蒸鍍掩模的拉伸方法、帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及拉伸裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供能夠以簡(jiǎn)單的方法將蒸鍍掩模拉伸的蒸鍍掩模的拉伸方法、使用該拉伸方法的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、以及能夠以高精度制造有機(jī)半導(dǎo)體元件的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及用于所述方法的拉伸裝置。蒸鍍掩模(10)將形成有縫隙(15)的金屬掩模(10)和在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部(25)的樹脂掩模(20)層積而構(gòu)成，在該蒸鍍掩模(100)的拉伸方法中，在蒸鍍掩模(100)的一面上重疊拉伸輔助部件(50)，在蒸鍍掩模(100)的一面和拉伸輔助部件(50)重合的部分的至少一部，將拉伸輔助部件固定在蒸鍍掩模上，通過拉伸被固定在蒸鍍掩模(100)上的拉伸輔助部件(50)對(duì)固定于該拉伸輔助部件(50)上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸，由此解決上述課題。
【專利說明】
蒸鍍掩模的拉伸方法、帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及拉伸裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及蒸鍍掩模的拉伸方法、帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及拉伸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著使用有機(jī)EL元件的產(chǎn)品的大型化或基板尺寸的大型化，對(duì)蒸鍍掩模也不斷增加大型化的需求。而且，用于制造由金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模的金屬板也大型化。但是，在現(xiàn)有的金屬加工技術(shù)中，難以在大型的金屬板高精度地形成開口部，不能夠應(yīng)對(duì)開口部的高精細(xì)化。另外，在形成為僅由金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模時(shí)，隨著大型化，其質(zhì)量也增大，包含框架在內(nèi)的總質(zhì)量也增大，故而會(huì)給操作帶來阻礙。
[0003]在這樣的狀況下，在專利文獻(xiàn)I中提出有如下的蒸鍍掩模，該蒸鍍掩模將設(shè)有縫隙的金屬掩模、和位于金屬掩模的表面且將與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部縱橫地配置多列的樹脂掩模層積而構(gòu)成。根據(jù)在專利文獻(xiàn)I中提出的蒸鍍掩模，即使在大型化的情況下，也能夠滿足高精細(xì)化和輕量化二者，另外，能夠進(jìn)行高精細(xì)的蒸鍍圖案的形成。
[0004]專利文獻(xiàn)I:(日本)專利第5288072號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的主要課題在于提供能夠由簡(jiǎn)便的方法拉伸上述專利文獻(xiàn)I所述的蒸鍍掩模的蒸鍍掩模的拉伸方法、使用該拉伸方法的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、以及使用有蒸鍍掩模的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法、用于上述方法的拉伸裝置。
[0006]用于解決上述課題，本發(fā)明的蒸鍍掩模的拉伸方法，該蒸鍍掩模將形成有縫隙的金屬掩模、和樹脂掩模層積而形成，所述樹脂掩模在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部，該蒸鍍掩模的拉伸方法包含:拉伸輔助部件固定工序，在所述蒸鍍掩模的一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上;第一拉伸工序，通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸。
[0007]另外，在上述的蒸鍍掩模的拉伸方法中，也可以還包含在所述第一拉伸工序之前，將所述蒸鍍掩模向第一方向拉伸的第二拉伸工序，在所述第一拉伸工序中，通過拉伸固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件，將固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模向與所述第一方向不同的第二方向拉伸。
[0008]另外，為了解決上述課題，本發(fā)明的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，包括:準(zhǔn)備工序，準(zhǔn)備將金屬掩模和樹脂掩模層積而構(gòu)成的蒸鍍掩模，所述金屬掩模形成有縫隙，所述樹脂掩模在與所述縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部;拉伸輔助部件固定工序，在所述蒸鍍掩模的一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上;第一拉伸工序，通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸;框架固定工序，將在所述第一拉伸工序中被拉伸的狀態(tài)的所述蒸鍍掩模固定在形成有貫通孔的框架上。
[0009]另外，在上述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法中，也可以還包含在所述第一拉伸工序之前，將所述蒸鍍掩模向第一方向拉伸的第二拉伸工序，
[00?0]在所述第一拉伸工序中，通過拉伸固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件，將固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模向與所述第一方向不同的第二方向拉伸。
[0011]另外，在上述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法中，所述帶框架的蒸鍍掩模為在所述框架上排列固定多個(gè)所述蒸鍍掩模而構(gòu)成的帶框架的蒸鍍掩模，在該帶框架的蒸鍍掩模的制造階段，所述多個(gè)蒸鍍掩模中的至少一個(gè)蒸鍍掩模經(jīng)由所述拉伸輔助部件固定工序、所述第一拉伸工序、所述框架固定工序而被固定在所述框架，在所述第一拉伸工序中，通過對(duì)固定在所述一個(gè)蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，將固定在該拉伸輔助部件的一個(gè)蒸鍍掩模向與該一個(gè)蒸鍍掩模相鄰的蒸鍍掩模的方向拉伸。
[0012]另外，在上述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法中，也可以還包含在進(jìn)行所述第一拉伸工序之前，將所述一個(gè)蒸鍍掩模向與所述相鄰的蒸鍍掩模的方向不同的方向拉伸的第二拉伸工序。
[0013]另外，為了解決上述課題，本發(fā)明的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法包含使用在框架上固定有蒸鍍掩模的帶框架的蒸鍍掩模而在蒸鍍對(duì)象物形成蒸鍍圖案的工序，在形成所述蒸鍍圖案的工序中，固定在所述框架上的所述蒸鍍掩模通過包含準(zhǔn)備工序、拉伸輔助部件固定工序、第一拉伸工序、框架固定工序的工序而被制造，所述準(zhǔn)備工序準(zhǔn)備蒸鍍掩模，該蒸鍍掩模將形成有多個(gè)縫隙的金屬掩模、和在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的樹脂掩模層積而構(gòu)成，所述拉伸輔助部件固定工序在所述蒸鍍掩模的一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上，所述第一拉伸工序通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸，所述框架固定工序?qū)⒃谒龅谝焕旃ば蛑斜焕斓臓顟B(tài)的所述蒸鍍掩模固定在形成有貫通孔的框架上。
[0014]另外，為了解決上述課題，本發(fā)明的拉伸裝置用于對(duì)層積金屬掩模和樹脂掩模而構(gòu)成的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸，所述金屬掩模形成有縫隙，所述樹脂掩模在與所述縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部，其中，具備拉伸輔助部件、和用于拉伸該拉伸輔助部件的驅(qū)動(dòng)單元，所述拉伸輔助部件在與所述蒸鍍掩模的一面重合時(shí)，可在與該蒸鍍掩模的一面重合的部分的至少一部分固定。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的蒸鍍掩模的拉伸方法或拉伸裝置，即使在大型化的情況下也能夠由簡(jiǎn)便的方法拉伸滿足高精細(xì)化和輕量化二者的蒸鍍掩模。另外，根據(jù)本發(fā)明的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，能夠得到可在蒸鍍對(duì)象物高精度地形成蒸鍍圖案的帶框架的蒸鍍掩模。另外，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，能夠成品率良好地制造質(zhì)量?jī)?yōu)良的有機(jī)半導(dǎo)體元件。
【附圖說明】
[0016]圖1是表示在準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備的蒸鍍掩模之一例的圖，(a)為從金屬掩模側(cè)看到的正面圖，(b)為(a)的A—A剖面圖；
[0017]圖2是從金屬掩模側(cè)看到的在準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備的實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模的正面圖；
