一種陣列基板的斷線修復裝置及陣列基板的斷線修復方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種陣列基板的斷線修復裝置及陣列基板的斷線修復方法，涉及顯示技術領域，用于解決斷線修復裝置的斷線修復工作效率低的問題。該斷線修復裝置包括：發(fā)出激光束的激光器，提供修復材料的供粉單元，以及設置在所述激光束的出射方向上的分光單元；其中，所述分光單元將所述激光束分成主激光束和第一子激光束，修復材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，所述金屬粉構成將斷開的信號線導通的修復導線。在所述主激光束沿預設的修復路徑移動時，所述第一子激光束將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。本發(fā)明提供的斷線修復裝置用于對待修復的陣列基板中斷開的信號線進行斷線修復。
【專利說明】
一種陣列基板的斷線修復裝置及陣列基板的斷線修復方法
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種陣列基板的斷線修復裝置及陣列基板的斷線修復方法?！颈尘凹夹g】
[0002]目前，在陣列基板的制備過程中，斷線是一種較為常見的不良現象。具體地，斷線指的是陣列基板上的數據線、柵線等信號線存在斷開的狀況。由于信號線斷開處通常存在異物，若直接將斷開的信號線重新連接，該異物脫落容易引起重新連接后的信號線再次斷開。為此，如圖1所示，現有技術通常使用斷線修復裝置在待修復的陣列基板的像素電極1上形成修復導線2,該修復導線2的兩端分別與信號線3的斷開的兩端連接，即通過架橋的方式將斷開的信號線3重新連接。
[0003]但是，現有技術中的斷線修復裝置在實際應用過程中卻存在工作效率較低的問題。
【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種陣列基板的斷線修復裝置及陣列基板的斷線修復方法，用于提高斷線修復的工作效率。[〇〇〇5]為達到上述目的，本發(fā)明提供的陣列基板的斷線修復裝置采用如下技術方案:
[0006]—種陣列基板的斷線修復裝置，該斷線修復裝置包括:發(fā)出激光束的激光器，提供修復材料的供粉單元，以及設置在所述激光束的出射方向上的分光單元;其中，所述分光單元將所述激光束分成主激光束和第一子激光束，所述主激光束沿預設的修復路徑移動時， 所述供粉單元提供的修復材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在待修復的陣列基板的像素電極上的金屬粉，所述沉積在像素電極上的金屬粉構成將斷開的信號線導通的修復導線。在所述主激光束沿預設的修復路徑移動時，所述第一子激光束沿第一去除路徑移動， 將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。
[0007]由于本發(fā)明提供的陣列基板的斷線修復裝置包括如上的結構，因此，在使用該斷線修復裝置對待修復的陣列基板進行修復時，首先激光器會發(fā)出激光束，再通過分光單元將該激光束分為主激光束和第一子激光束，然后，主激光束沿預設的修復路徑移動時，供粉單元提供的修復材料在主激光束的照射下分解出沉積在待修復的陣列基板的像素電極上的金屬粉，沉積在該像素電極上的金屬粉構成將斷開的信號線導通的修復導線。在主激光束沿預設的修復路徑移動時，第一子激光束沿第一去除路徑移動，將沉積有金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。因此，使用本發(fā)明所提供的斷線修復裝置可以使在像素電極上形成修復導線和對該像素電極進行分隔同時進行，相比于現有技術中先后進行在像素電極上形成修復導線和分隔該像素電極，明顯提高了斷線修復裝置的斷線修復效率。
[0008]此外，本發(fā)明還提供了一種陣列基板的斷線修復方法，該斷線修復方法采用如上所述的陣列基板的斷線修復裝置進行斷線修復，該斷線修復方法包括:提供具有斷開的信號線的陣列基板;所述斷線修復裝置的供粉單元提供修復材料;所述斷線修復裝置的分光單元將所述斷線修復裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激光束和第一子激光束，所述主激光束沿預設的修復路徑移動時，所述供粉單元提供的修復材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，所述沉積在像素電極上的金屬粉構成將斷開的信號線導通的修復導線;在所述主激光束沿預設的修復路徑移動時，所述第一子激光束沿第一去除路徑移動，將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。
