專利名稱:具有改進(jìn)玻璃密封性的防相互擴(kuò)散的鐵—鎳合金的制作方法
本發(fā)明是關(guān)于在電子和電器應(yīng)用中具有特殊用途的鐵-鎳合金。該鐵-鎳合金含有氮和至少一種選自由鉬和鋁組成的元素。
鐵-鎳合金，特別是鐵-鎳-鉬合金，是十分有名的磁性合金。這些合金是以這樣的所需要的特性，諸如高的初始導(dǎo)磁性、高的電阻率、良好的導(dǎo)磁率一致性(相容性)以及良好的磁穩(wěn)定性為特征的。
美國(guó)專利1，757，178(Elmer)，2，407，234(Guthrie等人)，2，891，883(Howe)，3，024，142(Parkin)，4，082，580(Pfeifer等人)以及4，536，229(Jin等人)說明了這些鐵-鎳和鐵-鎳-鉬磁性合金。
還發(fā)明鐵合金，包括鐵-鎳合金，可用于電子應(yīng)用。例如，陶瓷封裝(CERDIPs)中的導(dǎo)線框架和起罐頭用的銷，已用鐵-鎳合金制成。但是，使用這些合金不是沒有嚴(yán)重問題，在半導(dǎo)體器件中，鐵-鎳合金的導(dǎo)線框架典型地是通過許多鋁和/或鋁合金導(dǎo)線連接到一集成線路片上的。鐵合金的導(dǎo)線框架與鋁引線之間的接合位是典型的位置，在此由于暴露在熱之中，例如封裝半導(dǎo)體器件涉及的熱處理，鐵和鋁之間相互擴(kuò)散的強(qiáng)烈傾向性的結(jié)果，形成了脆性金屬間化合物。
這種金屬間化合物問題，一般是通過在一個(gè)或多個(gè)鐵合金導(dǎo)線框架的表面形成一薄鋁條加以處理的。鋁條可以是涂覆到表面的薄涂層或一種鑲嵌物。在某些情況下，該鋁條包含一涂層在整個(gè)導(dǎo)線框架上。然后導(dǎo)線被焊接到鋁條上，以便形成一種鋁/鋁電偶。美國(guó)專利3，559，285(Kauffman)說明了具有一種鑲嵌鋁條的鐵合金導(dǎo)線框架材料。
使用鐵合金作為導(dǎo)線框架材料帶來的另一個(gè)問題與玻璃密封有關(guān)。許多半導(dǎo)體集成線路片用陶瓷封裝，稱作CERDIP。為了提供密封封裝結(jié)構(gòu)，導(dǎo)線框架用玻璃密封材料諸如具有氧化鋁底座的那些材料焊接到一層或多層陶瓷材料上。Fe-42Ni一類鐵合金不能很好地與密封玻璃材料焊接。另一方面，在導(dǎo)線框架材料上或中的一鋁條被用來克服這種焊接問題，因?yàn)殇X一般與玻璃密封焊接很好。
半導(dǎo)體器件和/或密封裝置的制造者已表明需要這樣的合金，它們可用作導(dǎo)線框架的材料而不必涂覆或給導(dǎo)線框架鑲嵌。通過避免導(dǎo)線框架的涂覆和/或鑲嵌，降低了制造成本。所需要的合金的特征在于改進(jìn)耐金屬間化合物的形成并提高與玻璃密封材料的焊結(jié)能力。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供具有改進(jìn)耐金屬間化合物形成的一種鐵-鎳合金。
本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供具有改進(jìn)玻璃粘結(jié)性能的一種上述合金。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供具有改進(jìn)線連接特性的上述合金。
本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供適于用作半導(dǎo)體器件的導(dǎo)線框架的上述鐵-鎳合金。
從下面的說明和附圖中將對(duì)這些和其它目的以及優(yōu)點(diǎn)變得更加明瞭，其中參考數(shù)字說明對(duì)應(yīng)元件。
