柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及柔性卷繞鍍膜領(lǐng)域，特別是涉及一種柔性卷繞鍍膜設(shè)備中的薄膜平整度在線控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前柔性透明導(dǎo)電薄膜沉積技術(shù)已經(jīng)在觸摸屏行業(yè)廣泛推廣，柔性透明導(dǎo)電膜通過卷繞鍍膜設(shè)備鍍制，柔性透明導(dǎo)電薄膜基材都是PET (Polyethylene terephthalate，聚對苯二甲酸乙二醇酯)等柔性材料。
[0003]現(xiàn)代電子產(chǎn)品都在向輕重量、薄厚度、大尺寸發(fā)展，因此對于其各個(gè)零件都要在此方向發(fā)展，其中柔性透明導(dǎo)電薄膜厚度也由125um在向23um邁進(jìn)，但是基材越薄對于其在濺射鍍膜時(shí)的平整度要求越高也越難控制，往往造成產(chǎn)品良率大大降低，從而使生產(chǎn)成本也大大提尚。
[0004]因此，亟需提供一種可提高柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度的裝置來解決上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置，能夠在卷繞鍍膜設(shè)備濺射鍍膜過程中提高薄膜的平整度。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置，柔性卷繞鍍膜設(shè)備包括放卷室、工藝室、收卷室，工藝室包括鍍膜鼓、環(huán)繞鍍膜鼓的磁控濺射陰極系統(tǒng)、若干個(gè)傳動輥，薄膜平整度在線控制裝置包括平整度調(diào)節(jié)輥、液壓調(diào)節(jié)按鈕、連接平整度調(diào)節(jié)輥與液壓調(diào)節(jié)按鈕的液壓油管道，平整度調(diào)節(jié)輥呈香蕉狀，分布在工藝室內(nèi)相鄰兩個(gè)傳動輥之間。
[0007]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述液壓調(diào)節(jié)按鈕包括液壓增加按鈕、液壓減少按鈕。通過不同的液壓調(diào)節(jié)按鈕來調(diào)節(jié)平整度調(diào)節(jié)輥的轉(zhuǎn)動角度。
[0008]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述薄膜平整度在線控制裝置為封閉的循環(huán)液壓裝置，以此來實(shí)現(xiàn)對薄膜平整度的調(diào)節(jié)。
[0009]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述薄膜平整度在線控制裝置適用于為厚度在50 μm以下的薄膜鍍膜的柔性卷繞鍍膜設(shè)備中。
[0010]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，通過設(shè)置在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中實(shí)現(xiàn)在線控制薄膜平整度，提高了濺射鍍膜的產(chǎn)品良率，尤其是厚度不大于50μπι的薄膜鍍膜產(chǎn)品良率，進(jìn)而減少了生產(chǎn)成本，顯著增加經(jīng)濟(jì)效益。
【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中的安裝位置示意圖；
[0012]圖2是所述柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置的工作狀態(tài)示意圖；
[0013]圖3是所述柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置的原理示意圖。
[0014]附圖中各部件的標(biāo)記如下:1、放卷室，11、放卷裝置，2、傳動輥，3、工藝室，31、鍍膜鼓，32、磁控濺射陰極系統(tǒng)，4、收卷室，41、收卷裝置，5、平整度調(diào)節(jié)輥，6、液壓調(diào)節(jié)旋鈕，61、液壓增加按鈕，62、液壓減少按鈕，7、液壓油管道，8、原膜。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0016]請參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施例包括:
[0017]一種柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置，適用于為厚度在50 μπι以下的薄膜鍍膜的柔性卷繞鍍膜設(shè)備中，柔性卷繞鍍膜設(shè)備包括放卷室1、工藝室3、收卷室4，放卷室I包括放卷裝置11、若干個(gè)傳動輥2，工藝室3包括鍍膜鼓31、環(huán)繞鍍膜鼓31的磁控濺射陰極系統(tǒng)32、若干個(gè)傳動輥2，收卷室4包括若干個(gè)傳動輥2、收卷裝置41。薄膜平整度在線控制裝置包括平整度調(diào)節(jié)輥5、液壓調(diào)節(jié)按鈕6、連接平整度調(diào)節(jié)輥5與液壓調(diào)節(jié)按鈕6的液壓油管道7，平整度調(diào)節(jié)輥5呈香蕉狀，分布在工藝室3內(nèi)相鄰兩個(gè)傳動輥2之間。
[0018]結(jié)合圖2和圖3，所述薄膜平整度在線控制裝置由一個(gè)封閉的循環(huán)液壓裝置組成，所述液壓調(diào)節(jié)按鈕6包括液壓增加按鈕61、液壓減少按鈕62，工作時(shí)通過選擇不同的液壓調(diào)節(jié)按鈕6來對平整度調(diào)節(jié)輥5的彎曲角度大小進(jìn)行調(diào)節(jié)，薄膜厚度不同，其張力也就不同，因此需要平整度調(diào)節(jié)輥5的彎曲角度就不同。對于薄膜厚度為10?30 μ m，平整度調(diào)節(jié)輥5的彎曲角度宜在5?10°之間，薄膜厚度為30?50 μπι，平整度調(diào)節(jié)輥5的彎曲角度宜在10?20°之間。當(dāng)按動液壓增加按鈕61時(shí)，液壓油按照圖中所示左邊箭頭方向經(jīng)過液壓管道7運(yùn)行，平整度調(diào)節(jié)輥5的彎曲角度變大；當(dāng)按動液壓減少按鈕62時(shí)，液壓油按照圖中所示右邊箭頭方向經(jīng)過液壓管道7運(yùn)行，平整度調(diào)節(jié)輥5的彎曲角度變小，當(dāng)平整度調(diào)節(jié)輥5轉(zhuǎn)動至需要調(diào)節(jié)的角度時(shí)即停止按動液壓調(diào)節(jié)按鈕6。
[0019]下面對柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置的工作原理進(jìn)行具體描述，請參閱圖2(a)，當(dāng)平整度調(diào)節(jié)輥5的傳動角度為0°時(shí)，其彎曲部分處于原膜8 (尚未磁控濺射的薄膜基材)的下方，對原膜8沒有調(diào)節(jié)作用；請參閱圖2(b)，當(dāng)平整度調(diào)節(jié)輥5處于90°位置時(shí)，其彎曲部分與原膜8接觸，對原膜8有向兩邊擴(kuò)張的作用，因此可以對原膜8的平整度進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制。
[0020]柔性卷繞鍍膜設(shè)備的鍍膜流程步驟為:先對設(shè)備進(jìn)行破真空處理，然后打開放卷室1、工藝室3、收卷室4的門，把成卷的原膜8放到放卷裝置11上，原膜8經(jīng)過傳動輥2、平整度調(diào)節(jié)輥5、鍍膜鼓31、傳動輥2、平整度調(diào)節(jié)輥5、傳動輥2、收卷裝置41穿引完成。因此原膜8經(jīng)過平整度調(diào)節(jié)輥5后再經(jīng)過鍍膜鼓31和磁控濺射陰極系統(tǒng)32，這樣就保證鍍膜前原膜8是經(jīng)過平整度調(diào)節(jié)輥5調(diào)整后再進(jìn)行鍍膜的，從而保證了鍍膜時(shí)的良品率；原膜8在離開鍍膜鼓31時(shí)是經(jīng)過平整度調(diào)節(jié)輥5后再到收卷裝置41，這樣就保證了收卷整齊、平整。
[0021]本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，通過設(shè)置在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中可直接在線對薄膜張力進(jìn)行控制，實(shí)現(xiàn)在線控制薄膜平整度，保證鍍膜前膜面平整，收卷時(shí)膜面平整，提高了濺射鍍膜的產(chǎn)品良率，尤其是厚度不大于50 μπι的薄膜鍍膜產(chǎn)品良率，進(jìn)而減少了生產(chǎn)成本，顯著增加經(jīng)濟(jì)效益。
[0022]以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置，柔性卷繞鍍膜設(shè)備包括放卷室、工藝室、收卷室，工藝室包括鍍膜鼓、環(huán)繞鍍膜鼓的磁控濺射陰極系統(tǒng)、若干個(gè)傳動輥，其特征在于，薄膜平整度在線控制裝置包括平整度調(diào)節(jié)輥、液壓調(diào)節(jié)按鈕、連接平整度調(diào)節(jié)輥與液壓調(diào)節(jié)按鈕的液壓油管道，平整度調(diào)節(jié)輥呈香蕉狀，分布在工藝室內(nèi)相鄰兩個(gè)傳動輥之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置，其特征在于，所述液壓調(diào)節(jié)按鈕包括液壓增加按鈕、液壓減少按鈕。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置，其特征在于，所述薄膜平整度在線控制裝置為封閉的循環(huán)液壓裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置，其特征在于，所述薄膜平整度在線控制裝置適用于為厚度不大于50 μ m的薄膜鍍膜的柔性卷繞鍍膜設(shè)備中。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制裝置，適用于為厚度不大于50μm的薄膜鍍膜的柔性卷繞鍍膜設(shè)備中，柔性卷繞鍍膜設(shè)備包括放卷室、工藝室、收卷室，工藝室包括鍍膜鼓、環(huán)繞鍍膜鼓的磁控濺射陰極系統(tǒng)、若干個(gè)傳動輥，薄膜平整度在線控制裝置包括平整度調(diào)節(jié)輥、液壓調(diào)節(jié)按鈕、連接平整度調(diào)節(jié)輥與液壓調(diào)節(jié)按鈕的液壓油管道，平整度調(diào)節(jié)輥呈香蕉狀，分布在工藝室內(nèi)相鄰兩個(gè)傳動輥之間。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，通過設(shè)置在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中實(shí)現(xiàn)在線控制薄膜平整度，提高了濺射鍍膜的產(chǎn)品良率，尤其是厚度在50μm以下的薄膜鍍膜產(chǎn)品良率，進(jìn)而減少了生產(chǎn)成本，顯著增加經(jīng)濟(jì)效益。
【IPC分類】C23C14-35, C23C14-54
【公開號】CN104611678
【申請?zhí)枴緾N201510073882
【發(fā)明人】任丹, 張少波, 劉月豹, 王銀泉, 孔德輝
【申請人】安徽方興光電新材料科技有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2015年2月12日