用于藍(lán)寶石晶棒of面加工的定向夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶棒夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石晶體為各向異性的晶體材料，并具有優(yōu)異的電、光、熱、力學(xué)特性。近幾年來，隨著晶體在光電子、信息產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用的擴(kuò)展，對(duì)晶片加工精度提出了很高要求，而作為外延生長基板的晶體材料對(duì)晶面角度取向加工精度更是提出了嚴(yán)格要求。因此確保晶體從毛坯加工成成品中晶面角度取向精度是生產(chǎn)高質(zhì)量器件和基板的重要環(huán)節(jié)。
[0003]藍(lán)寶石晶棒的加工工藝為:晶徒掏棒一晶棒切兩端一晶棒端面研磨一磨OF基準(zhǔn)面一切片。藍(lán)寶石晶棒在切片加工前必須對(duì)晶棒進(jìn)行測(cè)定結(jié)晶方向后進(jìn)行晶棒的定位面(參考平面)的加工。這樣，一方面可以確保其在切片機(jī)上的正確位置，另一方面，識(shí)別藍(lán)寶石晶棒或晶片上的特定的結(jié)晶方向，有利于晶片在后續(xù)工序中的識(shí)別、定位要求。
[0004]對(duì)晶棒定位面加工的普遍方法是在定向儀上放置料板，對(duì)晶棒進(jìn)行測(cè)定結(jié)晶方向后就在定向儀上將晶棒粘接到料板上，再將整體放置于研磨機(jī)上進(jìn)行晶棒定位面的加工。該方法由于人工粘接晶棒存在操作誤差，從而對(duì)晶棒結(jié)晶方向定位會(huì)帶來一定的偏差，會(huì)影響后續(xù)晶片的加工；另外，加工后還要對(duì)粘接的晶棒進(jìn)行去膠處理，既費(fèi)功費(fèi)力，又生產(chǎn)效率低。
[0005]公告號(hào)為CN202726719U，公告日為2013年02月13日的中國發(fā)明專利公開了一種藍(lán)寶石晶棒定位面定向加工的卡具，雖然改變了傳統(tǒng)的晶棒粘接的方法，采用夾具進(jìn)行定向，但是該夾具的螺釘對(duì)晶棒表面容易產(chǎn)生磨損，一邊固定的方式使得晶棒的軸線不是位于夾具中心，容易導(dǎo)致定位不準(zhǔn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:為了解決現(xiàn)有技術(shù)中藍(lán)寶石晶棒定位夾具定位不準(zhǔn)，生產(chǎn)效率低的技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具。
[0007]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，包括可拆卸連接的上夾具和下夾具，所述下夾具上表面上開設(shè)有V型槽，上夾具用于將藍(lán)寶石晶棒固定在V型槽內(nèi)。本發(fā)明將藍(lán)寶石晶棒定位夾具分成上下兩部分，更有利于藍(lán)寶石晶棒加工前的位置調(diào)整，定位精準(zhǔn)。
[0008]為了便于安裝上夾具，所述V型槽的長度LI與下夾具的長度L2 —致，V型槽槽口的左側(cè)至下夾具的左端設(shè)有左平面，V型槽槽口的右側(cè)至下夾具的右端設(shè)有右平面，所述的左平面和右平面上開設(shè)有螺釘安裝孔。
[0009]為了使得藍(lán)寶石晶棒左右固定牢固，位置不易偏移，所述上夾具分為左固定塊和右固定塊，左固定塊的下底面與左平面相配合且固定連接，左固定塊的右端面呈斜面，且右端面與V型槽內(nèi)的左側(cè)面形成開口向右的V形開口，右固定塊的下底面與右平面相配合且固定連接，右固定塊的左端面呈斜面，且左端面與V型槽內(nèi)的右側(cè)面形成開口向左的V形開
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[0010]為了便于安裝螺釘，所述左固定塊和右固定塊等高均為hl，所述左固定塊的左端面和右固定塊的右端面均開設(shè)有U型槽，U型槽的長度為hl，所述U型槽的內(nèi)壁上設(shè)有U型卡臺(tái)，U型槽與螺釘安裝孔相配合，所述U型槽的槽寬dl略大于待安裝螺釘?shù)穆菝钡耐鈴?，U型卡臺(tái)卡口的寬度d2略大于待安裝螺釘?shù)穆輻U的外徑且略小于待安裝螺釘?shù)穆菝钡耐鈴健?br>[0011]為了便于排泄，所述V型槽的底部還開設(shè)有排泄槽。
[0012]為了便于調(diào)整藍(lán)寶石晶棒的高度，便于加工，所述下夾具的底部還安裝有升降調(diào)節(jié)裝置。
[0013]本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明的用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，通過上、下夾具配合固定的方式實(shí)現(xiàn)了晶棒的靈活?yuàn)A持與定向，螺釘安裝在上、下夾具的兩側(cè)上，與晶棒無接觸，避免晶棒磨損，而且夾具定位精準(zhǔn)，提尚加工效率。
【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0015]圖1是本發(fā)明用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是本發(fā)明用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具的下夾具的俯視圖。
[0017]圖3是本發(fā)明用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具的上夾具的俯視圖。
[0018]圖中:11、左固定塊，12、右固定塊，13、開口向右的V形開口，14、開口向左的V形開口，15、U型槽，16、U型卡臺(tái)，2、下夾具，21、V型槽，22、左平面，23、右平面，24、螺釘安裝孔，25、排泄槽，3、升降調(diào)節(jié)裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0019]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。
[0020]如圖1-3所示，是本發(fā)明最優(yōu)實(shí)施例，一種用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，包括可拆卸連接的上夾具和下夾具2，下夾具2上表面上開設(shè)有V型槽21，上夾具用于將藍(lán)寶石晶棒固定在V型槽21內(nèi)。V型槽21的長度LI與下夾具的長度L2 —致，V型槽21槽口的左側(cè)至下夾具2的左端設(shè)有左平面22，V型槽21槽口的右側(cè)至下夾具2的右端設(shè)有右平面23，左平面22和右平面23上開設(shè)有螺釘安裝孔24。V型槽21的底部還開設(shè)有排泄槽25，下夾具2的底部還安裝有升降調(diào)節(jié)裝置3。
[0021]上夾具分為左固定塊11和右固定塊12，左固定塊11的下底面與左平面22相配合且固定連接，左固定塊11的右端面呈斜面，且右端面與V型槽21內(nèi)的左側(cè)面形成開口向右的V形開口 13，右固定塊12的下底面與右平面23相配合且固定連接，右固定塊12的左端面呈斜面，且左端面與V型槽21內(nèi)的右側(cè)面形成開口向左的V形開口 14。
[0022]左固定塊11和右固定塊12等高均為hl，左固定塊11的左端面和右固定塊12的右端面均開設(shè)有U型槽15，U型槽15的長度為hl，U型槽15的內(nèi)壁上設(shè)有U型卡臺(tái)16，U型槽I5與螺釘安裝孔24相配合，U型槽15的槽寬dl略大于待安裝螺釘?shù)穆菝钡耐鈴剑琔型卡臺(tái)16卡口的寬度d2略大于待安裝螺釘?shù)穆輻U的外徑且略小于待安裝螺釘?shù)穆菝钡耐鈴健?br>[0023]工作時(shí)，將藍(lán)寶石晶棒先放在V型槽21內(nèi)，找到其定位面，再將左固定塊11和右固定塊12通過螺釘固定在下夾具2上。調(diào)整升降調(diào)節(jié)裝置3使得藍(lán)寶石晶棒達(dá)到要求的高度，再進(jìn)行OF面加工。
[0024]以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:包括可拆卸連接的上夾具和下夾具(2)，所述下夾具(2)上表面上開設(shè)有V型槽(21)，上夾具用于將藍(lán)寶石晶棒固定在V型槽(21)內(nèi)。2.如權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述V型槽(21)的長度LI與下夾具的長度L2—致，V型槽(21)槽口的左側(cè)至下夾具(2)的左端設(shè)有左平面(22)，V型槽(21)槽口的右側(cè)至下夾具(2)的右端設(shè)有右平面(23)，所述的左平面(22)和右平面(23)上開設(shè)有螺釘安裝孔(24)。3.如權(quán)利要求2所述的用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述上夾具分為左固定塊(11)和右固定塊(12)，左固定塊(11)的下底面與左平面(22)相配合且固定連接，左固定塊(11)的右端面呈斜面，且右端面與V型槽(21)內(nèi)的左側(cè)面形成開口向右的V形開口(13)，右固定塊(12)的下底面與右平面(23)相配合且固定連接，右固定塊(12)的左端面呈斜面，且左端面與V型槽(21)內(nèi)的右側(cè)面形成開口向左的V形開口(14)。4.如權(quán)利要求3所述的用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述左固定塊(11)和右固定塊(12)等高均為hl，所述左固定塊(11)的左端面和右固定塊(12)的右端面均開設(shè)有U型槽(15)，U型槽(15)的長度為hi，所述U型槽(15)的內(nèi)壁上設(shè)有U型卡臺(tái)(16)，U型槽(15)與螺釘安裝孔(24)相配合，所述U型槽(15)的槽寬dl略大于待安裝螺釘?shù)穆菝钡耐鈴剑琔型卡臺(tái)(16)卡口的寬度d2略大于待安裝螺釘?shù)穆輻U的外徑且略小于待安裝螺釘?shù)穆菝钡耐鈴健?.如權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述V型槽(21)的底部還開設(shè)有排泄槽(25)。6.如權(quán)利要求1所述的用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述下夾具(2)的底部還安裝有升降調(diào)節(jié)裝置(3)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及晶棒夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，包括可拆卸連接的上夾具和下夾具，下夾具上表面上開設(shè)有V型槽，上夾具用于將藍(lán)寶石晶棒固定在V型槽內(nèi)。本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明的用于藍(lán)寶石晶棒OF面加工的定向夾具，通過上、下夾具配合固定的方式實(shí)現(xiàn)了晶棒的靈活?yuàn)A持與定向，螺釘安裝在上、下夾具的兩側(cè)上，與晶棒無接觸，避免晶棒磨損，而且夾具定位精準(zhǔn)，提高加工效率。
【IPC分類】B24B41/06
【公開號(hào)】CN105196176
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510728369
【發(fā)明人】葛姚剛, 朱文輝
【申請(qǐng)人】常州億晶光電科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年10月30日