專利名稱：放電表面處理方法和裝置及放電表面處理用電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使電極與工件之間發(fā)生放電、并利用該放電能量在工件表面形成表面改質(zhì)層的放電表面處理方法和裝置及放電表面處理用電極的改進(jìn)。
此外，日本發(fā)明專利公開公報1997年第192937號公開了一種放電表面處理方法，它使用將TiH2粉末壓縮成形而形成的壓粉體電極，不經(jīng)過再熔融加工工序就在鋼鐵及超硬質(zhì)合金等表面形成牢固的表面改質(zhì)層。
將這樣的放電表面處理技術(shù)應(yīng)用于例如金屬模時，由于耐蝕性及耐磨性提高，故能大幅度提高金屬模的壽命。
如上述現(xiàn)有技術(shù)那樣使用成形電極對工件進(jìn)行放電表面處理時，例如如圖8(a)所示，如果用放電表面處理用電極22對第1工件21進(jìn)行放電表面處理，則放電表面處理用電極22形成消耗部分22a，而第1工件21形成表面改質(zhì)層23。接著，如圖8(b)所示，如果用已對第1工件21進(jìn)行過放電表面處理的放電表面處理用電極22，對與第1工件21大小有差異的第2工件24進(jìn)行放電表面處理，則放電表面處理用電極22形成消耗部分22b、22c，而第2工件24則形成表面改質(zhì)層25。這樣產(chǎn)生的問題是，該表面改質(zhì)層25的厚度如圖8(b)所示有差異，不能形成均勻的表面改質(zhì)層。
還存在必須準(zhǔn)備符合加工形狀的多個電極的問題。
為了解決上述問題，也考慮使用表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料作為金屬絲電極的材料，利用該金屬絲電極對工件進(jìn)行放電表面處理，但是，例如使用Ti、W等作為金屬絲電極時，因?yàn)榉烹姳砻嫣幚硭俣嚷?，故不?shí)用，此外，若用壓粉體形成金屬絲電極，則因?yàn)椴荒鼙ＷC金屬絲電極的抗拉強(qiáng)度，故可以說完全無實(shí)用性。
第1發(fā)明涉及的放電表面處理方法使用金屬絲電極作為放電表面處理用電極，該金屬絲電極由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上的放電表面處理材料構(gòu)成，所述放電表面處理材料由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成。
第2發(fā)明涉及的放電表面處理方法是在第1發(fā)明涉及的放電表面處理方法中，在所述芯線形成凹部，使所述放電表面處理材料附著在該凹部。
第3發(fā)明涉及的放電表面處理方法是在第2發(fā)明涉及的放電表面處理方法中，使形成在所述芯線上的凹部呈螺旋狀。
第4發(fā)明涉及的放電表面處理方法是在第1發(fā)明涉及的放電表面處理方法中，作為進(jìn)行放電表面處理的加工程序，是利用在所述放電表面處理的前道工序加工中使用的金屬絲放電加工的加工程序。
第5發(fā)明涉及的放電表面處理方法，該方法在利用放電進(jìn)行切割加工用的第1金屬絲電極與進(jìn)行放電表面處理用的第2金屬絲電極之間進(jìn)行切換，將工件的切割加工與對該切割加工形成的加工面進(jìn)行表面改質(zhì)的放電表面處理組合起來進(jìn)行加工，所述第2金屬絲電極由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上并由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成的放電表面處理材料構(gòu)成。
第6發(fā)明涉及的放電表面處理裝置具有用作放電表面處理用電極的金屬絲電極，以及將該金屬絲電極相對工件進(jìn)給的金屬絲電極進(jìn)給裝置，所述金屬絲電極由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上的放電表面處理材料構(gòu)成，所述放電表面處理材料由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成。
