本發(fā)明屬于靶材加工，具體涉及一種單晶鎢陰極靶加工裝置及其使用方法。

背景技術(shù)：

1、鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。靶材是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，利用不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的離子束流轟擊固體表面，離子和固體表面的原子發(fā)生動能交換，從而將靶材濺射到基板上，形成濺射鍍膜；

2、現(xiàn)有技術(shù)中，申請?zhí)枺篶n202221059849.2的中國
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
，公開了一種靶材機(jī)械加工裝置，包括加工裝置本體、主體支撐臺、穩(wěn)定臺、移動半弧桿和加工工作臺，所述加工裝置本體的底部固定安裝有主體支撐臺，且所述加工裝置本體的頂部設(shè)置有穩(wěn)定臺，所述穩(wěn)定臺的內(nèi)側(cè)設(shè)置有移動半弧桿，所述加工裝置本體的頂部且位于穩(wěn)定臺的內(nèi)側(cè)設(shè)置有加工工作臺，所述移動半弧桿的內(nèi)側(cè)設(shè)置有靶材固定板。該實(shí)用新型通過具備穩(wěn)定臺、移動半弧桿、靶材固定板、活動槽、移動機(jī)構(gòu)，解決現(xiàn)有的加工裝置在使用時，無法根據(jù)靶材的大小進(jìn)行尺寸調(diào)整，導(dǎo)致加工裝置實(shí)用性不高的問題，通過以上結(jié)構(gòu)結(jié)合以達(dá)到使加工裝置在使用時，能夠根據(jù)靶材的大小進(jìn)行尺寸調(diào)整，提高加工裝置的實(shí)用性；

3、現(xiàn)有技術(shù)中的靶材加工裝置雖然能夠隨著靶材的規(guī)格變化調(diào)節(jié)尺寸，但是，靶材在打磨拋光的過程中會產(chǎn)生部分碎屑，進(jìn)而影響加工的環(huán)境，同時拋光產(chǎn)生的碎屑不方便進(jìn)行收集，增加了后續(xù)清理的工作量。

4、為此，我們提出一種單晶鎢陰極靶加工裝置及其使用方法來解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，方便對靶材打磨拋光過程中產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行快速的抽離，避免加工過程中碎屑揚(yáng)起，保持良好加工環(huán)境，減少人工清理工作量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種單晶鎢陰極靶加工裝置及其使用方法，以解決上述背景技術(shù)中提出現(xiàn)有技術(shù)中靶材在打磨拋光的過程中會產(chǎn)生部分碎屑，進(jìn)而影響加工的環(huán)境，同時拋光產(chǎn)生的碎屑不方便進(jìn)行收集，增加了后續(xù)清理的工作量的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

3、一種單晶鎢陰極靶加工裝置，包括工臺，所述工臺的上表面設(shè)置有放置區(qū)，所述放置區(qū)內(nèi)設(shè)置有陰極鎢靶本體，所述工臺的下方設(shè)置有用于對陰極鎢靶本體夾持的定位機(jī)構(gòu)，所述工臺的上表面一端安裝有安裝板，所述安裝板的上方設(shè)置有用于對陰極鎢靶本體加工的拋光機(jī)構(gòu)，所述工臺的下表面一端設(shè)置有與拋光機(jī)構(gòu)相連通的清理機(jī)構(gòu)；

4、所述拋光機(jī)構(gòu)包括防護(hù)罩，所述防護(hù)罩內(nèi)腔固定連接有隔板，所述隔板的上表面開設(shè)有多組通孔，所述防護(hù)罩內(nèi)腔位于隔板上方設(shè)置有負(fù)壓腔；

5、所述清理機(jī)構(gòu)包括安裝在工臺下表面的負(fù)壓風(fēng)機(jī)，所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)端連通有連接錐筒，所述連接錐筒的進(jìn)風(fēng)端連通有導(dǎo)風(fēng)管，所述導(dǎo)風(fēng)管的一端設(shè)置有與負(fù)壓腔相連通的連接管。

6、優(yōu)選的，所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)端設(shè)置有擋環(huán)，所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)端螺紋連接有收集網(wǎng)筒，所述連接管靠近導(dǎo)風(fēng)管的一端設(shè)置有限位環(huán)，所述安裝板的一側(cè)開設(shè)有供連接管滑動設(shè)置的第一限位槽，所述第一限位槽內(nèi)開設(shè)有供限位環(huán)滑動設(shè)置的第二限位槽。

7、優(yōu)選的，所述拋光機(jī)構(gòu)還包括安裝在安裝板上表面的兩組第二氣缸，兩組所述第二氣缸的伸縮端均貫穿安裝板并固定連接在防護(hù)罩的上表面，所述防護(hù)罩的上表面安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸傳動連接有貫穿隔板的旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端固定連接有固定座，所述固定座的下表面可拆卸連接有拋光盤。