本發(fā)明通過將氮和至少一種選自由鉬和鋁組成的元素加至鐵-鎳合金，以達(dá)到前述目的。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，將氮和鉬(有或沒有鋁)加至鐵-鎳合金，以改進(jìn)合金對(duì)金屬間化合物的形成的阻力，尤其是在典型的半導(dǎo)體制造和/或封裝技術(shù)涉及的熱處理過程中更是如此。此外，業(yè)已發(fā)明含有這些添加物的合金具有改進(jìn)了與玻璃密封材料的焊接附著性，而且使用標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)超聲波焊接技術(shù)易于焊接到鋁或鋁合金導(dǎo)線上。
按照本發(fā)明的合金含有大約30%-60%的鎳，大約0.001%-0.15%的氮，至少一種選自由大約1%-10%的鉬和大約0.001%-2%的鋁組成的元素，剩下部分主要是鐵，該合金的特征是具有單相和單面的立方金屬結(jié)構(gòu)。該合金最好還具有鐵與鎳之比在大約1.1∶1-1.6∶1的范圍內(nèi)，推薦的合金含有大約39%-55%的鎳，大約0.005%-0.05%的氮，至少一種選自由大約1%-4%的鉬和大約0.3%-1%的鋁組成的元素，剩下的主要是鐵。
附圖是一個(gè)半導(dǎo)體密封裝置的橫截面圖。
本發(fā)明是關(guān)于具有改進(jìn)的防金屬間化合物的形成性和/或與玻璃密封材料的附著力得到提高的鐵-鎳合金。這些合金在電器和電子的應(yīng)用中央具有特殊用途。例如，它們可用作在半導(dǎo)體密封裝置中的導(dǎo)線框架或類似元件。另外，它們可用于起罐頭的銷，玻璃對(duì)金屬的電源饋線，或其它類似應(yīng)用。
現(xiàn)在參考附圖來說明典型的半導(dǎo)體密封裝置10。它包括一個(gè)陶瓷底座口，第一玻璃層16和來自導(dǎo)線框架的大量導(dǎo)線18，此導(dǎo)線框架通過玻璃層16焊接到陶瓷底座12上。半導(dǎo)體器件20既可使用芯片(die)連接墊，也可使用含金材料層14固定在底座口上。含金材料被用于許多現(xiàn)代密封裝置中，以使層14和小片20之間有可能形成金-硅易熔焊接。含金屬層14可包含一鍍金板或一噴射到陶瓷底座上的金粉涂料。器件20用大量的引線22連接到導(dǎo)線18上。一般地說，引線由鋁或諸如Al-1%Si的鋁合金制成。第二玻璃層24置于導(dǎo)線框架組件的導(dǎo)線18上。為了完成密封裝置，由陶瓷或金屬材料制成的蓋26置在玻璃層24上。
在某些密封裝置中，玻璃層24和蓋26每個(gè)具有中心孔或窗孔，以使器件20焊接到墊或?qū)?4上，并且在玻璃層24和/或蓋26熔合玻璃層16以后進(jìn)行導(dǎo)線連接。配有一個(gè)蓋板(未示出)，在器件置于墊上并在進(jìn)行線連接后封閉窗孔。蓋板可用一種陶瓷材料、一種金屬材料，例如鍍金科伐(Kovar)，或玻璃材料制成。
為了加工圖中所示的半導(dǎo)體密封裝置，首先將芯片連接墊或含金屬層14焊接或鍍到陶瓷底座口上。然后將玻璃層16絲網(wǎng)印刷到陶瓷底座上并用空氣燃燒，留下用于把半導(dǎo)體器件20連接到墊或?qū)?4的孔或窗孔23。此后，將具有導(dǎo)線18的導(dǎo)線框架置于玻璃層16上并熔合。最好，第二玻璃層24與蓋26先連接，然后再與層16熔合。隨后，玻璃層24與玻璃層16熔合，形成密封裝置結(jié)構(gòu)。但在這之前，器件20被連接到墊或?qū)?4上，并且進(jìn)行器件20與導(dǎo)線18之間的線連接。典型的線連接是在環(huán)境壓力下使用熱壓，超聲或熱聲連接器進(jìn)行。這種線連接操作常導(dǎo)致在導(dǎo)線18上形成表面氧化物。
用于封裝集成電路片或半導(dǎo)體器件的有代表性的陶瓷材料包括氧化鈹。在這些密封裝置中的玻璃層16和24可由任何適宜的玻璃材料，諸如85%氧化鋁-15%硼酸組合物組成。
應(yīng)當(dāng)承認(rèn)，圖中所示的密封裝置以及所討論的附屬物只是用來做圖示，而決不意味著限制本發(fā)明。本發(fā)明的合金可連同各種各樣的密封裝置構(gòu)件和材料一起使用。
