一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置的制造方法
【專利說明】
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置。
[0002]【【背景技術(shù)】】
公知的，半導(dǎo)體硅棒經(jīng)過線切割機切割后，需對硅片進行研磨，這樣才能達到去除切割線紋以此來改善硅片平整度的目的，硅片研磨其基本原理就是硅晶片通過行星游輪片的帶動在上下磨盤間繞磨盤中心軸做自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)運動，高硬度的研磨粉和助磨劑相配在磨盤可控的壓力下對硅晶片雙面進行磨削，去除掉前道工序造成的損傷，形成高精度的幾何表面和均一深度的損傷層，太陽輪、行星游輪、外齒圈發(fā)生相對運動，由于行星游輪很薄非常容易將太陽輪及外齒圈磨損，一旦經(jīng)磨損太陽輪就會出現(xiàn)凹槽，從而就會夾住行星游輪造成硅片的損壞；另外，由于太陽輪結(jié)構(gòu)特殊，現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)為:太陽輪上面是一個螺母壓蓋，螺母壓蓋上面是一個帶槽端蓋，帶槽端蓋上面一個固定端蓋，固定端蓋上面是個防塵蓋，因此這樣的結(jié)構(gòu)要調(diào)整太陽輪高度是很困難的，還因為有水、砂漿、懸浮液，導(dǎo)致螺絲生銹，螺母壓蓋生銹，這樣就很難拆卸，因此就降低了加工效率，延長了維修時間，同時使得太陽輪的使用壽命降低。
[0003]【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
為了克服【背景技術(shù)】中的不足，本發(fā)明公開了一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，本發(fā)明通過在主軸上設(shè)置太陽輪基座和太陽輪，以此來達到調(diào)整太陽輪高度的目的。
[0004]為了實現(xiàn)所述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，包括主軸、太陽輪、太陽輪基座、帶槽端蓋、固定端蓋和防塵蓋，主軸的頂部設(shè)有帶槽端蓋，帶槽端蓋上設(shè)有固定端蓋，固定端蓋上設(shè)有防塵蓋，在帶槽端蓋下方的主軸上設(shè)有太陽輪基座，太陽輪基座上設(shè)有太陽輪。
[0005]所述太陽輪底部設(shè)有凹槽，凹槽內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)絲。
[0006]所述太陽輪基座頂部設(shè)有凸塊，凸塊的外側(cè)面上設(shè)有外絲，太陽輪基座通過凸塊插入到太陽輪底部的凹槽內(nèi)使太陽輪基座與太陽輪相連接。
[0007]所述太陽輪上至少設(shè)有兩個沉頭螺絲孔。
[0008]由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明具有如下有益效果:
本發(fā)明所述的一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，包括主軸、太陽輪、太陽輪基座、帶槽端蓋、固定端蓋和防塵蓋，通過在主軸上設(shè)置太陽輪基座和太陽輪，以此來達到調(diào)整太陽輪高度的目的；本發(fā)明實用性強，使用和維修起來比較方便，不但很好的調(diào)整了太陽輪的高度，而且減少了維修的時間，降低了維修成本，同時延長了太陽輪的使用壽命，進一步提高了企業(yè)的效益。
[0009]【【附圖說明】】
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)剖面示意圖；
圖中:1、防塵蓋；2、固定端蓋；3、帶槽端蓋；4、太陽輪；5、太陽輪基座；6、主軸。
[0010]【【具體實施方式】】 通過下面的實施例可以詳細的解釋本發(fā)明，公開本發(fā)明的目的旨在保護本發(fā)明范圍內(nèi)的一切技術(shù)改進。
[0011]結(jié)合附圖1所述的一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，包括主軸6、太陽輪4、太陽輪基座5、帶槽端蓋3、固定端蓋2和防塵蓋1，主軸6的頂部設(shè)有帶槽端蓋3，帶槽端蓋3上設(shè)有固定端蓋2，固定端蓋2上設(shè)有防塵蓋1，在帶槽端蓋3下方的主軸6上設(shè)有太陽輪基座5，太陽輪基座5上設(shè)有太陽輪4 ;所述太陽輪4底部設(shè)有凹槽，凹槽內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)絲；所述太陽輪基座5頂部設(shè)有凸塊，凸塊的外側(cè)面上設(shè)有外絲，太陽輪基座5通過凸塊插入到太陽輪4底部的凹槽內(nèi)使太陽輪基座5與太陽輪4相連接；所述太陽輪4上至少設(shè)有兩個沉頭螺絲孔。
[0012]實施本發(fā)明所述的一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，在使用時，首先將太陽輪4通過其底部的內(nèi)絲與太陽輪基座5凸塊上的外絲使太陽輪4與太陽輪基座5相連接，太陽輪的高度調(diào)整好之后就可以通過螺絲插入到太陽輪4的沉頭螺絲孔內(nèi)將太陽輪4頂緊就可以了，當(dāng)太陽輪4磨損之后，需要調(diào)整的時候就可以通過太陽輪4和太陽輪基座5上的絲進行調(diào)整高度了，調(diào)整好之后再用螺絲頂緊就可以了，這樣就延長了太陽輪的使用壽命，員工可以很輕松的進行調(diào)整，減少了維修時間，降低了維修成本。
[0013]本發(fā)明未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)。
【主權(quán)項】
1.一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，包括主軸、太陽輪、太陽輪基座、帶槽端蓋、固定端蓋和防塵蓋，主軸的頂部設(shè)有帶槽端蓋，帶槽端蓋上設(shè)有固定端蓋，固定端蓋上設(shè)有防塵蓋，其特征是:在帶槽端蓋下方的主軸上設(shè)有太陽輪基座，太陽輪基座上設(shè)有太陽輪。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，其特征是:所述太陽輪底部設(shè)有凹槽，凹槽內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)絲。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，其特征是:所述太陽輪基座頂部設(shè)有凸塊，凸塊的外側(cè)面上設(shè)有外絲，太陽輪基座通過凸塊插入到太陽輪底部的凹槽內(nèi)使太陽輪基座與太陽輪相連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，其特征是:所所述太陽輪上至少設(shè)有兩個沉頭螺絲孔。
【專利摘要】一種磨片機太陽輪高度專用調(diào)整裝置，涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，由主軸、太陽輪、太陽輪基座、帶槽端蓋、固定端蓋和防塵蓋構(gòu)成，在帶槽端蓋下方的主軸上設(shè)有太陽輪基座，太陽輪基座上設(shè)有太陽輪；本發(fā)明實用性強，使用和維修起來比較方便，不但很好的調(diào)整了太陽輪的高度，而且減少了維修的時間，降低了維修成本，同時延長了太陽輪的使用壽命，進一步提高了企業(yè)的效益。
【IPC分類】B24B37/34
【公開號】CN104907923
【申請?zhí)枴緾N201510281339
【發(fā)明人】張自安, 裴保齊, 周濤
【申請人】洛陽鴻泰半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2015年9月16日
【申請日】2015年5月28日