本發(fā)明涉及太陽能，尤其涉及一種立式pecvd設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在光伏制造技術(shù)領(lǐng)域中，主要工藝裝備多以臥式結(jié)構(gòu)為主，例如擴(kuò)散、退火、pecvd(plasma?enhanced?chemical?vapor?deposition，等離子體增強(qiáng)化學(xué)的氣相沉積法)以及l(fā)pcvd(low?pressure?chemical?vapor?deposition，低壓力化學(xué)氣相沉積法)等；但伴隨市場發(fā)展，臥式設(shè)備的產(chǎn)能及工藝水平逐漸接近瓶頸，提升緩慢。

2、相關(guān)技術(shù)中，pecvd爐主要包括爐體、供氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)。其中，爐體豎直設(shè)置。具體的，爐體具有工藝腔。通過供氣系統(tǒng)向工藝腔內(nèi)進(jìn)氣。排氣系統(tǒng)將尾氣排出。目前的pecvd立式爐大多只能放入一到兩個(gè)載具，同時(shí)需要一定的工藝溫度和特氣，以及載具需要通電完成反應(yīng)，而由于立式爐需要密閉，而且內(nèi)部溫度高，接線困難，現(xiàn)有的立式爐都無法較好的實(shí)現(xiàn)外部電源供給內(nèi)部載具通電。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中立式爐內(nèi)載具無法外接電源通電的技術(shù)問題，提出一種立式pecvd設(shè)備。

2、本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

3、本發(fā)明提出了一種立式pecvd設(shè)備，包括外爐管、內(nèi)爐管和加熱源，所述外爐管內(nèi)安裝所述內(nèi)爐管，所述外爐管與所述內(nèi)爐管之間的兩端分別設(shè)置爐蓋組件和可開關(guān)的爐門，使所述內(nèi)爐管與所述外爐管之間的直通腔室上下兩端密閉，所述加熱源用于加熱所述直通腔室，還包括密封連接并穿過所述爐蓋組件的多對(duì)電極，設(shè)置在爐管外部電連接所述電極的射頻電源，每對(duì)所述電極與直通腔室內(nèi)的對(duì)應(yīng)載具電連接。

4、優(yōu)選地，所述爐蓋組件設(shè)置在上端，所述爐門設(shè)置在下端。

5、優(yōu)選地，所述爐蓋組件設(shè)置在下端，所述爐門設(shè)置在上端。

6、進(jìn)一步的，所述爐蓋組件包括爐蓋，所述電極密封連接并穿過所述爐蓋。

7、進(jìn)一步的，所述爐蓋組件包括：帶中心孔的爐蓋，密封連接所述內(nèi)爐管端部與所述爐蓋中心孔邊緣的磁流體密封部件；所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)有連接所述磁流體密封部件的傳動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置承載或者掛載所述載具并帶動(dòng)載具環(huán)繞內(nèi)爐管轉(zhuǎn)動(dòng)；所述電極密封連接并穿過所述磁流體密封部件的傳動(dòng)軸。

8、進(jìn)一步的，所述爐管的外部設(shè)有呈環(huán)形的電刷基體，所述電極的連接端設(shè)置有電刷頭并搭在所述電刷基體上，所述傳動(dòng)軸被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所述電極連接端的電刷頭沿著電刷基體滑動(dòng)。

9、進(jìn)一步的，所述爐管的外部設(shè)有電滑環(huán)，所述電滑環(huán)的轉(zhuǎn)動(dòng)部通過連接軸連接所述傳動(dòng)軸，電極連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)部上的環(huán)道，所述電滑環(huán)的電刷部上設(shè)有電連接所述環(huán)道的電極導(dǎo)線。

10、進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括：連接所述傳動(dòng)軸并環(huán)繞所述內(nèi)爐管的轉(zhuǎn)動(dòng)盤，安裝在所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤上的載具承載位或者掛放位。

11、進(jìn)一步的，所述爐蓋與所述爐門遠(yuǎn)離所述直通腔室的外端面向外凸出形成球狀凸起，所述上爐蓋環(huán)繞中心孔的內(nèi)端面設(shè)置隔板形成隔熱環(huán)包，所述下爐門的內(nèi)端面設(shè)置隔板形成隔熱包，所述隔熱包和所述隔熱環(huán)包內(nèi)可以作為水冷通道或者安裝水冷組件。

12、優(yōu)選地，所述射頻電源為多通道射頻電源或者單通道射頻電源。

13、進(jìn)一步的，所述加熱源包括：設(shè)置在所述內(nèi)爐管的內(nèi)側(cè)內(nèi)加熱源，設(shè)置在所述外爐管的外側(cè)的外加熱源，且所述外加熱源與所述內(nèi)加熱源的周邊對(duì)應(yīng)設(shè)有散熱裝置。

14、進(jìn)一步的，所述傳動(dòng)軸位于爐管外的一端的外壁面設(shè)有一圈齒輪或者套設(shè)皮帶輪。

15、進(jìn)一步的，所述爐門開設(shè)有多個(gè)貫穿所述下爐門的爐口，所述爐口的尺寸以及形狀與載具的側(cè)面的尺寸以及形狀相匹配，每個(gè)所述爐口均對(duì)應(yīng)設(shè)有爐蓋。

16、與現(xiàn)有技術(shù)比較，本發(fā)明具有如下優(yōu)勢：

17、1.通過在爐管的端部設(shè)置電極，通過電極穿過爐蓋部分連接爐管內(nèi)的直通腔室與爐管外的射頻電源，使石墨舟通電完成反應(yīng)。

18、2.在載具在爐管內(nèi)旋轉(zhuǎn)的實(shí)施例中，通過將電極直接穿設(shè)在驅(qū)動(dòng)載具的承載件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸上，使電極既能夠跟隨載具旋轉(zhuǎn)，解決密封以及轉(zhuǎn)動(dòng)接線的問題，同時(shí)在外部可以配合電滑環(huán)或者電刷基體，來實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)導(dǎo)電連接，使電極能夠與射頻電源可靠連接。

