專利名稱：在光學(xué)基片上蒸鍍鍍膜的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在光學(xué)基片例如塑料眼鏡片表面上蒸鍍鍍膜的方法，光學(xué)基片可以夾緊在支架上，支架本身裝在一個可抽成真空的容器內(nèi)可更換的蒸發(fā)源上方或下方。
在所有這類已知的光學(xué)基片尤其眼鏡片上在真空中蒸鍍至少一層鍍膜層的方法中，預(yù)定數(shù)量的這種基片在通常蒸鍍多層后，從基片表面在其中經(jīng)受可更換的蒸發(fā)源作用的平面中逐個或成組地移出，并再次將同樣數(shù)量的基片表面移入此平面中，以便接著同樣為它們蒸鍍一次或多次，換句話說，首先在基片一側(cè)的基片表面連續(xù)蒸鍍各個鍍膜層，然后回轉(zhuǎn)基片，接著蒸鍍另一基片表面。
但是這種方法太麻煩，因?yàn)樵诿總€蒸鍍過程后要切斷蒸發(fā)源，并在冷卻后為了一層新的鍍膜必須置入一個新的蒸發(fā)源。在為回轉(zhuǎn)后的基片表面鍍膜時所有這一切要再次重復(fù)。
此外，由于多次加熱蒸發(fā)源，這些蒸發(fā)源例如可以是電子束蒸發(fā)器或電阻加熱蒸發(fā)器，所以存在著蒸發(fā)材料分解和生成低氧化物以及由此造成折射值改變的危險。
因此本發(fā)明的目的是提供一種上述類型的方法，這種方法可以避免上述缺點(diǎn)。
在光學(xué)基片如塑料眼鏡片的表面上蒸鍍鍍膜的方法中，光學(xué)基片可被夾緊在支架上，支架本身裝在一個可抽成真空的容器內(nèi)可更換的蒸發(fā)源上方或下方，對于這種方法按本發(fā)明為達(dá)到上述目的，在一個為生成一層鍍膜的蒸鍍過程內(nèi)，首先蒸鍍夾緊在支架上的基片面朝蒸發(fā)源的那些表面，然后，在不關(guān)閉蒸發(fā)源的情況下，支架帶著基片迅速回轉(zhuǎn)，這時同樣蒸鍍基片面朝蒸發(fā)源的那些表面，之后進(jìn)行周期性的更換蒸發(fā)源，以便在一個新的蒸鍍過程中在基片表面分別鍍上另一層鍍膜。
采取這些措施后，現(xiàn)在周期性更換蒸發(fā)源減少了一半并因而也減少了蒸發(fā)源加熱次數(shù)，從而顯著減少使蒸發(fā)材料分解和生成低氧化物以及由此造成折射值改變的危險。
最好全部基片同時和在不中斷蒸發(fā)流的情況下回轉(zhuǎn)。
然而，在要回轉(zhuǎn)的基片例如裝在半球形回轉(zhuǎn)架上的情況下，在回轉(zhuǎn)期間蒸鍍電子束暫時對準(zhǔn)可擺動的擋板，因此帶有基片的回轉(zhuǎn)中的支架與蒸發(fā)流隔開。
下面借助于附圖表示的作為舉例的真空鍍膜設(shè)備的實(shí)施形式詳細(xì)說明按本發(fā)明的方法。其中

圖1用于蒸鍍多個在回轉(zhuǎn)架裝置上的光學(xué)基片的真空鍍膜設(shè)備簡化示意的縱剖面圖；以及圖2按圖1設(shè)備的設(shè)計改型。
圖1中舉例表示的用于在光學(xué)基片例如塑料眼鏡片10上蒸鍍鍍膜的真空鍍膜設(shè)備，包括一個用真空泵2可抽成真空的容器1。
在此容器1上部腔室內(nèi)裝有按本發(fā)明的回轉(zhuǎn)架裝置3，它有多個(圖中可看到2個)沿徑向圍繞一塊圓形支承板23設(shè)置的回轉(zhuǎn)架21，它們分別支承在一根可臨時旋轉(zhuǎn)180°的轉(zhuǎn)軸22上，其中，每一個回轉(zhuǎn)架21包括用于夾緊地固定一個要雙面鍍膜的基片的裝置，或用于固定兩個要單面鍍膜的基片的裝置(圖中未表示)。
在容器1下部表示了一個蒸發(fā)源100，在這里它包括一個帶加熱絲15的所謂電子槍，它在加熱后射出的電子在聚焦器16中聚合成射線束。電子束例如可以由一個處于負(fù)高壓下的鎢絲陰極產(chǎn)生，并可通過一個成型的文納爾電極預(yù)聚焦?，F(xiàn)在此電子束通過偏轉(zhuǎn)磁場13可轉(zhuǎn)入一個坩堝17中，蒸發(fā)材料便置于此坩堝內(nèi)。
為了操縱要在真空容器1內(nèi)運(yùn)動的器具，例如擋板14等，需要一些從外部伸入真空腔內(nèi)的操縱構(gòu)件(圖中未表示)。因?yàn)檫@種真空蒸鍍設(shè)備的結(jié)構(gòu)和工作方式其他方面總的來說是眾所周知的，所以對結(jié)構(gòu)作詳細(xì)的介紹便是多余的了。
