專(zhuān)利名稱(chēng)：濺射靶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種濺射、鍍覆設(shè)備用的覆層形成材料裝置，特別是金、銀、鈀、鉑等貴重金屬的覆層形成材料的結(jié)構(gòu)。
用濺射法進(jìn)行鍍膜的工藝是用一定成分、密度的覆層形成材料(一般稱(chēng)為靶材)經(jīng)濺射產(chǎn)生的金屬離子沉積到待鍍工件表面，形成所需的膜層。現(xiàn)有技術(shù)中靶材為長(zhǎng)方形平板狀，其橫截面為長(zhǎng)方形，使用時(shí)將靶材固定在一靶托上。大型靶子可由多塊靶材拼裝而成，小型靶子只用一塊即可滿(mǎn)足使用。靶材由于濺射而消耗的軌跡為類(lèi)似跑道的環(huán)形，該環(huán)形的橫截面形成的曲線與拋物線或正態(tài)分布曲線近似(即中間消耗量最大，兩側(cè)逐漸減少)。當(dāng)靶材消耗的最深處接近該塊靶材的底部時(shí)，整塊靶材即報(bào)廢。這樣由于貴重金屬靶材的利用率較低，致使鍍膜產(chǎn)品的成本無(wú)法降低。
本實(shí)用新型的目的是得到一種新型的濺射靶，可充分提高靶材的利用率，降低鍍膜產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出的技術(shù)解決方案為一種濺射靶，它包括靶材1和固定用靶托2，靶材1的橫截面為與靶材的濺射消耗曲線相同或近似的曲線形。
靶材1的橫截面為由數(shù)段直線和/或曲線對(duì)靶材的濺射消耗曲線進(jìn)行逼近得到的多邊形。
靶材1的橫截面為三角形。
靶材1的橫截面為梯形。
靶材1的橫截面為三角形的兩邊之間有過(guò)渡圓弧4。
靶材1與靶托2之間有輔助靶托3。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)敘述。


圖1為本實(shí)用新型濺射靶中靶材1的形狀示意圖。
圖2為本實(shí)用新型濺射靶實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。
參見(jiàn)附圖，本實(shí)用新型得到的濺射靶，包括靶材1和固定用靶托2，靶材1的橫截面為與靶材的消耗曲線相同或近似的曲線形(如
圖1)，這樣的橫截面形狀最接近實(shí)際的靶材消耗形狀，其理想的靶材利用率為近100％，但該理想曲線使靶材加工難度提高。為簡(jiǎn)化靶材的加工工藝，靶材1的橫截面形狀為由數(shù)段直線和/或曲線對(duì)靶材的消耗曲線進(jìn)行逼近得到的多邊形，如三角形、梯形等，在靶托2和靶材1之間有一輔助靶托3，輔助靶托3的材料與靶托2的材料相同。
下面介紹本實(shí)用新型的實(shí)施例。
實(shí)施例1該濺射靶將三角形(或梯形)截面靶材1的最長(zhǎng)邊向上(如圖2)，在靶托2和靶材1之間增加一輔助靶托3，為了便于加工和裝配，三角形靶材的下角為圓弧4過(guò)渡。
實(shí)施例2如圖3示，該實(shí)施例為將梯形(或三角形)的較長(zhǎng)底邊與靶托焊接，這樣，在使用時(shí)仍可保證靶材中間部分的消耗最多，且裝配容易，不必使用輔助靶托。
實(shí)施例3如圖4示，該實(shí)施例為尺寸較小的靶子，不必由數(shù)塊靶材拚裝，直接加工出所需橫截面形狀的靶材與靶托裝配在一起即可。
與現(xiàn)有技術(shù)的平板狀靶材相比，本實(shí)用新型得到的濺射靶的靶材橫截面形狀為曲線形，該曲線與靶材的實(shí)際消耗曲線接近，并考慮了加工的工藝性問(wèn)題，可以提高靶材特別是貴重金屬靶材的利用率，使利用率提高40～80％，大幅度降低鍍膜產(chǎn)品的生產(chǎn)成本，且不會(huì)過(guò)多增加靶材的加工費(fèi)用。
權(quán)利要求1.一種濺射靶，它包括靶材1和固定用靶托2，其特征在于所述的靶材1的橫截面為與靶材的濺射消耗曲線相同或近似的曲線形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶，其特征在于所述的靶材1的橫截面為由數(shù)段直線和/或曲線對(duì)靶材的濺射消耗曲線進(jìn)行逼近得到的多邊形。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射靶，其特征在于所述的靶材1的橫截面為三角形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射靶，其特征在于所述的靶材1的橫截面為梯形。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濺射靶，其特征在于所述的靶材1的橫截面為三角形的兩邊之間有過(guò)渡圓弧4。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一權(quán)利要求所述的濺射靶，其特征在于所述的靶材1與靶托2之間有輔助靶托3。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種濺射靶,它包括:靶材1和固定用靶托2,靶材1的橫截面為與靶材的濺射消耗曲線相同或近似的曲線形或多邊形,如三角形、梯形等。與現(xiàn)有技術(shù)的平板狀靶材相比,本實(shí)用新型得到的濺射靶的靶材橫截面形狀為曲線形,該曲線與靶材的實(shí)際消耗曲線接近,并考慮了加工的工藝性問(wèn)題,可以提高靶材特別是貴重金屬靶材的利用率,使利用率提高40～80%,大幅度降低鍍膜產(chǎn)品的生產(chǎn)成本,且不會(huì)過(guò)多增加靶材的加工費(fèi)用。
文檔編號(hào)C23C14/34GK2384950SQ9924397
公開(kāi)日2000年6月28日 申請(qǐng)日期1999年9月1日 優(yōu)先權(quán)日1999年9月1日
發(fā)明者柳光祖, 田耘, 單秉權(quán) 申請(qǐng)人:冶金工業(yè)部鋼鐵研究總院