一種具有絕緣防呆裝置的pvd機(jī)臺鋁室的hthu加熱器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有絕緣防呆裝置的PVD機(jī)臺鋁室的HTHU加熱器，具體地，涉及用于濺射機(jī)臺的升降環(huán)的絕緣防呆設(shè)計(jì)。
【背景技術(shù)】
[0002]AMAT (美國應(yīng)用材料公司)PVD (物理氣相沉積)機(jī)臺的鋁室(A1 Chamber)當(dāng)前使用高溫高均勻度加熱器(HTHU heater)，在使用過程中，需要保證HTHU heater的升降桿與腔體壁保持絕緣。
[0003]然而，如圖2和3所示，現(xiàn)有技術(shù)的絕緣設(shè)計(jì)中沒有防呆裝置，因此在安裝過程中很容易造成加熱器接地，從而導(dǎo)致晶圓溫度升高，鋁熔融后會粘在金屬壓環(huán)上，因此，在傳送過程中，因晶圓的掉落時機(jī)不同而使其在機(jī)器手臂上的位置不固定，進(jìn)而導(dǎo)致晶圓位置偏移。
[0004]因此，需要在絕緣設(shè)計(jì)中增加防呆裝置，以降低因加熱器接地造成的鋁粘連，進(jìn)而降低由此引起的晶圓位置偏移導(dǎo)致的報(bào)廢問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷和不足，本發(fā)明的目的是提供一種具有絕緣防呆裝置的PVD機(jī)臺鋁室的HTHU加熱器。本發(fā)明的這一目的通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0006]一種具有絕緣防呆裝置的PVD機(jī)臺鋁室的HTHU加熱器，在PVD機(jī)臺鋁室中，金屬升降模塊通過金屬升降環(huán)及金屬升降桿升降金屬HTHU加熱器，金屬壓環(huán)將晶圓固定在金屬HTHU加熱器上，機(jī)臺中通過以下部件保證HTHU加熱器絕緣:鐵氟龍隔熱盤、陶瓷隔熱環(huán)、陶瓷隔熱片以及陶瓷隔熱塊，其中，鐵氟龍隔熱盤和陶瓷隔熱環(huán)位于金屬腔體壁和金屬HTHU加熱器之間，保證加熱器和金屬腔體壁之間絕緣；陶瓷隔熱塊位于金屬升降環(huán)與金屬升降模塊之間，保證金屬升降環(huán)與金屬升降模塊之間絕緣；陶瓷隔熱片位于金屬升降環(huán)與金屬螺絲之間，保證金屬升降環(huán)與金屬螺絲之間絕緣，具體地，陶瓷隔熱片的螺絲孔處具有一圈圓柱形凸起，該凸起為中空結(jié)構(gòu)，其中空部分與陶瓷隔熱片上部的孔形成內(nèi)徑一致的貫通孔。
[0007]進(jìn)一步地，陶瓷隔熱片的外部輪廓可以是圓形或方形，其外部尺寸大于金屬螺絲的螺帽。
[0008]進(jìn)一步地，所述圓柱形凸起的高度與金屬升降環(huán)的厚度一致。
[0009]進(jìn)一步地，所述貫通孔內(nèi)徑取決于金屬螺絲的直徑。
[0010]本發(fā)明的絕緣防呆設(shè)計(jì)可以有效防止加熱器接地，即使在安裝或使用過程中金屬螺絲位置稍微偏移，也不會導(dǎo)致加熱器接地，從而有效防止鋁熔融后粘連晶圓，有效降低晶圓位置偏移，減少因晶圓位置偏移弓I起的報(bào)廢問題。
[0011]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。對于所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，從對本發(fā)明的詳細(xì)說明中，本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將顯而易見。
【附圖說明】
[0012]圖1是PVD機(jī)臺HTHU鋁室結(jié)構(gòu)圖；
[0013]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中絕緣設(shè)計(jì)的安裝使用圖；
[0014]圖3是現(xiàn)有技術(shù)中絕緣設(shè)計(jì)的放大圖；
[0015]圖4是本發(fā)明的絕緣防呆設(shè)計(jì)的安裝使用圖；
[0016]圖5是本發(fā)明的絕緣防呆設(shè)計(jì)的放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0018]圖1為PVD機(jī)臺鋁室的HTHU加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖。其中金屬壓環(huán)1將晶圓2固定在金屬HTHU加熱器3上，機(jī)臺中保證HTHU加熱器3絕緣的部件有鐵氟龍隔熱盤8、陶瓷隔熱環(huán)7、陶瓷隔熱片12以及陶瓷隔熱塊13，鐵氟龍隔熱盤8和陶瓷隔熱環(huán)7位于金屬腔體壁6和金屬HTHU加熱器3之間，保證加熱器3和金屬腔體壁6之間絕緣。金屬升降模塊14通過金屬升降環(huán)4及金屬升降桿10升降金屬HTHU加熱器3，而在使用過程中同樣需保證金屬升降桿10與金屬腔體壁6絕緣。而在現(xiàn)有技術(shù)中，機(jī)臺的使用過程中金屬升降環(huán)4極易發(fā)生接地。如圖2所示，陶瓷隔熱塊13位于金屬升降環(huán)4與金屬升降模塊14之間，保證金屬升降環(huán)4與金屬升降模塊14之間絕緣，陶瓷隔熱片12位于金屬升降環(huán)4與金屬螺絲11之間，保證金屬升降環(huán)4與金屬螺絲11之間絕緣，如圖3所示，陶瓷隔熱片12是環(huán)形結(jié)構(gòu)，其僅僅能夠保證金屬螺絲11的上部與金屬升降環(huán)4絕緣，而在使用過程中，只要金屬升降環(huán)4稍微偏移，就會與金屬螺絲11接觸，從而造成金屬升降環(huán)4接地，金屬升降環(huán)4接地后，通過金屬升降桿10及金屬升降桿帽9導(dǎo)致金屬HTHU加熱器3接地，加熱器3接地后導(dǎo)致晶圓2溫度升高，鋁熔融后就會粘在金屬壓環(huán)1上，在傳送過程中，晶圓2掉落的時機(jī)不能確定，因此導(dǎo)致晶圓2位置偏移，從而引起晶圓報(bào)廢問題。
[0019]而本發(fā)明中，如圖5所示，在陶瓷隔熱片螺絲孔處增加一圈凸起形成本發(fā)明的防呆設(shè)計(jì)，安裝時，將金屬螺絲11穿過該具有凸起的陶瓷隔熱片12'，然后再穿過金屬升降環(huán)4和陶瓷隔熱塊13安裝到金屬升降模塊中，這樣金屬螺絲與金屬升降環(huán)4由陶瓷隔熱片12'完全隔離，即使金屬升降環(huán)4的位置稍微偏移，由于凸起的設(shè)置，金屬螺絲11也不會接觸到金屬升降環(huán)4，進(jìn)而不會導(dǎo)致加熱器3接地，從而避免晶圓2粘連，避免報(bào)廢問題。
[0020]以上詳細(xì)說明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例，在本發(fā)明的申請范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種改變。盡管上文只是詳細(xì)闡述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但是，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員很清楚在實(shí)質(zhì)上不脫離本發(fā)明的新穎性和優(yōu)點(diǎn)的范圍內(nèi)，可以對示例性實(shí)施例進(jìn)行各種修改。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有絕緣防呆裝置的PVD機(jī)臺鋁室的HTHU加熱器，在PVD機(jī)臺鋁室中，金屬升降模塊通過金屬升降環(huán)及金屬升降桿升降金屬HTHU加熱器，金屬壓環(huán)將晶圓固定在金屬HTHU加熱器上，機(jī)臺中通過以下部件保證HTHU加熱器絕緣:鐵氟龍隔熱盤、陶瓷隔熱環(huán)、陶瓷隔熱片以及陶瓷隔熱塊，其中，鐵氟龍隔熱盤和陶瓷隔熱環(huán)位于金屬腔體壁和金屬HTHU加熱器之間，保證加熱器和金屬腔體壁之間絕緣；陶瓷隔熱塊位于金屬升降環(huán)與金屬升降模塊之間，保證金屬升降環(huán)與金屬升降模塊之間絕緣；陶瓷隔熱片位于金屬升降環(huán)與金屬螺絲之間，保證金屬升降環(huán)與金屬螺絲之間絕緣，其特征在于， 所述陶瓷隔熱片的螺絲孔處具有一圈圓柱形凸起，該凸起為中空結(jié)構(gòu)，其中空部分與陶瓷隔熱片上部的螺絲孔形成內(nèi)徑一致的貫通孔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HTHU加熱器，其特征在于，陶瓷隔熱片的外部輪廓可以是圓形或方形，其外部尺寸大于金屬螺絲的螺帽。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HTHU加熱器，其特征在于，所述圓柱形凸起的高度與金屬升降環(huán)的厚度一致。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HTHU加熱器，其特征在于，所述貫通孔內(nèi)徑取決于金屬螺絲的直徑。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種具有絕緣防呆裝置的PVD機(jī)臺鋁室的HTHU加熱器，具體地，在保證金屬升降環(huán)與金屬螺絲之間絕緣的陶瓷隔熱片的螺絲孔處增加一圈圓柱形凸起，該帶有凸起的陶瓷隔熱片安裝在金屬升降環(huán)和金屬螺絲之間，使金屬升降環(huán)和金屬螺絲完全隔離，這樣在機(jī)臺的使用過程中，即使金屬升降環(huán)的位置稍微偏移，由于凸起的設(shè)置，金屬螺絲也不會接觸到金屬升降環(huán)，進(jìn)而不會導(dǎo)致加熱器接地，從而避免晶圓粘連，避免報(bào)廢問題。
【IPC分類】H01L21/67, C23C14/00
【公開號】CN105483612
【申請?zhí)枴緾N201410471268
【發(fā)明人】王浩
【申請人】和艦科技(蘇州)有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2014年9月16日