專(zhuān)利名稱(chēng):單分散球形金屬粒子及其生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及單分散球形金屬粒子及其生產(chǎn)方法。
背景技術(shù)：
用于在印刷線(xiàn)路板等上安裝高密度電子器件的所謂表面安裝技術(shù)中，一般使用焊錫粉粒和膏狀熔劑混合得到的焊錫膏。用絲網(wǎng)印刷機(jī)將焊錫膏印刷至印刷線(xiàn)路板之上，然后使例如電子器件的引線(xiàn)端子與所加焊錫膏頂部接觸，通過(guò)重熔(加熱)進(jìn)行接合，最后在板上形成精密布線(xiàn)。
主要用直徑約20至100μm的球形粒子作為焊錫膏中的焊錫粉粒。特殊情況下使用直徑約10μm的粒子。要求焊錫粉粒有盡可能均勻的粒徑和盡可能高的球形度以改善印刷性能和使之穩(wěn)定。同時(shí)，必須盡可能地防止焊錫粉粒的表面氧化，這對(duì)可焊性影響很大。
除焊錫粉粒之外，還用直徑為100μm至1mm的稱(chēng)為焊球的另一種球形焊料作為BGA/CSP型組件(packages)的端子材料，這將成為最通用類(lèi)型的高密度半導(dǎo)體組件。與焊錫粉粒一樣，就產(chǎn)品質(zhì)量而言要求焊球有極窄的粒徑分布和高球形度。
近年來(lái)，使以移動(dòng)式電話(huà)、數(shù)字式攝像機(jī)、筆記本式個(gè)人電腦等為代表的電子設(shè)備更小、更輕、和性能更高的需求日益加速。這是以電子器件尺寸減小為前提實(shí)現(xiàn)的。因此迫切需要應(yīng)付比以前更高密度的裝配的表面安裝技術(shù)。以半導(dǎo)體集成電路組件為例，隨著組件的集成度增加，引線(xiàn)插頭的數(shù)量逐年增加，目前已達(dá)到數(shù)百個(gè)插頭，引線(xiàn)插頭之間的間距為0.5至0.4mm。某些情況下，實(shí)際使用中已實(shí)現(xiàn)0.3mm的間距。這被認(rèn)為是目前表面安裝技術(shù)的實(shí)際極限。需要各種技術(shù)開(kāi)發(fā)和改進(jìn)以進(jìn)一步提高表面安裝密度。
這些需要之一是使焊錫粉粒更小、使其粒徑分布更均勻、和改善其球形度。關(guān)于焊球，下一代超高密度的超小組件要求每平方厘米安裝幾千個(gè)焊球。即對(duì)于焊球而言，需要使粒徑更小同時(shí)保持極窄的粒徑分布和高球形度的技術(shù)。
目前，使用微粒生產(chǎn)技術(shù)如(1)離心霧化法(旋轉(zhuǎn)盤(pán)法)和(2)氣體霧化法生產(chǎn)焊錫粉粒。另一方面，用于生產(chǎn)焊球的已知方法的例子包括(1)使通過(guò)離心霧化法或氣體霧化法得到的較大焊錫粒在鋁粉中再熔化制備完美球形粒子的方法，(2)將細(xì)焊線(xiàn)精確地切成小段，然后通過(guò)在油浴中再熔化使所述小段變成球形的方法，和(3)涉及從窄噴嘴中滴液滴的方法。
但通過(guò)這些方法得到的焊錫粉粒或焊球是多分散的，因而分級(jí)過(guò)程是必需的。要生產(chǎn)高球形度的微球形焊錫粉粒時(shí)，收率極低，導(dǎo)致?lián)p失生產(chǎn)率。此外，即使要通過(guò)分級(jí)法獲得微球形粒子而不計(jì)所述低收率，所述粒子每單位體積的表面積增加，從而使粒子的表面氧化顯著。因而難以生產(chǎn)適用于以未來(lái)需要的增大密度安裝的微球形焊錫粉粒。
因此，現(xiàn)有技術(shù)的焊錫粉粒和球不再能應(yīng)付安裝密度越來(lái)越高的表面安裝技術(shù)是不可避免的，因而開(kāi)發(fā)新的替代材料是當(dāng)務(wù)之急。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的主要目的是提供有極佳單分散性的球形金屬粒子。
鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述問(wèn)題，本發(fā)明人進(jìn)行了深入的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)用某些特殊方法生產(chǎn)的金屬粒子能實(shí)現(xiàn)上述目的，從而最終完成本發(fā)明。
因而，本發(fā)明涉及以下單分散球形金屬粒子及其生產(chǎn)方法。
1.單分散球形金屬粒子，是具有累積體積分布的金屬粒子，特征在于1)所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑為10μm或更小；2)所述分布中對(duì)應(yīng)于10vol％的粒徑為所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑的至少60％；和3)所述分布中對(duì)應(yīng)于90vol％的粒徑為所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑的至多125％。
2.以上1中所述單分散球形金屬粒子，其中所述金屬粒子的平均縱橫比(長(zhǎng)短比)為1.1或更低。
3.以上1中所述單分散球形金屬粒子，其中所述金屬粒子由熔點(diǎn)為250℃或更低的金屬制成。
4.一種單分散球形金屬粒子的生產(chǎn)方法，特征在于使液態(tài)金屬通過(guò)多孔膜而使液態(tài)金屬粒子分散于連續(xù)液相中。
5.以上4中所述生產(chǎn)方法，其中所述多孔膜為多孔玻璃膜。
6.以上4中所述生產(chǎn)方法，其中所述液態(tài)金屬是已熔化的熔點(diǎn)為250℃或更低的金屬。
7.以上4中所述生產(chǎn)方法，其中所述連續(xù)液相還含有分散劑。
8.以上7中所述生產(chǎn)方法，其中所述分散劑為金屬皂。
