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      一種玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法

      文檔序號:8248293閱讀:564來源:國知局
      一種玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明屬于無機材料涂層制備領(lǐng)域,特別涉及一種適用于玻璃或陶瓷基板的制作導(dǎo)電層化學(xué)鍍銅的工藝。
      【背景技術(shù)】
      [0002]在玻璃或陶瓷基板的表面化學(xué)鍍銅時,通常首先將玻璃或陶瓷基板用NaOH、KOH或HF的溶液進(jìn)行表面粗化處理,再經(jīng)過鈀溶液的活化處理后,進(jìn)行化學(xué)鍍銅,然后經(jīng)過涂覆感光膜、蝕刻等工藝,在玻璃或陶瓷基板上得到線路。但是,這樣的粗化處理方法,往往很難得到附著強度良好的鍍銅層。另外由于鈀的活化處理,鈀在玻璃、或陶瓷基板上的殘留,影響銅導(dǎo)線間的絕緣電阻,有時還需要進(jìn)行去除殘留鈀的處理。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]本發(fā)明很好地解決了上述現(xiàn)行工藝的不足,實現(xiàn)了不經(jīng)粗化和鈀活化處理,即可得到附著強度良好的化學(xué)鍍銅層。為了達(dá)成上述目的,本發(fā)明使用鋅粉、銅鹽和蟲膠的以醇為溶劑的懸濁粘稠液,將該粘稠液涂附于玻璃或陶瓷的表面,經(jīng)80?120°C,5?15分鐘烘干后,再經(jīng)過300?600°C,10?30分鐘的高溫?zé)Y(jié)處理,在基板表面即可得到含有鋅和氧化銅的膜,即可進(jìn)行化學(xué)鍍銅,所得到的銅鍍層附著強度良好。
      [0004]上述懸濁粘稠液的配制方法為,將蟲膠溶解于醇類溶劑后得到蟲膠粘稠液,再將鋅粉和銅鹽加入到蟲膠粘稠液中,即得到用于玻璃或陶瓷基板的前處理懸濁粘稠液,
      [0005]其中,上述玻璃基板的材料是以Na20、Si02、Ca0為主成分的硅酸鹽玻璃;陶瓷基板是碳化硅、氧化鋁或氮化鋁陶瓷,
      [0006]上述的醇類溶劑為一元醇、二元醇或多元醇,只要是可以充分溶解蟲膠的溶劑即可,其中以乙醇為最佳,
      [0007]將蟲膠溶解在醇類溶劑中的濃度為100?500g/L,濃度大于500g/L時,所配制的粘稠液的粘度過大,難以在基板上進(jìn)行涂覆,蟲膠的濃度小于100g/L時,所配制的粘稠液的粘度過小,難以在基板上成膜,蟲膠的最佳濃度為300g/L ;
      [0008]上述銅鹽中,陰離子可以是無機陰離子或有機陰離子:無機陰離子如硫酸根離子、硝酸根離子、氯離子、溴離子、碘離子等,其中以硫酸根離子為最佳;有機陰離子可以是醋酸根離子、甲酸根離子、檸檬酸根離子等,從成本等角度考慮,以乙酸根離子為最佳,
      [0009]并且,銅鹽向粘稠液中的加入量為0.1?10g/L,濃度大于10g/L時,在玻璃或陶瓷基板上涂覆、燒結(jié)后,制備的膜易于龜裂,銅鹽的濃度小于0.lg/L時,在玻璃或陶瓷基板上涂覆、燒結(jié)、進(jìn)行化學(xué)鍍銅時,起鍍時間過長,鍍層質(zhì)量不佳,鋅鹽的最佳使用量為5g/L ;
      [0010]上述鋅粉粒徑小于100 μ m,鋅粉向粘稠液中的加入量為I?10g/L,濃度大于1g/L時,在玻璃或陶瓷基板上涂覆、燒結(jié)后,制備的膜易于龜裂,鋅粉的濃度小于lg/L時,在玻璃或陶瓷基板上涂覆、燒結(jié)、進(jìn)行化學(xué)鍍銅時,起鍍時間過長,鍍層質(zhì)量不佳,鋅鹽的最佳使用量為5g/L。
      [0011]對于上述的化學(xué)鍍銅而言,可以采用通常的化學(xué)鍍銅處理:鍍液的組成為,硫酸銅10?20g/L、EDTA.4Na 30?40g/L、甲醛2?4ml/L,用氫氧化鈉調(diào)節(jié)鍍液的pH為12,化學(xué)鍍時間可設(shè)定為30分鐘,溫度為40°C ;
      [0012]在化學(xué)鍍銅后的涂層上進(jìn)行電鍍銅,可以采用通常的電鍍銅處理:鍍液的組成為,硫酸銅50?80g/L、硫酸150?200g/L、氯離子濃度為30?70ppm及少量添加劑,電流密度可設(shè)置為0.5?3A/dm2,溫度10-35°C,時間I小時。
      [0013]鍍銅完成后,采用劃痕實驗確定鍍銅層的附著強度,在鍍銅層表面用刀劃刻邊長為2mm的正方形格子25個,用膠帶充分粘貼在這些正方形的格子上,快速撕下膠帶時,以正方形的格子上的銅層掉落的多少來評價銅鍍層的附著強度。
      【具體實施方式】
      [0014]實施例1
      [0015]在1cm X 1cm(厚1.5mm)的玻璃板上均勻涂覆以乙醇為溶劑,含蟲膠300g/L、鋅粉(粒徑50 μ m) 5g/L和硫酸銅lg/L的漿料,經(jīng)80°C,10分鐘烘干后,再經(jīng)過500°C,30分鐘的燒結(jié)處理,在基板表面即可得到含有鋅和氧化銅的膜,該基板即可進(jìn)行化學(xué)鍍銅,
      [0016]化學(xué)鍍銅采用通常的化學(xué)鍍銅處理:鍍液的組成為,硫酸銅10?20g/L、EDTA *4Na30?40g/L、甲醛2?4ml/L,用氫氧化鈉調(diào)節(jié)鍍液的pH為12,化學(xué)鍍時間設(shè)定為30分鐘,溫度為40°C,得到0.5 μ m的涂層;
      [0017]為了評價鍍層的附著強度,在化學(xué)鍍銅得到的涂層表面,再進(jìn)行電鍍銅,電鍍銅采用通常的電鍍銅處理:鍍液的組成為,硫酸銅50?80g/L、硫酸150?200g/L、氯離子濃度為30?70ppm,電流密度設(shè)置為0.5?3A/dm2,溫度10_35°C,時間I小時。
      [0018]本實施例中,鍍銅層的總厚度為20 μπι,采用上述的銅鍍層附著強度評價方法,測得正方形格子上的銅層無脫落,證明采用本發(fā)明的方法,銅鍍層附著強度良好。
      [0019]對比實施例1
      [0020]將1cm X 1cm(厚1.5mm)的玻璃板放入含氫氟酸(40%,w/w% )50ml/L和氟化鈉50g/L的水溶液中進(jìn)行粗化處理,溫度為45°C,時間10分鐘;將粗化處理后的的玻璃進(jìn)行化學(xué)鍍銅的前處理,即敏化處理(氯化亞錫10g/L、室溫25°C、5分鐘);水洗;活化處理(氯化鈀0.2g/L、室溫25°C、5分鐘);水洗后,進(jìn)行化學(xué)鍍銅和電鍍銅,化學(xué)鍍銅和電鍍銅的具體操作與實施例1一致。
      [0021]本實施例中,鍍銅層的總厚度為20 ym(化學(xué)鍍銅涂層為0.5 μ m),采用上述的銅鍍層附著強度評價方法,測得25個正方形格子上的銅層中有18個脫落,證明采用該方法的銅鍍層附著強度不如實施例1的好。
      [0022]實施例2
      [0023]在1cm X 1cm(厚1.5mm)的氧化鋁陶瓷基板上均勻涂覆以乙醇為溶劑,含蟲膠300g/L、鋅粉(粒徑50 μ m) 5g/L和硫酸銅lg/L的漿料,經(jīng)80°C,10分鐘烘干后,再經(jīng)過500°C,30分鐘的燒結(jié)處理,在基板表面即可得到含有鋅和氧化銅的膜,該基板即可進(jìn)行化學(xué)鍍銅,進(jìn)行化學(xué)鍍銅和電鍍銅的具體操作與實施例1一致。
      [0024]采用上述的銅鍍層附著強度評價方法,測得正方形格子上的銅層無脫落,證明采用本發(fā)明的方法,銅鍍層附著強度良好。
      [0025]對比實施例2
      [0026]將1cm X 1cm(厚1.5mm)的氧化鋁陶瓷基板放入含氫氧化鈉150g/L的水溶液中進(jìn)行粗化處理,溫度為50°C,時間15分鐘;將粗化處理后的氧化鋁陶瓷基板進(jìn)行化學(xué)鍍銅的前處理,即敏化處理(氯化亞錫10g/L、室溫25°C、5分鐘);水洗;活化處理(氯化鈀0.2g/L、室溫25°C、5分鐘);水洗后,進(jìn)行化學(xué)鍍銅和電鍍銅,化學(xué)鍍銅和電鍍銅的具體操作與實施例1 一致。
      [0027]本實施例中,鍍銅層的總厚度為20 ym(化學(xué)鍍銅涂層為0.5 μ m),采用上述的銅鍍層附著強度評價方法,測得25個正方形格子上的銅層中有6個脫落,證明采用該方法的銅鍍層附著強度不如實施例2的好。
      [0028]對比實施例3
      [0029]僅僅將實施例1中的涂覆漿料中的“蟲膠”替換為“氫化松香”,其余操作均與實施例I相同。
      [0030]采用上述的銅鍍層附著強度評價方法,測得25個正方形格子上的銅層中有12個脫落,證明采用該方法的銅鍍層附著強度不如實施例1的好。
      [0031]對比實施例4
      [0032]僅僅將實施例1中的涂覆漿料中的“蟲膠”替換為“酚醛樹脂(牌號2122) ”,其余操作均與實施例1相同。