如前文討論，在許多現(xiàn)代密封裝置中，導(dǎo)線18和導(dǎo)線框架可由諸如Fe-42Ni的鐵合金制成。用這些合金作導(dǎo)線框架材料已產(chǎn)生幾種明顯的問題。這些問題包括(1)在導(dǎo)線18和引線22的連接處形成金屬間化合物，尤其是當(dāng)導(dǎo)線用鋁或鋁合金制成時(shí);(2)導(dǎo)線18和玻璃層16和24之間的附著力差。金屬間化合物問題具有特殊意義，因?yàn)樗泻Φ赜绊懥藢?dǎo)線連接的質(zhì)量。許多半導(dǎo)體器件的損壞都是由于導(dǎo)線互相連接處變脆或斷裂造成的。附著性差的問題也很重要，因?yàn)樗寡b置的密封性變差，并且導(dǎo)致密封裝置破裂。曾試圖克服這些問題，包括用象鋁、金、及其合金一類的材料對(duì)導(dǎo)線框架的導(dǎo)線18進(jìn)行涂覆和/或鑲嵌。但涂覆和/或鑲嵌必然合增加密封裝置的制造成本。
按照本發(fā)明，這些問題可通過使用鐵合金的導(dǎo)線和導(dǎo)線框架加以解決，而所述的鐵合金顯示出改進(jìn)了防金屬間化合物的形成和/或改進(jìn)了對(duì)玻璃密封材料的附著力。本發(fā)明的合金包括這樣的合金它們主要是由大約30%-60%鎳、大約0.001%-0.15%氮、至少一種選自大約1%-10%鉬和大約0.001%-2%鋁組成的元素、剩下部分主要是鐵構(gòu)成的一種組合物。最好，合金中鐵與鎳之比在大約1.1∶1-1.6∶1的范圍內(nèi)。
已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，氮是特別有用的添加劑，因?yàn)樗黠@降低了不需要的鐵-鋁金屬間化合物的形成。鉬和鋁添加物的益處在于，它們改進(jìn)玻璃的附著性和合金的線連接特性。鉬也是有用的，它提高了本發(fā)明鐵-鎳合金中的氮溶解度和/或擴(kuò)散度，并且據(jù)信，它與表面氧化物作用，有助于提高本發(fā)明的合金與玻璃密封材料之間的焊接性。
尤其有用的實(shí)施方案包括(a)一種主要由大約39%-55%鎳、大約0.005-0.05%氮、大約1%-4%鉬和主要是鐵的剩余部分構(gòu)成的合金;(b)一種主要由大約39%-55%鎳、大約0.005%-0.05%氮、大約0.3%-1.0%鋁和主要是鐵的剩余部分構(gòu)成的合金。當(dāng)材料受到足以生成金屬間化合物的高溫時(shí)，合金(a)特別有用;而當(dāng)溫度未達(dá)到足以形成金屬間化合物的高溫時(shí)，合金(b)特別有用。如果需要，合金(a)中可加入大約0.3%-1.0%范圍的鋁添加劑，以便進(jìn)一步改善合金的玻璃密封性。
從金屬學(xué)的角度看，本發(fā)明的合金特征是面心立方結(jié)構(gòu)。另外，該合金為單相合金。
當(dāng)鉬被加入鐵-鎳合金中、而且鐵-鎳合金被焊接到純鋁組件時(shí)，合金的最小鉬含量可用下面的公式確定%Mo≥(86±5-%Ni)/(7.25±1.25)(1)對(duì)于本發(fā)明的某些鉬實(shí)施例的合金來說，也能確定合金的最小氮含量。例如，含大約39%-47%范圍的鎳和約1%-5.1%范圍的鉬的合金，推薦按下面的公式制定最小氮添加劑的用量。
%N＝(0.0001)×(34l-7.5Ni+7.4Mo)(2)如果需要，本發(fā)明的合金還可含有近大約1.0%有效量的錳和/或近大約0.1%有效量的鎂。據(jù)信，錳和/或鎂添加劑對(duì)降低鑄造過程中硫雜質(zhì)的作用特別有效。
為了改善金屬間化合物的抑制特性，合金中應(yīng)不含硅。這是由于硅與氮結(jié)合形成氮化硅，降低了氮在金屬間的作用。在本發(fā)明的合金中，可允許常規(guī)普通的雜質(zhì)存在，但應(yīng)保持在雜質(zhì)量級(jí)。
本文所使用的前述合金組份的百分比為重量百分比。
