本發(fā)明涉及金屬靶材生產(chǎn)，尤其涉及一種濺射平面銀銅合金靶材及其制備方法。

背景技術：

1、低輻射鍍膜玻璃，是在玻璃表面鍍制一層具有低輻射功能的金屬或金屬化合物組成的薄膜，使玻璃表面具有極高的遠紅外線反射率，從而達到保溫的目的，同時兼具遮陽隔熱效果的鍍膜玻璃。

2、現(xiàn)有的技術中低輻射薄膜基本上由磁控濺射法制備而成，傳統(tǒng)的低輻射鍍膜玻璃都是以很薄的單銀或雙銀膜層為基礎，并把它夾在二層減反射的金屬氧化物保護層之間，防止銀層的氧化、硫化等，以穩(wěn)定產(chǎn)品的性能、滿足產(chǎn)品的顏色等需求；另外，為了進一步保護銀膜層，以避免銀膜層在后續(xù)濺射反應過程受到侵蝕，還要在銀膜層的一側增加合金靶材以充當阻擋層，合金靶材的致密性和組織均勻性是保證鍍膜穩(wěn)定性的重要參數(shù)。

3、在合金靶材的加工過程中，現(xiàn)有有些產(chǎn)品的組織內(nèi)存有孔洞，致密性較差，如2023年6月27日公開了一件公開號為cn116334548a，名稱為一種銀銅鋅合金濺射靶材及其制備方法，所述銀銅鋅合金濺射靶材由合金成分有cu、zn、n?i和余量銀組成，所得原料進行熔煉、精煉、除氣；除氣后所得合金液采用鑄鐵模具進行澆鑄，得到坯料，將所得坯料依次進行熱軋、均勻化熱處理和人工時效，時效后取出水冷，得到銀銅鋅合金濺射靶材，該方法能夠均勻靶材組織；但合金數(shù)量較多，雜質(zhì)元素相較增多，降低合金靶材的致密性和組織均勻性。

技術實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提出一種濺射平面銀銅合金靶材及其制備方法，以解決致密性較差的問題。

2、基于上述目的，本發(fā)明提供了一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，

3、將純銀和純銅在保護氣體的氛圍下進行熔煉，得到液態(tài)合金；

4、在保護氣體的氛圍下，將液態(tài)合金依次進行保溫和澆注沉積，破真空后冷卻得到銀銅合金鑄錠；

5、將銀銅合金鑄錠依次進行均勻化退火、總軋制、低溫退火，進而得到銀銅合金粗錠；

6、將銀銅合金粗錠依次進行機加工cnc、綁定、探傷、后處理，得到銀銅合金靶材。

7、可選的，所述純銅和純銀的質(zhì)量比的范圍為10％：90％至60％：40％。

8、可選的，所述熔煉包括；將純銀和純銅加入真空中頻感應熔煉爐中，待熔煉爐內(nèi)的真空度的范圍為0.2pa至0.8pa時，將溫度升溫至1160℃至1300℃，保溫范圍為5min至20min。

9、可選的，所述保護氣體為氬氣，所述氬氣的氣壓范圍為0.7mpa至0.9mpa。

10、可選的，所述均勻化退火的溫度范圍為600℃至800℃，保溫范圍為2h至3h。

11、可選的，所述總軋制包括熱軋制和冷軋制，所述熱軋制處理的道次范圍為10次至20次，所述冷軋制處理的道次范圍為1次至5次，所述熱軋制和冷軋制均采用在二輥軋機中進行的往復軋制。

12、可選的，所述熱軋制處理的道次變形量范圍為15％至30％，熱軋制的總變形量不小于60％，所述冷軋制處理的道次變形量范圍為10％至20％。

13、可選的，所述機加工cnc為對銀銅合金粗錠的表面進行銑削處理，進而獲得預靶材。

14、可選的，所述綁定包括：在加熱狀態(tài)下，使用接合材料將銅背板與預靶材貼合。

15、一種濺射平面銀銅合金靶材，通過上述制備方法制備而成。

16、本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明提供的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，只采用純銀和純銅熔煉，減少雜質(zhì)元素的引入，通過采用熔煉澆注處理有效提高了銀銅合金靶材組織的致密性和均勻性，通過采用均勻化退火處理使合金靶材鑄錠成分均勻化、消除成分偏析和組織不均勻性；通過總軋制和低溫退火使得銀銅合金靶材成分均勻、晶粒分布均勻；通過機加工cnc、綁定、探傷、后處理等使銀銅合金靶材成分均勻和致密性高，而且本發(fā)明制得的銀銅合金靶材濺射時鍍膜得厚度均勻、濺射速率快，完全符合濺射需求。

技術特征：

1.一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，

2.根據(jù)權利要求1所述的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，所述純銅和純銀的質(zhì)量比的范圍為10％：90％至60％：40％。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，所述熔煉包括；將純銀和純銅加入真空中頻感應熔煉爐中，待熔煉爐內(nèi)的真空度的范圍為0.2pa至0.8pa時，將溫度升溫至1160℃至1300℃，保溫范圍為5min至20min。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，所述保護氣體為氬氣，所述氬氣的氣壓范圍為0.7mpa至0.9mpa。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，所述均勻化退火的溫度范圍為600℃至800℃，保溫范圍為2h至3h。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，所述總軋制包括熱軋制和冷軋制，所述熱軋制處理的道次范圍為10次至20次，所述冷軋制處理的道次范圍為1次至5次，所述熱軋制和冷軋制均采用在二輥軋機中進行的往復軋制。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，所述熱軋制處理的道次變形量范圍為15％至30％，熱軋制的總變形量不小于60％，所述冷軋制處理的道次變形量范圍為10％至20％。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，所述機加工cnc為對銀銅合金粗錠的表面進行銑削處理，進而獲得預靶材。

9.根據(jù)權利要求8所述的一種濺射平面銀銅合金靶材的制備方法，其特征在于，所述綁定包括：在加熱狀態(tài)下，使用接合材料將銅背板與預靶材貼合。

10.一種濺射平面銀銅合金靶材，其特征在于：通過權利要求1所述方法制備而成。

技術總結
本發(fā)明涉及金屬靶材生產(chǎn)技術領域，具體涉及一種濺射平面銀銅合金靶材及其制備方法，將純銀和純銅在保護氣體的氛圍下進行熔煉，得到液態(tài)合金；在保護氣體的氛圍下，將液態(tài)合金依次進行保溫和澆注沉積，破真空后冷卻得到銀銅合金鑄錠；將銀銅合金鑄錠依次進行均勻化退火、總軋制、低溫退火，進而得到銀銅合金粗錠；將銀銅合金粗錠依次進行機加工CNC、綁定、探傷、后處理，得到銀銅合金靶材。本發(fā)明使銀銅合金粗錠成分均勻和提高了致密性。

技術研發(fā)人員：張信征,曾墩風,王津津,后雨疏
受保護的技術使用者：蕪湖映日科技股份有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/10