柔性卷繞鍍膜中薄膜在線除水氣裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及柔性卷繞鍍膜領(lǐng)域，特別是涉及一種柔性卷繞鍍膜設(shè)備中的薄膜在線除水氣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前柔性透明導(dǎo)電薄膜沉積技術(shù)已經(jīng)在觸摸屏行業(yè)廣泛推廣，柔性透明導(dǎo)電膜通過(guò)卷繞鍍膜設(shè)備鍍制，柔性透明導(dǎo)電薄膜基材都是PET (Polyethylene terephthalate，聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)等柔性材料。但由于其不耐高溫、不易于沉積具有優(yōu)良電學(xué)性能的透明導(dǎo)電薄膜，且對(duì)氧氣、水氣的阻隔性差，從而使得沉積的導(dǎo)電薄膜電阻率偏高。因此PET基材在沉積之前要去除水氣才能降低導(dǎo)電薄膜的電阻率。
[0003]傳統(tǒng)去除水氣的方法大概有兩種:1、通過(guò)熱輻射的方法在真空室內(nèi)加紅外加熱管對(duì)PET基材進(jìn)行遠(yuǎn)距離烘烤，該種方法能量轉(zhuǎn)換效率低、除水氣時(shí)間長(zhǎng)，而且溫度不均衡；
2、在真空室外先對(duì)PET基材進(jìn)行除水氣一次，然后再放到真空室內(nèi)通過(guò)熱輻射的方式對(duì)PET基材進(jìn)行二次去除水氣，該種方法的效果比第一種方法的效果好，但是PET基材在多次操作時(shí)難免會(huì)產(chǎn)生劃傷等缺陷，造成良率降低。
[0004]因此亟需提供一種新型的柔性卷繞鍍膜中薄膜去除水氣的裝置來(lái)解決上述問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種柔性卷繞鍍膜中薄膜在線去除水氣裝置，能夠在卷繞鍍膜設(shè)備濺射鍍膜前有效去除薄膜的水氣。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種柔性卷繞鍍膜中薄膜在線除水氣裝置，柔性卷繞鍍膜設(shè)備包括放卷室、工藝室、收卷室，放卷室包括放卷裝置、傳動(dòng)輥，薄膜在線除水氣裝置包括低溫水氣泵、至多兩個(gè)加熱輥、溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)，低溫水氣泵包括固定在放卷室下部?jī)?nèi)壁上的制冷盤管、與制冷盤管相連的壓縮機(jī)，加熱輥包括軸、安裝在軸上的軸承、固定在軸外表面的兩段鎧裝加熱管、包裹在鎧裝加熱管外層的輥筒，其分布在放卷裝置與傳動(dòng)輥之間，溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)包括安裝在加熱輥表面的探頭、與探頭連接的溫度控制裝置。
[0007]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述鎧裝加熱管固定在軸外表面的若干半圓形加熱管固定套上，且呈環(huán)形排布在軸外表面，此結(jié)構(gòu)保證固定后的鎧裝加熱管與輥筒表面的距離相等，確保輥筒表面溫度均勻。
[0008]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述溫度控制裝置包括溫度傳感器，通過(guò)探頭探測(cè)的溫度傳輸至溫度控制裝置，將其與設(shè)定溫度比較后對(duì)鎧裝加熱管進(jìn)行升溫或降溫。
[0009]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過(guò)設(shè)置在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中實(shí)現(xiàn)直接在線有效地去除原膜的水氣，減少鍍膜前對(duì)原膜在真空室外的預(yù)處理步驟，保證原膜不被劃傷、污染，提高了鍍膜產(chǎn)品良率，且產(chǎn)品的光學(xué)性能好，大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中的安裝位置示意圖；
[0011]圖2是所述加熱輥的橫切面示意圖；
[0012]圖3是圖2的A-A剖面圖。
