本技術(shù)涉及供給設(shè)備，特別是涉及一種研磨液配給裝置。

背景技術(shù)：

1、目前，磷化銦襯底在制造高頻高功率器件、光纖通信、無線傳輸、射電天文學(xué)等射頻器件領(lǐng)域存在應(yīng)用市場(chǎng)。使用磷化銦襯底制造的射頻器件已在衛(wèi)星、雷達(dá)等應(yīng)用場(chǎng)景中表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。在雷達(dá)和通信系統(tǒng)的射頻前端、模擬/混合信號(hào)寬帶寬電路方面具有較強(qiáng)競爭力，適合高速數(shù)據(jù)處理、高精度寬帶寬a/d轉(zhuǎn)換等應(yīng)用。此外，磷化銦基射頻器件相關(guān)器件如低噪聲放大器、模塊和接收機(jī)等器件還被廣泛應(yīng)用于衛(wèi)星通信、毫米波雷達(dá)、有源和無源毫米波成像等設(shè)備中。在100ghz以上的帶寬水平，使用磷化銦基射頻器件在回程網(wǎng)絡(luò)和點(diǎn)對(duì)點(diǎn)通信網(wǎng)絡(luò)的無線傳輸方面具有明顯優(yōu)勢(shì)，未來在6g通信甚至7g通信無線傳輸網(wǎng)絡(luò)中，磷化銦襯底將有望成為射頻器件的主流襯底材料。但在研磨工序研磨液配制和攪拌是一步費(fèi)時(shí)費(fèi)力的工序。

2、目前磷化銦研磨過程研磨液配制均采用人工配制和攪拌，員工先用塑料桶裝規(guī)定量的水，在將研磨粉、分散劑和水混合，員工在用手拿攪拌棒將磨粉、分散劑和水充分?jǐn)囬_，方能進(jìn)行磨片操作。本專利主要對(duì)人工配藥進(jìn)行改造自動(dòng)配藥設(shè)備，從而增加研磨效率進(jìn)而加工速度也相應(yīng)得到提升。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：目前磷化銦研磨過程研磨液配制均采用人工配制和攪拌，員工先用塑料桶裝規(guī)定量的水，在將研磨粉、分散劑和水混合，員工在用手拿攪拌棒將磨粉、分散劑和水充分?jǐn)囬_，方能進(jìn)行磨片操作。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種研磨液配給裝置，其包括：驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、箱體、第一安裝座、第一管體、第二管體、泵體、加熱爐、儲(chǔ)藥罐以及反應(yīng)釜；所述加熱爐設(shè)置在所述箱體內(nèi)；所述儲(chǔ)藥罐設(shè)置在所述加熱爐上；所述第一安裝座設(shè)置在所述箱體上；所述第一管體的一端與所述反應(yīng)釜相連通，所述第一管體的另一端與所述泵體的輸入端相連通；所述第二管體的一端通過旋轉(zhuǎn)接頭與所述泵體的輸出端相連通，所述第二管體的另一端與所述儲(chǔ)藥罐相連通，所述第二管體通過軸承安裝在所述第一安裝座上，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述第二管體相對(duì)所述第一安裝座轉(zhuǎn)動(dòng)。

3、可選的，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：電機(jī)、第一齒輪以及第二齒輪；所述第一齒輪套設(shè)在所述第二管體上；所述第二齒輪套設(shè)在所述電機(jī)的輸出軸上；所述第一齒輪與所述第二齒輪傳動(dòng)連接。

4、可選的，還包括：第一驅(qū)動(dòng)件和第一攪拌件；所述第一攪拌件設(shè)置在所述反應(yīng)釜內(nèi)；所述第一驅(qū)動(dòng)件與所述第一攪拌件連接。

5、可選的，還包括：溫度計(jì)；所述溫度計(jì)設(shè)置在所述反應(yīng)釜上，所述溫度計(jì)用于測(cè)量所述反應(yīng)釜的溫度。

6、可選的，還包括：側(cè)門；所述箱體的一側(cè)具有開口；所述側(cè)門與所述箱體相鉸接且蓋合于所述開口；所述側(cè)門上與所述溫度計(jì)相對(duì)應(yīng)的位置處開設(shè)有觀察窗。

7、可選的，所述第二管體呈l形。

8、可選的，所述箱體的頂部具有可視窗口。

9、可選的，還包括：第二驅(qū)動(dòng)件和第二攪拌件；所述第二攪拌件設(shè)置在所述儲(chǔ)藥罐內(nèi)；所述第二驅(qū)動(dòng)件與所述第二攪拌件連接。

10、可選的，所述箱體的側(cè)板上開設(shè)有多個(gè)散熱孔。

11、本實(shí)用新型實(shí)施例一種研磨液配給裝置與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于：