第7發(fā)明涉及的放電表面處理裝置是在第6發(fā)明涉及的放電表面處理裝置中，在所述芯線形成凹部，使所述放電表面處理材料附著在該凹部。
第8發(fā)明涉及的放電表面處理裝置是在第7發(fā)明涉及的放電表面處理裝置中，使形成在所述芯線上的凹部呈螺旋狀。
第9發(fā)明涉及的放電表面處理裝置是在第6發(fā)明涉及的放電表面處理裝置中，作為進(jìn)行放電表面處理的加工程序，是利用在所述放電表面處理的前道工序加工中使用的金屬絲放電加工的加工程序。
第10發(fā)明涉及的放電表面處理裝置具有通過放電進(jìn)行切割加工用的第1金屬絲電極；由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上并由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成的放電表面處理材料構(gòu)成的、進(jìn)行放電表面處理用的第2金屬絲電極；使所述第1金屬絲電極和所述第2金屬絲電極相對所述工件進(jìn)行進(jìn)給的金屬絲電極進(jìn)給裝置；以及可切換所述第1金屬絲電極與所述第2金屬絲電極的金屬絲電極切換手段。
第11發(fā)明涉及的放電表面處理用電極，放電表面處理用電極是由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上并由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成的放電表面處理材料構(gòu)成的金屬絲電極。
第12發(fā)明涉及的放電表面處理用電極是在第11發(fā)明涉及的放電表面處理用電極中，在所述芯線形成凹部，使所述放電表面處理材料附著在該凹部。
第13發(fā)明涉及的放電表面處理用電極是在第12發(fā)明涉及的放電表面處理用電極中，使形成在所述芯線上的凹部呈螺旋狀。
本發(fā)明因?yàn)闃?gòu)成如上所述，所以具有如下效果。
第1發(fā)明具有的效果是，利用芯線的強(qiáng)度能保證加工作業(yè)必須的放電表面處理用金屬絲電極的抗拉強(qiáng)度，并利用附著在芯線上的放電表面處理材料能以有實(shí)用性的放電表面處理速度形成規(guī)定特性的表面改質(zhì)層。此外，還可不必準(zhǔn)備符合加工形狀的多個電極。
第2發(fā)明除了能收到與第1發(fā)明相同的效果之外，還能提高金屬絲進(jìn)給時放電表面處理材料相對芯線的附著牢固性。
第3發(fā)明除了能收到與第2發(fā)明相同的效果之外，還能在工件上更均勻且穩(wěn)定地形成表面改質(zhì)層。
第4發(fā)明除了能收到與第1發(fā)明相同的效果之外，還能方便地制成放電表面處理用的電極路徑程序，能縮短加工中準(zhǔn)備作業(yè)所需時間。
第5發(fā)明具有的效果是，利用芯線的強(qiáng)度能保證加工作業(yè)必須的放電表面處理用金屬絲電極的抗拉強(qiáng)度，并利用附著在芯線上的放電表面處理材料能以有實(shí)用性的處理速度在工件上形成規(guī)定特性的表面改質(zhì)層。此外，還可不必準(zhǔn)備符合加工形狀的多個電極。并且，因?yàn)槟茉谕粶?zhǔn)備階段進(jìn)行工件的切割加工和對由該切割加工形成的加工面進(jìn)行表面改質(zhì)的放電表面處理，所以，具有能大幅度縮短工件的形狀加工及放電表面處理的準(zhǔn)備作業(yè)所需時間的效果。
第6發(fā)明收到與第1發(fā)明相同的效果。
第7發(fā)明收到與第2發(fā)明相同的效果。
第8發(fā)明收到與第3發(fā)明相同的效果。
第9發(fā)明收到與第4發(fā)明相同的效果。
第10發(fā)明收到與第5發(fā)明相同的效果。
第11發(fā)明在使用本發(fā)明的放電表面處理用電極的放電表面處理中，收到與第1發(fā)明相同的效果。
第12發(fā)明在使用本發(fā)明的放電表面處理用電極的放電表面處理中，收到與第2發(fā)明相同的效果。
第13發(fā)明在使用本發(fā)明的放電表面處理用電極的放電表面處理中，收到與第3發(fā)明相同的效果。
附圖的簡單說明