[0018]圖3是從金屬掩模側(cè)看到的在準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備的實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模的正面圖；
[0019]圖4是從金屬掩模側(cè)看到的在準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備的實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模的正面圖；
[0020]圖5是從金屬掩模側(cè)看到的在準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備的實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模的正面圖；
[0021]圖6是從金屬掩模側(cè)看到的在準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備的實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模的正面圖；
[0022]圖7是從金屬掩模側(cè)看到的在準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備的實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模的正面圖；
[0023]圖8是用于說明拉伸輔助部件固定工序的圖，是從樹脂掩模側(cè)看到的蒸鍍掩模的正面圖；
[0024]圖9是用于說明拉伸輔助部件固定工序的圖，(a)?(e)為從樹脂掩模側(cè)看到的蒸鍍掩模的正面圖；
[0025]圖10是用于說明第一拉伸工序的圖，(a)?(c)為從樹脂掩模側(cè)看到的蒸鍍掩模的正面圖；
[0026]圖11是用于說明第一拉伸工序的圖，(a)?(c)為從樹脂掩模側(cè)看到的蒸鍍掩模的正面圖；
[0027]圖12是用于說明第一拉伸工序的圖，(a)?(c)為從樹脂掩模側(cè)看到的蒸鍍掩模的正面圖；
[0028]圖13是用于說明第一拉伸工序的圖，(a)?(c)為從樹脂掩模側(cè)看到的蒸鍍掩模的正面圖；
[0029]圖14是用于說明第一拉伸工序的圖，(a)、(b)為從樹脂掩模側(cè)看到的蒸鍍掩模的正面圖；
[0030]圖15是表示帶框架的蒸鍍掩模之一例的正面圖；
[0031 ]圖16是表示帶框架的多面蒸鍍掩模之一例的正面圖；
[0032]圖17(a)?(C)是表不框架之一例的正面圖；
[0033]圖18是表示帶框架的多面蒸鍍掩模的固定方法之一例的正面圖；
[0034]圖19(a)?(g)是表示在蒸鍍掩模上固定有拉伸輔助部件的狀態(tài)的概略剖面圖；
[0035]圖20是用于說明第一拉伸工序的圖，(a)、(b)為從樹脂掩模側(cè)看到的蒸鍍掩模的正面圖。
[0036]標(biāo)記說明
[0037]10:金屬掩模
[0038]15:縫隙
[0039]20:樹脂掩模
[0040]25:開口部
[0041 ]50:拉伸輔助部件
[0042]50A:拉伸輔助部件主體部
[0043]50B:拉伸輔助部件延長(zhǎng)部
[0044]55:驅(qū)動(dòng)單元
[0045]60:框架
[0046]65:加強(qiáng)框架
[0047]100:蒸鍍掩模
[0048]200:帶框架的蒸鍍掩模
【具體實(shí)施方式】
[0049]使用附圖對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法進(jìn)行具體地說明。
[0050]《帶框架的蒸鍍掩模的制造方法》
[0051]—實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法的特征在于，包含:準(zhǔn)備工序，準(zhǔn)備將金屬掩模和樹脂掩模層積而構(gòu)成的蒸鍍掩模，所述金屬掩模形成有縫隙，所述樹脂掩模在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部;拉伸輔助部件固定工序，在蒸鍍掩模的一面上重疊拉伸輔助部件，且在蒸鍍掩模的一面和拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將拉伸輔助部件固定在蒸鍍掩模上;第一拉伸工序，通過對(duì)固定在蒸鍍掩模上的拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸;框架固定工序，將在第一拉伸工序中被拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模固定在形成有貫通孔的框架上。
[0052](準(zhǔn)備工序)
[0053]本工序如圖1(a)、(b)所示地，為準(zhǔn)備蒸鍍掩模100的工序，該蒸鍍掩模100將形成有多個(gè)縫隙15的金屬掩模10、和在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部25的樹脂掩模20層積而構(gòu)成。
[0054](樹脂掩模)
[0055]如圖1所示，在樹脂掩模20設(shè)有多個(gè)開口部25。圖1(a)為從金屬掩模側(cè)看到的一實(shí)施方式的蒸鍍掩模的正面圖，圖l(n)為圖1(a)的A—A概略剖面圖。
[0056]在圖示的方式中，開口部25的開口形狀呈矩形，對(duì)開口形狀并無特別限定，開口部25的開口形狀既可以為菱形、多邊形，也可以為圓、橢圓等具有曲率的形狀。另外，與圓或橢圓等具有曲率的開口形狀相比，矩形或多邊形的開口形狀可取得較大的發(fā)光面積，可以說為開口部25的最佳開口形狀。
[0057]樹脂掩模20的材料并不特別限定，例如可通過激光加工等而形成高精細(xì)的開口部25，優(yōu)選使用在熱或時(shí)間經(jīng)過上的尺寸變化率或吸濕率小，輕量的材料。作為這樣的材料，可列舉出聚酰亞胺樹脂、聚酰胺樹脂、聚酰胺亞胺樹脂、聚酯樹脂、聚乙烯樹脂、乙烯醇樹月旨、聚丙烯樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚丙烯腈樹脂、醋酸乙烯共聚物樹脂、乙烯一乙烯醇共聚物樹脂、乙烯一甲基丙烯酸共聚物樹脂、聚氯化乙烯樹脂、聚偏二氯乙烯樹月旨、玻璃紙、離子聚合物樹脂等。在上述示例的材料中，優(yōu)選熱膨脹為數(shù)為16ppm/°C以下的樹脂材料，優(yōu)選吸濕率為1.0%以下的樹脂材料，并且特別優(yōu)選具備這兩個(gè)條件的樹脂材料。通過形成為使用該樹脂材料的樹脂掩模，能夠提高開口部25的尺寸精度，并且能夠縮小在熱或時(shí)間經(jīng)過弓I起的尺寸變化率或吸濕率。
[0058]對(duì)樹脂掩模20的厚度并不特別限定，但在進(jìn)一步提高陰影產(chǎn)生的抑制效果的情況下，優(yōu)選樹脂掩模20的厚度為25μπι以下，更優(yōu)選小于ΙΟμπι。對(duì)下限值的優(yōu)選范圖并不特別限定，但在樹脂掩模20的厚度小于3μπι時(shí)，容易產(chǎn)生針孔等缺陷，另外變形等的風(fēng)險(xiǎn)變高。特別是，通過將樹脂掩模20的厚度設(shè)為3μηι以上且小于ΙΟμπι，更優(yōu)選為4μηι以上且8μηι以下，能夠更有效果地防止形成超過400ppi的高精細(xì)圖案時(shí)的陰影的影響。另外，樹脂掩模20和后述的金屬掩模10既可以直接地接合，也可以經(jīng)由粘接劑層而接合，但在經(jīng)由粘接劑層而將樹脂掩模20和金屬掩模10接合的情況下，樹脂掩模20和粘接劑層的合計(jì)厚度在上述優(yōu)選的厚度范圖內(nèi)為好。另外，陰影是指，由于從蒸鍍?cè)瘁尫懦龅恼翦儾牧系囊徊糠峙c金屬掩模的縫隙，或樹脂掩模的開口部的內(nèi)壁面碰撞而不到達(dá)蒸鍍對(duì)象物，生成較期待的蒸鍍膜厚薄的膜厚的未蒸鍍部分的現(xiàn)象。
[0059]對(duì)開口部25的剖面形狀也無特別限定，形成開口部25的樹脂掩模的面對(duì)面的端面彼此可以大致平行，但如圖1(b)所示，開口部25的剖面形狀優(yōu)選為朝向蒸鍍?cè)磾U(kuò)展的形狀。換言之，優(yōu)選具有朝向金屬掩模10側(cè)擴(kuò)展的錐形面。對(duì)錐角，能夠考慮樹脂掩模20的厚度等而適當(dāng)設(shè)定，在連結(jié)樹脂掩模的開口部中的下底前端和同樣在樹脂掩模的開口部中的上底前端的直線、和樹脂掩模底面構(gòu)成的角度，換言之，在構(gòu)成樹脂掩模20的開口部25的內(nèi)壁面的厚度方向剖面中，開口部25的內(nèi)壁面和樹脂掩模20的不與金屬掩模10相接側(cè)的面(在圖示的方式中，為樹脂掩模的下面)構(gòu)成的角度優(yōu)選在5°?85°的范圖內(nèi)，更優(yōu)選在15°?75°的范圖內(nèi)，最好在25°?65°的范圖內(nèi)。特別是，在該范圖內(nèi)，優(yōu)選為比所使用的蒸鍍機(jī)的蒸鍍角度小的角度。另外，在圖示的方式中，形成開口部25的端面呈直線形狀，但并不限定于此，也可以成為向外凸的彎曲形狀、即開口部25的整體形狀為碗狀。
[0060](金屬掩模)
[0061 ]如圖1(b)所不，在樹脂掩模20的一面上層積有金屬掩模10。金屬掩模10由金屬構(gòu)成，配置有在縱向或橫向上延伸的縫隙15。縫隙15與開口同義。對(duì)縫隙的配置例并不特別限定，既可以將在縱向及橫向上延伸的縫隙在縱向及橫向上配置多列，也可以將在縱向上延伸的縫隙在橫向上配置多列，還可以將在橫向上延伸的縫隙在縱向上配置多列。另外，也可以在縱向或橫向上僅配置一列。另外，在本說明書中所稱的“縱向”、“橫向”是指圖面的上下方向、左右方向，可以為蒸鍍掩模、樹脂掩模、金屬掩模的長(zhǎng)度方向、寬度方向中的任一方向。例如，可以將蒸鍍掩模、樹脂掩模、金屬掩模的長(zhǎng)度方向設(shè)為“縱向”，也可以將寬方向設(shè)為“縱向”。另外，在本申請(qǐng)說明書中，以俯視蒸鍍掩模時(shí)的形狀為矩形的情況為例進(jìn)行說明，但可以形成為除此以外的形狀，例如圓形、菱形等多邊形。此時(shí)，只要將對(duì)角線的長(zhǎng)度方向或徑向或者任意方向設(shè)為“長(zhǎng)度方向”，將與該“長(zhǎng)度方向”正交的方向設(shè)為“寬度方向(也有稱為短邊方向的情況”即可。
