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      一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu)的制作方法

      文檔序號(hào):38842826發(fā)布日期:2024-07-30 17:41閱讀:28來源:國知局
      一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu)的制作方法

      本技術(shù)適用于芯片磨片機(jī),特別涉及一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu)。


      背景技術(shù):

      1、目前,磨片和劃片是芯片制造過程中的重要操作步驟,在對(duì)芯片表面進(jìn)行打磨時(shí),常常是將整塊尚未加工的芯片放置于磨片機(jī)內(nèi)部后,通過機(jī)器內(nèi)部的磨削機(jī)構(gòu)內(nèi)部設(shè)置有的磨片轉(zhuǎn)動(dòng),進(jìn)而對(duì)芯片表面進(jìn)行打磨。

      2、但是,現(xiàn)如今芯片打磨機(jī)內(nèi)部所使用的磨削機(jī)構(gòu)在對(duì)芯片表面進(jìn)行打磨整平時(shí),需要對(duì)磨削機(jī)構(gòu)以及磨片同步進(jìn)行豎向移動(dòng)調(diào)節(jié)后,使得磨片底部表面可以貼合于芯片表面而對(duì)其進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)打磨處理,但是在對(duì)磨削機(jī)構(gòu)以及磨片進(jìn)行豎向位置調(diào)節(jié)時(shí),僅僅通過單一位置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)而對(duì)其進(jìn)行豎向位置調(diào)節(jié),而在調(diào)節(jié)的過程軸,隨著磨片的轉(zhuǎn)動(dòng)極易導(dǎo)致磨削機(jī)構(gòu)發(fā)生晃動(dòng)而使其底部打磨面無法充分的接觸于芯片表面,影響芯片的磨削平整性。因此,我們提出一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu)。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

      2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為:

      3、一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),包括控制基座,所述控制基座頂部表面通過轉(zhuǎn)軸鉸接有透明防護(hù)蓋,所述透明防護(hù)蓋外側(cè)底部表面固定安裝有手拉架,所述控制基座頂部表面轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有承載吸盤,所述透明防護(hù)蓋內(nèi)側(cè)頂部表面固定安裝有連接柱,且連接柱的數(shù)量為四組;

      4、所述連接柱底部表面之間固定安裝有傳動(dòng)框,所述傳動(dòng)框內(nèi)側(cè)通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有雙向絲桿,所述雙向絲桿外側(cè)兩端表面均活動(dòng)套接有傳動(dòng)套筒,每個(gè)所述傳動(dòng)套筒外側(cè)底部表面均固定安裝有連接桿,且連接桿貫穿滑動(dòng)安裝于傳動(dòng)框底端內(nèi)部,每個(gè)所述連接桿底部表面均固定安裝有滑動(dòng)架,每個(gè)所述滑動(dòng)架底部表面均通過轉(zhuǎn)軸鉸接有推動(dòng)桿;

      5、兩組所述推動(dòng)桿底部之間均通過轉(zhuǎn)軸鉸接有驅(qū)動(dòng)控制框,所述驅(qū)動(dòng)控制框底部表面轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有連接板,且連接板底部表面通過螺栓可拆卸安裝有固定板,所述固定板底部表面固定安裝有磨削片。

      6、通過采用上述技術(shù)方案,通過雙向絲桿對(duì)傳動(dòng)套筒的轉(zhuǎn)動(dòng)傳動(dòng)作用下,以及在推動(dòng)桿的傳動(dòng)轉(zhuǎn)換作用下,使得推動(dòng)桿可以提供給驅(qū)動(dòng)控制框外部兩側(cè)相應(yīng)同步推拉力,避免驅(qū)動(dòng)電機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制框以及磨削片進(jìn)行晃動(dòng)而影響磨削片對(duì)芯片表面打磨整平的質(zhì)量。

      7、作為本申請(qǐng)技術(shù)方案的一可選方案,所述傳動(dòng)框外側(cè)表面固定安裝有伺服電機(jī),且伺服電機(jī)傳動(dòng)軸側(cè)邊通過聯(lián)軸器與雙向絲桿外側(cè)頂端表面固定相連接。

      8、通過采用上述技術(shù)方案,通過伺服電機(jī)的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可以提供給雙向絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)所需的動(dòng)力源。

      9、作為本申請(qǐng)技術(shù)方案的一可選方案,所述傳動(dòng)框底部中端表面固定安裝有中空導(dǎo)向管,所述中空導(dǎo)向管內(nèi)部貫穿滑動(dòng)安裝有活動(dòng)桿,且活動(dòng)桿底部表面與驅(qū)動(dòng)控制框外側(cè)表面固定相連接,每個(gè)所述中空導(dǎo)向管底部中端開設(shè)有滑動(dòng)槽,且活動(dòng)桿貫穿滑動(dòng)安裝于滑動(dòng)槽內(nèi)部。

      10、通過采用上述技術(shù)方案,通過中空導(dǎo)向管和其內(nèi)部滑動(dòng)槽對(duì)活動(dòng)桿的導(dǎo)向滑動(dòng)作用下,使得驅(qū)動(dòng)控制框受到中空導(dǎo)向管對(duì)活動(dòng)桿的導(dǎo)向作用下,只能在傳動(dòng)框下方豎向移動(dòng)而不會(huì)發(fā)生側(cè)移,進(jìn)一步提高驅(qū)動(dòng)控制框以及磨削片豎向移動(dòng)的穩(wěn)定性。

      11、作為本申請(qǐng)技術(shù)方案的一可選方案,所述活動(dòng)桿頂部表面固定安裝有限位擋板,且限位擋板滑動(dòng)安裝于中空導(dǎo)向管內(nèi)部。