9.以上4至8之任一所述單分散球形金屬粒子的生產(chǎn)方法，其中所得球形金屬粒子特征在于1)所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑為10μm或更小；2)所述分布中對(duì)應(yīng)于10vol％的粒徑為所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑的至少60％；和3)所述分布中對(duì)應(yīng)于90vol％的粒徑為所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑的至多125％。
下面詳細(xì)描述本發(fā)明單分散球形金屬粒子及其生產(chǎn)方法。
1.單分散球形金屬粒子本發(fā)明單分散球形金屬粒子是具有累積體積(大小)分布的金屬粒子，特征在于1)所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑(以下稱(chēng)為“50％直徑”)為10μm或更小；2)所述分布中對(duì)應(yīng)于10vol％的粒徑(以下稱(chēng)為“10％直徑”)為所述50％直徑的至少60％；和3)所述分布中對(duì)應(yīng)于90vol％的粒徑(以下稱(chēng)為“90％直徑”)為所述50％直徑的至多125％。
以上(1)中所述50％直徑是對(duì)應(yīng)于50vol％累積體積的粒徑。本發(fā)明中，所述50％直徑可為10μm或更小，優(yōu)選在0.1至10μm的范圍內(nèi)。例如，示出累積體積分布的一個(gè)實(shí)例的圖7中，所述50％直徑是23所示點(diǎn)的粒徑(橫坐標(biāo)上約6.7μm)。所述50％直徑可在上述范圍內(nèi)根據(jù)應(yīng)用和用途等適當(dāng)確定。
以上(2)中所述10％直徑是對(duì)應(yīng)于10vol％累積體積的粒徑。例如，示出累積體積分布的一個(gè)實(shí)例的圖7中，所述10％直徑是22所示點(diǎn)的粒徑(橫坐標(biāo)上約5.7μm)。本發(fā)明中，所述10％直徑為所述50％直徑的至少60％、優(yōu)選至少80％。
以上(3)中所述90％直徑是對(duì)應(yīng)于90vol％累積體積的粒徑。例如，示出累積體積分布的一個(gè)實(shí)例的圖7中，所述90％直徑是24所示點(diǎn)的粒徑(橫坐標(biāo)上約7.7μm)。本發(fā)明中，所述90％直徑不大于所述50％直徑的至少125％、優(yōu)選不大于110％。
本發(fā)明粒子的形狀可以是球形或與其近似的形狀。在不妨礙本發(fā)明效果的情況下，可存在有非球形形狀(不規(guī)則形狀、橢圓形等)的粒子。本發(fā)明中，形狀越接近完善球形越好。因此優(yōu)選所述粒子的平均縱橫比不大于1.1、更優(yōu)選不大于1.05。本發(fā)明中，平均縱橫比表示通過(guò)以下法確定的值在掃描式電子顯微鏡、光學(xué)顯微鏡或金相顯微鏡下觀察球形金屬粒子，測(cè)量任選的200個(gè)粒子之每一的最大直徑和最小直徑，計(jì)算所選粒子之每一的縱橫比(最大直徑除以最小直徑)，取所述計(jì)算值的算術(shù)平均。本發(fā)明中，取所述平均縱橫比作為球形度的度量；平均縱橫比的值越接近1，球形度越高。
本發(fā)明單分散球形金屬粒子的材料不限，但特別優(yōu)選此材料是熔點(diǎn)為250℃或更低的金屬。注意本發(fā)明中術(shù)語(yǔ)“金屬”包括合金和金屬互化物等。
上述金屬的例子包括含鉛焊料如Sn/Pb、Sn/Bi/Pb、Sn/Ag/Pb、Sn/Sb/Pb、Sn/Ag/Bi/Pb和Sn/Sb/Ag/Pb焊料；不含鉛的焊料如Sn、Sn/Ag、Sn/Cu、Sn/Bi、Sn/In、Sn/Zn、Sn/Sb、Sn/Ag/Cu、Sn/Zn/Bi、Sn/Cu/Sb、Sn/Bi/Ag、Sn/Bi/In、Sn/Cu/Ni、Sn/Zn/In、Sn/Ag/Bi/Cu、Sn/Ag/Cu/In、Sn/Ag/Cu/Sb和Sn/Ag/Cu/Bi/In焊料；低熔點(diǎn)金屬如Bi/Pb/Sn、Bi/Sn/Cd、Bi/Pb/Sn/Cd和Bi/Pb/Sn/Cd/In合金；及其混合物。此外，也可使用各種其它金屬。
這些合金的典型組成(組成中的數(shù)字表示wt％，下同)和熔點(diǎn)一般為63Sn/37Pb約183℃；46-60Sn/3-8Bi/37-46Pb約172-190℃；62-62.8Sn/0.4-2Ag/36-36.8Pb約179℃；10-27Sn/3-8Sb/70-82Pb約188-261℃；42-56Sn/1-3Ag/2-14Bi/39-42Pb約137-178℃；65Sn/0.5Sb/0.4Ag/34.1Pb約180-186℃；Sn約232℃；96.5Sn/3.5Ag約221℃；97Sn/3Ag約222℃；99.25Sn/0.75Cu約227℃；42Sn/58Bi約139℃；48Sn/52In約118℃；91Sn/9Zn約199℃；99Sn/1Sb約232℃；95Sn/5Sb約232-240℃；95.5-99Sn/0.3-3.5Ag/0.5-0.75Cu約215-227℃；89-89.5Sn/7.5-8Zn/3Bi約190-199℃；98.8-99Sn/0.7-0.9Cu/0.3Sb約227-229℃；42-92.5Sn/7.5-57Bi/1-2Ag約138-229℃；70Sn/20Bi/10In約147-169℃；99.2Sn/0.7Cu/0.1Ni約227-229℃；86Sn/9Zn/5In約188℃；77.5-96Sn/2-3.2Ag/1-20Bi/0.5-0.75Cu138-221℃；95.3Sn/3Ag/0.7Cu/1In約214-217℃；95.6-96.2Sn/2.5-3.4Ag/0.5-0.8Cu/0.2-0.5Sb約216-221℃；92.8Sn/3Ag/0.7Cu/1Bi/2.5In約204-215℃；49Bi/18Pb/12Sn約58℃；50Bi/22Sn/2.8Cd約68℃；42.5-50Bi/26.7-37.7Pb/11.3-13.3Sn/8.5-10Cd約70-100℃44.7Bi/22.6Pb/8.3Sn/5.3Cd/19.1In約46.8℃。所示熔點(diǎn)可通過(guò)改變組成、添加另一種金屬元素或與之熔合等適當(dāng)控制。特別優(yōu)選如上所述進(jìn)行調(diào)節(jié)使熔點(diǎn)為250℃或更低。