[0013]附圖中各部件的標(biāo)記如下:1、放卷室，11、放卷裝置，2、傳動(dòng)輥，3、工藝室，31、鍍膜鼓，32、磁控濺射陰極系統(tǒng)，4、收卷室，41、收卷裝置，5、低溫水氣泵，51、制冷盤管，6、加熱輥，61、軸，62、軸承，63、鎧裝加熱管，64、輥筒，65、加熱管固定套，7、溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)，71、探頭，8、原膜。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0015]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施例包括:
[0016]一種柔性卷繞鍍膜中薄膜在線除水氣裝置，設(shè)置在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中，柔性卷繞鍍膜設(shè)備包括放卷室1、工藝室3、收卷室4，放卷室I包括放卷裝置11、傳動(dòng)輥2，工藝室3包括鍍膜鼓31、環(huán)繞鍍膜鼓31的磁控濺射陰極系統(tǒng)32、若干個(gè)傳動(dòng)輥2，收卷室4包括若干個(gè)傳動(dòng)輥2、收卷裝置41。
[0017]薄膜在線除水氣裝置包括低溫水氣泵5、至多兩個(gè)加熱輥6、溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)7。低溫水氣泵5包括制冷盤管51、壓縮機(jī)(圖中未示出)，制冷盤管51大面積固定在放卷室I下部?jī)?nèi)壁上，壓縮機(jī)通過(guò)兩個(gè)管道與制冷盤管51相連。結(jié)合圖2和圖3，加熱輥6包括軸61、安裝在軸61上的軸承62、固定在軸61外表面的兩段鎧裝加熱管63、包裹在鎧裝加熱管63外層的輥筒64，在軸61的外表面環(huán)形間隔分布有若干個(gè)半圓形加熱管固定套65，鎧裝加熱管63即安裝在加熱管固定套65上，呈環(huán)形分布在軸61外表面，保證固定后的鎧裝加熱管63與輥筒64表面的距離相等，兩段鎧裝加熱管63分兩邊布置在軸61外表面上，保證整個(gè)輥筒64表面溫度均勻。輥筒64與鎧裝加熱管63之間有一定的間隙，加熱輥6轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)只是輥筒64通過(guò)軸承62轉(zhuǎn)動(dòng)，軸61不轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣保證了輥筒64表面溫度的均勻性。加熱輥6分布在放卷裝置11與傳動(dòng)輥2之間，在本實(shí)施例中，加熱輥6的數(shù)量為兩個(gè)。溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)7包括安裝在加熱輥6表面的探頭71、與探頭71連接的溫度控制裝置(圖中未示出)。探頭71安裝在加熱輥6的輥筒64表面，通過(guò)探頭71探測(cè)的溫度傳輸至溫度控制裝置，溫度控制裝置包括溫度傳感器，將接收的溫度與溫度控制裝置的設(shè)定溫度比較后對(duì)鎧裝加熱管63進(jìn)行升溫或降溫。區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)，所述加熱輥6的輥筒64表面為黑色，這樣對(duì)探頭71探測(cè)的溫度誤差較小。
[0018]此柔性卷繞鍍膜設(shè)備的鍍膜流程步驟為:先對(duì)設(shè)備進(jìn)行破真空處理，然后打開放卷室1、工藝室3、收卷室4的門，把成卷的原膜8 (尚未磁控濺射的薄膜基材)放到放卷裝置11上；把原膜8經(jīng)過(guò)加熱輥6、傳動(dòng)輥2、鍍膜鼓31、傳動(dòng)輥2、收卷裝置41穿引后，對(duì)設(shè)備進(jìn)行抽真空、開啟低溫水氣泵5 ;當(dāng)放卷室I內(nèi)達(dá)到工藝真空標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，開啟轉(zhuǎn)動(dòng)加熱棍6和傳動(dòng)輥2，原膜8經(jīng)過(guò)兩個(gè)加熱輥6后將原膜8所含的水氣放出，通過(guò)制冷盤管51表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)內(nèi)的水氣，原膜8經(jīng)過(guò)傳動(dòng)輥2到達(dá)工藝室3，在鍍膜鼓31處時(shí)磁控濺射陰極系統(tǒng)32對(duì)原膜8進(jìn)行沉積透明導(dǎo)電薄膜，然后由傳動(dòng)輥2送到收卷裝置41完成。由此可見，加熱輥6既可以去除水氣又起到傳送原膜8的作用，原膜8直接與加熱輥6的輥筒64表面接觸，由加熱輥6內(nèi)部的兩段鎧裝加熱管63進(jìn)行加熱，使得原膜8受熱均勻，迅速釋放所含的水分；而加熱輥6的輥筒64表面為黑色，具有良好的吸附作用，使其表面的探頭71探測(cè)溫度信號(hào)的精準(zhǔn)度大大提高，因此也更好地保證溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)7對(duì)加熱輥6表面溫度的控制。
[0019]本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過(guò)設(shè)置在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中實(shí)現(xiàn)直接在線有效地去除原膜8的水氣，減少鍍膜前對(duì)原膜8在真空室外的預(yù)處理步驟，保證原膜8不被劃傷、污染，提高了鍍膜產(chǎn)品良率，且產(chǎn)品的光學(xué)性能好，大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。
[0020]以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種柔性卷繞鍍膜中薄膜在線除水氣裝置，柔性卷繞鍍膜設(shè)備包括放卷室、工藝室、收卷室，放卷室包括放卷裝置、傳動(dòng)輥，其特征在于，薄膜在線除水氣裝置包括低溫水氣泵、至多兩個(gè)加熱輥、溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)，低溫水氣泵包括固定在放卷室下部?jī)?nèi)壁上的制冷盤管、與制冷盤管相連的壓縮機(jī)，加熱輥包括軸、安裝在軸上的軸承、固定在軸外表面的兩段鎧裝加熱管、包裹在鎧裝加熱管外層的輥筒，其分布在放卷裝置與傳動(dòng)輥之間，溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)包括安裝在加熱輥表面的探頭、與探頭連接的溫度控制裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性卷繞鍍膜中薄膜在線除水氣裝置，其特征在于，所述鎧裝加熱管固定在軸外表面的若干半圓形加熱管固定套上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性卷繞鍍膜中薄膜在線除水氣裝置，其特征在于，所述鎧裝加熱管呈環(huán)形排布在軸外表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性卷繞鍍膜中薄膜在線除水氣裝置，其特征在于，所述溫度控制裝置包括溫度傳感器。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種柔性卷繞鍍膜中薄膜在線除水氣裝置，柔性卷繞鍍膜設(shè)備包括放卷室、工藝室、收卷室，放卷室包括放卷裝置、傳動(dòng)輥，薄膜在線除水氣裝置包括低溫水氣泵、至多兩個(gè)加熱輥、溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)，低溫水氣泵包括固定在放卷室下部?jī)?nèi)壁上的制冷盤管、與制冷盤管相連的壓縮機(jī)，加熱輥包括軸、安裝在軸上的軸承、固定在軸外表面的兩段鎧裝加熱管、包裹在鎧裝加熱管外層的輥筒，其分布在放卷裝置與傳動(dòng)輥之間，溫度監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)包括安裝在加熱輥表面的探頭、與探頭連接的溫度控制裝置。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置在柔性卷繞鍍膜設(shè)備中實(shí)現(xiàn)直接在線有效地去除原膜的水氣，提高了鍍膜產(chǎn)品良率，且產(chǎn)品的光學(xué)性能好，大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】C23C14-02, C23C14-35
【公開號(hào)】CN104630729
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510073884
【發(fā)明人】張少波, 劉月豹, 任丹, 王銀泉, 孔德輝
【申請(qǐng)人】安徽方興光電新材料科技有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2015年2月12日