[0009]由于本發(fā)明提供的陣列基板的斷線修復方法包括如上步驟，因此，可以先通過斷線修復裝置的分光單元將斷線修復裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激光束和第一子激光束，主激光束沿預設的修復路徑移動時，供粉單元提供的修復材料在主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，沉積在像素電極上的金屬粉構成將斷開的信號線導通的修復導線。在主激光束沿預設的修復路徑移動時，第一子激光束沿第一去除路徑移動，將沉積有金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。因此，使用本發(fā)明所提供的斷線修復方法可以使在像素電極上形成修復導線和對該像素電極進行分隔同時進行，相比于現有技術中先后進行在像素電極上形成修復導線和分隔該像素電極，明顯提高了對待修復的陣列基板中斷開的信號線進行斷線修復的工作效率?！靖綀D說明】
[0010]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0011]圖1為現有技術中的像素電極與修復導線的位置關系示意圖；
[0012]圖2為本發(fā)明實施例中的斷線修復裝置的結構示意圖一；
[0013]圖3為本發(fā)明實施例中的斷線修復裝置的結構示意圖二；
[0014]圖4為本發(fā)明實施例中的斷線修復裝置的結構示意圖三；
[0015]圖5為本發(fā)明實施例中的斷線修復裝置的結構示意圖四；
[0016]圖6為本發(fā)明實施例中的像素電極與修復導線的位置關系示意圖；
[0017]圖7為本發(fā)明實施例中的斷線修復方法的流程圖。
[0018]附圖標記說明:
[0019]1-像素電極；la-像素電極主體部分；lb-金屬粉承托部分；
[0020]lbl-第一部分；lb2-第二部分；2-修復導線；
[0021]3-信號線；4-激光器；5-分光單元；
[0022] 5a_第一分光鏡；5b_第一激光頻率調節(jié)器；5c_第二分光鏡；
[0023] 5d_第二激光頻率調節(jié)器；6-供粉單元；7-修復材料；
[0024]8-金屬粉；9-待修復的陣列基板；10-第一光路調節(jié)鏡；[〇〇25]10a-第一反射膜；10b-第一轉軸；l〇c-第一直角三棱鏡；
[0026]11-第一聚光透鏡；12-第二聚光透鏡；13-第二光路調節(jié)鏡；
[0027]13a-第二反射膜；13b-第二轉軸；13c_第二直角三棱鏡；
[0028]14-第三聚光透鏡。【具體實施方式】[〇〇29]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0030]實施例一
[0031]正如【背景技術】所述，現有技術中斷線修復的方式存在工作效率低的問題。本發(fā)明的發(fā)明人經過不斷研究與實驗發(fā)現，造成上述問題的原因之一在于:
[0032]現有技術中用于修復斷線的斷線修復裝置通常包括高頻激光器、低頻激光器和用于提供修復材料(例如，六羰基鎢粉或者氧化鈷粉)的供粉單元。下面以修復材料為六羰基鎢粉為例，對該斷線修復裝置進行斷線修復的工作過程進行說明:如圖1所示，進行斷線修復時，先打開高頻激光器，高頻激光器發(fā)出l〇KHz的激光束，該激光束穿過供粉單元所提供的六羰基鎢粉，照射至待修復的陣列基板上的像素電極1上，形成光斑。且當該激光束照射在供粉單元所提供的六羰基鎢粉上時，六羰基鎢粉分解出金屬粉，這些金屬粉沉積在像素電極1上形成有所述光斑的區(qū)域內。當高頻激光器發(fā)出的激光束跟隨高頻激光器沿預設的修復路徑移動時，在像素電極1形成將斷開的信號線3重新連接的修復導線2,修復導線2形狀與預設的修復路徑相似。
