本發(fā)明涉及輔助工裝，具體是一種硅片拋光載具。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體硅片也逐步往大尺寸化和薄片化發(fā)展，硅片在生產(chǎn)制作中涉及到拋光，而拋光需要使用特制放置載具，以使硅片在拋光機(jī)中能雙面拋光，在半導(dǎo)體硅片的拋光過程中，承載硅片的雙拋光載具是硅片拋光的重要輔助裝置之一，主要負(fù)責(zé)是承載硅片，現(xiàn)有技術(shù)中，由于載具結(jié)構(gòu)設(shè)計不合理，導(dǎo)致其使用周期短，容易出現(xiàn)變形等，使得拋光后硅片表面質(zhì)量不穩(wěn)定，而且用于載具使用周期較短，則需頻繁更換，容易增加硅片的生產(chǎn)加工成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種硅片拋光載具，以解決背景技術(shù)中的技術(shù)問題。

2、為實(shí)現(xiàn)前述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

3、一種硅片拋光載具，包括圓盤狀的本體，所述本體采用鈑金材料制作，所述本體外緣具有若干均勻的第一外齒部，所述本體內(nèi)側(cè)設(shè)有若干用于放置硅片的保持孔，若干所述保持孔沿著本體的軸心均布，所述保持孔內(nèi)沿著其內(nèi)壁注塑有膠圈，所述膠圈的軸心與保持孔的軸心重合，所述膠圈厚度與本體厚度相同。

4、沿著所述保持孔的內(nèi)側(cè)壁均布有若干向著其軸心方向凸起的燕尾固定塊，所述膠圈上對應(yīng)設(shè)有燕尾槽與燕尾固定塊相配合。

5、所述膠圈采用pvdf材料制作。

6、所述本體上設(shè)有三個保持孔，所述本體的中心處設(shè)有中心孔，所述中心孔為等邊三角形結(jié)構(gòu)，所述中心孔的三條邊分別為弧形邊結(jié)構(gòu)，所述中心孔的三條邊的所在軸心分別與其靠近的保持孔所在軸心重合。

7、相鄰兩個所述保持孔之間設(shè)有第一通孔，所述第一通孔的左右兩端對稱設(shè)有第二通孔。

8、所述本體的上下兩端面均具有鍍膜層，所述鍍膜層不覆蓋膠圈和第一外齒部，鍍膜后的所述本體厚度與鍍膜前的厚度變化值小于4.0um。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的一種硅片拋光載具，布局緊湊，不僅可保證拋光時雙面都有拋光液均勻分散流通，而且還可分散載具中的應(yīng)力集中，讓載具不易變形，有效確保載具的使用周期，而且用于裝載硅片的保持孔內(nèi)布置有膠圈，能有效防止硅片在被裝載在保持孔內(nèi)時被本體磨損，保證硅片加工質(zhì)量的穩(wěn)定。

技術(shù)特征：

1.一種硅片拋光載具，其特征在于：包括圓盤狀的本體，所述本體采用鈑金材料制作，所述本體外緣具有若干均勻的第一外齒部，所述本體內(nèi)側(cè)設(shè)有若干用于放置硅片的保持孔，若干所述保持孔沿著本體的軸心均布，所述保持孔內(nèi)沿著其內(nèi)壁注塑有膠圈，所述膠圈的軸心與保持孔的軸心重合，所述膠圈厚度與本體厚度相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片拋光載具，其特征在于：沿著所述保持孔的內(nèi)側(cè)壁均布有若干向著其軸心方向凸起的燕尾固定塊，所述膠圈上對應(yīng)設(shè)有燕尾槽與燕尾固定塊相配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片拋光載具，其特征在于：所述膠圈采用pvdf材料制作。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片拋光載具，其特征在于：所述本體上設(shè)有三個保持孔，所述本體的中心處設(shè)有中心孔，所述中心孔為等邊三角形結(jié)構(gòu)，所述中心孔的三條邊分別為弧形邊結(jié)構(gòu)，所述中心孔的三條邊的所在軸心分別與其靠近的保持孔所在軸心重合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片拋光載具，其特征在于：相鄰兩個所述保持孔之間設(shè)有第一通孔，所述第一通孔的左右兩端對稱設(shè)有第二通孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅片拋光載具，其特征在于：所述本體的上下兩端面均具有鍍膜層，所述鍍膜層不覆蓋膠圈和第一外齒部，鍍膜后的所述本體厚度與鍍膜前的厚度變化值小于4.0um。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供的一種硅片拋光載具，包括圓盤狀的本體，所述本體外緣具有若干均勻的第一外齒部，所述本體內(nèi)側(cè)設(shè)有若干用于放置硅片的保持孔，若干所述保持孔沿著本體的軸心均布，所述保持孔內(nèi)沿著其內(nèi)壁注塑有膠圈，所述膠圈的軸心與保持孔的軸心重合，所述膠圈厚度與本體厚度相同。本發(fā)明提供的一種硅片拋光載具，布局緊湊，不僅可保證拋光時雙面都有拋光液均勻分散流通，而且還可分散載具中的應(yīng)力集中，讓載具不易變形，有效確保載具的使用周期，而且用于裝載硅片的保持孔內(nèi)布置有膠圈，能有效防止硅片在被裝載在保持孔內(nèi)時被本體磨損，保證硅片加工質(zhì)量的穩(wěn)定。

技術(shù)研發(fā)人員：張以建
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢芯能特科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10