本發(fā)明涉及原子層沉積，特別涉及一種原子層沉積設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、原子層沉積是通過(guò)對(duì)基材通入反應(yīng)氣體，從而在基材的表面形成鍍膜的薄膜制備技術(shù)，可在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無(wú)針孔、高保形的納米薄膜。目前的沉積設(shè)備多設(shè)置有倉(cāng)門，通過(guò)倉(cāng)門的開關(guān)實(shí)現(xiàn)基材的上下料。

2、如中國(guó)專利公開號(hào)cn117604505a，公開了名為一種原子層沉積設(shè)備，涉及原子層沉積技術(shù)領(lǐng)域，包括外殼，外殼的頂部安裝設(shè)置有頂蓋，外殼的一側(cè)裝配設(shè)置有料口；承放臺(tái)的頂部通過(guò)連接柱固定連接有密封板，外殼內(nèi)位于反應(yīng)組件的上方設(shè)置有與承放臺(tái)滑動(dòng)貼合的封堵機(jī)構(gòu)，封堵機(jī)構(gòu)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有輔助機(jī)構(gòu)，密封板和輔助機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；使用時(shí)，當(dāng)完成膜沉積進(jìn)行出料時(shí)封堵機(jī)構(gòu)會(huì)與承放臺(tái)的外壁貼合，從而在反應(yīng)腔和料口之間形成阻隔以減少熱量流失，當(dāng)進(jìn)行沉積工作時(shí)，通過(guò)密封蓋使得傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行蓄力，隨后在密封蓋與限位桿配合并解除弧形板的限位時(shí)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，從而將料口和反應(yīng)腔之間再次阻隔，進(jìn)一步減少熱量流失，降低設(shè)備能耗。

3、該申請(qǐng)通過(guò)料口實(shí)現(xiàn)基材架向承載臺(tái)的安置，但是料口的尺寸需要開設(shè)較大才能實(shí)現(xiàn)基材架以豎直狀態(tài)向外殼內(nèi)的輸送，而料口開設(shè)較大使得外殼內(nèi)的熱量流失過(guò)快，進(jìn)而使得反應(yīng)組件需要較長(zhǎng)時(shí)間和供給才能達(dá)到反應(yīng)溫度，影響整體的加工效率，存在一定的使用局限性。

4、因此，有必要提供一種原子層沉積設(shè)備解決上述技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種原子層沉積設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，設(shè)計(jì)一種基材架可以水平狀態(tài)進(jìn)入外殼并在外殼內(nèi)轉(zhuǎn)為豎直狀態(tài)的原子層沉積設(shè)備，進(jìn)而可相對(duì)降低開口的整體尺寸。

3、基于上述思路，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種原子層沉積設(shè)備，包括外腔和設(shè)置在外腔內(nèi)的內(nèi)腔、與內(nèi)腔尺寸適配的蓋板、用于承載基材架的載臺(tái)以及用于驅(qū)動(dòng)蓋板和載臺(tái)同步移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)模塊，所述外腔的外表面設(shè)置有與載臺(tái)位置對(duì)應(yīng)的料口和用于開/關(guān)料口的封板，外腔的外表面固定安裝有底座，底座上設(shè)置有滑板和用于驅(qū)動(dòng)滑板移動(dòng)的控制組件，滑板上設(shè)置有用于調(diào)節(jié)基材架方向的調(diào)節(jié)組件；啟動(dòng)控制組件可帶動(dòng)調(diào)節(jié)組件和基材架經(jīng)料口向載臺(tái)移動(dòng)，當(dāng)調(diào)節(jié)組件移動(dòng)至與載臺(tái)對(duì)應(yīng)后，通過(guò)控制組件和調(diào)節(jié)組件可帶動(dòng)基材架轉(zhuǎn)動(dòng)并落到載臺(tái)上。