[0062]對(duì)金屬掩模10的材料并不特別限定，在蒸鍍掩模的領(lǐng)域中，能夠適當(dāng)選擇使用目前公知的材料，例如不銹鋼、鐵鎳合金、鋁合金等金屬材料。其中，由于鐵鎳合金即因瓦合金材料由熱產(chǎn)生的變形較少，故而適合使用。
[0063]對(duì)金屬掩模10的厚度也并無特別限定，為了更有效果地防止陰影的產(chǎn)生，優(yōu)選為ΙΟΟμπι，更優(yōu)選為50μηι以下，最好為35μηι以下。另外，在比5μηι薄時(shí)，有破斷或變形的風(fēng)險(xiǎn)變高且難以操作的傾向。
[0064]另外，在圖1(a)所示的方式中，俯視縫隙15時(shí)的開口形狀呈矩形，但對(duì)開口形狀并不特別限定，縫隙15的開口形狀可以為梯形、圓形等任何形狀。
[0065]對(duì)在金屬掩模10形成的縫隙15的剖面形狀并無特別限定，但優(yōu)選為如圖1(b)所示地朝向蒸鍍?cè)磾U(kuò)展的形狀。更具體地，連結(jié)金屬掩模10的縫隙15中的下底前端和同樣在金屬掩模10的縫隙15中的上底前端的直線、和金屬掩模10的底面構(gòu)成的角度，換言之，在構(gòu)成金屬掩模10的縫隙15的內(nèi)壁面的厚度方向剖面，縫隙15的內(nèi)壁面和金屬掩模10的不與樹脂掩模20相接側(cè)的面(在圖不的方式中，為金屬掩模的下面)構(gòu)成的角度優(yōu)選在5°?85°的范圖內(nèi)，更優(yōu)選在15°?80°的范圖內(nèi)，更優(yōu)選在25°?65°的范圖內(nèi)。特別是，在該范圖內(nèi)，優(yōu)選為比所使用的蒸鍍機(jī)的蒸鍍角度小的角度。
[0066]對(duì)在樹脂掩模上層積金屬掩模10的方法并不特別限定，既可以使用各種粘接劑將樹脂掩模20和金屬掩模10貼合，也可以使用具有自粘性的樹脂掩模。樹脂掩模20和金屬掩模10的大小既可以相同，也可以不同。另外，考慮之后任意進(jìn)行的向框架的固定，優(yōu)選使樹脂掩模20的尺寸比金屬掩模10小，若形成為金屬掩模10的外周部分露出的狀態(tài)，則金屬掩模10和框架的焊接變得容易。
[0067]以下，對(duì)在本工序中準(zhǔn)備的優(yōu)選的蒸鍍掩模的方式，列舉實(shí)施方式(A)及實(shí)施方式(B)進(jìn)行說明。
[0068](實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模)
[0069]如圖2所示，實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模100為用于同時(shí)形成多畫面的蒸鍍圖案的蒸鍍掩模，其特征在于，在樹脂掩模20的一面上層積設(shè)有多個(gè)縫隙15的金屬掩模10，在樹脂掩模20上設(shè)有構(gòu)成多畫面所需的開口部25，各縫隙15設(shè)置在至少與一畫面整體重合的位置。
[0070]實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模100為用于同時(shí)形成多畫面的蒸鍍圖案的蒸鍍掩模，能夠以一個(gè)蒸鍍掩模100同時(shí)形成與多個(gè)產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的蒸鍍圖案。實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模中所稱的“開口部”是指使用實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模100制作的圖案，例如在將該蒸鍍掩模用于有機(jī)EL顯示器中的有機(jī)層的形成時(shí)，開口部25的形狀成為該有機(jī)層的形狀。另外，“一畫面”是指由與一個(gè)產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的開口部25的集合體構(gòu)成，在該一個(gè)產(chǎn)品為有機(jī)EL顯示器的情況下，形成一個(gè)有機(jī)EL顯示器所需的有機(jī)層的集合體、即成為有機(jī)層的開口部25的集合體成為“一畫面”。而且，實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模10為了同時(shí)形成多畫面的蒸鍍掩模，在樹脂掩模20上隔著規(guī)定間隔而多畫面地配置有所述“一畫面”。即，在樹脂掩模20上設(shè)有構(gòu)成多畫面所需的開口部25。
[0071]實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模的特征在于，在樹脂掩模的一面上設(shè)置設(shè)有多個(gè)縫隙15的金屬掩模10，各縫隙分別設(shè)置在與至少一畫面整體重合的位置上。換言之，其特征在于，在構(gòu)成一畫面所需的開口部25之間，在橫向上相鄰的開口部25之間不存在與縫隙15的縱向的長(zhǎng)度相同的長(zhǎng)度且具有與金屬掩模10相同厚度的金屬線部分，或在縱向上相鄰的開口部25之間不存在與縫隙15的橫向的長(zhǎng)度相同的長(zhǎng)度且具有與金屬掩模10相同厚度的金屬線部分。以下，統(tǒng)稱與縫隙15的縱向的長(zhǎng)度相同的長(zhǎng)度且具有與金屬掩模10相同厚度的金屬線部分，或與縫隙15的橫向的長(zhǎng)度相同的長(zhǎng)度且具有與金屬掩模10相同厚度的金屬線部分，簡(jiǎn)稱為金屬線部分。
[0072]根據(jù)實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模100，在將構(gòu)成一畫面所需的開口部25的大小，或構(gòu)成一畫面的開口部25間的間距縮小的情況下，例如即使在為了形成超過400ppi的畫面而使開口部25的大小或開口部25間的間距極微小時(shí)，能夠防止由于金屬線部分產(chǎn)生的干擾，可形成高精細(xì)的圖像。另外，在一畫面被多個(gè)縫隙分割的情況下，換言之，在構(gòu)成一畫面的開口部25之間存在具有與金屬掩模10相同厚度的金屬線部分的情況下，隨著構(gòu)成一畫面的開口部25間的間距變窄，存在于開口部25間的金屬線部分成為向蒸鍍對(duì)象物形成蒸鍍圖案時(shí)的阻礙，難以形成高精細(xì)的蒸鍍圖案。換言之，在構(gòu)成一畫面的開口部25間存在具有與金屬掩模10相同厚度的金屬線部分的情況下，在帶框架的蒸鍍掩模時(shí)，該金屬線部分會(huì)引起陰影產(chǎn)生而難以形成高精細(xì)的畫面。
[0073]接著，參照?qǐng)D2?圖6對(duì)構(gòu)成一畫面的開口部25之一例進(jìn)行說明。另外，在圖不的方式中，由虛線封閉的區(qū)域成為一畫面。在圖示的方式中，為了便于說明而將少數(shù)的開口部25的集合體設(shè)為一畫面，但并不限定于該方式，例如在將一個(gè)開口部25設(shè)為一像素時(shí)，可以在一畫面存在數(shù)百萬像素的開口部25。
[0074]在圖2所示的方式中，通過在縱向、橫向上設(shè)置多個(gè)開口部25而構(gòu)成的開口部25的集合體構(gòu)成一畫面。在圖3所示的方式中，通過在橫向上設(shè)置多個(gè)開口部25而構(gòu)成的開口部25的集合體構(gòu)成一畫面。另外，在圖4所示的方式中，通過在縱向上設(shè)置多個(gè)開口部25而構(gòu)成的開口部25的集合體構(gòu)成一畫面。然后，在圖2?圖4中，在與一畫面整體重合的位置設(shè)有縫隙15。
[0075]如上述說明地，縫隙15既可以設(shè)置在僅與一畫面重合的位置，也可以如圖5 (a)、
(b)所示地，設(shè)置在與兩個(gè)以上的畫面整體重合的位置。在圖5(a)中，在圖2所示的樹脂掩模10中，在與在橫向上連續(xù)的兩畫面整體重合的位置設(shè)有縫隙15。在圖5(b)中，在與在縱向上連續(xù)的三畫面整體重合的位置設(shè)有縫隙15。
[0076]接著，以圖2所示的方式為例，對(duì)構(gòu)成一畫面的開口部25間的間距、畫面間的間距進(jìn)行說明。對(duì)構(gòu)成一畫面的開口部25間的間距、或開口部25的大小并不特別限定，能夠?qū)?yīng)于要蒸鍍制作的圖案而適當(dāng)設(shè)定。例如，在形成400ppi的高精細(xì)的蒸鍍圖案的情況下，在構(gòu)成一畫面的開口部25鄰接的開口部25的橫向的間距(Pl)、縱向的間距(P2)為60μπι左右。另夕卜，開口部的大小為500μπι2?100ym2左右。另外，一個(gè)開口部25并不限定于與一像素對(duì)應(yīng)，例如也能夠根據(jù)像素排列，將多像素匯總而形成為一個(gè)開口部25。
[0077]對(duì)畫面間的橫向的間距(Ρ3)、縱向的間距(Ρ4)也無特別限定，但如圖2所示地，在將一個(gè)縫隙15設(shè)置在與一畫面整體重合的位置的情況下，在各畫面間存在金屬線部分。因此，在各畫面間的縱向的間距(Ρ4)、橫向的間距(Ρ3)小于設(shè)置在一畫面內(nèi)的開口部25的縱向的間距(Ρ2)、橫向的間距(Pl)的情況下，或是大致同等的情況下，存在各畫面間的金屬總部分容易斷線。因此，考慮到該方面，優(yōu)選畫面間的間距(Ρ3、Ρ4)比構(gòu)成一畫面的開口部25間的間距(P1、Ρ2)寬。作為畫面間的間距(Ρ3、Ρ4)的一例，為Imm?10mm左右。另外，畫面間的間距是指在一畫面和與該一畫面鄰接的其它畫面，鄰接的開口部間的間距。對(duì)于后述的實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模中的開口部25的間距、畫面間的間距也相同。
[0078]另外，如圖5所示，在一個(gè)縫隙15設(shè)置在與兩個(gè)以上的畫面整體重合的位置的情況下，在設(shè)置在一個(gè)縫隙15內(nèi)的多個(gè)畫面間不存在構(gòu)成縫隙的內(nèi)壁面的金屬線部分。因此，該情況下，設(shè)置在與一個(gè)縫隙15重合的位置的兩個(gè)以上的畫面間的間距可以與構(gòu)成一畫面的開口部25間的間距大致相同。
[0079]另外，可以在樹脂掩模20形成在樹脂掩模20的縱向或橫向上延伸的槽(未圖示)。在蒸鍍時(shí)施加熱時(shí)，樹脂掩模20有可能熱膨脹而使得開口部25的尺寸或位置發(fā)生變化，但通過形成槽能夠吸收樹脂掩模的膨脹，并且能夠防止由于在樹脂掩模的各處產(chǎn)生的熱膨脹累積而使樹脂掩模20整體向規(guī)定方向膨脹而發(fā)生開口部25的尺寸或位置變化的情況。對(duì)槽的形成位置并無限定，可以設(shè)置在構(gòu)成一畫面的開口部25間，或與開口部25重合的位置，優(yōu)選設(shè)置在畫面間。另外，槽既可以設(shè)置在樹脂掩模的一面，例如僅設(shè)置在與金屬掩模相接側(cè)的面，也可以僅設(shè)置在不與金屬掩模相接側(cè)的面?；蛘?，也可以設(shè)置在樹脂掩模20的兩面。