8、優(yōu)選的，所述防護(hù)罩的外側(cè)下端固定連接有可伸縮波紋膠管，所述防護(hù)罩的內(nèi)徑大于陰極鎢靶本體的外徑，所述拋光盤的外徑小于隔板的外徑。

9、優(yōu)選的，所述定位機(jī)構(gòu)包括安裝在工臺下表面的第一氣缸，所述第一氣缸的伸縮端固定連接有安裝盤，所述安裝盤的外側(cè)轉(zhuǎn)動連接有多組支撐連桿，每組所述支撐連桿的上端均轉(zhuǎn)動連接有移動座，所述移動座上安裝有可拆卸夾塊，所述工臺的上表面開設(shè)有供多組移動座滑動設(shè)置的導(dǎo)向槽。

10、優(yōu)選的，所述可拆卸夾塊的下表面開設(shè)有供移動座插接的方孔，所述可拆卸夾塊的一側(cè)插接有蝶形螺栓，所述移動座的一側(cè)開設(shè)有供蝶形螺栓螺紋連接的定位孔，所述可拆卸夾塊的另一側(cè)粘接有防滑墊。

11、優(yōu)選的，所述導(dǎo)向槽內(nèi)腔固定連接有供移動座滑動設(shè)置的導(dǎo)桿，所述導(dǎo)向槽內(nèi)腔的兩側(cè)均固定連接有供移動座滑動設(shè)置的限位條，所述安裝盤的外側(cè)開設(shè)有供多組支撐連桿轉(zhuǎn)動連接的連接槽。

12、優(yōu)選的，所述放置區(qū)為圓形凹槽，所述放置區(qū)的軸心與防護(hù)罩的軸心均設(shè)置在同一直線上，所述旋轉(zhuǎn)軸的軸心與防護(hù)罩的軸心設(shè)置在同一直線上。

13、優(yōu)選的，所述工臺的下表面固定連接有多組支腿，所述安裝板為l形板設(shè)置，所述安裝板的另一側(cè)安裝有控制器，所述電機(jī)設(shè)置在兩組第二氣缸之間。

14、基于以上敘述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，本發(fā)明還提供了一種單晶鎢陰極靶加工裝置的使用方法，包括如下步驟；

15、s1、首先將陰極鎢靶本體安裝在放置區(qū)，通過控制器驅(qū)動定位機(jī)構(gòu)對放置區(qū)內(nèi)的陰極鎢靶本體進(jìn)行夾持定位；

16、s2、拋光機(jī)構(gòu)下降后對陰極鎢靶本體進(jìn)行拋光處理，并利用防護(hù)罩避免拋光產(chǎn)生的碎屑飛濺；

17、s3、負(fù)壓風(fēng)機(jī)啟動利用壓強(qiáng)差將防護(hù)罩內(nèi)的碎屑抽至負(fù)壓腔，進(jìn)而通過導(dǎo)風(fēng)管將碎屑導(dǎo)至收集網(wǎng)筒。

18、本發(fā)明提出的一種單晶鎢陰極靶加工裝置及其使用方法，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

19、1、本發(fā)明通過拋光機(jī)構(gòu)和清理機(jī)構(gòu)之間的配合，拋光機(jī)構(gòu)通過防護(hù)罩能夠避免拋光過程中產(chǎn)生的碎屑飛濺，同時在負(fù)壓風(fēng)機(jī)的作用下使碎屑通過通孔進(jìn)入負(fù)壓腔，從而被負(fù)壓風(fēng)機(jī)抽出，方便對拋光產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行快速的抽除，提高對碎屑的清理效率，整個裝置的結(jié)構(gòu)相對簡單，易于安裝和維護(hù)；

20、2、本發(fā)明通過定位機(jī)構(gòu)和拋光機(jī)構(gòu)之間的配合，通過使用定位機(jī)構(gòu)和拋光機(jī)構(gòu)，可以精確地對陰極鎢靶本體進(jìn)行夾持和拋光處理，提高了加工效率和精度，防護(hù)罩的使用可以避免拋光產(chǎn)生的碎屑飛濺，保護(hù)了操作人員的安全，通過調(diào)整定位機(jī)構(gòu)、拋光機(jī)構(gòu)和清理機(jī)構(gòu)的位置和角度，可以適應(yīng)不同尺寸和形狀的陰極鎢靶本體的加工需求。