圖1所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1中的放電表面處理裝置的構(gòu)成圖。
圖2所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1中的放電表面處理用金屬絲電極的構(gòu)成剖面圖。
圖3所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1中的放電表面處理用金屬絲電極的側(cè)視圖。
圖4所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1中在工件的刀刃側(cè)面部分進(jìn)行放電表面處理的方法說明圖。
圖5所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2中的放電表面處理裝置的構(gòu)成圖。
圖6所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2中的金屬絲電極切換手段之一例的說明圖。
圖7所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2中的電極移動路徑的說明圖。
圖8所示為傳統(tǒng)放電表面處理方法的說明圖。
實(shí)施發(fā)明的最佳形態(tài)實(shí)施形態(tài)1圖1所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的放電表面處理裝置的構(gòu)成圖，在圖中，1為工件，2為放電表面處理用金屬絲電極，3為供給金屬絲電極2的供給盤，4為回收金屬絲電極的卷取盤，5為固定工件1的平臺，6為進(jìn)行工件1的水平方向(X軸方向)驅(qū)動用的X工作臺，7為進(jìn)行工件1的水平方向(Y軸方向)驅(qū)動用的Y工作臺，8為驅(qū)動X工作臺6的未圖示的X軸驅(qū)動電動機(jī)用X軸伺服放大器，9為驅(qū)動Y工作臺7的未圖示的Y軸驅(qū)動電動機(jī)用Y軸伺服放大器，10為加工液，11為噴射加工液10的加工液噴嘴，12為NC控制裝置，13為設(shè)于NC控制裝置12內(nèi)部、控制放電表面處理用金屬絲電極2與工件1的相對移動的軌跡移動控制手段，14為向軌跡移動控制手段13供給利用放電表面處理用金屬絲電極2進(jìn)行加工用的電極路徑程序(NC程序)的電極移動軌跡生成用CAM裝置。由供給盤3和卷取盤4等構(gòu)成的金屬絲電極進(jìn)給裝置將放電表面處理用金屬絲電極2向工件1進(jìn)給，通過放電表面處理用金屬絲電極2與工件1之間進(jìn)行的放電，在工件上形成表面改質(zhì)層。
放電表面處理用金屬絲電極2如圖2的剖面圖所示，由芯線2a和放電表面處理材料2b構(gòu)成，作為芯線2a使用黃銅等的延展性材料，放電表面處理材料2b由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成，通過涂敷、浸漬、鍍層、壓附等附著在芯線2a上。此外，也可以將放電表面處理材料2b與導(dǎo)電性涂料混和再經(jīng)涂敷等使其附著在芯線2a上。此時如圖2(b)所示，在芯線2a上形成凹部，并使放電表面處理材料2b附著在該凹部，就能提高金屬絲進(jìn)給時放電表面處理材料2b相對芯線2a的附著牢固性。關(guān)于該芯線2a上形成的凹部形狀，并不限于圖2(b)的凹部形狀及個數(shù)，可以采用能提高放電表面處理材料2b對芯線2a的附著牢固性的各種形狀及個數(shù)。
此外，圖3所示為放電表面處理用金屬絲電極2的側(cè)面，圖3(a)所示與圖2(a)所示剖面對應(yīng)，圖3(b)-(e)所示與圖2(b)所示剖面對應(yīng)。尤其是在如圖3(c)所示那樣，將芯線2a上形成的凹部做成螺旋狀，就能如上所述，提高金屬絲進(jìn)給時放電表面處理材料2b相對芯線2a的附著牢固性，并能更均勻且穩(wěn)定地在工件1上形成表面改質(zhì)層。