[0033]為了防止像素電極1中處于修復導線2下方的部分對修復導線2上的信號產生影響，還需要將像素電極1中處于修復導線2下方的部分與像素電極1中的其余部分隔開，即將像素電極1分分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb兩部分(如圖1所示)?；谶@一考慮，在形成修復導線2后，打開低頻激光器，低頻激光器發(fā)出100Hz的激光束，該激光束照射至上述形成有修復導線2的像素電極1上，當低頻激光器發(fā)出100Hz的激光束跟隨低頻激光器預設的去除路徑移動時，低頻激光器發(fā)出100Hz的激光束將形成有修復導線2的像素電極1分隔成像素電極主體部分和修復導線2所在的承托部分，即如圖1所示，形成有修復導線2的像素電極1被分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb。
[0034]由上述工作過程不難發(fā)現，使用現有技術中的斷線修復裝置對待修復的陣列基板進行修復時，需要先在像素電極1上形成修復導線2,再對該像素電極1進行分隔，兩項工作先后進行，這無疑會造成斷線修復工作的時間延長，導致斷線修復的工作效率下降。
[0035]基于上述研究及發(fā)現，本發(fā)明的發(fā)明人提出一種陣列基板的斷線修復裝置，該斷線修復裝置能夠使形成修復導線和對像素電極1進行分隔兩項工作同時進行，從而提高斷線修復的工作效率。如圖2所示，該陣列基板的斷線修復裝置包括:發(fā)出激光束的激光器4， 提供修復材料7的供粉單元6，以及設置在激光束的出射方向上的分光單元5;其中，分光單元5將激光束分成主激光束和第一子激光束，主激光束沿預設的修復路徑移動時，供粉單元 6提供的修復材料7在主激光束的照射下分解出沉積在待修復的陣列基板9的像素電極1上的金屬粉8,沉積在像素電極1上的金屬粉8構成將斷開的信號線3導通的修復導線2。在主激光束沿預設的修復路徑移動時，第一子激光束沿第一去除路徑移動，將沉積有金屬粉8的像素電極1分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb。
[0036]示例性地，上述供粉單元6提供的修復材料7可以為六羰基鎢粉或者氧化鈷粉中的一種。當然，修復材料7也可以為其他能夠分解出金屬粉8的材料，本發(fā)明實施例對此不做限制。另外，第一子激光束的頻率應與像素電極1的材料相對應，以使第一子激光束照射至像素電極1上，形成光斑時，第一子激光束能夠去除像素電極1上與該光斑相對應的區(qū)域，示例性地，當像素電極1的材料為氧化銦錫時，第一子激光束的頻率可以為100Hz。類似地，主激光束的頻率也應與修復材料7的種類相對應，以使主激光束照射至修復材料7時，修復材料7 可以分解出金屬粉8,示例性地，當修復材料7為六羰基鎢粉時，主激光束的頻率可以為 lOKHz。此外，使主激光束沿預設的修復路徑移動，以及使第一子激光束沿第一去除路徑移動的方式均可以有多種，本領域技術人員可以根據實際需要進行合理選擇。示例性地，斷線修復裝置還可以包括支撐架，以及與該支撐架連接的伺服電機，其中，支撐架用于固定激光器4、供粉單元6和分光單元5。當斷線修復裝置工作時，伺服電機驅動支撐架沿預設的修復路徑移動，從而使激光器4、供粉單元6和分光單元5均跟著支撐架一起移動，進而使主激光束沿預設的修復路徑移動，且使第一子激光束沿預設的第一去除路徑移動。另外，斷線修復裝置還可以包括設置于激光器4和分光單元5之間的激光束的光路上的擴束鏡，以對激光器 4發(fā)出的激光束的進行擴束處理。
[0037]由于本發(fā)明實施例提供的陣列基板的斷線修復裝置包括如上的結構，因此，在使用該斷線修復裝置對待修復的陣列基板9進行修復時，首先激光器4會發(fā)出激光束，再通過分光單元5將該激光束分為主激光束和第一子激光束，然后，主激光束沿預設的修復路徑移動時，供粉單元6提供的修復材料7在主激光束的照射下分解出沉積在待修復的陣列基板9 的像素電極1上的金屬粉8,沉積在該像素電極1上的金屬粉8構成將斷開的信號線3導通的修復導線2。在主激光束沿預設的修復路徑移動時，第一子激光束沿第一去除路徑移動，將沉積有金屬粉8的像素電極1分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb。因此，使用本發(fā)明實施例所提供的斷線修復裝置可以使在像素電極1上形成修復導線2和對該像素電極1進行分隔同時進行，相比于現有技術中先后進行在像素電極1上形成修復導線2和分隔該像素電極1，明顯提高了斷線修復裝置的斷線修復效率。本申請的發(fā)明人經過多次試驗后發(fā)現，使用本發(fā)明實施例提供的斷線修復裝置可以將斷線修復效率提高1倍以上。此外，本發(fā)明實施例提供的斷線修復裝置只需要一臺激光器4即可，與現有技術中的斷線修復裝置相比，減少了一臺激光器4,從而降低了斷線修復裝置的成本。