2.單分散球形金屬粒子的生產(chǎn)方法本發(fā)明粒子生產(chǎn)方法特征在于使液態(tài)金屬通過(guò)多孔膜以使所得液態(tài)金屬粒子分散于連續(xù)液相中。
對(duì)上述多孔膜沒(méi)有限制，只要允許所述液態(tài)金屬通過(guò)。因此，可以是具有至少兩種通孔的任何多孔膜。
所述多孔膜的形狀不限；所述形狀可根據(jù)本發(fā)明粒子的生產(chǎn)條件和其它因素適當(dāng)確定。所述形狀的例子包括板狀(平板膜形狀)和圓筒形(管形)。結(jié)構(gòu)上，所述膜可以是對(duì)稱(chēng)或不對(duì)稱(chēng)的，可以是均質(zhì)或非均質(zhì)的。此外，所述膜可以是表面內(nèi)形成均勻凹槽的基質(zhì)相互層疊或一或多種表面內(nèi)形成均勻凹槽的基質(zhì)與沒(méi)有凹槽的基質(zhì)相互層疊而形成的多孔膜。
所述多孔膜的孔徑不限，但平均孔徑一般根據(jù)所要粒徑等在0.05至100μm的范圍內(nèi)適當(dāng)選擇。本發(fā)明中，所述多孔膜優(yōu)選是具有相對(duì)累積孔徑分布曲線(xiàn)的微孔膜，其中孔體積占總孔體積90％的孔徑除以孔體積占總孔體積10％的孔徑所得值基本上在1至1.5的范圍內(nèi)。此膜本身可通過(guò)已知方法生產(chǎn)。也可使用商購(gòu)膜。
所述通孔(孔)的橫截面形狀可以是橢圓形、矩形(縫狀)和方形等。所述通孔可垂直于膜表面或傾斜地通過(guò)所述膜。所述通孔可相互連接。
所述多孔膜的材料不限，包括例如玻璃、陶瓷、硅、樹(shù)脂(尤其是耐熱樹(shù)脂)、和金屬。特別優(yōu)選與所用液態(tài)金屬的接觸角超過(guò)90°的多孔膜。甚至在多孔膜與液態(tài)金屬的接觸角為90°或更小的情況下，也可通過(guò)對(duì)多孔膜進(jìn)行表面處理使接觸角超過(guò)90°。例如，可通過(guò)與商購(gòu)表面處理劑接觸使多孔膜親水或憎水，從而使膜表面改性以致接觸角超過(guò)90°。
本發(fā)明中特別優(yōu)選使用多孔玻璃膜。優(yōu)選的多孔玻璃膜由例如用微玻璃相分離生產(chǎn)的多孔玻璃制成。具體地，所述多孔玻璃包括JP-1504002中公開(kāi)的CaO-B2O3-SiO2-Al2O3多孔玻璃、和JP-1518989和US4857875中公開(kāi)的CaO-B2O3-SiO2-Al2O3-Na2O多孔玻璃和CaO-B2O3-SiO2-Al2O3-Na2O-MgO多孔玻璃。關(guān)于這些多孔玻璃膜，還優(yōu)選有相對(duì)累積孔徑分布曲線(xiàn)的微孔玻璃膜，其中孔體積占總孔體積90％的孔徑除以孔體積占總孔體積10％的孔徑所得值基本上在1至1.5的范圍內(nèi)。所述平均孔徑可在上述范圍內(nèi)適當(dāng)選擇。
對(duì)所述連續(xù)液相沒(méi)有限制，只要能使液態(tài)金屬粒子很好地分散于其中，可根據(jù)所用液態(tài)金屬和其它因素適當(dāng)選擇。
例如，可使用水或水基液相(如選自各種水溶液)。也可使用油或有機(jī)溶劑等。
所述油可以是脂肪或脂肪油或礦物油。所述脂肪或脂肪油包括植物油和脂肪及動(dòng)物油和脂肪。植物油和脂肪的例子包括豆油、菜籽油、亞麻籽油、棕櫚油、橄欖油、椰子油、和玉米油。動(dòng)物油和脂肪的例子包括牛脂、豬油、鯨油、和沙丁魚(yú)油。作為礦物油，可使用石油或合成油。石油的例子包括燃油如煤油、輕油和重油；潤(rùn)滑油如錠子油、壓縮機(jī)油、渦輪油、機(jī)械油、發(fā)動(dòng)機(jī)油和齒輪油；石蠟油如液體石蠟和石油蠟；和其它油如防銹劑、金屬切削液和絕緣油。合成油的例子包括硅油、烯烴聚合油、雙酯類(lèi)合成潤(rùn)滑油、和聚烷基二醇類(lèi)油。
所述有機(jī)溶劑可以是親水或疏水的。因此，可使用水溶性有機(jī)溶劑如聚乙二醇。
本發(fā)明中，選擇沸點(diǎn)比所用金屬的熔點(diǎn)高而且不易分解的連續(xù)液相是理想的。
本發(fā)明中，優(yōu)選所述連續(xù)液相還含有分散劑。所述分散劑不限，只要可溶解或分散于所述連續(xù)液相而且甚至在所用金屬的熔點(diǎn)附近的溫度下也能抑制或防止所述液態(tài)金屬粒子聚結(jié)。
所述分散劑可根據(jù)所用連續(xù)液相和其它因素適當(dāng)選擇。所述分散劑的例子包括陰離子表面活性劑、陽(yáng)離子表面活性劑、非離子表面活性劑、聚合物表面活性劑、含氟表面活性劑、和有機(jī)金屬表面活性劑。
所述分散劑的其它例子包括熔劑、親油表面活性劑(油溶性表面活性劑)、金屬皂、飽和脂肪酸、和不飽和脂肪酸等。所述親油表面活性劑包括脫水山梨醇型、聚氧乙烯山梨醇型、聚氧乙烯苯基醚型、蔗糖脂肪酸酯型、和聚甘油型。所述金屬皂包括硬脂酸鉛、硬脂酸鋅、硬脂酸鈣、油酸鈣、蓖麻酸鈣、月桂酸鈣、山萮酸鈣、辛酸鈣、月桂酸鋅、棕櫚酸鋅、肉豆蔻酸鋅、十一烯酸鋅、油酸鋅、蓖麻酸鋅、山萮酸鋅、水楊酸鋅、環(huán)烷酸鋅、硬脂酸鎂、肉豆蔻酸鎂、油酸鎂、硬脂酸鋁、山萮酸鋁、辛酸鋁、油酸鉛、辛酸鉛、和環(huán)烷酸鉛，以及類(lèi)似的鈷皂、鎳皂、鐵皂、銅皂、錳皂、錫皂、和鋰皂等。所述飽和脂肪酸包括丁酸、己酸、辛酸、癸酸、月桂酸、肉豆蔻酸、棕櫚酸、硬脂酸、花生酸、和山萮酸等。所述不飽和脂肪酸包括油酸、亞油酸、亞麻酸、和芥酸等。這些分散劑在250℃以下的溫度下不分解是特別理想的。在使用溫度下為液體的那些分散劑也可在此條件下以油的形式使用。
