專(zhuān)利名稱(chēng)：導(dǎo)電膜鍍制過(guò)程原位監(jiān)測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于薄膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種導(dǎo)電膜鍍制過(guò)程原位監(jiān)測(cè)裝置。
現(xiàn)有的鍍膜機(jī)上絕大多數(shù)未安裝面電阻原位監(jiān)測(cè)裝置。蘭州真空設(shè)備廠研制的卷繞式鍍膜機(jī)配有兩個(gè)方阻電極輥，其間距與基底幅寬相等，因此只適用于測(cè)量蒸發(fā)鍍膜的厚度，對(duì)其它氣體放電過(guò)程如磁控濺射、離子鍍等不適用，而且它不能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)基底幅寬范圍內(nèi)每一處的膜厚或電性均勻度，同時(shí)，由于其結(jié)構(gòu)固定，不能根據(jù)使用要求調(diào)節(jié)測(cè)量狀態(tài)。
本實(shí)用新型的目的在于提供一種可適用于多種鍍膜機(jī)的導(dǎo)電膜鍍制過(guò)程原位監(jiān)測(cè)裝置，該裝置可以滿足對(duì)膜面電阻阻值和均勻性的實(shí)時(shí)原位監(jiān)測(cè)，而且可隨時(shí)根據(jù)使用要求調(diào)節(jié)測(cè)量狀態(tài)。
本實(shí)用新型包括探測(cè)部分、控制部分和記錄顯示部分，其特點(diǎn)在于探測(cè)部分由支架、作為測(cè)量電極的兩個(gè)滾輪、作為接地電極的一個(gè)滾輪和磁鐵組成，三個(gè)滾輪相隔一定距離安裝在支架一端，磁鐵安裝在支架另一端；控制部分包括一電磁鐵和一控制電磁鐵的磁場(chǎng)方向和強(qiáng)度的可調(diào)直流電源，電磁鐵與探測(cè)部分的磁鐵相對(duì)。通過(guò)控制電磁鐵的通電方向，對(duì)探測(cè)部分產(chǎn)生一定的吸引力或推斥力，使探測(cè)部分根據(jù)需要貼合或離開(kāi)導(dǎo)電膜膜面，同時(shí)通過(guò)對(duì)通電電流強(qiáng)度的控制實(shí)現(xiàn)探測(cè)部分對(duì)鍍制導(dǎo)電膜膜面的吸引力或推斥力大小的控制，從而完成導(dǎo)電膜鍍制過(guò)程中原位實(shí)時(shí)的面電阻監(jiān)測(cè)。
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理圖。
如
圖1所示，本實(shí)用新型由探測(cè)部分、控制部分和記錄顯示部分組成。探測(cè)部分包括三個(gè)滾輪(3、4和5)、磁鐵6和支架7，其中，滾輪3和4用作兩個(gè)接觸測(cè)量電極，滾輪5為接地電極，可將留存于膜面上的輝光放電氣體帶電粒子導(dǎo)走，以提高測(cè)量精度，它們均由導(dǎo)電材料制成，相隔一定距離通過(guò)軸承安裝在支架7一端，磁鐵6則固定在支架7另一端，支架7由一個(gè)與鍍膜水冷輥1平行的桿支承，并以此桿為軸心轉(zhuǎn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)探測(cè)部分的位置，實(shí)現(xiàn)其與鍍了導(dǎo)電膜的柔性基底材料2的貼緊或離開(kāi)。控制部分包括一電磁鐵8和一控制電磁鐵8的磁場(chǎng)方向和強(qiáng)度的可調(diào)直流電源9，電磁鐵8與探測(cè)部分的磁鐵6相對(duì)，以控制探測(cè)部分對(duì)導(dǎo)電膜膜面的吸引力或推斥力的大小。記錄顯示部分包括測(cè)量面電阻用的直流穩(wěn)壓電源10和由面電阻測(cè)量裝置和數(shù)值顯示裝置組成的測(cè)量顯示系統(tǒng)11，面電阻測(cè)量裝置由安裝在真空室或容器壁上的接插件與真空室或容器內(nèi)的線路相連接，負(fù)責(zé)把流過(guò)滾輪3和4的電流測(cè)出，并根據(jù)所加電壓計(jì)算出面電阻值，然后通過(guò)數(shù)值顯示裝置顯示出來(lái)。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于1.體積小，安裝使用靈活；2.測(cè)量滾輪和接地滾輪對(duì)基底的貼緊力可根據(jù)基底的厚薄加以調(diào)節(jié)，不會(huì)損傷基底材料和導(dǎo)電膜；3.可根據(jù)基底材料的寬窄，方便地調(diào)節(jié)測(cè)量頭位置，以測(cè)量不同點(diǎn)的面電阻；4.有利于了解基底上所鍍導(dǎo)電膜的均勻性。
權(quán)利要求1.一種導(dǎo)電膜鍍制過(guò)程原位監(jiān)測(cè)裝置，包括探測(cè)部分、控制部分和記錄顯示部分，其特征在于探測(cè)部分由支架(7)、作為測(cè)量電極的兩個(gè)滾輪(3)和(4)、作為接地電極的一個(gè)滾輪(5)和磁鐵(6)組成，三個(gè)滾輪(3)、(4)、(5)相隔一定距離安裝在支架(7)一端，磁鐵(6)安裝在支架(7)另一端，控制部分包括一電磁鐵(8)和一控制電磁鐵(8)的磁場(chǎng)方向和強(qiáng)度的可調(diào)直流電源(9)，電磁鐵(8)與探測(cè)部分的磁鐵(6)相對(duì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原位監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于支架(7)由一個(gè)與鍍膜水冷輥(1)平行的桿支承，并以此桿為軸心轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原位監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于滾輪(3)、(4)、(5)由導(dǎo)電材料制成，并通過(guò)軸承安裝在支架(7)上。
專(zhuān)利摘要一種導(dǎo)電膜鍍制過(guò)程原位監(jiān)測(cè)裝置,通過(guò)控制電磁鐵的通電方向和電流強(qiáng)度,實(shí)現(xiàn)探測(cè)部分對(duì)鍍制導(dǎo)電膜膜面的吸引力或推斥力大小的控制,從而完成導(dǎo)電膜鍍制過(guò)程中原位實(shí)時(shí)的面電阻監(jiān)測(cè),其優(yōu)點(diǎn)在于體積小,安裝使用靈活,適用于多種鍍膜機(jī),可滿足對(duì)膜面電阻阻值和均勻性的實(shí)時(shí)原位監(jiān)測(cè),而且可隨時(shí)根據(jù)使用要求調(diào)節(jié)測(cè)量狀態(tài)。
文檔編號(hào)C23C14/56GK2289803SQ9620478
公開(kāi)日1998年9月2日 申請(qǐng)日期1996年4月4日 優(yōu)先權(quán)日1996年4月4日
發(fā)明者盧榆孫 申請(qǐng)人:中國(guó)航天工業(yè)總公司第五研究院第五一○研究所