本技術(shù)涉及蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備，具體為一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，電子束蒸發(fā)臺(tái)是一種常用的設(shè)備，用于在半導(dǎo)體器件上鍍膜形成鍍層，鍍層的質(zhì)量和一致性對(duì)于半導(dǎo)體器件的性能和可靠性具有重要影響，然而電子束蒸發(fā)臺(tái)在蒸發(fā)鍍膜的過(guò)程中，由于蒸發(fā)源到傘架上基板的距離不同，易導(dǎo)致基板上鍍膜出現(xiàn)不均勻的問(wèn)題，現(xiàn)有的處理方式是在傘架與蒸發(fā)源之間增加修正板，通過(guò)修正板對(duì)蒸發(fā)源的上方進(jìn)行部分遮擋，使鍍?cè)诨宓哪颖M可能的均勻。

2、現(xiàn)有技術(shù)在使用的過(guò)程中還存在以下缺陷：

3、現(xiàn)有技術(shù)中的修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)采用轉(zhuǎn)軸連接手輪通過(guò)手動(dòng)旋轉(zhuǎn)來(lái)驅(qū)動(dòng)修正板進(jìn)行角度調(diào)整，這種機(jī)構(gòu)操作困難，調(diào)整速度慢，且無(wú)法精確控制修正板的角度，難以滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造對(duì)于精度和速度的高要求，大大影響了電子束蒸發(fā)的效果和質(zhì)量。

4、鑒于此我們提出一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)來(lái)解決現(xiàn)有的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括蒸發(fā)臺(tái)殼體、穿設(shè)在蒸發(fā)臺(tái)殼體上的轉(zhuǎn)軸，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸借助軸承相對(duì)蒸發(fā)臺(tái)殼體轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置，所述轉(zhuǎn)軸中段外圓周面上套裝有連接件，所述連接件頂部端面通過(guò)螺栓固定連接有修正板，所述轉(zhuǎn)軸穿設(shè)在蒸發(fā)臺(tái)殼體外側(cè)的一端安裝有傳動(dòng)裝置，另一端設(shè)置有角度顯示裝置。

3、優(yōu)選的，所述修正板設(shè)置在蒸發(fā)臺(tái)殼體內(nèi)部，且設(shè)置有多組，所述修正板通過(guò)連接件與轉(zhuǎn)軸固定連接。

4、優(yōu)選的，所述傳動(dòng)裝置包括套設(shè)在轉(zhuǎn)軸上的蝸輪、設(shè)置在蝸輪下方且與蝸輪嚙合的蝸桿，所述蝸桿一端安裝有電機(jī)，所述電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器與蝸桿相驅(qū)動(dòng)連接。

5、優(yōu)選的，所述角度顯示裝置包括刻度盤(pán)、指針，所述刻度盤(pán)安裝在蒸發(fā)臺(tái)殼體外側(cè)，且與轉(zhuǎn)軸同軸心，所述指針套裝在轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)離傳動(dòng)裝置的一側(cè)，且與轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述刻度盤(pán)上沿圓周方向刻印有刻度值，所述指針尖銳端指向刻度值。

6、優(yōu)選的，所述刻度值為角度值，且所述刻度的起始刻度與修正板初始角度處在同一水平線上。

7、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

8、本實(shí)用新型通過(guò)在轉(zhuǎn)軸一端設(shè)置有蝸輪，并在蝸輪下方設(shè)置有與蝸輪相嚙合的蝸輪，并采用電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)修正板調(diào)整角度，電機(jī)驅(qū)動(dòng)使得修正板角度調(diào)整速度快，精度更高，且在轉(zhuǎn)軸另一端設(shè)置有刻度盤(pán)，通過(guò)套裝在轉(zhuǎn)軸上的指針指向刻度盤(pán)上的刻度值，使得在蒸發(fā)臺(tái)工作過(guò)程中修正板的傾斜角度通過(guò)刻度值實(shí)時(shí)顯示，便于操作人員進(jìn)行實(shí)時(shí)微調(diào)控制。

技術(shù)特征：

1.一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括蒸發(fā)臺(tái)殼體(4)、穿設(shè)在蒸發(fā)臺(tái)殼體(4)上的轉(zhuǎn)軸(3)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸(3)借助軸承相對(duì)蒸發(fā)臺(tái)殼體(4)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置，所述轉(zhuǎn)軸(3)中段外圓周面上套裝有連接件(9)，所述連接件(9)頂部端面通過(guò)螺栓固定連接有修正板(8)，所述轉(zhuǎn)軸(3)穿設(shè)在蒸發(fā)臺(tái)殼體(4)外側(cè)的一端安裝有傳動(dòng)裝置，另一端設(shè)置有角度顯示裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述修正板(8)設(shè)置在蒸發(fā)臺(tái)殼體(4)內(nèi)部，且設(shè)置有多組，所述修正板(8)通過(guò)連接件(9)與轉(zhuǎn)軸(3)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述傳動(dòng)裝置包括套設(shè)在轉(zhuǎn)軸(3)上的蝸輪(7)、設(shè)置在蝸輪(7)下方且與蝸輪(7)嚙合的蝸桿(6)，所述蝸桿(6)一端安裝有電機(jī)(5)，所述電機(jī)(5)通過(guò)聯(lián)軸器與蝸桿(6)相驅(qū)動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述角度顯示裝置包括刻度盤(pán)(1)、指針(2)，所述刻度盤(pán)(1)安裝在蒸發(fā)臺(tái)殼體(4)外側(cè)，且與轉(zhuǎn)軸(3)同軸心，所述指針(2)套裝在轉(zhuǎn)軸(3)遠(yuǎn)離傳動(dòng)裝置的一側(cè)，且與轉(zhuǎn)軸(3)同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述刻度盤(pán)(1)上沿圓周方向刻印有刻度值(101)，所述指針(2)尖銳端指向刻度值(101)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述刻度值(101)為角度值，且所述刻度的起始刻度與修正板(8)初始角度處在同一水平線上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種電子束蒸發(fā)臺(tái)修正板角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其技術(shù)方案包括蒸發(fā)臺(tái)殼體、穿設(shè)在蒸發(fā)臺(tái)殼體上的轉(zhuǎn)軸，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸借助軸承相對(duì)蒸發(fā)臺(tái)殼體轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置，所述轉(zhuǎn)軸中段外圓周面上套裝有連接件，所述連接件頂部端面通過(guò)螺栓固定連接有修正板。本技術(shù)通過(guò)在轉(zhuǎn)軸一端設(shè)置有蝸輪，并在蝸輪下方設(shè)置有與蝸輪相嚙合的蝸輪，并采用電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)修正板調(diào)整角度，電機(jī)驅(qū)動(dòng)使得修正板角度調(diào)整速度快，精度更高，且在轉(zhuǎn)軸另一端設(shè)置有刻度盤(pán)，通過(guò)套裝在轉(zhuǎn)軸上的指針指向刻度盤(pán)上的刻度值，使得在蒸發(fā)臺(tái)工作過(guò)程中修正板的傾斜角度通過(guò)刻度值實(shí)時(shí)顯示，便于操作人員進(jìn)行實(shí)時(shí)微調(diào)控制。

技術(shù)研發(fā)人員：孫莎莎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州美芝恩電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240223
技術(shù)公布日：2024/12/17