通過使用這樣結(jié)構(gòu)的放電表面處理用金屬絲電極2，就能利用芯線2a的強(qiáng)度保證加工作業(yè)必需的放電表面處理用金屬絲電極2的抗拉強(qiáng)度，同時能利用附著在芯線2a上的放電表面處理材料2b，以有實(shí)用性的處理速度，在工件1上形成規(guī)定特性的表面改質(zhì)層。
接著說明工件1進(jìn)行放電表面處理時的動作。另外，在此對將工件1用作沖裁金屬模的情況進(jìn)行說明。設(shè)工件1在進(jìn)行放電表面處理之前的工序中，利用切削加工或用金屬絲放電加工進(jìn)行了加工，已形成有作為沖裁金屬模刀刃的形狀。在圖1中，將工件1放置并固定在平臺5上之后，設(shè)置放電表面處理用金屬絲電極2，開始進(jìn)行放電表面處理。對工件1的刀刃側(cè)面進(jìn)行放電表面處理，在刀刃側(cè)面上形成硬質(zhì)的表面改質(zhì)層。為此，必須進(jìn)行控制，使放電表面處理用金屬絲電極2按照工件1的刀刃形狀移動。設(shè)于NC控制裝置12內(nèi)部的軌跡移動控制手段13根據(jù)由電極移動軌跡生成用CAM裝置14生成的電極路徑信息，驅(qū)動控制X工作臺6及Y工作臺7，使放電表面處理用金屬絲電極2與工件1作水平方向的相對移動，使放電表面處理用金屬絲電極2的軌跡沿工件1的刀刃形狀移動。
圖4所示為對工件1的刀刃側(cè)面部分1a進(jìn)行放電表面處理的方法的說明圖。隨著放電表面處理的進(jìn)行，放電表面處理用金屬絲電極2雖然被消耗，但因?yàn)榉烹姳砻嫣幚碛媒饘俳z電極2通過圖1所示的供給盤3等進(jìn)給，所以始終能使用放電表面處理用金屬絲電極2的未消耗部分進(jìn)行加工。因此，作為放電表面處理用金屬絲電極2的電極移動路徑(圖4中的P)，也可以與金屬絲放電加工的電極移動路徑相同。通過如上所述，進(jìn)行放電表面處理時使放電表面處理用金屬絲電極2沿工件1的刀刃形狀進(jìn)行移動，就能在工件1的刀刃側(cè)面部分1a形成硬質(zhì)的表面改質(zhì)層15。
用以上方法在沖裁模的刀刃側(cè)面部分經(jīng)放電表面處理形成硬質(zhì)的表面改質(zhì)層，對其進(jìn)行壓力機(jī)的沖裁試驗(yàn)，結(jié)果是，與未進(jìn)行放電表面處理時相比較，40萬次沖擊時沖壓加工品的塌邊量為1/2以下，能延長金屬模的壽命。
勿用贅言，不僅這樣的沖裁模，而且對于能用金屬絲放電加工進(jìn)行加工的形狀(二維形狀、包絡(luò)線形狀)部分，例如擠壓模及沖頭、鉆頭的刀刃等，同樣也能應(yīng)用本發(fā)明的放電表面處理，有同樣的效果。
此外，放電表面處理的電極路徑程序，利用工件1前道工序加工使用的金屬絲放電加工的加工程序，就能容易地制成放電表面處理用的電極路徑程序，就能縮短加工中準(zhǔn)備作業(yè)所費(fèi)時間。
實(shí)施形態(tài)2圖5所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的放電表面處理裝置構(gòu)成圖，在圖中，對與實(shí)施形態(tài)1的圖1相同或相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)上相同的符號。在圖5中，16為進(jìn)行通常的切割加工用的金屬絲放電加工用金屬絲電極，17為供給盤，18為根據(jù)加工內(nèi)容切換放電表面處理用金屬絲電極2與金屬絲放電加工用金屬絲電極16的金屬絲電極切換手段。圖6所示為金屬絲電極切換手段18的構(gòu)成之一例的說明圖，在圖中，19為金屬絲固定部，20為金屬絲切斷裝置。如圖6(a)所示，用金屬絲放電加工用金屬絲電極16進(jìn)行加工之后，如圖6(b)所示那樣，用金屬絲切斷裝置20將金屬絲放電加工用金屬絲電極16切斷。接著如圖6(c)所示，金屬絲電極切換手段18通過未圖示的驅(qū)動裝置向圖中的A方向移動，將放電表面處理用金屬絲電極2向圖中的B方向進(jìn)給并安裝好。另外，從放電表面處理用金屬絲電極2向金屬絲放電加工用金屬絲電極16的切換也能通過同樣的動作來進(jìn)行。