可根據(jù)所用連續(xù)液相和其它使用這些分散劑之一或多種。例如，在連續(xù)液相為(1)水相、(2)水基相、或(3)包含溶于水的組分的相的情況下，優(yōu)選使用陰離子表面活性劑、陽(yáng)離子表面活性劑、非離子表面活性劑、聚合物表面活性劑、含氟表面活性劑、或有機(jī)金屬表面活性劑等。另一方面，在所述連續(xù)液相為例如油相或除上述(1)至(3)以外的相(例如包含脂肪或脂肪油或礦物油等的油相)的情況下，優(yōu)選使用熔劑、親油表面活性劑(油溶性表面活性劑)、金屬皂、飽和脂肪酸、或不飽和脂肪酸等。
所述分散劑的加入量可根據(jù)所用分散劑、金屬、和連續(xù)液相及類(lèi)似因素適當(dāng)確定，但一般為約0.1至20wt％、優(yōu)選0.5至5wt％。
所述液態(tài)金屬通過(guò)多孔膜使所得液態(tài)金屬粒子分散于連續(xù)液相時(shí)，所述液態(tài)金屬、連續(xù)液相、和多孔膜的排列方式?jīng)]有限制。例如，可準(zhǔn)備用于液態(tài)金屬的容器和用于連續(xù)液相的容器，分別用液態(tài)金屬和連續(xù)液相填充這些容器，給所述液態(tài)金屬施加預(yù)定的壓力迫使其進(jìn)入多孔膜，從而使己通過(guò)多孔膜的液態(tài)金屬變成顆粒而以液態(tài)金屬粒子形式分散于連續(xù)液相中。隨后，使所得液態(tài)金屬粒子冷卻而得到本發(fā)明粒子。下面結(jié)合附圖更充分地描述本發(fā)明生產(chǎn)方法。
圖1為概念性地示出按本發(fā)明生產(chǎn)單分散液態(tài)金屬粒子的狀態(tài)的示意圖。首先，用其間有均勻通孔的多孔1處理液態(tài)金屬2和連續(xù)液相3。在此狀態(tài)下，膜表面和多孔膜的孔4優(yōu)先被連續(xù)液相潤(rùn)濕。給液態(tài)金屬施加的壓力超過(guò)臨界壓力Pc(Pc＝4.γ.cosθ/Dm(其中γ代表界面張力，θ代表接觸角，Dm代表平均孔徑))時(shí)，液態(tài)金屬透過(guò)孔形成液態(tài)粒子，分散于連續(xù)液相中，從而產(chǎn)生單分散液態(tài)金屬粒子5。所述連續(xù)液相中已加入分散劑的情況下，所述分散劑存在于液態(tài)金屬和連續(xù)液相之間的界面處，從而用于提高液態(tài)金屬粒子的穩(wěn)定性和更有效地抑制粒子聚結(jié)。所產(chǎn)生的液態(tài)金屬粒子的粒徑基本上由多孔膜的平均孔徑?jīng)Q定。粒徑Dp與平均孔徑Dm之比(Dp/Dm)一般隨孔的形狀改變。例如，使用多孔玻璃膜時(shí)，此比值可控制在2.5至8范圍內(nèi)的固定值，因而一般可將液態(tài)金屬粒子的粒徑控制在0.1至160μm的范圍內(nèi)。使用除多孔玻璃膜以外的多孔膜時(shí)，一般可將液態(tài)金屬粒子的粒徑控制在1至1000μm的范圍內(nèi)?？筛鶕?jù)終產(chǎn)品的使用等適當(dāng)?shù)剡x擇粒徑。例如，在本發(fā)明單分散球形金屬粒子作為焊錫粉粒用于高密度安裝的情況下，優(yōu)選使平均粒徑(50％直徑)為0.1至160μm、尤其是0.1至100μm。
圖2示出用于實(shí)施本發(fā)明生產(chǎn)方法的設(shè)備的一個(gè)實(shí)例。用于容納液態(tài)金屬的液態(tài)金屬容器6和具有完整多孔膜1的膜組件7浸入上容器8內(nèi)的連續(xù)液相3中。用加熱器9將連續(xù)液相3加熱至高于所述金屬的熔點(diǎn)的溫度。還用循環(huán)泵10攪動(dòng)所述連續(xù)液相3。
這里所示膜組件是從管狀膜外側(cè)壓入液態(tài)金屬2類(lèi)型的。所述容器的材料可以是耐腐蝕金屬如不銹鋼、耐腐蝕樹(shù)脂如氟樹(shù)脂、或玻璃等。所述循環(huán)泵使所述連續(xù)液相流動(dòng)以致膜表面上產(chǎn)生的液態(tài)金屬粒子不影響新液態(tài)金屬粒子的產(chǎn)生?？捎脷怏w或液壓給所述液態(tài)金屬施加壓力。
由于產(chǎn)生的單分散液態(tài)金屬粒子5具有高密度，它們向下移動(dòng)而進(jìn)入充滿(mǎn)連續(xù)液相的下容器11。這里，所述下容器內(nèi)的溫度用加熱器12設(shè)定在所述金屬的熔點(diǎn)以下從而使所述金屬粒子在下容器內(nèi)固化，而產(chǎn)生分散有固態(tài)球形金屬粒子13的懸浮液。所述設(shè)備和技術(shù)(例如使連續(xù)相流動(dòng)或循環(huán)的方法、加熱方法或手段、容器形狀、施加壓力的方法等)不限于以上所述，可采用各種其它方法的組合。
圖3示出利用有平板狀固定多孔膜14的膜組件15實(shí)施本發(fā)明之一例。給膜組件中的液態(tài)金屬加壓使之通過(guò)多孔膜而以單分散液態(tài)金屬粒子5的形式分散于連續(xù)液相3中。這里，用磁力攪拌器16和旋轉(zhuǎn)棒17攪動(dòng)所述連續(xù)液相產(chǎn)生流動(dòng)。產(chǎn)生的液態(tài)金屬粒子5向下移動(dòng)通過(guò)篩網(wǎng)18而積累在容器19的下部?？稍O(shè)置篩網(wǎng)防止旋轉(zhuǎn)棒使金屬粒子破壞或變形。該設(shè)備通過(guò)停止用加熱器9加熱使系統(tǒng)冷卻而使所述液態(tài)金屬粒子固化。