本發(fā)明的合金可以任何所需方式鑄造，包括但不局限于Durville鑄造、連續(xù)鑄造和直接冷鑄，以形成鑄錠或條狀。鑄造后，可通過諸如熱軋對(duì)合金進(jìn)行熱加工，和/或通過諸如冷軋進(jìn)行具有至少一次中間退火的冷加工。最好對(duì)合金進(jìn)行冷加工強(qiáng)化而不用預(yù)先熱加工。冷加工強(qiáng)化時(shí)，用標(biāo)準(zhǔn)冷軋技術(shù)獲得的壓縮量在大約20%-40%范圍內(nèi)。
中間退火可在96%-4%H2氣氛下進(jìn)行，而溫度在大約800℃-1000%范圍內(nèi)，時(shí)間在大約1小時(shí)-24小時(shí)的范圍內(nèi)。最好，在所述氣氛下，在大約2小時(shí)-8小時(shí)的時(shí)間范圍并在大約900℃-975℃的溫度范圍進(jìn)行中間退火。如果需要，中間退火可采用將合金充氮。另一方面，可通過將氮?dú)獯等牒F、鎳、鉬和/或鋁的熔體的方法加氮。任何本技術(shù)領(lǐng)域：
已知的適宜的技術(shù)手段，諸如噴槍都可以被使用，以使氮進(jìn)入到熔體中。在另一個(gè)替換方法中，合金可在裂化氨氣氛下，通過使鑄錠或鑄條退火而充氮。
在加工后，鐵-鎳帶材可按照任何本技術(shù)領(lǐng)域：
已知的標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)手段加工成所需要的產(chǎn)品，例如導(dǎo)線框架。
為了顯示本發(fā)明的改進(jìn)之處，進(jìn)行了下面的實(shí)施例。
實(shí)施例1為了證明用本發(fā)明的合金改進(jìn)了防金屬間化合物所具有的形成作用。制備了一組具有表Ⅰ所示組分的合金。在950℃下，于60%N2-4%H2氣氛下加熱合金使它充氮。
表Ⅰ合 Ni Mo Al N Fe金 (重量%) (重量%) (重量%) (重量%) (重量%)A 42 - - 0.01 剩余部分B 42 0.7-6 - - 剩余部分C 42 2.8-9.1 - 0.01 剩余部分D 41 - 0.7-2.1 0.01 剩余部分E 40 2.5 0.8-1.8 0.01 剩余部分將每一種合金的2″×4″試樣焊接到鋁合金試樣上。鋁合金含有1.25%硅。用POSIT-BOND焊接技術(shù)進(jìn)行焊接，其中試樣受到60%冷加工壓縮。試樣用機(jī)械清洗并在焊接前除油。經(jīng)焊接的試樣在500℃下暴露16小時(shí)。測(cè)量在這種熱處理過程中形成的金屬間化合物的厚度。表Ⅱ報(bào)導(dǎo)了這些測(cè)量結(jié)果。
表Ⅱ合金 金屬間的厚度(μm)A 12B 11-10C 2D 11E 2
表Ⅱ的數(shù)據(jù)表明，通過將具有或沒有鋁的氮和鉬加入鐵-鎳合金，則在Fe-Ni和Al-Si組份之間形成的金屬間化合物的厚度減低。這通過使用合金C和E得到的結(jié)果證實(shí)。
為了在半導(dǎo)體密封裝置中使生產(chǎn)者免除使用鍍鋁或鑲鋁條的鐵-鎳合金組件，替換的鐵-鎳合金應(yīng)顯示出等同的或基本等同的玻璃密封性。下面的實(shí)施例說明了用本發(fā)明的合金可以得到的改進(jìn)的玻璃密封性。
實(shí)施例Ⅱ制備一組具有表Ⅲ所示組份的鐵-鎳合金。為了便于比較，也制備鍍鋁的Fe-42Ni合金試樣。每一種合金試樣焊接到市售的氧化鋁陶瓷封裝(CERIP)材料上，以便形成玻璃-金屬-玻璃的復(fù)合層。在焊接前，將鐵合金試樣除油。
在焊接后，玻璃-金屬-玻璃復(fù)合層受到用于和集成線路密封裝置一起的標(biāo)準(zhǔn)扭距試驗(yàn)。在這個(gè)試驗(yàn)中，試樣扭曲直至破裂。表Ⅲ報(bào)導(dǎo)了這個(gè)試驗(yàn)的結(jié)果。
表Ⅲ合金 扭距強(qiáng)度(吋-磅)鍍鋁Fe-42Ni 74-82Fe-42Ni-0.0027N 0Fe-40Ni-2.8Mo-0.0058N ＞50Fe-41Ni-2.7Mo-0.8Al-0.01N ＞50Fe-42Ni-0.7Al-0.01N ＞50從表Ⅲ可以看出，按照本發(fā)明形成的那些合金，顯示的扭距強(qiáng)度可與鍍鋁的F2-42N2達(dá)到的強(qiáng)度相比。表Ⅲ還表明，僅把氮加入Fe-42Ni中不能改善合金的玻璃密封性。據(jù)信，本發(fā)明的合金提供的玻璃密封附著性的改進(jìn)，是玻璃和金屬之間形成的化學(xué)鍵的結(jié)果，而不是用先有技術(shù)材料所發(fā)現(xiàn)的機(jī)械壓實(shí)型接合。
為了免除Fe-42Ni導(dǎo)線框架用鋁鍍/鑲鋁條，還必須把鋁或鋁合金引線直接線焊接到裸露合金導(dǎo)線框架上，而且要得到用鍍鋁合金所得到的疲勞載荷。下面的實(shí)施例說明了在用本發(fā)明合金得到的線連接的改進(jìn)。
實(shí)施例Ⅲ制備一組具有表Ⅳ報(bào)導(dǎo)的組份的鐵-鎳基體。為了模擬典型的線連接操作，使用Kulicke和Soffa Model＃484-8線連接器，在基體上線連接一個(gè)由Al-1%Si合金組成的1.25密耳的導(dǎo)線。所有基體在峰溫493℃下進(jìn)行空氣框架沉降處理8分鐘。表Ⅳ報(bào)導(dǎo)了使線和各種基體間斷開連接所需的平均載荷的結(jié)果。
表Ⅳ基體 平均導(dǎo)線拉力載荷(克)鑲鋁條的Fe-42Ni 12裸露的Fe-42Ni 9Fe-40Ni-2.8No-0.01N 10Fe-42Ni-0.7Al-0.01N 10Fe-41Ni-2.1Al-0.01N 9Fe-41Ni-2.6Mo-0.45Al-0.01N 12Fe-42Ni-2.5Mo-1.8Al-0.01N 10從表Ⅳ可以看出，本發(fā)明合金制成的基體與裸露的鐵-鎳合金基體比較，一般顯示出改進(jìn)的線連接特性。
當(dāng)本發(fā)明的合金在電子和電器應(yīng)用中具有特殊用途時(shí)，它們還在其它需要提高防金屬間化合物形成性和/或改進(jìn)的玻璃附著性的應(yīng)用中具有特殊用途。例如，本發(fā)明的合金可用于復(fù)合結(jié)構(gòu)中，例如鐵-鎳/玻璃復(fù)合物和鐵-鎳合金/鋁或鋁合金復(fù)合物。
顯然，按照本發(fā)明提供的防相互擴(kuò)散的鐵-鎳合金具有改進(jìn)的玻璃密封性，這完全滿足了目的、手段以及前述的優(yōu)點(diǎn)。在結(jié)合其具體實(shí)施例說明了本發(fā)明之后，很明顯，根據(jù)前面的描述，多種替換物、改型、和變換，對(duì)本技術(shù)領(lǐng)域：
專業(yè)人員是顯而易見的。因此，打算把所有這些替換物，改型和變換包括在所附權(quán)利要求
的精神實(shí)質(zhì)和較寬的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種具有改進(jìn)的防金屬間化合物形成性的鐵-鎳合金，其特征在于所述合金主要包括大約30%-60鎳、大約0.005-0.15%氮、至少一種選自由大約1%-10%鉬和大約0.001-2%鋁組成的元素，剩下部分主要是鐵組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1的合金，其進(jìn)一步的特征在于所述至少一種元素包含鉬，所述的鉬提高了合金的氮溶解度和/或擴(kuò)散性，并按照下述公式的量存在%Mo≥(86±5-%Ni)/(7.25±1.25)。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1的合金，其進(jìn)一步的特征在于所述至少一種元素包含大約1%-4%的鉬;所述氮以大約0.005%-0.05%的量存在。
4.根據(jù)權(quán)利要求
3的合金，其進(jìn)一步的特征在于所述合金另外主要包括大約0.3%-1.0%鋁。