[0080]另外，既可以形成為在鄰接的畫面間在縱向上延伸的槽，也可以在鄰接的畫面間形成在橫向上延伸的槽。另外，也能夠?qū)⑵浣M合而形成槽。
[0081]對(duì)槽的深度及其寬度并無特別限定，但在槽的深度過深或?qū)挾冗^寬的情況下，由于有樹脂掩模20的剛性下降的傾向，故而需要考慮該方面而設(shè)定。另外，對(duì)槽的剖面形狀也無特別限定，只要考慮U形或V形等加工方法等而任意選擇即可。對(duì)實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模也相同。
[0082](實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模)
[0083]接著，對(duì)實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模進(jìn)行說明。如圖6所示，實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模的特征在于，在設(shè)有多個(gè)與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部25的樹脂掩模20的一面上層積設(shè)有一個(gè)縫隙(一個(gè)孔16)的金屬掩模10而構(gòu)成，該多個(gè)開口部25全部設(shè)置在與設(shè)于金屬掩模1的一個(gè)孔重合的位置。
[0084]在實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模中所稱的開口部25是指，為了在蒸鍍對(duì)象物形成蒸鍍圖案所需的開口部，不需要為了在蒸鍍對(duì)象物形成蒸鍍圖案的開口部也可以設(shè)置在不與一個(gè)孔16重合的位置。另外，圖6是從金屬掩模側(cè)看到的實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模之一例的蒸鍍掩模的正面圖。
[0085]實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模100在具有多個(gè)開口部25的樹脂掩模20上設(shè)有具有一個(gè)孔16的金屬掩模10，并且，多個(gè)開口部25全部設(shè)置在與該一個(gè)孔16重合的位置上。在具有該構(gòu)成的實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模100中，由于在開口部25之間不存在與金屬掩模的厚度相同的厚度，或者比金屬掩模的厚度厚的金屬線部分，故而如上述實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模說明地，不受金屬線部分的干擾，可按照設(shè)于樹脂掩模20的開口部25的尺寸形成高精細(xì)的蒸鍍圖案。
[0086]另外，根據(jù)實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模，即使在將金屬掩模10的厚度增厚的情況下，也幾乎不受到陰影的影響，故而能夠?qū)⒔饘傺谀?0的厚度增厚到充分滿足耐久性或操作性，并且可邊形成高精細(xì)的蒸鍍圖案邊提高耐久性或操作性。
[0087](樹脂掩模)
[0088]實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模中的樹脂掩模20由樹脂構(gòu)成，如圖6所不，在與一個(gè)孔16重合的位置上設(shè)有多個(gè)與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部25。開口部25與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)，從蒸鍍?cè)瘁尫懦龅恼翦儾牧贤ㄟ^開口部25而在蒸鍍對(duì)象物上形成與開口部25對(duì)應(yīng)的蒸鍍圖案。另外，在圖示的方式中，以縱橫地配置有多列開口部為例進(jìn)行了說明，但也可以僅在縱向或橫向上配置。
[0089]實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模100中的“一畫面”是指與一個(gè)產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的開口部25的集合體，在該一個(gè)產(chǎn)品為有機(jī)EL顯示器的情況下，形成一個(gè)有機(jī)EL顯示器所需的有機(jī)層的集合體、即成為有機(jī)層的開口部25的集合體成為“一畫面”。實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模既可以僅由“一畫面”構(gòu)成，也可以將該“一畫面”以多畫面配置，但在“一畫面”以多畫面配置的情況下，優(yōu)選每畫面單位隔著規(guī)定間隔而設(shè)有開口部25(參照實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模的圖5)。對(duì)“一畫面”的方式并無特別限定，例如在將一個(gè)開口部25設(shè)為一像素時(shí)，也能夠通過數(shù)百萬個(gè)開口部25構(gòu)成一畫面。
[0090](金屬掩模)
[0091 ]實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模100中的金屬掩模10由金屬構(gòu)成，具有一個(gè)孔16。而且，在本發(fā)明中，該一個(gè)孔16在從金屬掩模10的正面觀察時(shí)，配置在與全部的開口部25重合的位置，換言之，配置在可看到在樹脂掩模20配置的全部的開口部25的位置上。
[0092]構(gòu)成金屬掩模10的金屬部分，即一個(gè)孔16以外的部分既可以如圖6所示地沿著蒸鍍掩模100的外緣設(shè)置，也可以如圖7所示地使金屬掩模10的尺寸小于樹脂掩模20且使樹脂掩模20的外周部分露出。另外，也可以使金屬掩模10的尺寸大于樹脂掩模20而使金屬部分的一部分向樹脂掩模的橫向外方或縱向外方突出。另外，即使在任一情況下，一個(gè)孔16的尺寸皆小于樹脂掩模20的尺寸而構(gòu)成。
[0093]對(duì)圖6所示的構(gòu)成金屬掩模10的一個(gè)孔16的壁面的金屬部分的橫向的寬度(Wl)、縱向的寬度(W2)并不特別限定，但隨著Wl、W2的寬度變窄，具有耐久性或操作性下降的傾向。因此，Wl、W2優(yōu)選形成為能夠充分滿足耐久性、操作性的寬度。能夠根據(jù)金屬掩模10的厚度而適當(dāng)設(shè)定合適的寬度，但作為優(yōu)選寬度之一例，與實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模中的金屬掩模同樣，Wl、W2也都為Imm?10mm左右。
[0094]以下，對(duì)在本工序中準(zhǔn)備的一實(shí)施方式的蒸鍍掩模的制造方法舉出一例進(jìn)行說明。一實(shí)施方式的蒸鍍掩模100能夠如下地得到，S卩，準(zhǔn)備在樹脂板的一面上層積有設(shè)有縫隙15的金屬掩模10的帶樹脂板的金屬掩模，接著，對(duì)帶樹脂板的金屬掩模，從金屬掩模10側(cè)通過縫隙15照射激光而在樹脂板上形成與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部25。
[0095]作為帶樹脂板的金屬掩模的形成方法，在樹脂板的一面上層積設(shè)有縫隙15的金屬掩模10。樹脂板能夠使用在所述樹脂掩模20中說明的材料。
[0096]作為設(shè)有縫隙15的金屬掩模10的形成方法，通過在金屬板的表面涂敷遮蔽部件，例如抗蝕材料，且使規(guī)定部位露出并顯影，最終形成將形成有縫隙15的位置殘留的抗蝕圖案。作為遮蔽部件使用的抗蝕材料，優(yōu)選處理性良好且具有所希望的解像性的材料。接著，將該抗蝕圖案用作耐蝕刻掩模而通過蝕刻方法進(jìn)行蝕刻加工。在蝕刻結(jié)束后，將抗蝕圖案洗凈除去。由此，可得到設(shè)有縫隙15的金屬掩模10。用于形成縫隙15的蝕刻既可以從金屬板的一面?zhèn)冗M(jìn)行，也可以從兩面進(jìn)行。另外，使用在金屬板設(shè)有樹脂板的層積體而在金屬板上形成縫隙15的情況下，在金屬板的不與樹脂板相接側(cè)的表面涂敷遮蔽部件，通過自一面?zhèn)鹊奈g刻而形成縫隙15。另外，在樹脂板對(duì)金屬板的蝕刻材料具有耐蝕刻性的情況下，無需遮蔽樹脂板的表面，但在樹脂板對(duì)金屬板的蝕刻材料不具有耐性的情況下，需要在樹脂板的表面涂敷遮蔽部件。另外，在上述中，作為遮蔽部件以抗蝕材料為中心進(jìn)行了說明，但也可以將干膜抗蝕劑層疊來取代涂敷抗蝕材料，進(jìn)行同樣的構(gòu)圖。
[0097]在上述方法中，構(gòu)成帶樹脂板的金屬掩模的樹脂板不僅為板狀的樹脂，也可以為通過涂敷而形成的樹脂層或樹脂膜。即，樹脂板既可以預(yù)先準(zhǔn)備，也可以在金屬板上通過目前公知的涂敷法等形成最終成為樹脂掩模的樹脂層或樹脂膜。
[0098]開口部25能夠?qū)ι鲜鰷?zhǔn)備的帶樹脂板的金屬掩模，使用激光加工法、精密沖壓加工、光刻加工等形成。通過形成開口部，得到在設(shè)有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部25的樹脂掩模20的一面上層積設(shè)有縫隙15的金屬掩模10而構(gòu)成的一實(shí)施方式的蒸鍍掩模100。另外，從能夠容易地形成高精細(xì)的開口部25來看，開口部25的形成使用激光加工法為好。
[0099](拉伸輔助部件固定工序)
[0100]拉伸輔助部件固定工序如圖8(a)?(C)所示，在蒸鍍掩模100的一面(在圖示的方式中為樹脂掩模20的面)上重合拉伸輔助部件50，在蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50重合的部分的至少一部分(圖中的標(biāo)記X)，將拉伸輔助部件50固定在蒸鍍掩模100上。圖8為表示將蒸鍍掩模的一面和拉伸輔助部件50固定的狀態(tài)的正面圖，在圖示的方式中，在蒸鍍掩模100的樹脂掩模20的表面和拉伸輔助部件50重合的部分的整體，或重合的部分的一部分，將該樹脂掩模20和拉伸輔助部件50固定。換言之，俯視觀察蒸鍍掩模100時(shí)，S卩，在蒸鍍掩模100的厚度方向上以與該蒸鍍掩模的一面重合的方式配置拉伸輔助部件50，在該重合的部分整體或重合部分的一部分，將蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50固定。另外，在圖8中，省略設(shè)置在樹脂掩模20的開口部的記載，記載由多個(gè)開口部構(gòu)成的一畫面。關(guān)于“一畫面”，如上述實(shí)施方式(A)的蒸鍍掩模及實(shí)施方式(B)的蒸鍍掩模中說明地那樣。