通過(guò)本發(fā)明方法生產(chǎn)的金屬粒子(固態(tài)球形金屬粒子)可按已知的分離和回收方法回收。例如，從上述懸浮液中回收固態(tài)球形金屬粒子時(shí)，可用有機(jī)溶劑如醇、苯或丙酮置換懸浮液中的連續(xù)液相，而將固態(tài)球形金屬粒子回收和儲(chǔ)存在有機(jī)溶劑中。可用膏狀熔劑置換所述連續(xù)液相。在以干顆粒形式回收所述固態(tài)球形金屬粒子的情況下，可在真空或惰性氣體(氮?dú)狻鍤狻⒑獾?中使有機(jī)溶劑蒸發(fā)從而在不接觸氧氣的情況下回收所述粒子。
本發(fā)明生產(chǎn)方法一般能生產(chǎn)有所需粒徑的球形金屬粒子，將平均粒徑控制在0.1至1000μm的范圍內(nèi)。例如，所述球形金屬粒子作為焊錫粉粒用于高密度安裝時(shí)，可生產(chǎn)平均粒徑為0.1至160μm、優(yōu)選0.1至100μm的球形金屬粒子。
特別地，用本發(fā)明生產(chǎn)方法可獲得單分散球形金屬粒子，所述粒子是有累積體積分布的金屬粒子，其特征在于1)所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑為10μm或更??；2)所述分布中對(duì)應(yīng)于10vol％的粒徑為所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑的至少60％；和
3)所述分布中對(duì)應(yīng)于90vol％的粒徑為所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑的至多125％。
根據(jù)本發(fā)明可獲得以下極佳效果。
(1)可相對(duì)容易地生產(chǎn)現(xiàn)有技術(shù)中認(rèn)為難以生產(chǎn)的有極佳單分散性的球形金屬粒子。特別地，本發(fā)明粒子作為高密度安裝技術(shù)所需微球形焊錫粉粒或作為BGA/CSP組件等中所用高質(zhì)量焊球是有利的。所述粒子具有因液態(tài)金屬粒子的高表面張力所產(chǎn)生的高球形度。所述液態(tài)金屬粒子在連續(xù)液相中有接近完美球形的形狀，本發(fā)明方法冷卻在盡可能防止變形的情況下使這些粒子冷卻和固化。因而本發(fā)明方法可實(shí)現(xiàn)球形度提高。
(2)利用在液相實(shí)施的本發(fā)明方法，可獲得其表面氧化比現(xiàn)有技術(shù)更好地被抑制的金屬粒子。本發(fā)明生產(chǎn)方法能在抑制表面氧化(這是傳統(tǒng)球形焊錫粉粒和焊球的問(wèn)題)的情況下產(chǎn)生形狀接近完美球形的固態(tài)球形金屬粒子?？梢种票砻嫜趸脑蛟谟谝簯B(tài)金屬粒子在與氣相隔離的連續(xù)液相中生產(chǎn)并可在該相中固化。即絕對(duì)不可能使金屬粒子與氧氣接觸。因而，可通過(guò)本發(fā)明方法有利地生產(chǎn)表面氧化被抑制或防止的焊錫粉?；蚝盖颉?br> (3)本發(fā)明金屬粒子的單分散性也得到改善，由于這與球形組合，適用于焊錫膏等。特別地，所述連續(xù)液相中用分散劑產(chǎn)生粒子表面上有疏水基的固態(tài)球形金屬粒子時(shí)，所述金屬粒子與有機(jī)基質(zhì)的親和性改善，因而更適用于焊錫膏。
(4)本發(fā)明對(duì)電子工業(yè)有很大貢獻(xiàn)，尤其在使以信息和通信設(shè)備為代表的電子產(chǎn)品尺寸和重量減少而性能增加方面。



圖1為示出生產(chǎn)單分散液態(tài)金屬粒子的狀態(tài)的示意圖；圖2為示出用管狀(圓筒形)多孔膜實(shí)施本發(fā)明的設(shè)備之一例的示意圖；圖3為示出用平板狀多孔膜實(shí)施本發(fā)明的設(shè)備之一例的示意圖；圖4為示出實(shí)施例1中所得單分散固態(tài)球形金屬粒子的圖片；圖5為示出實(shí)施例1中所得單分散固態(tài)球形金屬粒子的另一圖片；
圖6為示出實(shí)施例1中所得單分散固態(tài)球形金屬粒子的再另一圖片；圖7為顯示實(shí)施例1中所得單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布的曲線(xiàn)圖；圖8為顯示有不同平均粒徑的六類(lèi)單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布的曲線(xiàn)圖；圖9為顯示平均粒徑Dp與平均孔徑Dm之間關(guān)系的曲線(xiàn)圖；圖10為顯示液態(tài)金屬透過(guò)膜的最小壓力Pc與膜的平均孔徑Dm之間關(guān)系的曲線(xiàn)圖；和圖11為示出實(shí)施例中所得單分散固態(tài)球形金屬粒子的圖片。
具體實(shí)施方式
給出以下實(shí)施例和對(duì)比例使本發(fā)明的特征更清楚。應(yīng)理解本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。
附圖中數(shù)字的意義如下1，管狀多孔膜；2，液態(tài)金屬；3，連續(xù)液相；4，多孔膜的孔；5，單分散液態(tài)金屬粒子；6，液態(tài)金屬容器；7，膜組件；8，上容器；9，加熱器；10，循環(huán)泵；11，冷卻容器(下容器)；12，加熱器；13，單分散固態(tài)球形金屬粒子；14，板狀多孔膜；15，膜組件；16，磁力攪拌器；17，旋轉(zhuǎn)棒；18，篩網(wǎng)(網(wǎng))；19，容器；20，單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布；21，單分散固態(tài)球形金屬粒子的累積體積分布；22，累積體積中10％直徑；23，累積體積中50％直徑；24，累積體積中90％直徑；25，用平均孔徑為0.52μm的多孔玻璃膜制備的單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布；26，用平均孔徑為1.36μm的多孔玻璃膜制備的單