[0038]進一步地，如圖3所示，斷線修復裝置還可以包括第一光路調節(jié)鏡10,第一光路調節(jié)鏡10設置于第一子激光束的出射方向上，用于調節(jié)第一子激光束的光線傳播方向，從而可以通過第一光路調節(jié)鏡10精確地控制第一子激光束照射至待修復的陣列基板9的像素電極1上的位置，即能夠精確地控制第一子激光束在像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離，從而能夠根據實際需要對上述兩個光斑之間的距離進行精確地控制，有利于提高斷線修復裝置的精度和靈活性。
[0039]具體地，如圖3所示，第一光路調節(jié)鏡10可以包括安裝在第一支架上的第一轉軸 l〇b，以及套設于第一轉軸10b上的第一直角三棱鏡10c，第一直角三棱鏡10c的斜面上設置有第一反射膜l〇a。具有如上結構的第一光路調節(jié)鏡10工作時，第一子激光束經第一反射膜 l〇a反射后，照射至像素電極1上，形成光斑。當需要對第一子激光束在該像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離進行調節(jié)時，可以通過第一轉軸10b的轉動以帶動第一直角三棱鏡10c進行轉動，從而改變第一子激光束經第一反射膜10a反射后的光線傳播方向。不例性地，以圖3中第一子激光束位于主激光束的右側為例， 當第一轉軸l〇b順時針轉動時，上述兩個光斑之間的距離變?。划數谝晦D軸10b逆時針轉動時，上述兩個光斑之間的距離變大。需要說明的是，第一光路調節(jié)鏡10的【具體實施方式】不局限于以上所述，本領域技術人員可以根據實際需要進行合理選擇。例如，第一光路調節(jié)鏡10 還可以包括可轉動的第一支架，以及安裝在該第一支架上的第一平面反射鏡。
[0040]進一步地，使上述第一轉軸10b轉動的實現方式可以有多種，本領域技術人員可以根據實際需要進行合理選擇。示例性地，斷線修復裝置還可以包括觸控顯示屏、處理器和驅動馬達，其中，處理器分別與觸控顯示屏和驅動馬達連接，驅動馬達與第一轉軸l〇b連接。具有如上結構的斷線修復裝置工作時，可以通過觸控顯示屏輸入參數，處理器根據該參數控制驅動馬達，使驅動馬達帶動第一轉軸l〇b轉動與該參數相對應的角度，從而能夠對第一轉軸l〇b的轉動角度進行精確地控制，進而能夠精確地控制第一子激光束在像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離。[〇〇41]此外，如圖3所示，斷線修復裝置還可以包括設置于第一子激光束的出射方向上的第一聚光透鏡11，進一步的，在第一子激光束的出射方向上設置有第一光路調節(jié)鏡10時，該第一聚光透鏡11具體可設置于第一光路調節(jié)鏡10之后的第一子激光束路徑上。第一聚光透鏡11的設置可以使第一子激光束的能量更加集中，以提高第一子激光束去除像素電極1上與第一去除路徑相對應的區(qū)域的速度，從而能夠以較快的速度將像素電極1分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb，進而使得斷線修復裝置的斷線修復效率較高。[〇〇42]類似地，如圖3所示，斷線修復裝置還可以包括第二聚光透鏡12,第二聚光透鏡12 設置于分光單元5和供粉單元6提供的修復材料7之間的主激光束的光路上，從而使照射修復材料7上的主激光束的能量更加集中，以提高主激光束將該修復材料7分解出沉積在像素電極1上的金屬粉8的速度，從而能夠以較快的速度在像素電極1上形成將斷開的信號線3導通的修復導線2,進而使得斷線修復裝置的斷線修復效率較高。
[0043]另外，為便于本領域技術人員具體實施，下面對分光單元5的具體結構進行詳細說明?？蛇x地，如圖4所示，分光單元5包括:第一分光鏡5a和第一激光頻率調節(jié)器5b。其中，第一分光鏡5a設置于激光束的出射方向上，用于將激光束分成第二子激光束和主激光束;第一激光頻率調節(jié)器5b設置于第二子激光束的出射方向上，用于將第二子激光束轉變?yōu)榈谝蛔蛹す馐?。為便于本領域技術人員理解，以激光器4所發(fā)出的激光束的頻率為lOKHz，修復材料7為六羰基鎢粉為例，對具有上述結構的分光單元5的工作過程進行說明:首先激光器4發(fā)出lOKHz的激光束，該激光束被第一分光鏡5a分成頻率均為lOKHz的第二子激光束和主激光束，再通過第一激光頻率調節(jié)器5b對第二子激光束進行頻率調節(jié)，使頻率為lOKHz的第二子激光束轉變?yōu)轭l率為100Hz的第一子激光束。示例性地，上述第一分光鏡5a可以為半透半反鏡。
