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      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層及其制備方法

      文檔序號(hào):10645832閱讀:707來源:國(guó)知局
      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層及其制備方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層及其制備方法,涉及金屬表面涂層技術(shù)領(lǐng)域,采用非接觸反應(yīng)熔覆增強(qiáng)方法在金屬表面制備特殊配方的、可與基體形成擴(kuò)散冶金結(jié)合的抗沖擊耐磨涂層,所述的涂層材料成分為按質(zhì)量百分比為C0.8?1.2%、B2?3%、Si1?2%、Cr5?8%、Ti3?5%、Ni3?5%、Co3B4?6%、WC50?60%、Fe余量;涂層制備包括以下步驟:制備涂層材料,噴砂處理,預(yù)置涂層,預(yù)熱、干燥涂層,熔覆涂層。該涂層可與基體形成擴(kuò)散冶金結(jié)合的抗沖擊耐磨涂層,以提升工件的使用性能及使用壽命,該方法加熱速度快、對(duì)涂層材料燒損小,涂層預(yù)置簡(jiǎn)單、實(shí)用,生產(chǎn)效率高。
      【專利說明】
      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層及其制備方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      [0001]本發(fā)明涉及金屬表面涂層技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層及其制備方法。
      【背景技術(shù)】
      [0002]在工件表面制備高性能耐磨涂層是解決材料磨損的重要途徑之一,近年來得到了迅速發(fā)展。隨著現(xiàn)代化進(jìn)程的不斷推進(jìn),工程機(jī)械、設(shè)備及構(gòu)件的工作條件變得日益苛刻,如水輪葉片,采掘刀具以及造紙磨漿機(jī)的磨盤等,它們不僅工作在強(qiáng)的腐蝕環(huán)境中,同時(shí)又不斷運(yùn)動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng),承受不同介質(zhì)的沖擊和磨損。一般的表面處理所形成的涂層或覆層沒有足夠的機(jī)械強(qiáng)度、耐磨性和結(jié)合強(qiáng)度,在受到長(zhǎng)時(shí)間沖擊與機(jī)械作用后,會(huì)很快磨損,乃至剝落而失去對(duì)基材的保護(hù)作用。決定耐磨涂層性能和質(zhì)量的關(guān)鍵因素為制備工藝和涂層材料。目前,耐磨涂層制備的主要工藝為激光、等離子和火焰等高溫?zé)嵩粗苯幼饔糜谕繉硬牧蠈⑵渲苽湓诮饘倩w表面,溫度難以控制。在高溫作用下,涂層耐磨相不可避免的發(fā)生分解、燒損和長(zhǎng)大等現(xiàn)象,降低其耐磨性能,涂層與基體間結(jié)合強(qiáng)度較低,承受沖擊能力差。若固定其熔覆溫度,常規(guī)WC基金屬陶瓷涂層,在其熔點(diǎn)范圍內(nèi)粘結(jié)相難與WC硬質(zhì)相完全浸潤(rùn),制備出的涂層性能較低。涂層材料種類眾多,用于耐磨涂層的材料較為成熟,耐磨性能優(yōu)異,但其主要用于各種靜載磨損領(lǐng)域,抗沖擊性能不高,在劇烈沖擊和磨損作用下,涂層易開裂、磨損和剝落。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層及其制備方法,該涂層可與基體形成擴(kuò)散冶金結(jié)合的抗沖擊耐磨涂層,以提升工件的使用性能及使用壽命,該方法加熱速度快、對(duì)涂層材料燒損小,涂層預(yù)置簡(jiǎn)單、實(shí)用,生產(chǎn)效率高。
      [0004]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是:
      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層,所述耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量組分為:C0.8-1.2%、B2-3%、Sil-2%、Cr5-8%、Ti3-5%、Ni3-5%、Co3B4-6%、WC50-60%、Fe 余量,采用涂層熔覆工藝制得的。
      [0005]作為優(yōu)選,所述耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量百分比組分為:C1%、B2.5%、Si I.5%、Cr6%、Ti4%、Ni4%、Co3B5%、WC55%、Fe余量。
      [0006]—種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,采用涂層熔覆工藝,包括以下步驟:
      1)磨粉工序:將各組分按配比混合后置入球磨機(jī),磨粉;
      2)基體處理工序:清洗金屬工件基體表面;
      3)基體預(yù)涂工序:采用粘結(jié)助劑將步驟I得到的粉末均勻混合為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層;
      4)預(yù)涂烘干工序:將步驟3中覆有預(yù)置涂層的金屬工件進(jìn)行烘干,確保水等有機(jī)成分完全揮發(fā),同時(shí)有效預(yù)熱金屬基體;
      5)涂層熔覆工序:將步驟4中的工件置入非接觸熔覆設(shè)備進(jìn)行涂層熔覆,空冷至室溫。
      [0007]作為優(yōu)選,熔覆溫度為1180_1250°C。
      [0008]作為優(yōu)選,步驟I)中球磨前涂層粉末為霧化工藝制備,粒度50_80μπι,置入球磨機(jī),采用干磨方式,完全機(jī)械合金化后,得到5-8μπι的混合粉末。
      [0009]作為優(yōu)選,步驟2)所述清洗是對(duì)金屬基體表面進(jìn)行噴砂處理,噴砂處理介質(zhì)為白剛玉,粒徑0.8-1.2mm,氣壓0.5-0.8MPa,除油除銹,再用酒精或丙酮清洗表面。
      [0010]作為優(yōu)選,步驟3中粘結(jié)助劑主要成份為S12,配比1:1質(zhì)量的水,均勻混合粉末為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層。
      [0011]作為優(yōu)選,所述預(yù)置涂層厚度l-2mm。
      [0012]作為優(yōu)選,步驟4中對(duì)預(yù)置涂層的金屬工件進(jìn)行烘干是將覆有預(yù)置涂層的金屬工件置入200 0C干燥設(shè)備進(jìn)行烘干,時(shí)間90min。
      [0013]作為優(yōu)選,步驟5中,非接觸熔覆設(shè)備為真空爐、微波熱燒結(jié)爐等可熱源不直接作用于涂層的設(shè)備。
      [0014]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本發(fā)明制備的涂層組織致密,耐磨性能強(qiáng),與金屬基體結(jié)合強(qiáng)度高和抗沖擊性能高。提供的制備工藝,方法簡(jiǎn)單,生產(chǎn)率高,成本低。本發(fā)明針對(duì)上述問題,提出采用非接觸熔覆方式,熱源不直接作用于涂層材料,溫度可控。添加Co3B作為反應(yīng)熔覆液相先驅(qū)相擴(kuò)展液相區(qū),降低涂層熔覆溫度和改善液固相間浸潤(rùn)。采用工業(yè)硅膠均勻混合粉末層,使粉末層牢固粘結(jié)于基體表面,工業(yè)硅膠中的S12和添加的Ti元素,促進(jìn)與涂層中B、C、Fe和Cr等元素反應(yīng)相間生成復(fù)合粘結(jié)相、二元和三元硬質(zhì)相,提高涂層的耐磨性和硬度。解決了碳化鎢含量高導(dǎo)致的熔覆溫度高、涂層相間浸潤(rùn)差和性能下降等問題。機(jī)械合金化粉末方法進(jìn)一步減小金屬陶瓷相與粘結(jié)相間的浸潤(rùn)角,提高金屬陶瓷硬質(zhì)相與粘結(jié)相間的浸潤(rùn)性,熔覆后涂層與金屬基體結(jié)合強(qiáng)度高,組織致密,耐磨性能、顯微硬度和抗沖擊性能顯著提高。
      【具體實(shí)施方式】
      [0015]下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
      [0016]實(shí)施例1:
      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量百分比組分為:C0.8%、B2%、S i I %、Cr 5%、T i 3%、Ni 3%、Co3B4%、WC50%、Fe余量。
      [0017]上述抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,包括以下步驟:
      I)制備涂層粉末,采用霧化法制備質(zhì)量比組分為:C0.8%、B2%、S i I %、Cr 5%、T i 3%、Ni 3%、Co3B4%、WC50%、Fe 余量。
      [0018]2)將粉末按配比混合后置入球磨機(jī),采用干磨方式,進(jìn)行12h球磨,完全機(jī)械合金化后,得到5-8μπι的混合粉末;
      3)對(duì)制備涂層金屬基體表面進(jìn)行噴砂處理,除油除銹,再用酒精或丙酮清洗表面;
      4)采用粘結(jié)助劑(工業(yè)硅膠)將步驟I得到的粉末均勻混合為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層,厚度
      5)將步驟3中覆有預(yù)置涂層的金屬工件置入200°C干燥設(shè)備進(jìn)行烘干,時(shí)間90min,確保水等有機(jī)成分完全揮發(fā),同時(shí)有效預(yù)熱金屬基體;
      6)將步驟3中的工件置入非接觸熔覆設(shè)備進(jìn)行涂層熔覆,調(diào)整好參數(shù),時(shí)間2min,然后取出工件,空冷至室溫。
      [0019]步驟I中涂層粉末為霧化工藝制備,粒度50_80μπι。
      [0020]步驟3中噴砂處理介質(zhì)為白剛玉,粒徑0.8-1.2mm,氣壓0.5-0.8MPa。
      [0021]步驟4中粘結(jié)助劑主要成份為S12,配比1:1質(zhì)量的水。
      [0022]步驟5中,非接觸熔覆設(shè)備為自制熔覆設(shè)備,熔覆溫度為1180°C。
      [0023]實(shí)施例2:
      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量百分比組分為:C0.9%、B2.2%、Si I.2%、Cr5.5%、Ti 3.5%、Ni 3.5%、Co3B4.5%、WC52%、Fe余量。
      [0024]上述抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,包括以下步驟:
      I)制備涂層粉末,采用霧化法制備質(zhì)量比組分為:C0.9%、B2.2%、Si I.2%, Cr5.5%、Ti3.5%、Ni3.5%、Co3B4.5%、WC52%、Fe 余量。
      [0025]2)將粉末按配比混合后置入球磨機(jī),采用干磨方式,進(jìn)行12h球磨,完全機(jī)械合金化后,得到5-8μπι的混合粉末;
      3)對(duì)制備涂層金屬基體表面進(jìn)行噴砂處理,除油除銹,再用酒精或丙酮清洗表面;
      4)采用粘結(jié)助劑(工業(yè)硅膠)將步驟I得到的粉末均勻混合為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層,厚度
      5)將步驟3中覆有預(yù)置涂層的金屬工件置入200°C干燥設(shè)備進(jìn)行烘干,時(shí)間90min,確保水等有機(jī)成分完全揮發(fā),同時(shí)有效預(yù)熱金屬基體;
      6)將步驟3中的工件置入非接觸熔覆設(shè)備進(jìn)行涂層熔覆,調(diào)整好參數(shù),時(shí)間2min,然后取出工件,空冷至室溫。
      [0026]步驟I中涂層粉末為霧化工藝制備,粒度50_80μπι。
      [0027]步驟3中噴砂處理介質(zhì)為白剛玉,粒徑0.8-1.2mm,氣壓0.5-0.8MPa。
      [0028]步驟4中粘結(jié)助劑主要成份為S12,配比1:1質(zhì)量的水。
      [0029]步驟5中,非接觸熔覆設(shè)備為自制熔覆設(shè)備,熔覆溫度為1197°C。
      [0030]實(shí)施例3:
      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量百分比組分為:C1%、B2.5%、Sil.5%、Cr6%、Ti4%、Ni4%、Co3B5%、WC55%、Fe余量;
      上述抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層制備方法,包括以下步驟:
      I)制備涂層粉末,采用霧化法制備質(zhì)量比組分為:CI %、B2.5%、Si 1.5%、Cr6%、T i 4%、Ni 4%、Co3B5%、WC55%、Fe 余量的粉末。
      [0031]2)將粉末按配比混合后置入球磨機(jī),采用干磨方式,進(jìn)行12h球磨,完全機(jī)械合金化后,得到5-8μπι的混合粉末;
      3)對(duì)制備涂層金屬基體表面進(jìn)行噴砂處理,除油除銹,再用酒精或丙酮清洗表面;
      4)采用粘結(jié)助劑(工業(yè)硅膠)將步驟I得到的粉末均勻混合為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層,厚度
      5)將步驟3中覆有預(yù)置涂層的金屬工件置入200°C干燥設(shè)備進(jìn)行烘干,時(shí)間90min,確保水等有機(jī)成分完全揮發(fā),同時(shí)有效預(yù)熱金屬基體; 6)將步驟3中的工件置入非接觸熔覆設(shè)備進(jìn)行涂層熔覆,調(diào)整好參數(shù),時(shí)間3min,然后取出工件,空冷至室溫。
      [0032]步驟I中涂層粉末為霧化工藝制備,粒度50_80μπι。
      [0033 ] 步驟3中噴砂處理介質(zhì)為白剛玉,粒徑0.8-1.2mm,氣壓0.5-0.8MPa。
      [0034]步驟4中粘結(jié)助劑主要成份為S12,配比1:1質(zhì)量的水。
      [0035]步驟5中,非接觸熔覆設(shè)備為自制熔覆設(shè)備,熔覆溫度為1215°C。
      [0036]實(shí)施例4:
      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量百分比組分為:Cl.1%、B2.7%、Sil.7%、Cr7.5%、Ti4.5%、Ni4.5%、Co3B5.5%、WC57%、Fe余量。
      [0037]上述抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層制備方法,包括以下步驟:
      I)制備涂層粉末,采用霧化法制備質(zhì)量比組分為:C1.1 %、B 2.7 %、S i 1.7 %、C r 7.5 %、Ti4.5%、Ni4.5%、Co3B5.5%、WC57%、Fe 余量。
      [0038]2)將粉末按配比混合后置入球磨機(jī),采用干磨方式,進(jìn)行12h球磨,完全機(jī)械合金化后,得到5-8μπι的混合粉末;
      3)對(duì)制備涂層金屬基體表面進(jìn)行噴砂處理,除油除銹,再用酒精或丙酮清洗表面;
      4)采用粘結(jié)助劑(工業(yè)硅膠)將步驟I得到的粉末均勻混合為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層,厚度
      5)將步驟3中覆有預(yù)置涂層的金屬工件置入200°C干燥設(shè)備進(jìn)行烘干,時(shí)間90min,確保水等有機(jī)成分完全揮發(fā),同時(shí)有效預(yù)熱金屬基體;
      6)將步驟3中的工件置入非接觸熔覆設(shè)備進(jìn)行涂層熔覆,調(diào)整好參數(shù),時(shí)間3min,然后取出工件,空冷至室溫。
      [0039]步驟I中涂層粉末為霧化工藝制備,粒度50_80μπι。
      [0040]步驟3中噴砂處理介質(zhì)為白剛玉,粒徑0.8-1.2mm,氣壓0.5-0.8MPa。
      [0041]步驟4中粘結(jié)助劑主要成份為S12,配比1:1質(zhì)量的水。
      [0042]步驟5中,非接觸熔覆設(shè)備為自制熔覆設(shè)備,熔覆溫度為1232°C。
      [0043]實(shí)施例5:
      一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量百分比組分為:Cl.2%、B3%、S i 2%、Cr8%、T i 5%、Ni 5%、Co3B6%、WC60%、Fe 余量。
      [0044]上述抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層制備方法,包括以下步驟:
      I)制備涂層粉末,采用霧化法制備質(zhì)量比組分為:C1.2%、B3%、Si 2%、Cr8%、Ti 5%、Ni 5%、Co3B6%、WC60%、Fe 余量。
      [0045]2)將粉末按配比混合后置入球磨機(jī),采用干磨方式,進(jìn)行12h球磨,完全機(jī)械合金化后,得到5_8μπι的混合粉末;
      3)對(duì)制備涂層金屬基體表面進(jìn)行噴砂處理,除油除銹,再用酒精或丙酮清洗表面;
      4)采用粘結(jié)助劑(工業(yè)硅膠)將步驟I得到的粉末均勻混合為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層,厚度
      5)將步驟3中覆有預(yù)置涂層的金屬工件置入200°C干燥設(shè)備進(jìn)行烘干,時(shí)間90min,確保水等有機(jī)成分完全揮發(fā),同時(shí)有效預(yù)熱金屬基體;
      6)將步驟3中的工件置入非接觸熔覆設(shè)備進(jìn)行涂層熔覆,調(diào)整好參數(shù),時(shí)間3min,然后取出工件,空冷至室溫。
      [0046]步驟I中涂層粉末為霧化工藝制備,粒度50_80μπι。
      [0047]步驟3中噴砂處理介質(zhì)為白剛玉,粒徑0.8-1.2mm,氣壓0.5-0.8MPa。
      [0048]步驟4中粘結(jié)助劑主要成份為S12,配比1:1質(zhì)量的水。
      [0049]步驟5中,非接觸熔覆設(shè)備為自制熔覆設(shè)備,熔覆溫度為1250°C。
      [0050]本發(fā)明所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層及其制備方法,制備的涂層均能達(dá)到的技術(shù)指標(biāo):
      1)涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度320-400MPa;
      2)耐磨性是淬火鋼耐磨性的3-4倍;
      3)硬質(zhì)相顯微硬度HRV1200-14000;
      采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本發(fā)明制備的涂層組織致密,耐磨性能強(qiáng),與金屬基體結(jié)合強(qiáng)度高和抗沖擊性能高。提供的制備工藝,方法簡(jiǎn)單,生產(chǎn)率高,成本低。本發(fā)明針對(duì)上述問題,提出采用非接觸熔覆方式,熱源不直接作用于涂層材料,溫度可控。添加Co3B作為反應(yīng)熔覆液相先驅(qū)相擴(kuò)展液相區(qū),降低涂層熔覆溫度和改善液固相間浸潤(rùn)。采用工業(yè)硅膠均勻混合粉末層,使粉末層牢固粘結(jié)于基體表面,工業(yè)硅膠中的S12和添加的Ti元素,促進(jìn)與涂層中B、C、Fe和Cr等元素反應(yīng)相間生成復(fù)合粘結(jié)相、二元和三元硬質(zhì)相,提高涂層的耐磨性和硬度。解決了碳化鎢含量高導(dǎo)致的熔覆溫度高、涂層相間浸潤(rùn)差和性能下降等問題。機(jī)械合金化粉末方法進(jìn)一步減小金屬陶瓷相與粘結(jié)相間的浸潤(rùn)角,提高金屬陶瓷硬質(zhì)相與粘結(jié)相間的浸潤(rùn)性,熔覆后涂層與金屬基體結(jié)合強(qiáng)度高,組織致密,耐磨性能、顯微硬度和抗沖擊性能顯著提高。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層,其特征在于:所述耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量組分為:C0.8-1.2%、B2-3%、Sil-2%、Cr5-8%、Ti3-5%、Ni3-5%、Co3B4-6%、WC50-60%、Fe余量,采用涂層熔覆工藝制得的。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層,其特征在于:所述耐磨涂層的熔覆合金材料各化學(xué)成分質(zhì)量百分比組分為<1%、82.5%、3丨1.5%、(^6%、1^4%、則4%、Co3B5%、WC55%、Fe 余量。3.權(quán)利要求1所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,其特征在于:采用涂層熔覆工藝,包括以下步驟: I)磨粉工序:將各組分按配比混合后置入球磨機(jī),磨粉; 2 )基體處理工序:清洗金屬工件基體表面; 3)基體預(yù)涂工序:采用粘結(jié)助劑將步驟I得到的粉末均勻混合為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層; 4)預(yù)涂烘干工序:將步驟3中覆有預(yù)置涂層的金屬工件進(jìn)行烘干,確保水等有機(jī)成分完全揮發(fā),同時(shí)有效預(yù)熱金屬基體; 5)涂層熔覆工序:將步驟4中的工件置入非接觸熔覆設(shè)備進(jìn)行涂層熔覆,空冷至室溫。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,其特征在于:熔覆溫度為 1180_1250°C。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,其特征在于:步驟1)中球磨前涂層粉末為霧化工藝制備,粒度50-80μπι,置入球磨機(jī),采用干磨方式,完全機(jī)械合金化后,得到5-8μπι的混合粉末。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,其特征在于:步驟2)所述清洗是對(duì)金屬基體表面進(jìn)行噴砂處理,噴砂處理介質(zhì)為白剛玉,粒徑0.8-1.2mm,氣壓0.5-0.8MPa,除油除銹,再用酒精或丙酮清洗表面。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,其特征在于:步驟3中粘結(jié)助劑主要成份為S12,配比1:1質(zhì)量的水,均勻混合粉末為膏狀,涂覆在步驟2處理后的金屬工件基體表面形成預(yù)置涂層。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,其特征在于:所述預(yù)置涂層厚度I _2mm。9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,其特征在于:步驟4中對(duì)預(yù)置涂層的金屬工件進(jìn)行烘干是將覆有預(yù)置涂層的金屬工件置入200°C干燥設(shè)備進(jìn)行烘干,時(shí)間90min。10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種抗沖擊金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法,其特征在于:步驟5中,非接觸熔覆設(shè)備為真空爐、微波熱燒結(jié)爐等可熱源不直接作用于涂層的設(shè)備。
      【文檔編號(hào)】C23C24/10GK106011840SQ201610406525
      【公開日】2016年10月12日
      【申請(qǐng)日】2016年6月12日
      【發(fā)明人】馬世博, 邵明杰, 張雙杰, 閆華軍, 代學(xué)蕊
      【申請(qǐng)人】河北科技大學(xué)
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