12、本實(shí)用新型實(shí)施例通過將反應(yīng)釜設(shè)置在加熱爐上，以使加熱爐能夠?qū)Ψ磻?yīng)釜進(jìn)行加熱，反應(yīng)釜內(nèi)具有分散劑、研磨粉以及水，三者在加熱爐的作用下在反應(yīng)釜內(nèi)進(jìn)行混合以形成研磨液。在反應(yīng)釜內(nèi)研磨液完成制備后，研磨液在泵體的作用下依次經(jīng)過第一管體和第二管體進(jìn)入到儲(chǔ)藥罐中，并且通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用驅(qū)動(dòng)第二管體相對(duì)第一安裝座進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以使儲(chǔ)藥罐能夠移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的研磨機(jī)的上方并將研磨液加入至對(duì)應(yīng)的研磨機(jī)中，以使本申請(qǐng)的研磨液配給裝置能夠同時(shí)為多臺(tái)研磨機(jī)提供研磨液。

技術(shù)特征：

1.一種研磨液配給裝置，其特征在于，包括：驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、箱體、第一安裝座、第一管體、第二管體、泵體、加熱爐、儲(chǔ)藥罐以及反應(yīng)釜；所述加熱爐設(shè)置在所述箱體內(nèi)；所述儲(chǔ)藥罐設(shè)置在所述加熱爐上；所述第一安裝座設(shè)置在所述箱體上；所述第一管體的一端與所述反應(yīng)釜相連通，所述第一管體的另一端與所述泵體的輸入端相連通；所述第二管體的一端通過旋轉(zhuǎn)接頭與所述泵體的輸出端相連通，所述第二管體的另一端與所述儲(chǔ)藥罐相連通，所述第二管體通過軸承安裝在所述第一安裝座上，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述第二管體相對(duì)所述第一安裝座轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液配給裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：電機(jī)、第一齒輪以及第二齒輪；所述第一齒輪套設(shè)在所述第二管體上；所述第二齒輪套設(shè)在所述電機(jī)的輸出軸上；所述第一齒輪與所述第二齒輪傳動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液配給裝置，其特征在于，還包括：第一驅(qū)動(dòng)件和第一攪拌件；所述第一攪拌件設(shè)置在所述反應(yīng)釜內(nèi)；所述第一驅(qū)動(dòng)件與所述第一攪拌件連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液配給裝置，其特征在于，還包括：溫度計(jì)；所述溫度計(jì)設(shè)置在所述反應(yīng)釜上，所述溫度計(jì)用于測(cè)量所述反應(yīng)釜的溫度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨液配給裝置，其特征在于，還包括：側(cè)門；所述箱體的一側(cè)具有開口；所述側(cè)門與所述箱體相鉸接且蓋合于所述開口；所述側(cè)門上與所述溫度計(jì)相對(duì)應(yīng)的位置處開設(shè)有觀察窗。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液配給裝置，其特征在于，所述第二管體呈l形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液配給裝置，其特征在于，所述箱體的頂部具有可視窗口。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液配給裝置，其特征在于，還包括：第二驅(qū)動(dòng)件和第二攪拌件；所述第二攪拌件設(shè)置在所述儲(chǔ)藥罐內(nèi)；所述第二驅(qū)動(dòng)件與所述第二攪拌件連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液配給裝置，其特征在于，所述箱體的側(cè)板上開設(shè)有多個(gè)散熱孔。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及供給設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種研磨液配給裝置，其包括：驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、箱體、第一安裝座、第一管體、第二管體、泵體、加熱爐、儲(chǔ)藥罐以及反應(yīng)釜。本技術(shù)實(shí)施例通過將反應(yīng)釜設(shè)置在加熱爐上，以使加熱爐能夠?qū)Ψ磻?yīng)釜進(jìn)行加熱，反應(yīng)釜內(nèi)具有分散劑、研磨粉以及水，三者在加熱爐的作用下在反應(yīng)釜內(nèi)進(jìn)行混合以形成研磨液。在反應(yīng)釜內(nèi)研磨液完成制備后，研磨液在泵體的作用下依次經(jīng)過第一管體和第二管體進(jìn)入到儲(chǔ)藥罐中，并且通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用驅(qū)動(dòng)第二管體相對(duì)第一安裝座進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以使儲(chǔ)藥罐能夠移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的研磨機(jī)的上方并將研磨液加入至對(duì)應(yīng)的研磨機(jī)中，以使本申請(qǐng)的研磨液配給裝置能夠同時(shí)為多臺(tái)研磨機(jī)提供研磨液。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭金龍,唐勇,黃藝毅,周鐵軍,馬金峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231228
技術(shù)公布日：2024/12/19