[0101]在本工序中，在蒸鍍掩模100的一面重合拉伸輔助部件5a，在蒸鍍掩模的一面和拉伸輔助部件50重合的部分的至少一部分，將蒸鍍掩模100和拉伸輔助部件50固定。即，若為滿足能夠與蒸鍍掩模的面重合的條件的位置，在任何位置都能夠?qū)⒗燧o助部件50固定。因此，與目前公知的把持單元，例如以夾著蒸鍍掩模的端部進(jìn)行固定的夾具不同，對(duì)將拉伸輔助部件固定的位置并不作限定，能夠在任意的位置固定在蒸鍍掩模100上。另外，把持蒸鍍掩模的端部等進(jìn)行固定的夾具等從本說明書中所稱的拉伸輔助部件50中排除。
[0102]另外，在各圖所示的方式中，雖然在蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50重合的部分的至少一部分(圖中的標(biāo)記X)中，將拉伸輔助部件50固定在蒸鍍掩模100上，但也可以在蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50重合的全部部分將蒸鍍掩模100和拉伸輔助部件50固定。
[0103]拉伸輔助部件既可以如圖所示地固定在樹脂掩模20上，也可以固定在金屬掩模10上。另外，最終得到的帶框架的蒸鍍掩模通常以該蒸鍍掩模100的金屬避罩10和框架相對(duì)的方式進(jìn)行固定。因此，考慮該方面，拉伸輔助部件50優(yōu)選在與樹脂掩模20倒的面重合的至少一部分被固定。另外，在將蒸鍍掩模固定在框架上之后，若能夠從蒸鍍掩模的表面卸下拉伸輔助部件50，則也可以在與金屬掩模10側(cè)的面重合的至少一部分被固定。
[0104]拉伸輔助部件50只要通過任意的單元在與蒸鍍掩模100的一面重合的部分的至少一部分固定在蒸鍍掩模100的一面上即可，對(duì)其材料并不作任何限定。例如，拉伸輔助部件50既可以由樹脂材料、金屬材料構(gòu)成，也可以由除此之外的材料，例如玻璃材料、陶瓷材料、紙材料等構(gòu)成。
[0105]對(duì)拉伸輔助部件50的形狀并無限定，只要為通過任意的單元能夠?qū)⒄翦冄谀?00的一面和拉伸輔助部件的表面固定的形狀即可。即，拉伸輔助部件50可以為任何形狀。作為一例的拉伸輔助部件50呈薄片狀、圓柱狀、棱柱狀等。另外，在各圖所示的方式中，使用薄片狀的拉伸輔助部件作為拉伸輔助部件50，進(jìn)行蒸鍍掩模100的拉伸，但并不限定于此方式。另外，對(duì)拉伸輔助部件50的大小、厚度也不作任何限定。例如，在使用薄片狀的拉伸輔助部件50的情況下，對(duì)其厚度等也不作任何限定。拉伸輔助部件50的表面和蒸鍍掩模直接或間接地接合，但對(duì)接合的方式不作特別限定，拉伸輔助部件50的表面和蒸鍍掩模既可以直接或間接地以面相接，也可以以線或點(diǎn)相接。例如，在使用薄片狀的拉伸輔助部件的情況下，該拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模100的一面以直接或間接地以面相接。另外，在使用圓柱狀的拉伸輔助部件的情況下，該拉伸輔助部件50的圓周面和蒸鍍掩模的一面直接或間接地以線相接。
[0106]作為一例的拉伸輔助部件50與驅(qū)動(dòng)單元連結(jié)，通過使驅(qū)動(dòng)單元?jiǎng)幼鞫鴮?duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸，進(jìn)行被固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模100的拉伸。對(duì)驅(qū)動(dòng)單元，能夠適當(dāng)選擇目前公知的單元，例如電動(dòng)機(jī)、氣缸、電動(dòng)促動(dòng)器等。另外，不使用驅(qū)動(dòng)單元，也能夠拉伸被固定在拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模100。例如，通過用手對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸，也能夠?qū)潭ㄔ诶燧o助部件50的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸。該情況下，拉伸輔助部件50也可以不與驅(qū)動(dòng)單元連結(jié)。
[0107]蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50既可以在(i)直接地接合的狀態(tài)下固定，也可以在(ii)間接地接合的狀態(tài)下固定。
[0108]作為蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50在(i)直接地接合的狀態(tài)下固定的方式，作為拉伸輔助部件50，能夠列舉使用具有磁性的材料的方式、使用具有自粘性的材料的方式、使用具有自吸附性及再剝離性的材料的方式、使用靜電吸附等來固定蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50的方式。例如，在使用具有磁性的材料作為拉伸輔助部件50的情況下，能夠利用構(gòu)成蒸鍍掩模100的金屬掩模，在拉伸輔助部件50和金屬掩模10重合的位置，使用磁力吸引蒸鍍掩模100和拉伸輔助部件50并固定。另外，在使用具有自吸附性及再剝離性的材料作為拉伸輔助部件50的情況下，能夠利用其自吸附性在拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模的表面重合的位置將拉伸輔助部件50固定。通過具有自吸附性及再剝離性的材料，在厚度方向上不與金屬掩模10重合的位置也能夠在蒸鍍掩模100的表面將拉伸輔助部件50固定。
[0109]其中，具有磁性的材料、或具有自吸附性及再剝離性的材料可以說為在可反復(fù)使用方面上優(yōu)選的材料。拉伸輔助部件的自吸附性是指，在與蒸鍍掩模相接時(shí)能夠一邊排除空氣一邊緊密貼合的性質(zhì)。拉伸輔助部件的再剝離性是指，通過將固定在蒸鍍掩模的拉伸輔助部件的一端抬起，剝離向周邊擴(kuò)展且能夠拆下拉伸輔助部件整體的性質(zhì)。作為具有上述自吸附性及剝離性的材料，能夠列舉出硅樹脂類、聚烯烴樹脂類、聚氨酯類的熱可塑性彈性體類等自粘性樹脂、橡膠類、聚氯乙烯樹脂類。作為具有自吸附性及再剝離性的材料，也能夠使用例如住友化學(xué)(株式會(huì)社)的產(chǎn)品名SumironS、PANAC (株式會(huì)社)的產(chǎn)品名烯烴聚合物凝膠片材、FUJIC0PIAN(株式會(huì)社)的產(chǎn)品名FIXFILM等市場(chǎng)銷售品。也能夠組合具有磁性的材料、具有自吸附性及再剝離性的材料而使用。拉伸輔助部件50既可以由單一部件構(gòu)成，也能夠?qū)⒍鄠€(gè)部件組合而構(gòu)成。另外，對(duì)組合多個(gè)部件而構(gòu)成拉伸輔助部件的情形中的組合的方法并不作限定，既可以為不管方向而排列多個(gè)部件構(gòu)成的拉伸輔助部件50，也可以為重合多個(gè)部件而構(gòu)成的拉伸輔助部件50。例如，在形成為在具有自吸附性的材料上組合具有磁性的材料的拉伸輔助部件50的情況下，能夠邊發(fā)揮具有磁性的材料的特性而暫時(shí)固定金屬掩模和后述的加強(qiáng)框架65，邊拉伸蒸鍍掩模100。另外，在使用多個(gè)拉伸輔助部件50的情況下，構(gòu)成各個(gè)拉伸輔助部件的部件或材料既可以相同，也可以不同。
[0110]作為蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50在(ii)間接地接合的狀態(tài)下固定的方式，能夠列舉使用特定的部件將蒸鍍掩模100和拉伸輔助部件50間接地固定的方式。作為特定的部件，能夠列舉例如粘接劑或粘接片或者作為所述拉伸輔助部件50的材料示例的具有磁性的材料或具有自吸附性及再剝離性的材料。特定部件既可以為用于間接地連結(jié)蒸鍍掩模和拉伸輔助部件50的部件，S卩，不構(gòu)成拉伸輔助部件50的部件，也可以用作后述的拉伸輔助部件主體部50A(參照?qǐng)D19(a)?(d)、(f)的拉伸輔助部件主體部50A)。在后者的情況下，特定部件構(gòu)成拉伸輔助部件主體部50A，在此說明的拉伸輔助部件50構(gòu)成拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B。特定的部件優(yōu)選由對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)的伸長(zhǎng)率小的材料構(gòu)成。更具體地，間接地連結(jié)蒸鍍掩模和拉伸輔助部件50的特定部件的材料，優(yōu)選為伸長(zhǎng)率比構(gòu)成蒸鍍掩模100的樹脂掩模10的材料小的材料。通過這樣的部件將蒸鍍掩模和拉伸輔助部件50間接地固定，從而在對(duì)拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸時(shí)，能夠抑制特定部件延伸，能夠精度更佳地拉伸蒸鍍掩模。另外，在特定部件的材料的伸長(zhǎng)率與構(gòu)成樹脂掩模10的材料相同，或伸長(zhǎng)率比構(gòu)成樹脂掩模10的材料大的情況下，與作為特定部件的材料使用了伸長(zhǎng)率較小的材料的情況相比，雖然拉伸蒸鍍掩模時(shí)的精度有變低的傾向，但在對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)，能夠使特定部件伸縮等，增大特定部件的伸縮的自由度。在間接地連結(jié)蒸鍍掩模和拉伸輔助部件50的特定部件的伸縮的自由度的情況下，在通過拉伸輔助部件50拉伸蒸鍍掩模的狀態(tài)下，能夠通過特定部件吸收在將該蒸鍍掩模固定在框架上時(shí)等產(chǎn)生的外力。即，能夠通過特定部件抑制由于外力在蒸鍍掩模產(chǎn)生變形等或在蒸鍍掩模產(chǎn)生位置偏移等。另外，在此所稱的伸長(zhǎng)率是指以JIS K 7127( 1999)為基準(zhǔn)的拉伸伸長(zhǎng)率。