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布；27，用平均孔徑為2.52μm的多孔玻璃膜制備的單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布；28，用平均孔徑為5.16μm的多孔玻璃膜制備的單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布；29，用平均孔徑為10.36μm的多孔玻璃膜制備的單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布；30，用平均孔徑為19.9μm的多孔玻璃膜制備的單分散固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布；31，顯示平均粒徑(Dp)與平均孔徑(Dm)之間關(guān)系的實(shí)線(xiàn)；32，顯示平均粒徑(Dp)與平均孔徑的倒數(shù)(1/Dm)之間關(guān)系的實(shí)線(xiàn)。
實(shí)施例1所用材料為商購(gòu)的無(wú)鉛焊料(Senju Metal Industry Co.，Ltd.以商品名“M705”出售，組成96.5Sn/3Ag/0.5Cu，熔點(diǎn)217-220℃)作為金屬，平均孔徑為2.52μm的親水多孔玻璃膜(CaO-B2O3-SiO2-Al2O3-Na2O-MgO型，商品名“SPG”，Miyazaki Prefecture Industrial Technology Center生產(chǎn))作為多孔膜，商購(gòu)潤(rùn)滑油作為連續(xù)液相，和硬脂酸鋅(2.0wt％相對(duì)于油)作為分散劑。用圖2中所示設(shè)備作為生產(chǎn)設(shè)備。
首先，在分開(kāi)的容器中將所述無(wú)鉛焊料加熱使之熔化，在上容器8內(nèi)溫度保持在約230℃(高于所述焊料的熔點(diǎn))的情況下，除去漂浮在表面上的氧化層之后將熔融的焊料倒入圖2所示設(shè)備的液態(tài)金屬容器6中。使下容器11內(nèi)保持在低于所述焊料的熔點(diǎn)而且硬脂酸鋅不沉淀出的溫度(約180℃)下。接著，用氮?dú)馄孔鳛閴毫υ唇o液態(tài)金屬2加壓，同時(shí)用循環(huán)泵10使由潤(rùn)滑油和分散劑組成的連續(xù)液相3循環(huán)。結(jié)果，所述液態(tài)金屬在0.56MPa的壓力下透過(guò)膜，而形成分散于連續(xù)液相中的均勻尺寸的液態(tài)金屬粒子，得到單分散乳液(以下也稱(chēng)為“M/O(油包金屬)乳液”)。所述液態(tài)金屬粒子沉降至下容器11中而在其中固化。試驗(yàn)結(jié)束后，從下容器11中回收所述固態(tài)金屬粒子及連續(xù)液相，通過(guò)用甲苯潷析除去連續(xù)液相。所得單分散固態(tài)球形金屬粒子在光學(xué)顯微鏡和掃描式電子顯微鏡下觀察。結(jié)果示于圖4至6中。圖7示出所述球形金屬粒子的粒徑分布的測(cè)量結(jié)果。按圖7的粒徑分布，所述分布極窄，累積體積分布21中10％直徑22為50％直徑的0.85倍，90％直徑24為50％直徑的1.15倍，表明所述球形金屬粒子是單分散的。所述粒子的平均縱橫比為1.03，表明所述粒子有高球形度。
實(shí)施例2為研究粒徑的控制(這是本發(fā)明的特征)，研究所述固態(tài)球形金屬粒子與所用多孔玻璃膜的平均孔徑之間的關(guān)系。
使用平均孔徑分別為0.52μm、1.36μm、2.52μm、5.16μm、和19.9μm的六種不同的親水多孔玻璃膜(均為CaO-B2O3-SiO2-Al2O3-Na2O-MgO型，商品名“SPG”，Miyazaki Prefecture Industrial Technology Center生產(chǎn))。用熔點(diǎn)為183℃的含鉛焊料(Senjie Metal Industry Co.，Ltd.以商品名“SN63”出售，組成63Sn/37Pb)作為金屬，純豆油作為油，硬脂酸鉛作為分散劑(2.0wt％相對(duì)于油)。其它條件與實(shí)施例1中相同。
用上述六種多孔玻璃膜得到的固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布示于圖8中。分布圖25示出用平均孔徑為0.52μm的多孔玻璃膜制備的固態(tài)球形金屬粒子的粒徑分布。類(lèi)似地，分布圖26、27、28、29和30示出平均孔徑分別為1.36μm、2.52μm、5.16μm、10.61μm和19.9μm的那些粒子的粒徑分布。
如圖9中所示，平均粒徑Dp與平均孔徑Dm相互成比例，比值Dp/Dm(線(xiàn)31的斜率)為約2.8。這些結(jié)果表明可通過(guò)改變多孔膜的平均孔徑生產(chǎn)所需尺寸的單分散固態(tài)球形金屬粒子。圖10示出對(duì)于每種多孔膜而言所述液態(tài)金屬開(kāi)始透過(guò)多孔膜的最小壓力Pc。Pc與1/Dm相互成比例，斜率4·γ·cosθ(線(xiàn)32的斜率)為1.41N/m。假定θ為180°，則計(jì)算液態(tài)金屬與連續(xù)相之間的界面張力(γ)為γ＝350mN/m。
實(shí)施例3用兩種不同的系統(tǒng)制備固態(tài)球形金屬粒子。除以下條件之外制備方法與實(shí)施例1中相同。
制備系統(tǒng)為其中連續(xù)相由作為油的硅油和作為分散劑的2wt％硬脂酸鉛組成的系統(tǒng)A，和其中連續(xù)相由作為油的蓖麻油和作為分散劑的2wt％硬脂酸鋅組成的系統(tǒng)B。所用多孔玻璃膜為平均孔徑2.52μm的CaO-B2O3-SiO2-Al2O3-Na2O-MgO型(商品名“SPG”，Miyazaki PrefectureIndustrial Technology Center生產(chǎn))。用熔點(diǎn)為135-165℃(固相線(xiàn)溫度135℃，液相線(xiàn)溫度165℃)的43Sn/14Bi/43Pb含鉛焊料(Senjie Metal IndustryCo.，Ltd.以“#165”出售)作為金屬。上容器8的溫度保持在約180℃，下容器11的溫度保持在約130℃。