5.根據(jù)權(quán)利要求
1的合金，其進(jìn)一步的特征在于所述至少一種元素包含大約0.3%-1.0%鋁;所述氮以大約0.005%-0.05%的量存在。
6.根據(jù)權(quán)利要求
1的合金，其特征在于鐵與鎳在所述合金中的比例在大約1.1∶1-1.6∶1范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求
1的合金，其進(jìn)一步特征在于所述合金另外主要包括選自有效量近大約1.0%錳和有效量近大約0.1%鎂的至少一種添加元素，以便在鑄造過程中降低硫雜質(zhì)的作用。
8.根據(jù)權(quán)利要求
1的合金，其進(jìn)一步特征在于所述鎳以大約30%和小于約60%的量存在，所述鉬以大約1%-5.1%的量存在，而氮的量按下面的公式給定。%N＝(0.0001)×(34l-7.5Ni+7.4Mo)。
9.一種導(dǎo)線框架，其特征在于所述導(dǎo)線框架由權(quán)利要求
1的合金制成。
10.一種半導(dǎo)體密封裝置(10)，其特征在于至少一個(gè)導(dǎo)線框架的導(dǎo)線(18)由一種合金制成，該合金主要包括大約30%-60%鎳、大約0.005%-0.15%氮、至少一種選自由大約1%-10%鉬和大約0.001-2%鋁組成的元素、剩余部分主要是鐵。
11.根據(jù)權(quán)利要求
10的半導(dǎo)體密封裝置(10)，其進(jìn)一步的特征在于至少一種鋁或鋁合金1線(22)焊接到每種所述鐵-鎳合金導(dǎo)線(18)的第一部分上;及玻璃材料(16、24)連接到每種所述導(dǎo)線(18)的第二部分上。
12.根據(jù)權(quán)利要求
11的半導(dǎo)體密封裝置，其進(jìn)一步特征在于一個(gè)半導(dǎo)體器件(20);通過至少一種所述引線(22)，將每種所述導(dǎo)線(18)連接到所述器件(20)上;及至少一個(gè)組件(12，26)由陶瓷材料制成，用所述玻璃材料(16，24)將所述陶瓷材料組件焊接到每個(gè)所述導(dǎo)線(18)上，以便形成密封結(jié)構(gòu)。
13.一種形成鐵鎳合金的方法，其特征在于形成一種熔體，它含有大約30%-60%鎳、至少一種選自由大約1%-10%鉬和大約0.001%-2%鋁組成的元素、剩余部分是鐵;及將大約0.005%-0.15%氮加入所述熔體。
14.根據(jù)權(quán)利要求
13的方法，其進(jìn)一步特征在于所述氮加入步驟中，包括將氮?dú)獯等胨鋈垠w。
15.一種形成鐵-鎳合金的方法，其特征在于鑄造一種鐵-鎳合金，它主要包括大約30%-60%鎳，至少一種選自由大約1%-10%鉬和大約0.001%-2%鋁組成的元素，剩余部分是鐵;在含氮?dú)夥障率顾鲨T造合金退火，由此使所述合金充入大約0.005%-0.15%氮。
16.根據(jù)權(quán)利要求
15的方法，其進(jìn)一步特征在于在所述退火步驟前，將所述合金加工成條狀;及在所述含氮?dú)夥障拢顾龊辖饤l在大約800℃-1000℃下退火約1-24小時(shí)。
專利摘要
本發(fā)明涉及一種鐵—鎳合金，它含有大約30—60％鎳，大約0.001—0.15％氮、至少一種選自由大約1—10％鉬和大約0.001—2％鋁組成的元素，剩余部分主要是鐵。該合金顯示了改進(jìn)的防金屬間化合物形成性，改善了玻璃與金屬的密封性，并且改善了線焊接性能。本發(fā)明的合金作為半導(dǎo)體密封裝置(10)的導(dǎo)線框架材料具有特殊用途。
文檔編號(hào)C22C33/04GK86107676SQ86107676
公開日1987年7月15日 申請(qǐng)日期1986年11月28日
發(fā)明者趙章遙, 約翰·F·布里迪斯 申請(qǐng)人:奧林公司導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan