本發(fā)明涉及硅片制造模具技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種可調(diào)節(jié)厚度和間距的石墨舟。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的對(duì)應(yīng)管徑380的石墨舟都是21片石墨舟頁(yè)的石墨舟，為了提升產(chǎn)能，可以在石墨舟兩邊各加一片石墨舟頁(yè)組成23片石墨舟頁(yè)的石墨舟，此種石墨舟能提升產(chǎn)能10％。

對(duì)于上述提出的改造方法，雖然增加了石墨舟頁(yè)的片數(shù)，增加了硅片放置量，但是為了使23片石墨舟能正常運(yùn)行放進(jìn)爐管，必須減薄舟頁(yè)厚度和減少舟頁(yè)間距。

但是現(xiàn)有技術(shù)中，如說(shuō)明書(shū)附圖1所示，現(xiàn)有的兩片石墨舟之間僅僅通過(guò)一個(gè)圓柱形陶瓷管進(jìn)行間隔，而且每片石墨舟頁(yè)的厚度均為定值，不好調(diào)整，所以現(xiàn)有的石墨舟在減薄舟頁(yè)厚度和減少舟頁(yè)間距時(shí)，操作起來(lái)十分復(fù)雜，非常不方便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種可調(diào)節(jié)厚度和間距的石墨舟，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種可調(diào)節(jié)厚度和間距的石墨舟，包括若干平行設(shè)置的石墨舟頁(yè)以及若干垂直插設(shè)于石墨舟頁(yè)中的石墨棒，每?jī)善垌?yè)之間均設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置；

所述調(diào)節(jié)裝置包括依次間隔設(shè)置的陶瓷套和石墨片，且陶瓷套和石墨片之間通過(guò)連接塊固定，所述陶瓷套中開(kāi)設(shè)有插孔，且調(diào)節(jié)裝置通過(guò)插孔依次對(duì)應(yīng)活動(dòng)插設(shè)于石墨棒上；

所述陶瓷套遠(yuǎn)離插孔一端開(kāi)設(shè)有內(nèi)孔，所述內(nèi)孔中活動(dòng)插設(shè)有陶瓷管，所述陶瓷管轉(zhuǎn)動(dòng)插設(shè)于石墨棒上。

優(yōu)選的，所述內(nèi)孔為螺紋孔，陶瓷管外壁設(shè)置有螺紋，且內(nèi)孔與陶瓷管之間采用螺紋配合。

優(yōu)選的，所述陶瓷套和石墨片在石墨棒方向上的長(zhǎng)度相同。

優(yōu)選的，所述陶瓷管外表面刻設(shè)有刻度線。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明通過(guò)原有的石墨舟頁(yè)與石墨片的配合，用石墨片對(duì)硅片放置區(qū)域的厚度進(jìn)行控制，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨舟頁(yè)厚度的調(diào)整；而且通過(guò)陶瓷套和陶瓷管的設(shè)置，一方面將石墨舟頁(yè)間隔開(kāi)用來(lái)放置硅片，另一方面，通過(guò)內(nèi)孔和陶瓷管的螺紋插接配合，使得每?jī)善垌?yè)之間的間距可以很方便的進(jìn)行調(diào)整。

本發(fā)明在每?jī)善垌?yè)之間增加了調(diào)節(jié)裝置，并且配合著可以活動(dòng)插接于陶瓷套內(nèi)的陶瓷管，可以非常簡(jiǎn)便的對(duì)石墨舟頁(yè)的厚度以及石墨舟頁(yè)之間的間距進(jìn)行調(diào)整，以方便對(duì)石墨舟頁(yè)片數(shù)進(jìn)行增加調(diào)節(jié)，從而提升石墨舟產(chǎn)能，并且操作簡(jiǎn)單可以節(jié)約大量調(diào)節(jié)時(shí)間，而且不需要更換不同厚度的石墨舟頁(yè)，大大節(jié)約了材料，非常有效。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的石墨舟結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例中石墨舟頁(yè)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明的調(diào)節(jié)裝置與石墨棒安裝示意圖；

圖5為本發(fā)明的陶瓷套與陶瓷管連接結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖6為本發(fā)明的調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1石墨舟頁(yè)、2石墨棒、3陶瓷套、4石墨片、5連接塊、6陶瓷管、11圓柱形陶瓷管。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1-6，本發(fā)明提供一種技術(shù)方案：