接著對工件1的加工進(jìn)行說明。又，在此對將工件1用作沖裁金屬模的情況進(jìn)行說明。在圖5中，將工件1放置固定在平臺5上之后，設(shè)置金屬絲放電加工用金屬絲電極16，進(jìn)行金屬絲放電加工。金屬絲放電加工通過通常的粗加工、精加工及刀刃精加工等的各步驟加工，在工件1上加工作為沖裁金屬模使用的刀刃形狀。接著通過金屬絲電極切換手段18切換成放電表面處理用金屬絲電極2，對通過金屬絲放電加工進(jìn)行加工后的工件1的刀刃側(cè)面進(jìn)行與實(shí)施形態(tài)1相同的放電表面處理，在工件1的刀刃側(cè)面形成硬質(zhì)的表面改質(zhì)層。
圖7所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2中的電極移動路徑說明圖，圖7(a)所示為金屬絲放電加工，圖7(b)所示為放電表面處理。在圖7(a)的金屬絲放電加工中，設(shè)于圖5的NC控制裝置12內(nèi)部的軌跡移動控制手段13根據(jù)預(yù)先由電極移動軌跡生成用CAM裝置14生成的電極路徑信息，驅(qū)動控制X工作臺6及Y工作臺7，使金屬絲放電加工用金屬絲電極16與工件1作水平方向的相對移動，將工件1加工成刀刃形狀。接著，在圖7(b)的放電表面處理中，必須進(jìn)行控制，使放電表面處理用金屬絲電極2沿著工件1的刀刃形狀1b作移動。此時，設(shè)于NC控制裝置12內(nèi)部的軌跡移動控制手段13以與金屬絲放電加工的一般精加工相同的方法，根據(jù)預(yù)先由電極移動軌跡生成用CAM裝置14生成的電極路徑信息，驅(qū)動控制X工作臺6和Y工作臺7，使放電表面處理用金屬絲電極2與工件1作水平方向的相對移動，使放電表面處理用金屬絲電極2的軌跡沿著工件1的刀刃側(cè)面移動。
如上所述，通過金屬絲放電加工進(jìn)行工件1刀刃部分的加工，進(jìn)行刀刃側(cè)面部分1b的加工之后，沿著刀刃形狀進(jìn)行放電表面處理，在刀刃側(cè)面部分1b形成硬質(zhì)的表面改質(zhì)層，就能與實(shí)施形態(tài)1一樣，大幅度提高金屬模壽命。還有，因?yàn)槟芙?jīng)過同一個準(zhǔn)備階段后進(jìn)行工件1的刀刃加工和放電表面處理，所以能大幅度縮短加工中準(zhǔn)備作業(yè)所需時間。
以上說明的是利用金屬絲電極切換手段18自動切換金屬絲放電加工用金屬絲電極16與放電表面處理用金屬絲電極2的例子，但也可以采用手動切換方式，或者另外分別設(shè)置金屬絲放電加工用金屬絲電極16的行走系統(tǒng)和放電表面處理用金屬絲電極2的行走系統(tǒng)，以此進(jìn)行金屬絲放電加工及放電表面處理。
產(chǎn)業(yè)上利用可能性如上所述，本發(fā)明的放電表面處理方法和裝置及放電表面處理用電極適用于在工件表面形成表面改質(zhì)層的放電表面處理作業(yè)。
權(quán)利要求
1．一種使放電表面處理用電極與工件之間發(fā)生放電，利用該放電能量在所述工件表面形成表面改質(zhì)層的放電表面處理方法，其特征在于，使用金屬絲電極作為所述放電表面處理用電極，該金屬絲電極由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上的放電表面處理材料構(gòu)成，所述放電表面處理材料由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電表面處理方法，其特征在于，在所述芯線形成凹部，使所述放電表面處理材料附著在該凹部。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所述的放電表面處理方法，其特征在于，使形成在所述芯線上的凹部呈螺旋狀。
4．根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電表面處理方法，其特征在于，作為進(jìn)行所述放電表面處理的加工程序，是利用在所述放電表面處理的前道工序加工中使用的金屬絲放電加工的加工程序。
5．一種使放電表面處理用電極與工件之間發(fā)生放電，利用該放電能量在所述工件表面形成表面改質(zhì)層的放電表面處理方法，其特征在于，該方法在利用放電進(jìn)行切割加工用的第1金屬絲電極與進(jìn)行放電表面處理用的第2金屬絲電極之間進(jìn)行切換，將工件的切割加工與對該切割加工形成的加工面進(jìn)行表面改質(zhì)的放電表面處理組合起來進(jìn)行加工，所述第2金屬絲電極由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上并由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成的放電表面處理材料構(gòu)成。
6．一種使放電表面處理用電極與工件之間發(fā)生放電，利用該放電能量在所述工件表面形成表面改質(zhì)層的放電表面處理裝置，其特征在于，具有用作所述放電表面處理用電極的金屬絲電極，以及將所述金屬絲電極相對所述工件進(jìn)行進(jìn)給的金屬絲電極進(jìn)給裝置，所述金屬絲電極由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上并由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成的放電表面處理材料構(gòu)成。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的放電表面處理裝置，其特征在于，在所述芯線形成凹部，使所述放電表面處理材料附著在該凹部。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的放電表面處理裝置，其特征在于，使形成在所述芯線上的凹部呈螺旋狀。
9．根據(jù)權(quán)利要求6所述的放電表面處理裝置，其特征在于，作為進(jìn)行所述放電表面處理的加工程序，是利用在所述放電表面處理的前道工序加工中使用的金屬絲放電加工的加工程序。
10．一種使放電表面處理用電極與工件之間發(fā)生放電，利用該放電能量在所述工件表面形成表面改質(zhì)層的放電表面處理裝置，其特征在于，具有利用放電進(jìn)行切割加工用的第1金屬絲電極；由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上并由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成的放電表面處理材料構(gòu)成的、進(jìn)行放電表面處理用的第2金屬絲電極；使所述第1金屬絲電極和所述第2金屬絲電極相對所述工件進(jìn)行進(jìn)給的金屬絲電極進(jìn)給裝置；以及，可切換所述第1金屬絲電極與所述第2金屬絲電極的金屬絲電極切換手段。
11．一種利用放電能量在工件表面形成表面改質(zhì)層的放電表面處理所使用的放電表面處理用電極，其特征在于，所述放電表面處理用電極是由延展性材料構(gòu)成的芯線和附著在該芯線上并由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成的放電表面處理材料構(gòu)成的金屬絲電極。
12．根據(jù)權(quán)利要求11所述的放電表面處理用電極，其特征在于，在所述芯線形成凹部，使所述放電表面處理材料附著在該凹部。
13．根據(jù)權(quán)利要求12所述的放電表面處理用電極，其特征在于，使形成在所述芯線上的凹部為螺旋狀。
全文摘要
一種使放電表面處理用電極與工件(1)之間發(fā)生放電,利用該放電能量在工件表面形成表面改質(zhì)層的放電表面處理裝置,具有用作所述放電表面處理用電極的放電表面處理用金屬絲電極(2),以及將該放電表面處理用金屬絲電極(2)相對所述工件(1)進(jìn)行進(jìn)給的、由供給盤(3)、卷取盤(4)等構(gòu)成的金屬絲電極進(jìn)給裝置,所述放電表面處理用金屬絲電極(2)由延展性材料構(gòu)成的芯線(2a)和附著在該芯線上并由表面改質(zhì)材料或表面改質(zhì)材料之原材料構(gòu)成的放電表面處理材料(2b)構(gòu)成。
文檔編號C23C26/00GK1320066SQ99811500
公開日2001年10月31日 申請日期1999年5月7日 優(yōu)先權(quán)日1999年5月7日
發(fā)明者富士川和延, 后藤昭弘 申請人:三菱電機(jī)株式會社