本發(fā)明屬于氧化物薄膜制備的裝置，涉及一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置。

背景技術(shù)：

噴霧熱解法制備氧化物薄膜是一種工業(yè)上常用的方法，它可以應(yīng)用在制備用于太陽能電池、顯示屏上的透明導(dǎo)電薄膜，也可以應(yīng)用在制備用于電解工業(yè)上的鈦基陽電極。傳統(tǒng)的噴霧熱解法制備的薄膜存在薄膜與基底結(jié)合力差，在噴霧熱解制備過程中，原材料的利用率低等問題。不利用工業(yè)上大規(guī)模生產(chǎn)氧化物薄膜，限制了噴霧熱解法制備氧化物薄膜的工業(yè)發(fā)展。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對傳統(tǒng)噴霧熱解法制備的薄膜與基底結(jié)合力差，原料利用率低等問題，提供一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置。它是在噴霧熱解裝置上添加一個靜電高壓電源，通過高壓電場對帶電液滴進(jìn)行作用，增強(qiáng)液滴的活性，增強(qiáng)液滴與基底的結(jié)合強(qiáng)度，并提高原材料的利用率，改善薄膜質(zhì)量。

本發(fā)明實現(xiàn)上述目的采用以下技術(shù)方案。

一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置，包括高溫爐，傳送帶，靜電噴頭，儲氣罐，儲液罐和高壓電源。

所述的高溫爐是最高控制溫度在600℃以上的一切電爐；

所述的高溫爐是前后開有方孔，并且相通；

所述的高溫爐至少有兩臺，并且以間隔2-5cm的空隙排列；

所述的傳送帶的寬帶略小于高溫爐的方孔寬度并且傳送速度不低于5cm/min；

所述的傳送帶必須可靠性接地；

所述的靜電噴頭為線性噴頭，其長度略大于高溫爐的方孔高度；

所述的靜電噴頭需2個，并且相對放置；

所述的靜電噴頭噴出的霧滴的平均顆粒大小應(yīng)小于5μm；

所述的儲氣罐可以是工業(yè)常用上的氮氣，氧氣瓶等氣瓶，也可以是空氣壓縮機(jī)；

所述的儲液罐是一切能夠盛裝酸性或堿性的容器；

所述的高壓電源的最大輸出電壓應(yīng)在60kv以上。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明提出一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置，利用此裝置可以有效地提高原材料的利用率，降低薄膜制備成本，增強(qiáng)薄膜與基底的結(jié)合強(qiáng)度并得到高質(zhì)量的薄膜。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的示意圖，其中1為儲液罐，2為靜電噴頭，3為高溫爐，4為傳送帶，5為高壓電源，6為氣瓶或空氣壓縮機(jī)。

具體實施方式

下面對本發(fā)明的實施例作詳細(xì)說明，本實施例在以本發(fā)明技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實施，給出了詳細(xì)的實施方式和具體操作過程，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述的實施例。

如圖1所示，一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置，包括儲液罐1，靜電噴頭2，高溫爐3，傳送帶4，高壓電源5和儲氣罐6。

儲液罐1是由耐酸、耐堿的材料所制備的容器，容量為1l。所述的靜電噴頭2的數(shù)量為2，寬度約為1cm，長度40cm，通過軟管與儲液罐1連接，并放置在兩個高溫爐之間的2cm間隔之內(nèi)，相對而放置；所述的高溫爐3是最高控制溫度大于600℃的程序控制的電爐，數(shù)量為2臺，每臺高溫爐的前后開有幾何尺寸一樣的方孔，方孔的寬5厘米和高40厘米，兩臺高溫爐之間間隔2厘米，兩高溫爐中間的方孔相互對準(zhǔn)，在一條直線上；所述的傳送帶4穿過兩臺排列的高溫爐3中間的方孔，并可靠性地接地。所述的高壓電源5通過導(dǎo)線與靜電噴頭2相連，高壓電源5輸出高壓，實現(xiàn)在靜電噴頭上施加靜電高壓。所述的儲氣罐6可以是工業(yè)氮氣瓶，與靜電噴頭通過軟連接，儲氣罐中的氣壓應(yīng)在1個大氣壓以上。

作業(yè)時，將兩臺高溫爐的溫度調(diào)至到600℃，將用于制備氧化物薄膜的前驅(qū)體溶液放入儲液罐中，調(diào)節(jié)高壓電源,輸出50kv的直流高壓，調(diào)節(jié)傳送帶的速度為10cm/min，將用于制備氧化物薄膜的基片放在傳送帶上的進(jìn)入高溫爐，當(dāng)基片的一端開始進(jìn)入兩臺高溫爐的間隙時，打開儲氣罐和儲液罐，使得兩個相對的靜電噴頭同時噴出平均顆粒大小為5μm的液滴，液滴在靜電高壓電場的作用下飛向基片表面，經(jīng)過液滴沉積后的基片隨后又被傳送帶帶入第二臺高溫爐中，隨后基片隨著傳送帶從第二臺高溫爐中出來，最后在基片上沉積形成致密的氧化物薄膜。

本發(fā)明說明書中未作詳細(xì)描述的內(nèi)容屬于本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員公知的現(xiàn)有技術(shù)。上述實施例并非是對于本發(fā)明的限制，本發(fā)明并非僅限于上述實施例，只要符合本發(fā)明要求，均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種靜電噴霧熱解制備薄膜裝置；該裝置由高溫爐，傳送帶，靜電噴頭，儲氣罐，儲液罐和高壓電源所組成；靜電噴頭與儲氣罐和儲液罐分別通過軟管連接，并放置在兩臺高溫爐的間隙中；高壓電源與靜電噴頭通過導(dǎo)線連接；高溫爐前后開有方孔，并且相通；傳送帶通過方孔穿過高溫爐。用該裝置制備氧化物薄膜，可以提高原材料的利用率，降低薄膜制備成本，增強(qiáng)薄膜與基底的結(jié)合強(qiáng)度并得到高質(zhì)量的薄膜。

技術(shù)研發(fā)人員：周檢
受保護(hù)的技術(shù)使用者：周檢
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.28
技術(shù)公布日：2017.10.10