一種可調(diào)節(jié)厚度和間距的石墨舟，包括若干平行設(shè)置的石墨舟頁(yè)1以及若干垂直插設(shè)于石墨舟頁(yè)1中的石墨棒2，目前普遍石墨舟采用的石墨舟頁(yè)1為21片，通過(guò)調(diào)節(jié)，可以在石墨舟兩邊各加一片石墨舟頁(yè)1組成23片石墨舟頁(yè)1的石墨舟，改進(jìn)后的石墨舟能提升產(chǎn)能10％，每?jī)善垌?yè)1之間均設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置，用來(lái)對(duì)石墨舟頁(yè)1的厚度以及石墨舟頁(yè)1間的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)。

調(diào)節(jié)裝置包括依次間隔設(shè)置的陶瓷套3和石墨片4，兩端均為陶瓷套3，且陶瓷套3和石墨片4之間通過(guò)連接塊5固定，形成一個(gè)整體的調(diào)節(jié)裝置，石墨片4設(shè)置于兩個(gè)陶瓷套3之間，用來(lái)對(duì)硅片放置區(qū)域進(jìn)行限制調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨舟頁(yè)1的厚度調(diào)節(jié)效果，若石墨片4安裝于兩片石墨舟頁(yè)1之間時(shí)，即等同于增加了石墨舟頁(yè)1的厚度，作為一個(gè)優(yōu)選，使得陶瓷套3和石墨片4在石墨棒2方向上的長(zhǎng)度相同，使得石墨片4的安裝和卸下不會(huì)影響石墨舟頁(yè)1之間的間距，且陶瓷套3和石墨片4的一端均與石墨舟頁(yè)1側(cè)壁活動(dòng)貼設(shè)接觸。

陶瓷套3中開(kāi)設(shè)有插孔31，且調(diào)節(jié)裝置通過(guò)插孔31依次對(duì)應(yīng)活動(dòng)插設(shè)于石墨棒2上，可以將調(diào)節(jié)裝置整體安裝于兩片石墨舟頁(yè)1，方便安裝和拆卸，非常簡(jiǎn)便。

陶瓷套3遠(yuǎn)離插孔31一端開(kāi)設(shè)有內(nèi)孔32，內(nèi)孔32中活動(dòng)插設(shè)有陶瓷管6，內(nèi)孔32為螺紋孔，陶瓷管6外壁設(shè)置有螺紋，且內(nèi)孔32與陶瓷管6之間采用螺紋配合，陶瓷管6轉(zhuǎn)動(dòng)插設(shè)于石墨棒2上，通過(guò)陶瓷管6在石墨棒2上的轉(zhuǎn)動(dòng)，可以將陶瓷管6旋鈕進(jìn)入陶瓷套3內(nèi)，從而起到調(diào)節(jié)石墨舟頁(yè)1之間的間距，便于操作。

作為一個(gè)優(yōu)選，陶瓷管6外表面刻設(shè)有刻度線，通過(guò)陶瓷套3套住的陶瓷管6長(zhǎng)度，運(yùn)用刻度線的讀數(shù)，精準(zhǔn)的測(cè)得每?jī)善垌?yè)1之間的間距。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種可調(diào)節(jié)厚度和間距的石墨舟，包括若干平行設(shè)置的石墨舟頁(yè)以及若干垂直插設(shè)于石墨舟頁(yè)中的石墨棒，每?jī)善垌?yè)之間均設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置；所述調(diào)節(jié)裝置包括依次間隔設(shè)置的陶瓷套和石墨片，且陶瓷套和石墨片之間通過(guò)連接塊固定；所述陶瓷套遠(yuǎn)離插孔一端開(kāi)設(shè)有內(nèi)孔，所述內(nèi)孔中活動(dòng)插設(shè)有陶瓷管。本發(fā)明在每?jī)善垌?yè)之間增加了調(diào)節(jié)裝置，并且配合著可以活動(dòng)插接于陶瓷套內(nèi)的陶瓷管，可以非常簡(jiǎn)便的對(duì)石墨舟頁(yè)的厚度以及石墨舟頁(yè)之間的間距進(jìn)行調(diào)整，以方便對(duì)石墨舟頁(yè)片數(shù)進(jìn)行增加或者減少的調(diào)節(jié)，操作簡(jiǎn)單，可以節(jié)約大量調(diào)節(jié)時(shí)間，而且不需要更換不同厚度的石墨舟頁(yè)，大大節(jié)約了材料，非常有效。

技術(shù)研發(fā)人員：劉文國(guó);蘇世杰;李強(qiáng)強(qiáng);張玉前;周守亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：通威太陽(yáng)能（安徽）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.14
技術(shù)公布日：2017.10.27