19、3.射頻電源可采用單通道射頻電源，與載具一一對(duì)應(yīng)，也可以采用多通道射頻電源，提高工作效率。

技術(shù)特征：

1.一種立式pecvd設(shè)備，包括外爐管、內(nèi)爐管和加熱源，所述外爐管內(nèi)安裝所述內(nèi)爐管，所述外爐管與所述內(nèi)爐管之間的兩端分別設(shè)置爐蓋組件和可開關(guān)的爐門，使所述內(nèi)爐管與所述外爐管之間的直通腔室上下兩端密閉，所述加熱源用于加熱所述直通腔室，其特征在于，還包括密封連接并穿過所述爐蓋組件的多對(duì)電極，設(shè)置在爐管外部電連接所述電極的射頻電源，每對(duì)所述電極與直通腔室內(nèi)的對(duì)應(yīng)載具電連接。

2.如權(quán)利要求1所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述爐蓋組件設(shè)置在上端，所述爐門設(shè)置在下端。

3.如權(quán)利要求1所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述爐蓋組件設(shè)置在下端，所述爐門設(shè)置在上端。

4.如權(quán)利要求2或3所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述爐蓋組件包括爐蓋，所述電極密封連接并穿過所述爐蓋。

5.如權(quán)利要求2或3所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述爐蓋組件包括：帶中心孔的爐蓋，密封連接所述內(nèi)爐管端部與所述爐蓋中心孔邊緣的磁流體密封部件；所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)有連接所述磁流體密封部件的傳動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置承載或者掛載所述載具并帶動(dòng)載具環(huán)繞內(nèi)爐管轉(zhuǎn)動(dòng)。

6.如權(quán)利要求5所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述電極密封連接并穿過所述磁流體密封部件的傳動(dòng)軸。

7.如權(quán)利要求6所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述爐管的外部設(shè)有呈環(huán)形的電刷基體，所述電極的連接端設(shè)置有電刷頭并搭在所述電刷基體上，所述傳動(dòng)軸被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所述電極連接端的電刷頭沿著電刷基體滑動(dòng)。

8.如權(quán)利要求6所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述爐管的外部設(shè)有電滑環(huán)，所述電滑環(huán)的轉(zhuǎn)動(dòng)部通過連接軸連接所述傳動(dòng)軸，電極連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)部上的環(huán)道，所述電滑環(huán)的電刷部上設(shè)有電連接所述環(huán)道的電極導(dǎo)線。

9.如權(quán)利要求6所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括：連接所述傳動(dòng)軸并環(huán)繞所述內(nèi)爐管的轉(zhuǎn)動(dòng)盤，安裝在所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤上的載具承載位或者掛放位。

10.如權(quán)利要求7所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述爐蓋與所述爐門遠(yuǎn)離所述直通腔室的外端面向外凸出形成球狀凸起，所述上爐蓋環(huán)繞中心孔的內(nèi)端面設(shè)置隔板形成隔熱環(huán)包，所述下爐門的內(nèi)端面設(shè)置隔板形成隔熱包，所述隔熱包和所述隔熱環(huán)包內(nèi)可以作為水冷通道或者安裝水冷組件。

11.如權(quán)利要求1所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述射頻電源為多通道射頻電源或者單通道射頻電源。

12.如權(quán)利要求1所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述加熱源包括：設(shè)置在所述內(nèi)爐管的內(nèi)側(cè)內(nèi)加熱源，設(shè)置在所述外爐管的外側(cè)的外加熱源，且所述外加熱源與所述內(nèi)加熱源的周邊對(duì)應(yīng)設(shè)有散熱裝置。

13.如權(quán)利要求6所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述傳動(dòng)軸位于爐管外的一端的外壁面設(shè)有一圈齒輪或者套設(shè)皮帶輪。

14.如權(quán)利要求1、2、3或10所述的立式pecvd設(shè)備，其特征在于，所述爐門開設(shè)有多個(gè)貫穿所述下爐門的爐口，所述爐口的尺寸以及形狀與載具的側(cè)面的尺寸以及形狀相匹配，每個(gè)所述爐口均對(duì)應(yīng)設(shè)有爐蓋。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出了一種立式pecvd設(shè)備，包括外爐管、內(nèi)爐管和加熱源，所述外爐管內(nèi)安裝所述內(nèi)爐管，所述外爐管與所述內(nèi)爐管之間的兩端分別設(shè)置爐蓋組件和可開關(guān)的爐門，密封連接并穿過所述爐蓋組件的多對(duì)電極，設(shè)置在爐管外部電連接所述電極的射頻電源，每對(duì)電極與直通腔室內(nèi)的對(duì)應(yīng)載具電連接。本發(fā)明通過在爐管的端部設(shè)置電極，通過電極穿過爐蓋部分連接爐管內(nèi)的直通腔室與爐管外的射頻電源，使石墨舟通過電極通電。在載具在爐管內(nèi)旋轉(zhuǎn)的實(shí)施例中，通過將電極直接穿設(shè)在驅(qū)動(dòng)載具的承載件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸上，使電極既能夠跟隨載具旋轉(zhuǎn)，解決密封以及轉(zhuǎn)動(dòng)接線的問題，同時(shí)外部配合電滑環(huán)或者電刷基體，來實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)導(dǎo)電連接，使電極能夠與射頻電源可靠連接。

技術(shù)研發(fā)人員：鄧金生,李美詩,李致文,黃元俊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/10