結(jié)果表明用系統(tǒng)A和B制備的固態(tài)球形金屬粒子有與實(shí)施例1中近似相同的粒徑分布。系統(tǒng)A的平均粒徑為7.0μm，系統(tǒng)B為7.1μm，相比實(shí)施例1中為7.1μm。系統(tǒng)A的平均縱橫比為1.04，系統(tǒng)B為1.03，相比實(shí)施例1為1.03。
實(shí)施例4為在表面氧化程度方面與商購(gòu)焊錫膏中所述焊錫粉粒對(duì)比，制備兩類(lèi)固態(tài)球形金屬粒子。
作為商購(gòu)焊錫膏，使用(1)“Universal cream solder”(Shinfuji Burner Co.，Ltd.生產(chǎn)，63Sn/37Sb，平均粒徑40μm)(商品C)，和(2)工業(yè)級(jí)焊錫膏“M31-22BM5”(Seniu Metal Industry Co.，Ltd.生產(chǎn)，95.75Sn/3.5Ag/0.75Cu，平均粒徑35μm)(商品D)。每種焊錫膏都用丙酮和甲苯洗滌回收焊錫粉粒，儲(chǔ)存在甲苯中。
用實(shí)施例2中生產(chǎn)的平均粒徑為30μm而且有粒徑分布圖24的固態(tài)球形金屬粒子(試樣E)與商品C中的焊錫粉粒對(duì)比。
為與商品D中的焊錫粉粒對(duì)比，使用固態(tài)球形金屬粒子(平均粒徑30μm)(試樣F)，該粒子是按實(shí)施例1用組成與商品D類(lèi)似的96.5Sn/3Ag/0.5Cu無(wú)鉛焊料(Senju Metal Industry Co.，Ltd.生產(chǎn)的“#M705”)作金屬得到的。所用多孔玻璃膜的平均孔徑為10.61μm。
為評(píng)價(jià)表面氧化程度，用示差掃描量熱計(jì)(DSC)測(cè)量氧化熱。將焊錫粉粒與甲苯一起放在樣品杯中，將杯放入DSC樣品室內(nèi)。使高純氮?dú)馔ㄟ^(guò)該室(保持在30℃)。甲苯蒸發(fā)而量熱天平穩(wěn)定后，使空氣通過(guò)該室，測(cè)量試樣的氧化熱。結(jié)果如下商品C產(chǎn)生的氧化熱為15.9J/g，試樣E為101.3J/g，商品D為23.0J/g，試樣F為94.8J/g。
換算成單位表面積的氧化熱，商品C為1.1kJ/m2，試樣E為5.1kJ/m2，商品D為1.3kJ/m2，試樣F為4.7kJ/m2。這些結(jié)果表明與所述商品相比，按本發(fā)明方法生產(chǎn)的固態(tài)球形金屬粒子表面氧化極小。
實(shí)施例5在用于水包油分散體系的常規(guī)膜乳化法中，所述膜優(yōu)先被連續(xù)液相潤(rùn)濕，而不是被分散相潤(rùn)濕。因而，在連續(xù)液相為油相的情況下，必須使多孔玻璃膜的表面改性為疏水。相反，按本發(fā)明，只要所述膜由不被液態(tài)金屬潤(rùn)濕的材料制成，即使所述膜未經(jīng)特殊處理使之疏水也能完成膜乳化形成油包金屬乳液。為證明此和闡明所用表面活性劑作為分散劑的效果，用以下方法制備單分散固態(tài)球形粒子。
用熔點(diǎn)為70℃的50Bi/26.7Pb/13.3Sn/10Cd低熔點(diǎn)金屬(商品名“U-alloy70”，Nilaco Corporation生產(chǎn))作為金屬，用甲苯作為油，用濃度為2wt％的四甘油縮合的蓖麻油酸酯(Sakamoto Yakuhin Kogyo Co.，Ltd.生產(chǎn)的“TGCR”)和脫水山梨醇單油酸酯(Wako Pure Chemical Industries，Ltd.生產(chǎn)的“Span 80”)作為親油表面活性劑。
用硅樹(shù)脂(Shin-Etsu Chemical Co.，Ltd.以商品名“KP-18C”出售)使平均孔徑2.52μm的多孔玻璃膜(CaO-B2O3-SiO2-Al2O3-Na2O-MgO型，商品名“SPG”，Miyazaki Prefecture Industrial Technology Center生產(chǎn))疏水，用此疏水膜和圖2中所示設(shè)備進(jìn)行膜乳化。上容器8的溫度設(shè)置在約80℃，下容器11的溫度設(shè)置在室溫。
分開(kāi)地，提供未使之疏水的與上述相同的膜(即親水膜)以與上述相同的方式用上述“TGCR”作為親油表面活性劑進(jìn)行膜乳化。另一方面，以與上述相同的方式用上述疏水膜和上述“Span 80”作為親油表面活性劑進(jìn)行膜乳化。此外，以與上述相同的方式用上述親水膜和上述“TGCR”作為親油表面活性劑進(jìn)行膜乳化。
結(jié)果是所有情況下都在0.56至0.58MPa的壓力下開(kāi)始膜乳化，得到平均粒徑為7.0至7.1μm和高球形度的單分散固態(tài)球形金屬粒子。因此證明用本發(fā)明即使不使膜表面改性也可進(jìn)行膜乳化。
實(shí)施例6用低熔點(diǎn)金屬和水相作為連續(xù)液相生產(chǎn)球形金屬粒子。