[0044]進一步地，如圖5所示，本發(fā)明所提供的分光單元5還可以包括:第二分光鏡5c和第二激光頻率調節(jié)器5d。其中，第二分光鏡5c設置于第一分光鏡5a發(fā)出的主激光束的出射方向上，用于將第一分光鏡5a發(fā)出的主激光束分成第三子激光束和分光單元5發(fā)出的主激光束。第二激光頻率調節(jié)器5d設置于第三子激光束的出射方向上，用于將第三子激光束轉變?yōu)榈谒淖蛹す馐?。在像素電極1上形成修復導線2時，第四子激光束沿第二去除路徑移動，將金屬粉承托部分lb分隔成如圖6所示的第一部分lbl和修復導線2所在的第二部分lb2。因此，本發(fā)明實施例提供的斷線修復裝置能夠將像素電極1分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb的同時，還能夠將金屬粉承托部分lb分隔成第一部分lbl和修復導線2所在的第二部分lb2,從而能夠避免整個金屬粉承托部分lb都受修復導線2上的電信號的影響。
[0045]為便于本領域技術人員理解，以激光器4所發(fā)出的激光束的頻率為lOKHz，修復材料7為六羰基鎢粉為例，對具有上述結構的分光單元5的工作過程進行說明:首先激光器4發(fā)出lOKHz的激光束，該激光束被第一分光鏡5a分成頻率均為lOKHz的第二子激光束和主激光束，再通過第二分光鏡5c將第一分光鏡5a發(fā)出的主激光束分為頻率均為lOKHz的第三子激光束和分光單元5發(fā)出的主激光束。然后，通過第二頻率調節(jié)器對第三子激光束進行頻率調節(jié)，使頻率為1 OKHz的第三子激光束轉變?yōu)轭l率為100Hz的第四子激光束。示例性地，上述第二分光鏡5c可以為半透半反鏡。
[0046]需要說明的是，第二分光鏡5c也可以設置在第一分光鏡5a的入光側，即激光器4發(fā)出的激光束經第二分光鏡5c分為第三激光束和主激光束，該第二分光鏡5c發(fā)出的主激光束再經第一分光鏡5a分為第一激光束和分光單元5發(fā)出的主激光束。具有這種結構的分光單元5的工作過程可參照上述分析過程，此處不再進行贅述。
[0047]進一步地，如圖5所示，斷線修復裝置還可以包括第二光路調節(jié)鏡13,第二光路調節(jié)鏡13設置于第四子激光束的出射方向上，用于調節(jié)第四子激光束的光線傳播方向，從而可以精確地控制第四子激光束照射至待修復的陣列基板9的像素電極1上的位置，即能夠精確地控制第四子激光束在該像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離，從而能夠根據實際需要對上述兩個光斑之間的距離進行精確地控制，有利于提高斷線修復裝置的精度和靈活性。
[0048]具體地，如圖5所示，第二光路調節(jié)鏡13可以包括安裝在第二支架上的第二轉軸 13b，以及套設于第二轉軸13b上的第二直角三棱鏡13c，第二直角三棱鏡13c的斜面上設置有第二反射膜13a。具有如上結構的第二光路調節(jié)鏡13工作時，第四子激光束經第二反射膜 13a反射后，照射至像素電極1上，形成光斑。當需要對第四子激光束在該像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離進行調節(jié)時，可以通過第二轉軸13b的轉動以帶動第二直角三棱鏡13c進行轉動，從而改變第四子激光束經第二反射膜13a反射后的光線傳播方向。不例性地，以圖5中第四子激光束位于主激光束的左側為例， 當第二轉軸13b順時針轉動時，上述兩個光斑之間的距離變大；當第二轉軸13b逆時針轉動時，上述兩個光斑之間的距離變小。需要說明的是，第二光路調節(jié)鏡13的【具體實施方式】不局限于以上所述，本領域技術人員可以根據實際需要進行合理選擇。例如，第二光路調節(jié)鏡13 還可以包括可轉動的第二支架上，以及安裝在該第二支架上的第二平面反射鏡。此外，使第二轉軸13b轉動的實現方式可參照上述使第一轉軸10b轉動的實現方式，此處不再進行贅述。
[0049]進一步地，如圖5所示，斷線修復裝置還包括設置于第四子激光束的出射方向的第三聚光透鏡14,在第四子激光束的出射方向上設置有第二光路調節(jié)鏡13時，該第三聚光透鏡14具體可設置于第二光路調節(jié)鏡13之后的第四子激光束路徑上。第三聚光透鏡14的設置能夠使第四子激光束的能量更加集中，以提高第四子激光束去除待修復的陣列基板9的像素電極1上與第二去除路徑相對應的區(qū)域的速度，從而能夠以較快的速度將金屬粉承托部分lb分隔成第一部分lbl和修復導線2所在的第二部分lb2,進而提高了斷線修復裝置的斷線修復效率。
[0050]實施例二
[0051]本發(fā)明實施例提供了一種陣列基板的斷線修復方法，該斷線修復方法采用如實施例一所述的陣列基板的斷線修復裝置進行斷線修復，如圖7所示，該斷線修復方法包括:步驟S1、提供具有斷開的信號線的陣列基板;步驟S2、斷線修復裝置的供粉單元提供修復材料;步驟S3、斷線修復裝置的分光單元將斷線修復裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激光束和第一子激光束，主激光束沿預設的修復路徑移動時，供粉單元提供的修復材料在主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，沉積在像素電極上的金屬粉構成將斷開的信號線導通的修復導線;在主激光束沿預設的修復路徑移動時，第一子激光束沿第一去除路徑移動，將沉積有金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。
[0052]由于本發(fā)明實施例提供的陣列基板的斷線修復方法包括如上步驟，因此，可以先通過斷線修復裝置的分光單元將斷線修復裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激光束和第一子激光束，主激光束沿預設的修復路徑移動時，供粉單元提供的修復材料在主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，沉積在像素電極上的金屬粉構成將斷開的信號線導通的修復導線。在主激光束沿預設的修復路徑移動時，第一子激光束沿第一去除路徑移動，將沉積有金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。因此，使用本發(fā)明實施例所提供的斷線修復方法可以使在像素電極上形成修復導線和對該像素電極進行分隔同時進行，相比于現有技術中先后進行在像素電極上形成修復導線和分隔該像素電極，明顯提高了對待修復的陣列基板中斷開的信號線進行斷線修復的工作效率。[〇〇53]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內。因此，本發(fā)明的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，包括:發(fā)出激光束的激光器，提供修復 材料的供粉單元，以及設置在所述激光束的出射方向上的分光單元;其中，所述分光單元將所述激光束分成主激光束和第一子激光束，所述主激光束沿預設的修 復路徑移動時，所述供粉單元提供的修復材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在待修 復的陣列基板的像素電極上的金屬粉，沉積在像素電極上的金屬粉構成將斷開的信號線導 通的修復導線;在所述主激光束沿預設的修復路徑移動時，所述第一子激光束沿第一去除 路徑移動，將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部和金屬粉承托部。2.根據權利要求1所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述斷線修復裝置還 包括第一光路調節(jié)鏡，所述第一光路調節(jié)鏡設置于所述第一子激光束的出射方向上，用于 調節(jié)所述第一子激光束的光線傳播方向。3.根據權利要求2所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述第一光路調節(jié)鏡 包括安裝在第一支架上的第一轉軸，以及套設于所述第一轉軸上的第一直角三棱鏡，所述 第一直角三棱鏡的斜面上設置有第一反射膜。4.