[0111]另外，在(ii)的方式中，能夠隔著特定部件的厚度量、從蒸鍍掩模100的表面到拉伸輔助部件50的表面的距離，能夠在蒸鍍掩模100和拉伸輔助部件50間接地相接的固定部位以外的部位抑制拉伸輔助部件50與蒸鍍掩模100的表面直接相接的情況。例如，在蒸鍍掩模的一面的中央附近，以上述(i)的固定方式將拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模100固定的情況下，拉伸該拉伸輔助部件50時(shí)，在拉伸輔助部件5 O和蒸鍍掩模被固定的區(qū)域以外的區(qū)域、SP在中央部附近以外的區(qū)域，蒸鍍掩模的表面和拉伸輔助部件50也相接，由于拉伸輔助部件50的材質(zhì)等不同，有使蒸鍍掩模的表面受損的情況。具體地，在固定于拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模的面為樹脂掩模20側(cè)的面，由比樹脂掩模的材料硬的金屬材料等構(gòu)成的拉伸輔助部件50在固定部位以外的區(qū)域與樹脂掩模的表面相接的情況下，對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)，有該拉伸輔助部件50使固定部位以外的樹脂掩模表面損傷的情況。
[0112]同樣，在多個(gè)蒸鍍掩模在寬度方向上排列多個(gè)而配置的情況下，通過對(duì)直接地固定于多個(gè)蒸鍍掩模中的一個(gè)蒸鍍掩模的一面的拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸，在將固定于該拉伸輔助部件的一個(gè)蒸鍍掩模向該蒸鍍掩模的寬度方向拉伸時(shí)，拉伸輔助部件50也與一個(gè)蒸鍍掩模在寬度方向上鄰接的其它蒸鍍掩模的一面的表面相接。由于拉伸輔助部件50的材質(zhì)等不同，被固定于一個(gè)蒸鍍掩模的拉伸輔助部件50與其它蒸鍍掩模的表面相接的情況下，會(huì)有損傷其它蒸鍍掩模的表面的情況。因此，在以上述(i)的固定方式進(jìn)行固定的情況下，優(yōu)選使用不損傷蒸鍍掩模的表面的材料，例如使用由樹脂等材料構(gòu)成的拉伸輔助部件50。在使用由樹脂等材料構(gòu)成的拉伸輔助部件50的情況下，即使被固定于一個(gè)蒸鍍掩模的拉伸輔助部件50與其它蒸鍍掩模的表面相接，也不產(chǎn)生特別的問題。
[0113]另外，作為拉伸輔助部件50，在使用由樹脂等材料構(gòu)成的拉伸輔助部件50的情況下，對(duì)該拉伸輔助部件50賦予滑性，即使被固定在一個(gè)蒸鍍掩模的拉伸輔助部件50與其它蒸鍍掩模的表面相接的情況下，也不損傷其它蒸鍍掩模的表面，能夠容易地拉伸被固定在一個(gè)蒸鍍掩模的一面上的拉伸輔助部件50。作為優(yōu)選方式的一例，使用以上述(ii)的固定方式將拉伸輔助部件50固定在蒸鍍掩模100上，作為拉伸輔助部件50，使用伸長(zhǎng)率小的材料，例如由金屬材料構(gòu)成的拉伸輔助部件50。根據(jù)該方式，拉伸輔助部件50能夠抑制與蒸鍍掩模100的表面相接的情況，并且抑制在對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)，拉伸輔助部件50自身伸長(zhǎng)的情況，能夠精度更佳地拉伸被固定于拉伸輔助部件的蒸鍍掩模。另外，即使在形成為(i)的固定方式的情況下，如后述地，通過將拉伸輔助部件50彎折(參照?qǐng)D19(e)、(g))，也能夠抑制拉伸輔助部件50與蒸鍍掩模100的表面相接的情況。
[0114]以上，以(i)的固定方式或(ii)的固定方式為例列舉，對(duì)拉伸輔助部件50的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了說明，通過由拉伸輔助部件主體部50A和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B構(gòu)成拉伸輔助部件50，也能夠抑制在對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)產(chǎn)生的各種問題。
[0115]拉伸輔助部件主體部50A為與蒸鍍掩模100的表面相接，在該拉伸輔助部件主體部50A和蒸鍍掩模100的表面重合的至少一部分被固定在蒸鍍掩模100的拉伸輔助部件，拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B為與拉伸輔助部件主體部50A連結(jié)，不被固定于蒸鍍掩模100的表面的拉伸輔助部件。
[0116]作為一例的拉伸輔助部件50由拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B不易損傷蒸鍍掩模的表面的材料，例如樹脂等材料構(gòu)成。圖19(a)、(f)為表示在拉伸輔助部件主體部50A和蒸鍍掩模100的表面重合的至少一部分，將由拉伸輔助部件主體部50A和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B構(gòu)成的拉伸輔助部件50、和一個(gè)蒸鍍掩模100固定的狀態(tài)的一例的概略剖面圖。在圖19(a)、(f)所示的方式中，在一個(gè)蒸鍍掩模100的寬度方向上設(shè)有與該一個(gè)蒸鍍掩模100相鄰的其它蒸鍍掩模100A，拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B與其它蒸鍍掩模100A的表面相接。在圖示的方式中，拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B與驅(qū)動(dòng)單元55連接，通過使驅(qū)動(dòng)單元55動(dòng)作，對(duì)固定于拉伸輔助部件50的一個(gè)蒸鍍掩模100進(jìn)行拉伸。在形成為圖19(a)、(f)所示的方式的情況下，作為拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B，優(yōu)選形成為由不易損傷蒸鍍掩模的表面的材料構(gòu)成的拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B。通過使用這樣的拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B，在對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)，在該拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B和其它蒸鍍掩模100A的表面相接的情況下，也能夠抑制其它蒸鍍掩模100A的表面受損。
[0117]圖19(b)?(d)是表示在拉伸輔助部件主體部50A和蒸鍍掩模100的表面重合的至少一部分，將由拉伸輔助部件主體部50A和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B構(gòu)成的拉伸輔助部件50、和一個(gè)蒸鍍掩模100固定的狀態(tài)之一例的概略剖面圖。與圖19(a)、(f)同樣地，在一個(gè)蒸鍍掩模100的寬度方向上設(shè)有與該一個(gè)蒸鍍掩模100鄰接的其他的蒸鍍掩模100A。在圖19
(b)所示的方式中，與一個(gè)蒸鍍掩模100鄰接的其它蒸鍍掩模100A的表面和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B不相接。另外，在圖19(c)、(d)所示的方式中，由拉伸輔助部件主體部50A和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B構(gòu)成的拉伸輔助部件50整體的截面形狀呈階梯狀，與一個(gè)蒸鍍掩模100鄰接的其它蒸鍍掩模100A的表面和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B不相接。因此，根據(jù)圖19(b)?(d)所示的方式，不管拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的材料如何，都能夠抑制其它蒸鍍掩模100A的表面的損傷。在形成為其它蒸鍍掩模10A的表面和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B不相接的方式的情況下，作為拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B，優(yōu)選使用伸長(zhǎng)率小的材料，例如金屬材料等。通過形成為由金屬材料等構(gòu)成的拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B，能夠抑制對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)的拉伸輔助部件50自身的伸長(zhǎng)，并且能夠精度更高地拉伸蒸鍍掩模。
[0118]在圖19(f)所示的方式中，將拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的剖面形狀設(shè)為階梯狀，縮小拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B和鄰接的其它蒸鍍掩模100A的表面相接的面積。根據(jù)該方式，不管拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的材料如何，都能夠抑制其它蒸鍍掩模100A的表面的損傷。另夕卜，通過拉伸輔助部件50和其它蒸鍍掩模100A的相接，也能夠抑制其它蒸鍍掩模100A的位置變動(dòng)。
[0119]作為形成為圖19(c)、(d)、(f)的方式時(shí)的拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的材料，能夠使用可彎折，可維持該彎折的形狀的材料，例如金屬薄板等。作為具體例，能夠舉出板簧或支架等。
[0120]在圖19(a)?(d)、(f)中，將拉伸輔助部件主體部50A和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的厚度設(shè)為大致相同的厚度，但也可以為不同的厚度。另外，拉伸輔助部件主體部50A的寬度既可以大于拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的寬度，也可以小于拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的寬度，還可以與拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的寬度相同(在圖示的方式中為相同寬度)。另外，拉伸輔助部件主體部50A和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B的形狀也可以為不同的形狀。例如，在圖19(a)所示的方式中，通過將拉伸輔助部件主體部50A形成為薄片狀，將拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B形成為圓柱狀，從而能夠邊增大一個(gè)蒸鍍掩模和拉伸輔助部件主體部50A相接的面積而提高固定強(qiáng)度，邊縮小與一個(gè)蒸鍍掩模100鄰接的其它蒸鍍掩模100A和拉伸輔助部件延長(zhǎng)部50B相接的面積，并且能夠縮小拉伸輔助部件50對(duì)與一個(gè)蒸鍍掩模100鄰接的其它蒸鍍掩模100A的影響。拉伸輔助部件主體部50A和蒸鍍掩模100既可以直接地固定，也可以間接地固定。
[0121]另外，如圖19(e)、(g)所示，以剖面形狀成為階梯狀的方式將拉伸輔助部件50彎折，也能夠使與一個(gè)蒸鍍掩模100鄰接的其它蒸鍍掩模100A的表面和拉伸輔助部件50不相接，或縮小相接的面積。圖19(e)、(g)所示的拉伸輔助部件50為將一個(gè)拉伸輔助部件彎折的方式。
[0122]在圖19中，對(duì)將多個(gè)蒸鍍掩模在該蒸鍍掩模的寬度方向上配置多個(gè)時(shí)的一個(gè)蒸鍍掩模100和與該一個(gè)蒸鍍掩模100鄰接的其它蒸鍍掩模100A以及拉伸輔助部件50的關(guān)系進(jìn)行了說明，但在一個(gè)蒸鍍掩模的中央部附近，在與該一個(gè)蒸鍍掩模的表面相接的部分的至少一部分固定拉伸輔助部件50的情況下，也能夠適當(dāng)選擇使用在圖19中說明的各種方式。使用圖19說明的方式為從拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模100固定的位置到驅(qū)動(dòng)單元55的距離長(zhǎng)，即，拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模的表面相接的面積變大時(shí)的有效方式。另外，從拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模100固定的位置到驅(qū)動(dòng)單元55的距離短，S卩，蒸鍍掩模的表面和拉伸輔助部件相接的面積小的情況下，不適用以上說明的優(yōu)選方式，只要將拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模100在該拉伸輔助部件和蒸鍍掩模的一面重合的部分的至少一部分固定而拉伸該輔助部件50即可。
[0123]對(duì)蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50的固定位置并未作任何限定，能夠在任意位置進(jìn)行固定。特別是，本發(fā)明與把持蒸鍍掩模的端部的把持單元不同，能夠在拉伸輔助部件和蒸鍍掩模重合的任意位置進(jìn)行固定，即使在蒸鍍掩模表面的任一位置，也能夠?qū)⒄翦冄谀?00和拉伸輔助部件50固定。另外，通過適當(dāng)設(shè)定拉伸輔助部件的材料或粘接劑等的涂敷面積等，也能夠自由地設(shè)定拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模被固定的部分的面積等。對(duì)固定位置，在后述的第一拉伸工序中列舉具體例子詳細(xì)說明。
[0? 24]另外，在后述的框架固定工序中，蒸鍍掩模在拉伸的狀態(tài)下被固定在框架60上，故而拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模的一面的固定在不妨礙蒸鍍掩模向框架的固定的位置進(jìn)行為好。作為在不妨礙框架和蒸鍍掩模的固定的位置進(jìn)行固定的方式，能夠舉出避開蒸鍍掩模和框架固定的預(yù)定位置，在蒸鍍掩模的一面上固定拉伸輔助部件50的方式，使用不吸收激光的拉伸輔助部件50的方式。
[0125]作為前者的方式，能夠舉出圖9(a)?(e)所示的方式等。在圖9(a)、(b)中，在與框架的固定預(yù)定位置的外側(cè)，將蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50固定，在圖9(c)?(e)中，將對(duì)應(yīng)于與框架的固定預(yù)定位置的拉伸輔助部件50的一部分去除。拉伸輔助部件50的去除既可以如圖9(c)、(d)所示地對(duì)拉伸輔助部件50切口而進(jìn)行，也可以如圖9 (e)所示地將拉伸輔助部件挖空而進(jìn)行。用于將拉伸輔助部件50的一部分除去的切口形狀，或挖空形狀并不限于圖示的方式，可以為任意的形狀。例如，在圖9(e)中，雖然將拉伸輔助部件挖空成圓狀，但也可以以多邊形或除此之外的形狀挖空。對(duì)切口形狀也同樣。另外，雖未作圖示，在利用多個(gè)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸的情況下，也能夠采取避開與框架的固定預(yù)定位置而在蒸鍍掩模的一面上固定拉伸輔助部件50的方式。
[0126]—般而言，框架與蒸鍍掩模的固定使用采用激光的焊接固定法。因此，即使如后者的方式那樣，通過使用由透明性材料形成的拉伸輔助部件50，S卩，不吸收激光的拉伸輔助部件50，在與蒸鍍掩模和框架被固定的預(yù)定位置重合的部分設(shè)有拉伸輔助部件的情況下，也能夠經(jīng)由該拉伸輔助部件50而照射激光，固定蒸鍍掩模和框架。另外，在該方式中，由于使用由透明性材料形成的拉伸輔助部件50，故而不妨礙蒸鍍掩模和框架被固定的預(yù)定位置的辨識(shí)性，能夠一邊觀察與框架的固定預(yù)定位置一邊將蒸鍍掩模和框架固定，在該方面為優(yōu)選的方式。
[0127]對(duì)蒸鍍掩模100和拉伸輔助部件50的固定強(qiáng)度并不作特別限定，在后述的第一拉伸工序中，只要根據(jù)對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)的張力等而適當(dāng)設(shè)定即可。具體地，只要通過對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)的張力，以拉伸輔助部件50不從蒸鍍掩模100脫離的程度的強(qiáng)度被固定即可。
[0128](第一拉伸工序)
[0129]第一拉伸工序?yàn)樵谏鲜隼燧o助部件固定工序中，通過對(duì)在與蒸鍍掩模100的表面重合的部分的至少一部分被固定的拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件50上的蒸鍍掩模100進(jìn)行拉伸的工序。關(guān)于對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸的方向并無限定，可以向蒸鍍掩模100的長(zhǎng)度方向(例如圖1中所示的橫向)、寬度方向(例如圖1中所示的縱向)或者除此之外的方向，例如傾斜方向等的任一方向拉伸。特別是，在本發(fā)明中，能夠在該蒸鍍掩模的一面的任意位置將拉伸輔助部件50和蒸鍍掩模固定，相對(duì)于在使用目前的把持蒸鍍掩模的端部的夾具等的拉伸單元中較難的蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向、寬度方向以外的方向，也能夠容易地拉伸。另外，本申請(qǐng)說明書中所稱的“拉伸蒸鍍掩?！笔侵咐毂还潭ㄔ谡翦冄谀Ｉ系睦燧o助部件50，在使固定于該拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模100伸長(zhǎng)的方向上施加外力(張力)。換言之，“拉伸蒸鍍掩?！笔侵?，利用拉伸輔助部件50而對(duì)使固定于該拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模100伸長(zhǎng)的方向施加外力(張力)。在此所稱的使蒸鍍掩模伸長(zhǎng)的方向不僅是使設(shè)置在蒸鍍掩模的樹脂掩模上的開口部25伸長(zhǎng)的方向，也包含使設(shè)置在蒸鍍掩模的樹脂掩模的開口部25收小的方向。例如，在圖8 (a )、( b)所示的方式中，通過將各自的拉伸輔助部件50向蒸鍍掩模100的外側(cè)拉伸，設(shè)置在蒸鍍掩模100的樹脂掩模的一畫面內(nèi)的開口部(未圖示)分別在寬度方向上伸長(zhǎng)。另外，在圖8(c)所示的方式中，通過將各自的拉伸輔助部件50向蒸鍍掩模的外側(cè)拉伸，設(shè)置在蒸鍍掩模100的樹脂掩模的一畫面內(nèi)的開口部(未圖示)在寬度方向上縮收。另外，如前所述，由于不僅能夠在伸長(zhǎng)方向上調(diào)整，在縮收方向上也能夠調(diào)整，故而在保持被拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模整體或一畫面或者開口部的尺寸的狀態(tài)下也能夠進(jìn)行位置調(diào)整。另外，對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸，使開口部25的尺寸自身幾乎不變化，也能夠進(jìn)行開口部25的位置調(diào)整，消除在樹脂掩模20產(chǎn)生的變形或撓曲等。
[0130]若能夠進(jìn)行蒸鍍掩模的對(duì)位，則蒸鍍掩模100的面和對(duì)拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸的方向的軸構(gòu)成的角度不作特別指定，但在優(yōu)選方式的第一拉伸工序中，以蒸鍍掩模100的面和對(duì)拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸的方向的軸構(gòu)成的角度為0° ±89°，優(yōu)選為0° ±45°，更好為O?！?0°的范圖內(nèi)的方式對(duì)固定在蒸鍍掩模的拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸。根據(jù)該方式，能夠抑制在對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)，在固定于拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模100發(fā)生變形、燒曲等的情況。即，能夠抑制在第一拉伸工序后的蒸鍍掩模產(chǎn)生變形或撓曲等的情況。另外，在此所稱的蒸鍍掩模的面是指俯視觀察蒸鍍掩模100時(shí)，與和拉伸輔助部件50重合的區(qū)域?qū)?yīng)的蒸鍍掩模的面。