4、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：所述調(diào)節(jié)組件包括l形座和與滑板滑動(dòng)配合且與控制組件固定連接的導(dǎo)柱，l形座的前后兩側(cè)均固定安裝有與滑板轉(zhuǎn)動(dòng)配合的圓軸，其中一個(gè)圓軸的外表面固定卷設(shè)有與導(dǎo)柱固定連接的拉繩，圓軸的外表面套設(shè)有扭簧；當(dāng)控制組件帶動(dòng)導(dǎo)柱移動(dòng)時(shí)，通過(guò)拉繩和圓軸可實(shí)現(xiàn)l形座基于圓軸的90度轉(zhuǎn)動(dòng)。

5、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：所述滑板的表面開設(shè)有的豎槽，通過(guò)豎槽可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)柱基于滑板的上下滑動(dòng)。

6、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：所述l形座的內(nèi)底面與滑板的頂面呈齊平狀態(tài)，當(dāng)基材架落到l形座上時(shí)與滑板呈部分重疊狀態(tài)。

7、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：所述控制組件包括兩個(gè)帶輪和固定安裝在底座上的電機(jī)，其中一個(gè)帶輪與電機(jī)的輸出軸固定連接，另一個(gè)帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在底座上，兩個(gè)帶輪之間共同套設(shè)有與導(dǎo)柱固定連接的皮帶。

8、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：所述圓軸與l形座側(cè)面之間的間距和與l形座底面之間的間距相等，滑板的內(nèi)頂壁與料口的底面齊平移動(dòng)。

9、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：所述l形座的底面與滑板的內(nèi)頂壁呈齊平狀態(tài)，或l形座的底面位于滑板內(nèi)頂壁的上方。

10、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：所述l形座的側(cè)面和底面分別為第一邊和第二邊，且第一邊的長(zhǎng)度尺寸和第二邊的長(zhǎng)度尺寸相等，同時(shí)第一邊的長(zhǎng)度尺寸等于料口沿上下方向的長(zhǎng)度尺寸。

11、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：所述載臺(tái)的表面開設(shè)有與滑板尺寸適配的避讓口，避讓口沿前后方向長(zhǎng)度尺寸大于等于滑板沿前后方向長(zhǎng)度尺寸。

12、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案：當(dāng)所述基材架放置到調(diào)節(jié)組件時(shí)呈水平狀態(tài)，當(dāng)基材架落到載臺(tái)上時(shí)呈豎直狀態(tài)。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：通過(guò)滑板、控制組件、調(diào)節(jié)組件和料口等之間的配合，可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)基材向載臺(tái)的自動(dòng)上下料，后續(xù)可實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)基材的同步加工，有效提高整體的加工效率。同時(shí)，使得基材架以水平狀態(tài)進(jìn)入外腔內(nèi)并落到載臺(tái)上呈豎直狀態(tài)，以此可有效降低料口的整體尺寸，無(wú)需開設(shè)沿上下方向長(zhǎng)度較大的料口，只要料口的尺寸能夠允許水平狀態(tài)的基材架進(jìn)入即可，此時(shí)可有效降低外腔內(nèi)的熱量流失，使得內(nèi)腔可快速達(dá)到沉積加工的對(duì)應(yīng)溫度，還可進(jìn)一步提高整體的加工效率，實(shí)用性更高。

技術(shù)特征：

1.一種原子層沉積設(shè)備，包括外腔和設(shè)置在外腔內(nèi)的內(nèi)腔、與內(nèi)腔尺寸適配的蓋板、用于承載基材架的載臺(tái)以及用于驅(qū)動(dòng)蓋板和載臺(tái)同步移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)模塊，其特征在于，所述外腔的外表面設(shè)置有與載臺(tái)位置對(duì)應(yīng)的料口和用于開/關(guān)料口的封板，外腔的外表面固定安裝有底座，底座上設(shè)置有滑板和用于驅(qū)動(dòng)滑板移動(dòng)的控制組件，滑板上設(shè)置有用于調(diào)節(jié)基材架方向的調(diào)節(jié)組件；啟動(dòng)控制組件可帶動(dòng)調(diào)節(jié)組件和基材架經(jīng)料口向載臺(tái)移動(dòng)，當(dāng)調(diào)節(jié)組件移動(dòng)至與載臺(tái)對(duì)應(yīng)后，通過(guò)控制組件和調(diào)節(jié)組件可帶動(dòng)基材架轉(zhuǎn)動(dòng)并落到載臺(tái)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述調(diào)節(jié)組件包括l形座和與滑板滑動(dòng)配合且與控制組件固定連接的導(dǎo)柱，l形座的前后兩側(cè)均固定安裝有與滑板轉(zhuǎn)動(dòng)配合的圓軸，其中一個(gè)圓軸的外表面固定卷設(shè)有與導(dǎo)柱固定連接的拉繩，圓軸的外表面套設(shè)有扭簧；當(dāng)控制組件帶動(dòng)導(dǎo)柱移動(dòng)時(shí)，通過(guò)拉繩和圓軸可實(shí)現(xiàn)l形座基于圓軸的90度轉(zhuǎn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述滑板的表面開設(shè)有的豎槽，通過(guò)豎槽可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)柱基于滑板的上下滑動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述l形座的內(nèi)底面與滑板的頂面呈齊平狀態(tài)，當(dāng)基材架落到l形座上時(shí)與滑板呈部分重疊狀態(tài)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述控制組件包括兩個(gè)帶輪和固定安裝在底座上的電機(jī)，其中一個(gè)帶輪與電機(jī)的輸出軸固定連接，另一個(gè)帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在底座上，兩個(gè)帶輪之間共同套設(shè)有與導(dǎo)柱固定連接的皮帶。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述圓軸與l形座側(cè)面之間的間距和與l形座底面之間的間距相等，滑板的內(nèi)頂壁與料口的底面齊平移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述l形座的底面與滑板的內(nèi)頂壁呈齊平狀態(tài)，或l形座的底面位于滑板內(nèi)頂壁的上方。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述l形座的側(cè)面和底面分別為第一邊和第二邊，且第一邊的長(zhǎng)度尺寸和第二邊的長(zhǎng)度尺寸相等，同時(shí)第一邊的長(zhǎng)度尺寸等于料口沿上下方向的長(zhǎng)度尺寸。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述載臺(tái)的表面開設(shè)有與滑板尺寸適配的避讓口，避讓口沿前后方向長(zhǎng)度尺寸大于等于滑板沿前后方向長(zhǎng)度尺寸。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，當(dāng)所述基材架放置到調(diào)節(jié)組件時(shí)呈水平狀態(tài)，當(dāng)基材架落到載臺(tái)上時(shí)呈豎直狀態(tài)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及原子層沉積領(lǐng)域，公開了一種原子層沉積設(shè)備，包括外腔和設(shè)置在外腔內(nèi)的內(nèi)腔、與內(nèi)腔尺寸適配的蓋板、用于承載基材架的載臺(tái)以及用于驅(qū)動(dòng)蓋板和載臺(tái)同步移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)模塊，所述外腔的外表面設(shè)置有與載臺(tái)位置對(duì)應(yīng)的料口和用于開/關(guān)料口的封板，外腔的外表面固定安裝有底座，底座上設(shè)置有滑板和用于驅(qū)動(dòng)滑板移動(dòng)的控制組件，滑板上設(shè)置有用于調(diào)節(jié)基材架方向的調(diào)節(jié)組件。本發(fā)明通過(guò)滑板、控制組件、調(diào)節(jié)組件和料口等之間的配合，使得基材架以水平狀態(tài)進(jìn)入外腔內(nèi)并落到載臺(tái)上呈豎直狀態(tài)，以此可有效降低料口的整體尺寸，無(wú)需開設(shè)沿上下方向長(zhǎng)度較大的料口，可有效降低外腔內(nèi)的熱量流失，使得內(nèi)腔可快速達(dá)到沉積加工的對(duì)應(yīng)溫度。

技術(shù)研發(fā)人員：左雪芹,徐濤,陸雪強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇邁納德微納技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10