)套置有線圈座，該線圈座上纏繞有電磁線圈。本實用新型通過外接電路產(chǎn)生磁場力，對引狐針套內(nèi)部的滑塊產(chǎn)生拉力效果，使得引弧針拉近并接觸靶面產(chǎn)生電弧。電弧產(chǎn)生后，斷開外部電磁線圈電路，則磁場力消失，此時引弧針縱向?qū)⒅皇艿綇椈蓮椓Γ瑢⑦h(yuǎn)離靶面。避免了引弧針與靶材的燒結(jié)，確保工作及提升使用壽命。
【專利說明】一種新型多弧靶電磁弓I弧結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及真空鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是涉及一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]多弧離子鍍膜技術(shù)是在真空條件下，通過控制電弧在靶材表面移動，來蒸發(fā)靶材金屬，并在基片上施加一個高偏壓，使得電弧蒸發(fā)出來的靶材粒子高速轟擊在基片上，形成薄膜的過程。由于靶材表面上的電弧是一個低電壓、大電流的直流電源來供給，所以本身只能維持電弧不能自發(fā)產(chǎn)生電弧，產(chǎn)生電弧的時候需要單獨(dú)的引狐結(jié)構(gòu)。引狐時，通過引弧針施加陽極電，靶材施加陰極電，引弧針短暫接觸靶材使得陰陽極短暫短路，然后引弧針在離開靶材表面時，陰陽極電路出現(xiàn)擊穿電弧，在通過電弧電源提供一個穩(wěn)定的低電壓、大電流輸出，實現(xiàn)電弧的自我維持。
[0003]現(xiàn)有的引弧針一般采用氣動引狐，即在引弧針后面加裝一個氣缸，通過氣缸的前后動作實現(xiàn)引弧針與靶面的接觸、分離。該結(jié)構(gòu)存在觸靶和脫離不穩(wěn)定，觸靶時間受人為因素影響很大，從而導(dǎo)致引弧針與靶材燒結(jié)等事情發(fā)生，影響生產(chǎn)作業(yè)。而且，引弧針與真空室的密封方式是采用橡膠密封，但是引弧針在前后移動的時候不可避免與橡膠摩擦，使得橡膠易于老化或者收到損傷，導(dǎo)致真空室漏氣，嚴(yán)重影響鍍膜質(zhì)量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采用的技術(shù)方案是:一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)，包括引弧針套、引弧針、活動軸、彈簧、電磁線圈、線圈座、真空法蘭、密封圈；所述引弧針固定在活動軸的頂端，該活動軸末端設(shè)置在引弧針套的真空室內(nèi)；所述活動軸末端連接有滑塊，該活動軸末端套接有彈簧；所述引弧針套通過螺栓固定在真空法蘭上，該引弧針套與真空法蘭之間設(shè)有密封圈；所述引弧針套外側(cè)套置有線圈座，該線圈座上纏繞有電磁線圈。
[0006]作為優(yōu)選，所述彈簧一端固定滑塊上，彈簧另一端固定在引弧針套開口端的內(nèi)壁上。
[0007]作為優(yōu)選，所述引弧針套內(nèi)部真空室內(nèi)設(shè)有臺階。
[0008]作為優(yōu)選，所述滑塊為“T”形。
[0009]本實用新型將電磁線圈安裝在引弧針套外部，通過外接電路產(chǎn)生磁場力，對引狐針套內(nèi)部的滑塊產(chǎn)生拉力效果，此拉力大于彈簧彈力，使得引弧針拉近并接觸靶面產(chǎn)生電弧。電弧產(chǎn)生后，斷開外部電磁線圈電路，則磁場力消失，此時引弧針縱向?qū)⒅皇艿綇椈蓮椓?，將遠(yuǎn)離靶面。這樣就實現(xiàn)了引弧針與靶面的短暫接觸與脫離。避免了引弧針與靶材的燒結(jié)，確保工作及提升使用壽命。
[0010]本實用新型再一優(yōu)點是引弧針與活動軸連接，并通過引弧針套整體封在真空室內(nèi)部，工作時與真空室外只通過磁場實現(xiàn)動作，因此不對密封圈產(chǎn)生任何不良影響，不會產(chǎn)生密封圈老化、磨損等情況，完全避免了引狐結(jié)構(gòu)的漏氣可能。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0012]下面通過實施例，并結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體說明。
[0013]圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。由圖1可知，一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)，主要由引弧針套5、引弧針11、活動軸10、彈簧6、電磁線圈2、線圈座1、真空法蘭9、密封圈8等組成。其中引弧針11固定在活動軸10的頂端，該活動軸10末端設(shè)置在引弧針套5的真空室內(nèi)51，引弧針套5內(nèi)部真空室51內(nèi)設(shè)有臺階3，臺階3將真空室51分為末端空間小，前端空間大的腔體?；顒虞S10末端連接有“T”形滑塊4，該活動軸10末端套接有彈簧6，彈簧6 —端固定滑塊4上，彈簧6另一端固定在引弧針套5開口端的內(nèi)壁上。引弧針套5通過螺栓7固定在真空法蘭9上，該引弧針套5與真空法蘭9之間設(shè)有密封圈8，引弧針套5通過密封圈8與真空室51實現(xiàn)密封。引弧針套5外側(cè)套置有線圈座1，該線圈座I上纏繞有電磁線圈2。
[0014]工作時，電磁線圈2通電產(chǎn)生磁場，使引弧針套5獲得磁力吸引活動軸10端部的“T”形滑塊4，當(dāng)“T”形滑塊4在真空室51內(nèi)滑動時，滑塊4的“T”形切口與臺階3配合，以達(dá)到確定活動軸10位移位置，實現(xiàn)活動軸10移動的同時帶動引弧針11向靶材移動，達(dá)到引弧針11的針尖和靶材接觸而產(chǎn)生放電，滿足離子鍍膜工作要求，并在針尖和靶材接觸的瞬間，電磁線圈2斷電，使引弧針套5放開滑塊4，同時在彈簧6的作用下，滑塊4帶動活動軸10復(fù)位，引弧針11的針尖與靶材脫離，避免了引弧針11與靶材的燒結(jié)，確保工作及提升使用壽命。
[0015]引弧針與活動軸連接，活動軸通過引弧針套整體封在真空室內(nèi)部，工作時與真空室外只通過磁場實現(xiàn)動作，因此不對密封圈產(chǎn)生任何不良影響，不會產(chǎn)生密封圈老化、磨損等情況，完全避免了引狐結(jié)構(gòu)的漏氣可能。
[0016]本實用新型通過上述實施例來說明本實用新型的實施方案及結(jié)構(gòu)，但本專利并不局限于上述實施方式，凡采用和本實用新型相似結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)本實用新型目的的所有方式，均在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)，包括引弧針套、引弧針、活動軸、彈簧、電磁線圈、線圈座、真空法蘭、密封圈；其特征是，所述引弧針固定在活動軸的頂端，該活動軸末端設(shè)置在引弧針套的真空室內(nèi)；所述活動軸末端連接有滑塊，該活動軸末端套接有彈費(fèi)；所述引弧針套通過螺栓固定在真空法蘭上，該引弧針套與真空法蘭之間設(shè)有密封圈；所述引弧針套外側(cè)套置有線圈座，該線圈座上纏繞有電磁線圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)，其特征是，所述彈簧一端固定滑塊上，彈簧另一端固定在引弧針套開口端的內(nèi)壁上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)，其特征是，所述引弧針套內(nèi)部真空室內(nèi)設(shè)有臺階。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型多弧靶電磁引弧結(jié)構(gòu)，其特征是，所述滑塊為“T”形。
【文檔編號】C23C14/32GK204185552SQ201420695149
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年11月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月19日
【發(fā)明者】郭濤, 蔡云鋒, 楊東恒 申請人:深圳市萊恩頓納米技術(shù)有限公司