      12、通過采用上述技術(shù)方案,通過限位擋板對(duì)滑動(dòng)槽的抵動(dòng)限位作用下而保證活動(dòng)桿不會(huì)任意的滑動(dòng)槽內(nèi)部移出。

      13、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有如下有益效果:

      14、1.本申請(qǐng)技術(shù)方案的一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),通過推動(dòng)桿而將設(shè)置有以供磨削片轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)控制框以及滑動(dòng)架底部進(jìn)行傳動(dòng)轉(zhuǎn)換連接,使得在伺服電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)而帶動(dòng)雙向絲桿同步在傳動(dòng)框內(nèi)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),結(jié)合雙向絲桿對(duì)傳動(dòng)套筒的轉(zhuǎn)動(dòng)傳動(dòng)作用下,可以帶動(dòng)兩組傳動(dòng)套筒同步相向或者相對(duì)的在中空框內(nèi)部水平移動(dòng),進(jìn)而可以提供給驅(qū)動(dòng)控制框外側(cè)兩端相應(yīng)的推拉力,使得驅(qū)動(dòng)控制框在運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)磨削片進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),可以對(duì)驅(qū)動(dòng)控制框外側(cè)多方向提供相應(yīng)的支撐力,避免驅(qū)動(dòng)電機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制框以及磨削片進(jìn)行晃動(dòng)而影響磨削片對(duì)芯片表面打磨整平的質(zhì)量。

      15、2.本申請(qǐng)技術(shù)方案的一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),通過在驅(qū)動(dòng)控制框頂部設(shè)置還有活動(dòng)桿,以及將活動(dòng)桿貫穿滑動(dòng)安裝在中空導(dǎo)向管內(nèi)部的滑動(dòng)槽中,結(jié)合中空導(dǎo)向管和滑動(dòng)槽對(duì)活動(dòng)桿的導(dǎo)向滑動(dòng)作用下,使得推動(dòng)桿在提供給驅(qū)動(dòng)控制框外側(cè)推拉力時(shí),驅(qū)動(dòng)控制框受到中空導(dǎo)向管對(duì)活動(dòng)桿的導(dǎo)向作用下,只能在傳動(dòng)框下方豎向移動(dòng)而不會(huì)發(fā)生側(cè)移,進(jìn)一步提高驅(qū)動(dòng)控制框以及磨削片豎向移動(dòng)的穩(wěn)定性。



      技術(shù)特征:

      1.一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),包括控制基座(1),其特征在于:所述控制基座(1)頂部表面通過轉(zhuǎn)軸鉸接有透明防護(hù)蓋(11),所述透明防護(hù)蓋(11)外側(cè)底部表面固定安裝有手拉架(12),所述控制基座(1)頂部表面轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有承載吸盤(13),所述透明防護(hù)蓋(11)內(nèi)側(cè)頂部表面固定安裝有連接柱(14),且連接柱(14)的數(shù)量為四組;

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),其特征在于:所述傳動(dòng)框(15)外側(cè)表面固定安裝有伺服電機(jī)(29),且伺服電機(jī)(29)傳動(dòng)軸側(cè)邊通過聯(lián)軸器與雙向絲桿(2)外側(cè)頂端表面固定相連接。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),其特征在于:所述傳動(dòng)框(15)底部中端表面固定安裝有中空導(dǎo)向管(3),所述中空導(dǎo)向管(3)內(nèi)部貫穿滑動(dòng)安裝有活動(dòng)桿(31),且活動(dòng)桿(31)底部表面與驅(qū)動(dòng)控制框(25)外側(cè)表面固定相連接。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),其特征在于:每個(gè)所述中空導(dǎo)向管(3)底部中端開設(shè)有滑動(dòng)槽(33),且活動(dòng)桿(31)貫穿滑動(dòng)安裝于滑動(dòng)槽(33)內(nèi)部。

      5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),其特征在于:所述活動(dòng)桿(31)頂部表面固定安裝有限位擋板(32),且限位擋板(32)滑動(dòng)安裝于中空導(dǎo)向管(3)內(nèi)部。


      技術(shù)總結(jié)
      本技術(shù)適用于芯片磨片機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種芯片磨片機(jī)用磨削機(jī)構(gòu),連接柱底部表面之間固定安裝有傳動(dòng)框,傳動(dòng)框內(nèi)側(cè)通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有雙向絲桿,雙向絲桿外側(cè)兩端表面均活動(dòng)套接有傳動(dòng)套筒,每個(gè)傳動(dòng)套筒外側(cè)底部表面均固定安裝有連接桿,且連接桿貫穿滑動(dòng)安裝于傳動(dòng)框底端內(nèi)部,每個(gè)連接桿底部表面均固定安裝有滑動(dòng)架,每個(gè)滑動(dòng)架底部表面均通過轉(zhuǎn)軸鉸接有推動(dòng)桿。本技術(shù)技術(shù)方案通過雙向絲桿對(duì)傳動(dòng)套筒的轉(zhuǎn)動(dòng)傳動(dòng)作用下,以及在推動(dòng)桿的傳動(dòng)轉(zhuǎn)換作用下,使得推動(dòng)桿可以提供給驅(qū)動(dòng)控制框外部兩側(cè)相應(yīng)同步推拉力,避免驅(qū)動(dòng)電機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制框以及磨削片進(jìn)行晃動(dòng)而影響磨削片對(duì)芯片表面打磨整平的質(zhì)量。

      技術(shù)研發(fā)人員:姜立仲,馬滔,馬乾坤
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:沈陽市愛邦機(jī)械有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:20231225
      技術(shù)公布日:2024/7/29
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