技術(shù)特征：

1.一種單晶鎢陰極靶加工裝置，包括工臺(1)，其特征在于：所述工臺(1)的上表面設(shè)置有放置區(qū)(2)，所述放置區(qū)(2)內(nèi)設(shè)置有陰極鎢靶本體(6)，所述工臺(1)的下方設(shè)置有用于對陰極鎢靶本體(6)夾持的定位機(jī)構(gòu)(5)，所述工臺(1)的上表面一端安裝有安裝板(7)，所述安裝板(7)的上方設(shè)置有用于對陰極鎢靶本體(6)加工的拋光機(jī)構(gòu)(8)，所述工臺(1)的下表面一端設(shè)置有與拋光機(jī)構(gòu)(8)相連通的清理機(jī)構(gòu)(9)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，其特征在于：所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)(91)的出風(fēng)端設(shè)置有擋環(huán)(96)，所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)(91)的出風(fēng)端螺紋連接有收集網(wǎng)筒(97)，所述連接管(94)靠近導(dǎo)風(fēng)管(93)的一端設(shè)置有限位環(huán)(95)，所述安裝板(7)的一側(cè)開設(shè)有供連接管(94)滑動設(shè)置的第一限位槽(71)，所述第一限位槽(71)內(nèi)開設(shè)有供限位環(huán)(95)滑動設(shè)置的第二限位槽(72)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，其特征在于：所述拋光機(jī)構(gòu)(8)還包括安裝在安裝板(7)上表面的兩組第二氣缸(81)，兩組所述第二氣缸(81)的伸縮端均貫穿安裝板(7)并固定連接在防護(hù)罩(82)的上表面，所述防護(hù)罩(82)的上表面安裝有電機(jī)(84)，所述電機(jī)(84)的輸出軸傳動連接有貫穿隔板(88)的旋轉(zhuǎn)軸(85)，所述旋轉(zhuǎn)軸(85)的下端固定連接有固定座(86)，所述固定座(86)的下表面可拆卸連接有拋光盤(87)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，其特征在于：所述防護(hù)罩(82)的外側(cè)下端固定連接有可伸縮波紋膠管(83)，所述防護(hù)罩(82)的內(nèi)徑大于陰極鎢靶本體(6)的外徑，所述拋光盤(87)的外徑小于隔板(88)的外徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，其特征在于：所述定位機(jī)構(gòu)(5)包括安裝在工臺(1)下表面的第一氣缸(51)，所述第一氣缸(51)的伸縮端固定連接有安裝盤(52)，所述安裝盤(52)的外側(cè)轉(zhuǎn)動連接有多組支撐連桿(54)，每組所述支撐連桿(54)的上端均轉(zhuǎn)動連接有移動座(55)，所述移動座(55)上安裝有可拆卸夾塊(56)，所述工臺(1)的上表面開設(shè)有供多組移動座(55)滑動設(shè)置的導(dǎo)向槽(3)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，其特征在于：所述可拆卸夾塊(56)的下表面開設(shè)有供移動座(55)插接的方孔，所述可拆卸夾塊(56)的一側(cè)插接有蝶形螺栓(57)，所述移動座(55)的一側(cè)開設(shè)有供蝶形螺栓(57)螺紋連接的定位孔，所述可拆卸夾塊(56)的另一側(cè)粘接有防滑墊(58)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，其特征在于：所述導(dǎo)向槽(3)內(nèi)腔固定連接有供移動座(55)滑動設(shè)置的導(dǎo)桿(11)，所述導(dǎo)向槽(3)內(nèi)腔的兩側(cè)均固定連接有供移動座(55)滑動設(shè)置的限位條(12)，所述安裝盤(52)的外側(cè)開設(shè)有供多組支撐連桿(54)轉(zhuǎn)動連接的連接槽(53)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，其特征在于：所述放置區(qū)(2)為圓形凹槽，所述放置區(qū)(2)的軸心與防護(hù)罩(82)的軸心均設(shè)置在同一直線上，所述旋轉(zhuǎn)軸(85)的軸心與防護(hù)罩(82)的軸心設(shè)置在同一直線上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置，其特征在于：所述工臺(1)的下表面固定連接有多組支腿(4)，所述安裝板(7)為l形板設(shè)置，所述安裝板(7)的另一側(cè)安裝有控制器(10)，所述電機(jī)(84)設(shè)置在兩組第二氣缸(81)之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的一種單晶鎢陰極靶加工裝置的使用方法，其特征在于，包括如下步驟；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于靶材加工技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種單晶鎢陰極靶加工裝置及其使用方法，包括工臺，所述工臺的上表面設(shè)置有放置區(qū)，所述放置區(qū)內(nèi)設(shè)置有陰極鎢靶本體，所述工臺的下方設(shè)置有用于對陰極鎢靶本體夾持的定位機(jī)構(gòu)，所述工臺的上表面一端安裝有安裝板，所述安裝板的上方設(shè)置有用于對陰極鎢靶本體加工的拋光機(jī)構(gòu)，通過拋光機(jī)構(gòu)和清理機(jī)構(gòu)之間的配合，拋光機(jī)構(gòu)通過防護(hù)罩能夠避免拋光過程中產(chǎn)生的碎屑飛濺，同時在負(fù)壓風(fēng)機(jī)的作用下使碎屑通過通孔進(jìn)入負(fù)壓腔，從而被負(fù)壓風(fēng)機(jī)抽出，方便對拋光產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行快速的抽除，提高對碎屑的清理效率，整個裝置的結(jié)構(gòu)相對簡單，易于安裝和維護(hù)。

技術(shù)研發(fā)人員：朱惠沖,葉倫良,謝明明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海湯斯頓技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/26