用熔點(diǎn)為46.8℃的44.7Bi/22.6Pb/8.3Sn/5.3Cd/19.1In低熔點(diǎn)(商品名“U-alloy 47”，Nilaco Corporation生產(chǎn))作為金屬，與平均孔徑2.52μm的多孔玻璃膜(CaO-B2O3-SiO2-Al2O3-Na2O-MgO型，商品名“SPG”，Miyazaki Prefecture Industrial Technology Center生產(chǎn))組合。用作連續(xù)液相的是(1)含0.5wt％十二烷基硫酸鈉(SDS)的水溶液(Wako Pure ChemicalIndustries，Ltd.生產(chǎn))作為水溶性表面活性劑，(2)加入60mol-聚氧乙烯的硬化蓖麻油的2wt％水溶液(Nikko Chemicals Co.，Ltd.以商品名“HCO-60”出售)，和(3)加入25mol-聚氧乙烯的烷基醚的2wt％水溶液(NikkoChemicals Co.，Ltd.以商品名“BL-25”出售)，所有情況下均通過(guò)膜乳化形成的M/W(水包金屬)乳液制備單分散固態(tài)球形粒子。使用圖2中所示設(shè)備，液體溫度設(shè)置在約60℃。除上述條件外以與實(shí)施例1中相同的方式進(jìn)行膜乳化。
結(jié)果是上述系統(tǒng)(1)至(3)都在0.56至0.58MPa的壓力下開(kāi)始膜乳化產(chǎn)生平均粒徑為7.0至7.1μm和高球形度的單分散固態(tài)球形金屬粒子。
實(shí)施例7所述連續(xù)相使用不同液體生產(chǎn)有較小粒徑的球形金屬粒子。
平均孔徑0.30μm的多孔玻璃膜(商品名“SPG”，Miyazaki PrefectureIndustrial Technology Center生產(chǎn))與熔點(diǎn)為183℃的含鉛焊料(Senju MetalIndustry Co.，Ltd.以商品名“SN63”出售，組成63Sn/37Pb)作為金屬組合使用。
制備以下兩體系作為連續(xù)液相進(jìn)行膜乳化。
用液態(tài)石蠟作為連續(xù)相液體和蔗糖芥酸酯(Mitsubishi-Kagaku FoodsCorporation以商品名“ER290”出售)作為油溶性分散劑制備第一體系。由于該酯在約183℃下熱分解破壞分散體的穩(wěn)定性，因而在不斷補(bǔ)充所述酯的情況下進(jìn)行膜乳化。其它條件與實(shí)施例1中相同。
第二體系中，用聚合度為600的聚乙二醇作為連續(xù)相液體，用十甘油硬脂酸酯(Mitsubishi-Kagaku Foods Corporation以商品名“SWA-10D”出售)作為分散劑。其它條件與實(shí)施例1中相同。
使用這兩種連續(xù)液相都得到平均粒徑為0.85μm的單分散鉛焊料球形粒子。因此證明按本發(fā)明可生產(chǎn)平均粒徑小于1μm的粒子而且可使用油溶性或水溶性分散劑。
實(shí)施例8生產(chǎn)有較大粒徑的球形金屬粒子。
用上述“U-alloy 47”作為低熔點(diǎn)金屬，用商購(gòu)煤油以及作為分散劑的親油表面活性劑“TGCR”形成連續(xù)液相。用于膜乳化的生產(chǎn)設(shè)備是圖3中所示設(shè)備，其中在約60℃下加熱該系統(tǒng)。
使用四類(lèi)多孔膜平均孔徑為18.8μm的平板膜型多孔玻璃膜(膜G)、膜G經(jīng)堿蝕使平均孔徑變大制備的平板型多孔玻璃膜(膜H)、其中孔垂直于膜表面通過(guò)膜的平均孔徑為100μm的環(huán)氧樹(shù)脂平板膜(膜I)、和有寬50μm、長(zhǎng)10μm的縫狀通孔的不銹鋼平板膜(膜J)。膜J涂有氟化硅烷化合物(Shin-Etsu Chemical Co.，Ltd.以商品名“KBM7803”出售)。
結(jié)果是所有情況下都得到高球形度的單分散固態(tài)球形金屬粒子，膜G的平均粒徑為53μm，膜H為140μm，膜I為300μm，膜J為35μm。用膜G得到的單分散固態(tài)球形粒子在光學(xué)顯微鏡下的觀察結(jié)果示于圖11中。這些結(jié)果表明本發(fā)明生產(chǎn)方法不僅能將粒徑控制在1至100μm的范圍內(nèi)，而且能產(chǎn)生較大的單分散固態(tài)球形粒子。
權(quán)利要求
1.具有累積體積分布的單分散球形金屬粒子，特征在于1)所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑為10μm或更?。?)所述分布中對(duì)應(yīng)于10vol％的粒徑為所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑的至少60％；和3)所述分布中對(duì)應(yīng)于90vol％的粒徑為所述分布中對(duì)應(yīng)于50vol％的粒徑的至多125％。
2.權(quán)利要求
1的單分散球形金屬粒子，其中所述金屬粒子的平均縱橫比為1.1或更低。
3.權(quán)利要求
1的單分散球形金屬粒子，其中所述金屬粒子由熔點(diǎn)為250℃或更低的金屬制成。
4.一種按照權(quán)利要求
1的單分散球形金屬粒子的生產(chǎn)方法，特征在于使液態(tài)金屬通過(guò)平均孔徑為0.05-100μm的多孔膜而使所得液態(tài)金屬粒子分散于連續(xù)液相中。
5.權(quán)利要求
4的生產(chǎn)方法，其中所述多孔膜為多孔玻璃膜。
6.權(quán)利要求
4的生產(chǎn)方法，其中所述液態(tài)金屬是已熔化的熔點(diǎn)至多250℃的金屬。
7.權(quán)利要求
4的生產(chǎn)方法，其中所述連續(xù)液相還含有分散劑。
8.權(quán)利要求
7的生產(chǎn)方法，其中所述分散劑為金屬皂。
專(zhuān)利摘要
本發(fā)明的目的是提供有極佳單分散性的球形金屬粒子。本發(fā)明涉及一種單分散球形金屬粒子的生產(chǎn)方法，特征在于使液態(tài)金屬通過(guò)多孔膜而使所得液態(tài)金屬粒子分散于連續(xù)液相中。
文檔編號(hào)H05K3/34GKCN1253279SQ02809244
公開(kāi)日2006年4月26日 申請(qǐng)日期2002年3月22日
發(fā)明者清水正高, 鳥(niǎo)越清, 中島忠夫, 赤崎泉 申請(qǐng)人:宮崎縣導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan