用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料制造裝置領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)集精密機(jī)械、半導(dǎo)體材料、真空電子、流體力學(xué)、光學(xué)、化學(xué)、計(jì)算機(jī)多學(xué)科為一體，是一種自動(dòng)化程度高、價(jià)格昂貴、技術(shù)集成度高的高端半導(dǎo)體材料、光電子器件制造專用設(shè)備?；瘜W(xué)氣相沉積設(shè)備作為化合物半導(dǎo)體材料外延生長(zhǎng)的理想方法，具有質(zhì)量高、穩(wěn)定性好、重復(fù)性好、工藝靈活、能規(guī)?；慨a(chǎn)等特點(diǎn)，已經(jīng)成為業(yè)界生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件的關(guān)鍵核心設(shè)備，具有廣闊的應(yīng)用前景和產(chǎn)業(yè)化價(jià)值。
[0003]在現(xiàn)有的化學(xué)氣相沉積設(shè)備操作中，一般是由CVD工藝人員利用手套箱的手套進(jìn)行晶圓片的裝卸，再通過緩沖腔將晶圓盒轉(zhuǎn)入或轉(zhuǎn)出，操作有諸多不便，對(duì)人員操作熟練程度依賴性較大，效率低下。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提出一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)的裝置，以實(shí)現(xiàn)載片盤整體點(diǎn)對(duì)點(diǎn)準(zhǔn)確和快速地在手套箱、緩沖腔及外界之間轉(zhuǎn)運(yùn)的目的。
[0005]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)的裝置，其特點(diǎn)在于主要包括托盤、3段導(dǎo)軌(托盤導(dǎo)軌、中段導(dǎo)軌和緩沖腔導(dǎo)軌)、限位塊；緩沖腔導(dǎo)軌固定安裝在化學(xué)氣相沉積設(shè)備的緩沖腔，中段導(dǎo)軌疊加安裝在緩沖腔導(dǎo)軌上面，托盤導(dǎo)軌疊加安裝在中段導(dǎo)軌上面，托盤疊加安裝在托盤導(dǎo)軌上用于放置載片盤；每段導(dǎo)軌兩端分別設(shè)置有限位塊，用于限制軌道上滑行端點(diǎn)位置；中段導(dǎo)軌及以上疊加連接物體可以沿緩沖腔導(dǎo)軌滑行，滑行區(qū)間為緩沖腔導(dǎo)軌兩端設(shè)置的限位塊之間；托盤導(dǎo)軌及其以上疊加連接物體可以沿中段導(dǎo)軌滑行，滑行區(qū)間為中段導(dǎo)軌兩端的限位塊之間；托盤及其以上安裝的載片盤可以沿托盤導(dǎo)軌滑行，滑行區(qū)間為托盤導(dǎo)軌兩端的限位塊之間；各滑行區(qū)間和導(dǎo)軌長(zhǎng)度根據(jù)需要設(shè)置使托盤能在手套箱、緩沖腔和外界之間實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)運(yùn)工作。本發(fā)明采用設(shè)置3段導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的方式可實(shí)現(xiàn)載片盤在手套箱、緩沖腔及外界之間的轉(zhuǎn)運(yùn)。
[0006]優(yōu)選地，在手套箱固定安裝托盤導(dǎo)軌支架，托盤導(dǎo)軌支架包括安裝底座、擺臂、支架導(dǎo)軌，擺臂通過擺臂轉(zhuǎn)軸和底座連接，支架導(dǎo)軌通過導(dǎo)軌轉(zhuǎn)軸和擺臂連接，托盤導(dǎo)軌在手套箱相應(yīng)位置時(shí)可以沿支架導(dǎo)軌滑動(dòng)并支撐在支架導(dǎo)軌上，托盤導(dǎo)軌支架可以起到加強(qiáng)支撐托盤導(dǎo)軌的作用，防止導(dǎo)軌懸臂過長(zhǎng)而導(dǎo)致托盤不平、不穩(wěn)。
[0007]進(jìn)一步地，擺臂、支架導(dǎo)軌上還可以設(shè)置安裝加強(qiáng)桿，以使提升擺臂和支架導(dǎo)軌的強(qiáng)度，提高支撐穩(wěn)定性和承受能力。
[0008]進(jìn)一步地，支架導(dǎo)軌可以繞導(dǎo)軌轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，擺臂可以繞擺臂轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，可以將托盤導(dǎo)軌支架折疊后平置在手套箱內(nèi)，以節(jié)省手套箱空間和妨礙其他操作。
[0009]本發(fā)明的有益效果是:該裝置可以在化學(xué)氣相沉積設(shè)備中實(shí)現(xiàn)載片盤整體點(diǎn)對(duì)點(diǎn)準(zhǔn)確和快速地在手套箱、緩沖腔及外界之間的轉(zhuǎn)運(yùn)，降低操作人員隔著手套箱使用手套裝載晶圓片的操作難度，同時(shí)也可以提高設(shè)備工作效率。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本發(fā)明用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)裝置將托盤運(yùn)至手套箱位置的工作示意圖；
圖2為本發(fā)明用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)裝置將托盤運(yùn)至緩沖腔位置的工作示意圖；
圖3為本發(fā)明用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)裝置將托盤運(yùn)至外界位置的工作不意圖；
圖4為在圖1基礎(chǔ)上增加設(shè)置托盤導(dǎo)軌支架裝置的示意圖；
圖5為托盤導(dǎo)軌支架裝置的示意圖；
圖6為托盤導(dǎo)軌支架折疊平放后的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，圖1至圖6是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式裝置的工作示意性圖示。應(yīng)理解，本發(fā)明公開的圖1至圖6重點(diǎn)示意了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式裝置的元部件，也就是說(shuō)，這些附圖并不意在示意出本發(fā)明裝置中的每一個(gè)單獨(dú)的元部件。
[0012]如圖1、圖2和圖3所示，一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)的裝置，其特點(diǎn)在于主要包括托盤1、托盤導(dǎo)軌2、中段導(dǎo)軌3、緩沖腔導(dǎo)軌4、限位塊5 ;緩沖腔導(dǎo)軌4固定安裝在化學(xué)氣相沉積設(shè)備的緩沖腔7，中段導(dǎo)軌3疊加安裝在緩沖腔導(dǎo)軌4上面，托盤導(dǎo)軌2疊加安裝在中段導(dǎo)軌3上面，托盤I疊加安裝在托盤導(dǎo)軌2上用于放置載片盤；每段導(dǎo)軌兩端分別設(shè)置有限位塊5，用于限制軌道上滑行端點(diǎn)位置；中段導(dǎo)軌3及以上疊加連接物體可以沿緩沖腔導(dǎo)軌4滑行，滑行區(qū)間為緩沖腔導(dǎo)軌4兩端設(shè)置的限位塊5之間；托盤導(dǎo)軌2及其以上疊加連接物體可以沿中段導(dǎo)軌3滑行，滑行區(qū)間為中段導(dǎo)軌3兩端的設(shè)置的限位塊5之間；托盤I及其以上安裝的載片盤可以沿托盤導(dǎo)軌2滑行，滑行區(qū)間為托盤導(dǎo)軌2兩端的限位塊5之間；各滑行區(qū)間和導(dǎo)軌長(zhǎng)度根據(jù)需要設(shè)置使托盤I能在手套箱6、緩沖腔7和外界之間實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)運(yùn)工作。本發(fā)明采用設(shè)置3段導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的方式可實(shí)現(xiàn)載片盤在手套箱6、緩沖腔7及外界之間的轉(zhuǎn)運(yùn)。圖1即為將托盤I運(yùn)至手套箱6內(nèi)的工作位置示意圖，圖2為將托盤I運(yùn)至緩沖腔7內(nèi)的工作位置示意圖，圖3為將托盤I運(yùn)至外界的工作位置示意圖。
[0013]如圖4和圖5所示，在手套箱6固定安裝托盤導(dǎo)軌支架8，托盤導(dǎo)軌支架8包括安裝底座9、擺臂10、支架導(dǎo)軌11，擺臂10通過擺臂轉(zhuǎn)軸13和底座9連接，支架導(dǎo)軌11通過導(dǎo)軌轉(zhuǎn)軸14和擺臂10連接，托盤導(dǎo)軌2在手套箱6相應(yīng)位置時(shí)可以沿支架導(dǎo)軌11滑動(dòng)并支撐在支架導(dǎo)軌11上，托盤導(dǎo)軌支架8可以起到加強(qiáng)支撐托盤導(dǎo)軌2的作用，防止導(dǎo)軌懸臂過長(zhǎng)而導(dǎo)致托盤2不平、不穩(wěn)。
[0014]進(jìn)一步地，擺臂10、支架導(dǎo)軌11上還可以設(shè)置安裝加強(qiáng)桿12，以使提升擺臂10和支架導(dǎo)軌11的強(qiáng)度，提高支撐穩(wěn)定性和承受能力。
[0015]如圖6所示，支架導(dǎo)軌11可以繞導(dǎo)軌轉(zhuǎn)軸14旋轉(zhuǎn)，擺臂10可以繞擺臂轉(zhuǎn)軸13旋轉(zhuǎn)，可以將托盤導(dǎo)軌支架8折疊后平置在手套箱6內(nèi)，以節(jié)省手套箱6空間和妨礙其他操作。
[0016]以上說(shuō)明對(duì)本發(fā)明而言只是說(shuō)明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可根據(jù)上述揭示內(nèi)容做出變更、修飾或等效，但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特點(diǎn)在于主要包括托盤(I)、托盤導(dǎo)軌(2)、中段導(dǎo)軌(3)、緩沖腔導(dǎo)軌(4)、限位塊(5);緩沖腔導(dǎo)軌(4)固定安裝在化學(xué)氣相沉積設(shè)備的緩沖腔(7)，中段導(dǎo)軌(3)疊加安裝在緩沖腔導(dǎo)軌(4)上面，托盤導(dǎo)軌(2)疊加安裝在中段導(dǎo)軌(3)上面，托盤(I)疊加安裝在托盤導(dǎo)軌(2)上用于放置載片盤；每段導(dǎo)軌兩端分別設(shè)置有限位塊(5)，用于限制軌道上滑行端點(diǎn)位置；中段導(dǎo)軌(3)及以上疊加連接物體可以沿緩沖腔導(dǎo)軌(4)滑行，滑行區(qū)間為緩沖腔導(dǎo)軌(4)兩端設(shè)置的限位塊(5)之間；托盤導(dǎo)軌(2)及其以上疊加連接物體可以沿中段導(dǎo)軌(3)滑行，滑行區(qū)間為中段導(dǎo)軌(3)兩端的設(shè)置的限位塊(5)之間；托盤(I)及其以上安裝的載片盤可以沿托盤導(dǎo)軌(2)滑行，滑行區(qū)間為托盤導(dǎo)軌(2)兩端的限位塊(5)之間；各滑行區(qū)間和導(dǎo)軌長(zhǎng)度根據(jù)需要設(shè)置使托盤(I)能在手套箱(6 )、緩沖腔(7 )和外界之間實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)運(yùn)工作。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于在手套箱(6 )內(nèi)固定安裝托盤導(dǎo)軌支架(8 )，托盤導(dǎo)軌支架(8 )包括安裝底座(9 )、擺臂(10 )、支架導(dǎo)軌(11)，擺臂(10)通過擺臂轉(zhuǎn)軸(13)和底座(9)連接，支架導(dǎo)軌(11)通過導(dǎo)軌轉(zhuǎn)軸(14)和擺臂(10)連接，托盤導(dǎo)軌(2)在手套箱(6)相應(yīng)位置時(shí)可以沿支架導(dǎo)軌(11)滑動(dòng)并支撐在支架導(dǎo)軌(11)上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的托盤導(dǎo)軌支架(8)，其特征在于所述擺臂(10)、支架導(dǎo)軌(11)上設(shè)置安裝提升擺臂(10)和支架導(dǎo)軌(11)的強(qiáng)度的加強(qiáng)桿(12)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的托盤支架導(dǎo)軌(8)，其特征在于所述支架導(dǎo)軌(11)可以繞導(dǎo)軌轉(zhuǎn)軸(14)旋轉(zhuǎn)，擺臂(10)可以繞擺臂轉(zhuǎn)軸(13)旋轉(zhuǎn)，托盤導(dǎo)軌支架(8)可以折疊后平置在手套箱(6)內(nèi)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載片盤轉(zhuǎn)運(yùn)的裝置，主要包括托盤、托盤導(dǎo)軌、中段導(dǎo)軌、緩沖腔導(dǎo)軌、限位塊。本發(fā)明以3段導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的方式實(shí)現(xiàn)托盤點(diǎn)對(duì)點(diǎn)準(zhǔn)確和快速地在手套箱、緩沖腔及外界之間的轉(zhuǎn)運(yùn)，降低操作人員隔著手套箱使用手套裝載晶圓片的操作難度，同時(shí)也可以提高設(shè)備工作效率。
【IPC分類】C23C16/458
【公開號(hào)】CN105586578
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410642401
【發(fā)明人】許福海, 王亮, 王明星, 甘志銀
【申請(qǐng)人】廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請(qǐng)日】2014年11月14日