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      一種AMOLED玻璃基板的薄化方法與流程

      文檔序號(hào):11757250閱讀:347來(lái)源:國(guó)知局

      本發(fā)明涉及amoled技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種amoled玻璃基板的薄化方法。



      背景技術(shù):

      現(xiàn)有技術(shù)中在對(duì)玻璃基板進(jìn)行薄化時(shí),通常先在玻璃基板不需要薄化的一面貼敷上一層抗酸化薄膜,再在所述玻璃基板貼敷有抗酸化薄膜的一側(cè)固定作為工裝的pvc板,然后對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行薄化,待薄化完成后,再將抗酸化薄膜撕除,連同pvc板一同脫離玻璃基板。但是,在將抗酸化薄膜撕除的過(guò)程中,需要較大的外力,容易導(dǎo)致玻璃基板破片,從而造成上述玻璃基板的薄化工藝中,玻璃基板的碎片率較高。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明旨在提供了一種amoled玻璃基板的薄化方法。

      本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:

      一種amoled玻璃基板的薄化方法,包括以下步驟:

      (1)提供第一玻璃基板和第二玻璃基板,對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行拋光處理;

      (2)利用水溶膠貼合第一玻璃基板和第二玻璃基板,并對(duì)水溶膠進(jìn)行固化,固化完成后,對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板背離水溶膠的一側(cè)進(jìn)行薄化;薄化完成后,將貼合的第一玻璃基板和第二玻璃基板浸泡在熱水溶液中,直至第一玻璃基板和第二玻璃基板分離;

      (3)對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行蝕刻,以薄化第一玻璃基板和第二玻璃基板的厚度;對(duì)薄化后的第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行研磨,以再次薄化第一玻璃基板和第二玻璃基板的厚度。

      所述步驟(2)中拋光處理過(guò)程使用氧化鈰作為拋光原料。

      所述步驟(3)中蝕刻過(guò)程的蝕刻速率介于0.05μm/s至0.1μm/s之間。

      所述步驟(3)中蝕刻過(guò)程包括以下步驟:提供蝕刻設(shè)備,所述蝕刻設(shè)備包括腔體、及設(shè)于所述腔體內(nèi)壁上的數(shù)個(gè)噴嘴;將所述玻璃基板豎直置于所述腔體中,并控制所述數(shù)個(gè)噴嘴向所述玻璃基板的兩側(cè)表面噴淋蝕刻液,對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行蝕刻。

      所述玻璃基板經(jīng)蝕刻后的強(qiáng)度介于70nt至80nt之間。

      所述步驟(3)中蝕刻為非等向性蝕刻。

      所述步驟(3)中分離第一玻璃基板和第二玻璃基板的熱水溶液溫度為78-84℃。

      與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明通過(guò)水溶膠實(shí)現(xiàn)該第一玻璃基板和第二玻璃基板之間的貼合,待薄化完成后,再利用熱水溶液浸泡,實(shí)現(xiàn)第一玻璃基板和第二玻璃基板的分離,從而避免了薄化完成后,分離第一玻璃基板和第二玻璃基板過(guò)程中出現(xiàn)碎片的現(xiàn)象,顯著降低了薄化工藝中玻璃基板的碎片率;同時(shí)蝕刻制程來(lái)分散玻璃基板表面上的應(yīng)力,因此可有效避免產(chǎn)生應(yīng)力集中的問(wèn)題,進(jìn)而可提升薄化后之玻璃基板的強(qiáng)度。

      具體實(shí)施方式

      下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

      實(shí)施例一種amoled玻璃基板的薄化方法,包括以下步驟:

      (1)提供第一玻璃基板和第二玻璃基板,對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行拋光處理;

      (2)利用水溶膠貼合第一玻璃基板和第二玻璃基板,并對(duì)水溶膠進(jìn)行固化,固化完成后,對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板背離水溶膠的一側(cè)進(jìn)行薄化;薄化完成后,將貼合的第一玻璃基板和第二玻璃基板浸泡在熱水溶液中,直至第一玻璃基板和第二玻璃基板分離;

      (3)對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行蝕刻,以薄化第一玻璃基板和第二玻璃基板的厚度;對(duì)薄化后的第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行研磨,以再次薄化第一玻璃基板和第二玻璃基板的厚度。

      所述步驟(2)中拋光處理過(guò)程使用氧化鈰作為拋光原料。

      所述步驟(3)中蝕刻過(guò)程的蝕刻速率介于0.05μm/s至0.1μm/s之間。

      所述步驟(3)中蝕刻過(guò)程包括以下步驟:提供蝕刻設(shè)備,所述蝕刻設(shè)備包括腔體、及設(shè)于所述腔體內(nèi)壁上的數(shù)個(gè)噴嘴;將所述玻璃基板豎直置于所述腔體中,并控制所述數(shù)個(gè)噴嘴向所述玻璃基板的兩側(cè)表面噴淋蝕刻液,對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行蝕刻。

      所述玻璃基板經(jīng)蝕刻后的強(qiáng)度介于70nt至80nt之間。

      所述步驟(3)中蝕刻為非等向性蝕刻。

      所述步驟(3)中分離第一玻璃基板和第二玻璃基板的熱水溶液溫度為78-84℃。

      對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,顯然本發(fā)明不限于所述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié),而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。因此,無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看,均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說(shuō)明限定,因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外,應(yīng)當(dāng)理解,雖然本說(shuō)明書按照實(shí)施方式加以描述,但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案,說(shuō)明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見(jiàn),本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書作為一個(gè)整體,各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。



      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開了一種AMOLED玻璃基板的薄化方法,包括以下步驟:(1)提供第一玻璃基板和第二玻璃基板,對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行拋光處理;(2)利用水溶膠貼合第一玻璃基板和第二玻璃基板,并對(duì)水溶膠進(jìn)行固化,固化完成后,對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板背離水溶膠的一側(cè)進(jìn)行薄化;薄化完成后,將貼合的第一玻璃基板和第二玻璃基板浸泡在熱水溶液中,直至第一玻璃基板和第二玻璃基板分離;(3)對(duì)第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行蝕刻,以薄化第一玻璃基板和第二玻璃基板的厚度;對(duì)薄化后的第一玻璃基板和第二玻璃基板進(jìn)行研磨,以再次薄化第一玻璃基板和第二玻璃基板的厚度。

      技術(shù)研發(fā)人員:白航空
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:合肥市惠科精密模具有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:2017.06.14
      技術(shù)公布日:2017.10.20
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