根據權利要求1所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述斷線修復裝置還 包括設置于所述第一子激光束的出射方向上的第一聚光透鏡。5.根據權利要求1所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述斷線修復裝置還 包括第二聚光透鏡，所述第二聚光透鏡設置于所述分光單元和所述供粉單元提供的修復材 料之間的所述主激光束的光路上。6.根據權利要求1所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述斷線修復裝置還 包括擴束鏡，所述擴束鏡設置于所述激光器和所述分光單元之間的所述激光束的光路上。7.根據權利要求1所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述分光單元包括: 第一分光鏡和第一激光頻率調節(jié)器;其中，所述第一分光鏡設置于所述激光束的出射方向上，用于將所述激光束分成第二子激光 束和所述主激光束;所述第一激光頻率調節(jié)器設置于所述第二子激光束的出射方向上，用 于將所述第二子激光束轉變?yōu)樗龅谝蛔蛹す馐?.根據權利要求7所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述分光單元還包 括:第二分光鏡和第二激光頻率調節(jié)器;其中，所述第二分光鏡設置于所述第一分光鏡發(fā)出的主激光束的出射方向上，用于將所述第 一分光鏡發(fā)出的主激光束分成第三子激光束和所述分光單元發(fā)出的主激光束;所述第二激 光頻率調節(jié)器設置于所述第三子激光束的出射方向上，用于將所述第三子激光束轉變?yōu)榈?四子激光束;在所述像素電極上形成所述修復導線時，所述第四子激光束沿第二去除路徑 移動，將所述承托部分分隔成第一部分和所述修復導線所在的第二部分。9.根據權利要求8所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述斷線修復裝置還 包括第二光路調節(jié)鏡，所述第二光路調節(jié)鏡設置于所述第四子激光束的出射方向上，用于 調節(jié)所述第四子激光束的光線傳播方向。10.根據權利要求9所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述第二光路調節(jié) 鏡包括安裝在第二支架上的第二轉軸，以及套設于所述第二轉軸上的第二直角三棱鏡，所 述第二直角三棱鏡的斜面上設置有第二反射膜。11.根據權利要求8所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述斷線修復裝置還包括設置于所述第四子激光束的出射方向的第三聚光透鏡。12.根據權利要求1所述的陣列基板的斷線修復裝置，其特征在于，所述修復材料為六 羰基鎢粉，所述主激光束的頻率為lOKHz;所述像素電極的材料為氧化銦錫，所述第一子激光束的頻率為100Hz。13.—種陣列基板的斷線修復方法，其特征在于，所述斷線修復方法采用如權利要求1 ?12任一項所述的陣列基板的斷線修復裝置進行斷線修復，所述斷線修復方法包括:提供具有斷開的信號線的陣列基板；所述斷線修復裝置的供粉單元提供修復材料；所述斷線修復裝置的分光單元將所述斷線修復裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激 光束和第一子激光束，所述主激光束沿預設的修復路徑移動時，所述供粉單元提供的修復 材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，所述沉積在像素電極上 的金屬粉構成將斷開的信號線導通的修復導線；在所述主激光束沿預設的修復路徑移動 時，所述第一子激光束沿第一去除路徑移動，將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素 電極主體部分和金屬粉承托部分。
【文檔編號】C23C24/10GK105970210SQ201610364132
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年5月26日
【發(fā)明人】王念念, 熊永
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 重慶京東方光電科技有限公司