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      層疊體及其制造方法、以及阻氣膜及其制造方法與流程

      文檔序號(hào):11110091閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種層疊體,其具有:

      基材,所述基材由高分子材料構(gòu)成;

      底涂層,所述底涂層配置在所述基材的外表面的至少一部分上,并且由包含具有官能團(tuán)的無(wú)機(jī)物質(zhì)的無(wú)機(jī)材料構(gòu)成;以及

      原子層沉積膜,所述原子層沉積膜以覆蓋所述底涂層的外表面的方式進(jìn)行配置,并包含成為成膜原料的前驅(qū)體,其中位于所述底涂層的外表面的所述前驅(qū)體與所述官能團(tuán)相結(jié)合。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體,其中,當(dāng)將所述基材的水蒸氣透過(guò)率設(shè)定為100%時(shí),由所述基材及所述底涂層構(gòu)成的2層層疊體的水蒸氣透過(guò)率為2%以上且小于100%。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的層疊體,其中,所述無(wú)機(jī)物質(zhì)為以下物質(zhì)中的任一種:無(wú)機(jī)氧化物、無(wú)機(jī)氮化物、以及將所述無(wú)機(jī)氧化物和所述無(wú)機(jī)氮化物混合而得的混合物。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的層疊體,其中,所述底涂層包含X的范圍為1.0以上2.0以下的SiOx。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的層疊體,其中,所述底涂層包含Sn。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的層疊體,其中,所述原子層沉積膜的厚度在0.5nm以上200nm的范圍內(nèi)。

      7.一種阻氣膜,其包含根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的層疊體,其中構(gòu)成所述層疊體的所述基材為膜狀基材。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的阻氣膜,其中,所述層疊體的水蒸氣透過(guò)率為0.1g/(m2·天)以下。

      9.一種層疊體的制造方法,包括:

      在配置在真空室內(nèi)的由高分子材料構(gòu)成的基材的外表面的至少一部分上,使用包含具有官能團(tuán)的無(wú)機(jī)物質(zhì)的無(wú)機(jī)材料形成底涂層;以及

      以使成為成膜原料的前驅(qū)體與所述底涂層中位于該底涂層的外表面上的所述官能團(tuán)相結(jié)合的方式,將所述前驅(qū)體供給至所述底涂層的外表面,從而形成原子層沉積膜。

      10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的層疊體的制造方法,其中,在形成所述底涂層時(shí),以將所述基材的水蒸氣透過(guò)率設(shè)定為100%時(shí),由所述基材及所述底涂層構(gòu)成的2層層疊體的水蒸氣透過(guò)率成為2%以上且小于100%的方式形成所述底涂層。

      11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的層疊體的制造方法,其中,作為所述無(wú)機(jī)物質(zhì),使用無(wú)機(jī)氧化物、無(wú)機(jī)氮化物、以及將所述無(wú)機(jī)氧化物和所述無(wú)機(jī)氮化物混合而得的混合物中的任一種。

      12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的層疊體的制造方法,其中,當(dāng)形成所述底涂層時(shí),以包含X的范圍為1.0以上2.0以下的SiOx的方式形成所述底涂層。

      13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的層疊體的制造方法,其中,當(dāng)形成所述底涂層時(shí),以包含Sn的方式形成所述底涂層。

      14.根據(jù)權(quán)利要求9至13中任一項(xiàng)所述的層疊體的制造方法,其中,在形成所述原子層沉積膜時(shí),以厚度在0.5nm以上200nm的范圍內(nèi)的方式形成所述原子層沉積膜。

      15.一種阻氣膜的制造方法,包括根據(jù)權(quán)利要求9至14中任一項(xiàng)所述的層疊體的制造方法,其中

      使用膜狀基材作為所述基材。

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