在這里重要之點(diǎn)首先是，在回轉(zhuǎn)架21或轉(zhuǎn)軸22上連接有用于同時回轉(zhuǎn)全部回轉(zhuǎn)架的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。為此，回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括一個從支承板23圓周凸起的齒環(huán)25，在齒環(huán)25中各嚙合有一個傳動齒輪24，傳動齒輪24與回轉(zhuǎn)架21的轉(zhuǎn)軸22以及另一個可臨時旋轉(zhuǎn)的相配齒環(huán)26在工作上連接起來。
因此，可以在適當(dāng)?shù)臅r刻使相配齒環(huán)26相對于齒環(huán)25旋轉(zhuǎn)，直至使回轉(zhuǎn)架21帶著它的基片通過各自的傳動齒輪24旋轉(zhuǎn)180°。這一工作在不到一秒鐘的時間內(nèi)完成，也就是迅速到無需中斷蒸鍍的電子束99。
這樣一種設(shè)備允許按本發(fā)明總是在一個形成一層鍍膜的蒸鍍過程內(nèi)，首先蒸鍍夾緊在支架上的基片面朝蒸發(fā)源的那些表面，接著，在蒸發(fā)源不關(guān)閉的情況下，支架帶著基片迅速回轉(zhuǎn)，現(xiàn)在同樣蒸鍍基片面朝蒸發(fā)源的那些表面，然后，進(jìn)行周期性的更換蒸發(fā)源，以便在一個新的蒸鍍過程中在基片上鍍上另一層鍍膜。
通過這些措施，現(xiàn)在周期性更換蒸發(fā)源減少了一半并因而也減少了蒸發(fā)源加熱次數(shù)，從而顯著減少了使材料分解和生成低氧化物以及由此造成折射值改變的危險。
最好同時并在不中斷蒸發(fā)流99的情況下回轉(zhuǎn)全部基片。然而，在要回轉(zhuǎn)的基片例如按圖2所示裝在半球形回轉(zhuǎn)架上的情況下，在帶有基片10的球形罩33借助于回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)19回轉(zhuǎn)期間，蒸鍍電子束暫時對準(zhǔn)可擺動的擋板14，因此帶有基片的回轉(zhuǎn)中的支架與蒸發(fā)流99隔開。
權(quán)利要求
1.在光學(xué)基片例如塑料眼鏡片表面上蒸鍍鍍膜的方法，光學(xué)基片可以被夾緊在支架上，支架本身裝在一個可抽成真空的容器內(nèi)可更換的蒸發(fā)源上方或下方，其特征為總是在一個形成一層鍍膜的蒸鍍過程內(nèi)，首先蒸鍍夾緊在支架上的基片面朝蒸發(fā)源的那些表面，接著，在蒸發(fā)源不關(guān)閉的情況下，支架帶著基片迅速回轉(zhuǎn)，現(xiàn)在同樣蒸鍍基片面朝蒸發(fā)源的那些表面，然后，進(jìn)行周期性的更換蒸發(fā)源，以便在一個新的蒸鍍過程中在基片上鍍上另一層鍍膜。
2.按照權(quán)利要求1所述的方法，其特征為全部基片同時和在不中斷蒸發(fā)流的情況下回轉(zhuǎn)。
3.按照權(quán)利要求1所述的方法，其特征為在回轉(zhuǎn)期間蒸鍍電子束暫時對準(zhǔn)可擺動的擋板，因此帶有基片的回轉(zhuǎn)中的支架與蒸發(fā)流隔開。
全文摘要
在用于在光學(xué)基片例如塑料眼鏡片的表面上蒸鍍鍍膜的方法中,光學(xué)基片可以被夾緊在支架上,支架本身裝在一個可抽成真空的容器內(nèi)可更換的蒸發(fā)源上方或下方,按此方法,總是在一個形成一層鍍膜的蒸鍍過程內(nèi),首先蒸鍍夾緊在支架上的基片面朝蒸發(fā)源的那些表面,接著,在蒸發(fā)源不關(guān)閉的情況下,支架帶著基片迅速回轉(zhuǎn),現(xiàn)在同樣蒸鍍基片面朝蒸發(fā)源的那些表面,然后,進(jìn)行周期性的更換蒸發(fā)源,以便在一個新的蒸鍍過程內(nèi)在基片上鍍上另一層鍍膜。
文檔編號C23C14/24GK1169477SQ9711150
公開日1998年1月7日 申請日期1997年5月9日 優(yōu)先權(quán)日1997年5月9日
發(fā)明者R·蘇特 申請人:薩蒂斯真空工業(yè)銷售股份公司