      [0033]采用上述的銅鍍層附著強度評價方法,測得25個正方形格子上的銅層中有14個脫落,證明采用該方法的銅鍍層附著強度不如實施例1的好。
      【主權(quán)項】
      1.一種玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述的化學(xué)鍍銅方法為,配制鋅粉、銅鹽和蟲膠的以醇為溶劑的懸濁粘稠液,將所述粘稠液均勻涂附于玻璃或陶瓷的表面,經(jīng)80?120°C,5?15分鐘烘干,再經(jīng)過300?600°C,10?30分鐘的高溫?zé)Y(jié)處理后成膜,在所述膜的表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅。
      2.如權(quán)利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述的懸濁粘稠液的配制方法為,將蟲膠溶解于醇類溶劑后得到蟲膠粘稠液,再將鋅粉和銅鹽加入到所述的蟲膠粘稠液中,即得到用于玻璃或陶瓷基板的前處理懸濁粘稠液。
      3.如權(quán)利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述的玻璃基板的材料是以Na20、Si02、Ca0為主成分的硅酸鹽玻璃;所述的陶瓷基板是碳化硅、氧化鋁或氮化鋁陶瓷。
      4.如權(quán)利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述的醇溶劑為乙醇。
      5.如權(quán)利要求2所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述的蟲膠溶解于醇類溶劑中的濃度為100?500g/L。
      6.如權(quán)利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述的銅鹽中,陰離子是無機陰離子或有機陰離子,所述的無機陰離子為硫酸根離子、硝酸根離子、氯離子、溴離子或碘離子,所述的有機陰離子是醋酸根離子、甲酸根離子或檸檬酸根離子。
      7.如權(quán)利要求6所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述的銅鹽中,陰離子是無機陰離子或有機陰離子,所述的無機陰離子為硫酸根離子,所述的有機陰離子是醋酸根離子。
      8.如權(quán)利要求2所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述銅鹽向所述的蟲膠粘稠液中的加入量為0.1?10g/L。
      9.如權(quán)利要求2所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述鋅粉向所述的蟲膠粘稠液中的加入量為I?10g/L。
      10.如權(quán)利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化學(xué)鍍銅方法,其特征在于:所述的化學(xué)鍍銅操作中,鍍液的組成為,硫酸銅10?20g/L、EDTA.4Na 30?40g/L、甲醛2?4ml/L,用氫氧化鈉調(diào)節(jié)鍍液的pH為12,化學(xué)鍍銅的時間為30分鐘,溫度為40°C。
      【專利摘要】本發(fā)明屬于無機材料涂層制備領(lǐng)域,特別涉及一種適用于玻璃或陶瓷基板的制作導(dǎo)電層化學(xué)鍍銅的工藝。發(fā)明使用鋅粉、銅鹽和蟲膠的以醇為溶劑的懸濁粘稠液,將該粘稠液涂附于玻璃或陶瓷的表面,經(jīng)80~120℃,5~15分鐘烘干后,再經(jīng)過300~600℃,10~30分鐘的高溫?zé)Y(jié)處理,在基板表面即可得到含有鋅和氧化銅的膜,即可進(jìn)行化學(xué)鍍銅,所得到的銅鍍層附著強度良好。
      【IPC分類】C23C18-40, C23C18-18
      【公開號】CN104561944
      【申請?zhí)枴緾N201510073182
      【發(fā)明人】梁學(xué)敏, 陳智棟, 繆洪武, 張偉偉
      【申請人】廣德宏霞科技發(fā)展有限公司
      【公開日】2015年4月29日
      【申請日】2015年2月11日
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