[0131]另外，如圖8(b)等所示，在蒸鍍掩模100的面上固定多個(gè)拉伸輔助部件50，且對(duì)多個(gè)拉伸輔助部件50分別進(jìn)行拉伸的情況下，蒸鍍掩模100的面和對(duì)拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸的方向的軸構(gòu)成的角度在0° ±89°，優(yōu)選為0° ±45°，更好為0° ±10°的范圍內(nèi)，且相對(duì)于基準(zhǔn)角度在±10°，優(yōu)選為±5°的范圍內(nèi)對(duì)各自的拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸為好。另外，在此所稱的基準(zhǔn)角度為任意的角度，例如將基準(zhǔn)角度設(shè)為30°時(shí)，以對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸的方向的軸和蒸鍍掩模的面構(gòu)成的角度成為30° ±10°，特別是30° ±5°的方式對(duì)各自的拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸為好。這樣，以將各自的拉伸輔助部件50相對(duì)于基準(zhǔn)角度為±10°，優(yōu)選為±5°的方式以上述優(yōu)選范圍內(nèi)的角度進(jìn)行拉伸，從而能夠在抑制了蒸鍍掩模50的變形或撓曲等的發(fā)生的狀態(tài)下拉伸蒸鍍掩模100。另外，在不考慮對(duì)拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸時(shí)的角度，以隨機(jī)的角度對(duì)多個(gè)拉伸輔助部件50分別進(jìn)行拉伸時(shí)，具有在被拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模容易產(chǎn)生變形或撓曲等的傾向。另外，在進(jìn)行第一拉伸工序前的階段，于被固定于拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模產(chǎn)生變形或撓曲等的情況下，考慮該些變形或撓曲而將拉伸各個(gè)拉伸輔助部件50拉伸的角度調(diào)整成上述優(yōu)選的范圍為好。
[0132]接著，舉出具體的例子，邊敘述蒸鍍掩模100和拉伸輔助部件50的固定位置，邊對(duì)第一拉伸工序進(jìn)行說明。
[0133]圖10是表不一實(shí)施方式的第一拉伸工序的正面圖，在圖10(a)中，在蒸鍍掩模的一面上，在該蒸鍍掩模的相對(duì)的兩邊(圖示的方式中為寬度方向的邊)的附近，將拉伸輔助部件一個(gè)一個(gè)地固定并將固定的拉伸輔助部件50分別向蒸鍍掩模的外側(cè)(圖中的箭頭標(biāo)記方向)拉伸，從而對(duì)固定于該拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸。圖10(b)中，在蒸鍍掩模的一面上，在該蒸鍍掩模的相對(duì)的兩邊(圖示的方式中為長(zhǎng)度方向的邊)的附近，將拉伸輔助部件50—個(gè)一個(gè)地固定并將固定的拉伸輔助部件50向蒸鍍掩模的外側(cè)(圖中的箭頭標(biāo)記方向)拉伸，從而對(duì)固定于該拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸。圖10(c)為將圖10(a)、(b)組合的方式。圖10(a)?(c)為利用拉伸輔助部件50來代替目前公知的夾具等，對(duì)固定于該拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模100進(jìn)行拉伸的方式。
[0134]另外，也可以代替圖10所示的方式，如圖11所示地，在蒸鍍掩模的一面上的端部附近固定多個(gè)拉伸輔助部件50并利用拉伸輔助部件50對(duì)固定于該拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模100進(jìn)行拉伸。根據(jù)圖11所示的方式，由于在蒸鍍掩模的一面上的端部附近固定有多個(gè)拉伸輔助部件50，能夠以更高的精度拉伸蒸鍍掩模。例如，在圖11 (a )、( c)所示的方式中，在蒸鍍掩模100的寬度方向(附圖中的上下方向)上，在與一畫面重合的位置及不與一畫面重合的位置的雙方固定有拉伸輔助部件50，通過適當(dāng)設(shè)定拉伸各個(gè)拉伸輔助部件時(shí)的張力值或拉伸量，能夠精度更好地拉伸蒸鍍掩模。另外，圖11(a)中，在蒸鍍掩模的一面上，在該蒸鍍掩模的相對(duì)的兩邊(在圖示的方式中為寬度方向的邊)的端部附近固定多個(gè)拉伸輔助部件50并將各拉伸輔助部件50向蒸鍍掩模的外側(cè)(圖中的箭頭標(biāo)記方向)拉伸，從而拉伸蒸鍍掩模。在圖11(b)中，在蒸鍍掩模的一面上，在該蒸鍍掩模的相對(duì)的兩邊(在圖示的方式中為長(zhǎng)度方向的邊)的端部附近，通過固定多個(gè)拉伸輔助部件50并將各拉伸輔助部件向圖中的箭頭標(biāo)記方向拉伸，從而拉伸蒸鍍掩模。圖11(c)為將圖11(a)、(b)組合的方式。另外，也能夠適當(dāng)組合圖10、圖11所示的方式。圖20(a)、(b)為圖11(a)的變形方式，在圖20(a)中，在蒸鍍掩模100的寬度方向(附圖中的上下方向)上，在與一畫面重合的位置固定有拉伸輔助部件50，在圖20(b)中，在蒸鍍掩模100的寬度方向(附圖中的上下方向)上，在不與一畫面重合的位置固定有拉伸輔助部件50。圖20所示的變形方式也能夠形成為各圖所示的方式，例如與圖11(c)所示的方式組合的方式。另外，圖11(a)、(c)所示的方式在能夠高精度地消除在構(gòu)成一畫面的開口部25產(chǎn)生的形狀、尺寸變動(dòng)方面是優(yōu)選的。
[0135]在圖10、圖11所示的方式中，在蒸鍍掩模100的一面上，在該蒸鍍掩模相對(duì)的兩邊的端部附近分別固定有拉伸輔助部件50，但也可以在蒸鍍掩模100的一面上，僅在該蒸鍍掩模相對(duì)的兩邊中的一邊的端部附近固定拉伸輔助部件，并拉伸蒸鍍掩模。即，也可以將相對(duì)的兩邊中的一邊設(shè)為固定端，在另外一邊的端部附近固定拉伸輔助部件50并拉伸該拉伸輔助部件。另外，也可以利用目前公知的夾具等把持單元把持相對(duì)的兩邊中的一邊，將拉伸輔助部件50固定在另外一邊的端部附近的蒸鍍掩模的一面上。
[0136]使用拉伸輔助部件50的第一拉伸工序也可以與夾具等把持單元組合而進(jìn)行。圖12(a)是表示利用夾具等把持單元80保持蒸鍍掩模100的相對(duì)的兩邊的端部(在圖示的方式中為長(zhǎng)度方向的端部)，使與該把持單元連結(jié)的驅(qū)動(dòng)單元?jiǎng)幼鞫鴮⒄翦冄谀Ｏ虻谝环较?在圖示的方式中為蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向)拉伸的狀態(tài)的正面圖。作為與把持單元連結(jié)的驅(qū)動(dòng)單元，能夠舉出電動(dòng)機(jī)、氣缸、電動(dòng)促動(dòng)器等。另外，如圖12(a)所示，在將蒸鍍掩模100僅向第一方向(在圖示的方式中為蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向)的情況下，由于蒸鍍掩模的收縮等，會(huì)在蒸鍍掩模上產(chǎn)生變形等，設(shè)置在蒸鍍掩模的樹脂掩模20的開口部的尺寸或形狀發(fā)生變動(dòng)。另外，圖12(a)表示由于將蒸鍍掩模100向第一方向(在圖示的方式中為蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向)拉伸時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍掩模的收縮等，使得配置在一畫面內(nèi)的開口部(未圖示)的形狀、尺寸發(fā)生變動(dòng)的狀態(tài)，圖示方式中，為了示意地表示尺寸發(fā)生變動(dòng)的情形，記載為一畫面的形狀產(chǎn)生變形的形狀。另外，在圖12(c)中成為矩形的一畫面的區(qū)域?yàn)榻?jīng)由第一拉伸工序?qū)⑴渲迷谠撘划嬅鎯?nèi)的開口部的形狀或尺寸的變動(dòng)消除的意思。
[0137]為了消除將蒸鍍掩模100向第一方向(在圖示的方式中為蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向)拉伸時(shí)產(chǎn)生的開口部的形狀或尺寸的變動(dòng)，在第一拉伸工序中，如圖12(b)所示，在使用把持單元等將蒸鍍掩模向第一方向拉伸之后，將固定于蒸鍍掩模100的一面的拉伸輔助部件50向與該第一方向不同的第二方向(在圖示的方式中為蒸鍍掩模的寬度方向)拉伸，如圖12
(c)所示，將由于向第一方向拉伸而產(chǎn)生的開口部的形狀或尺寸的變動(dòng)消除。使用拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模的拉伸如上所述地，既可以使用把持單元將蒸鍍掩模向第一方向拉伸后進(jìn)行，也可以使用把持單元將蒸鍍掩模向第一方向拉伸的同時(shí)進(jìn)行。對(duì)在此所稱的第一方向沒有特別限定，但在使用目前公知的把持單元等拉伸蒸鍍掩模的情況下，第一方向通常為蒸鍍掩模100的長(zhǎng)度方向或?qū)挾确较?。另外，第一方向也可以為任意的方向。即，一?shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法可以包含于在進(jìn)行第一拉伸工序之前或與第一拉伸工序同時(shí)地，使用目前公知的把持單元等預(yù)先拉伸蒸鍍掩模的第二拉伸工序。
[0138]另外，也可以不使用夾具等把持單元，僅使用拉伸輔助部件50進(jìn)行上述第一方向的拉伸及第二方向的拉伸(參照?qǐng)D11(c))。另外，既可以同時(shí)地進(jìn)行使用拉伸輔助部件50向第一方向的拉伸及向第二方向的拉伸，也可以在進(jìn)行了使用拉伸輔助部件50的向第一方向的拉伸之后，進(jìn)行使用拉伸輔助部件50的向第二方向的拉伸。
[0139]圖15、圖16為表示本發(fā)明一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模之一例的正面圖。圖15所示的帶框架的蒸鍍掩模200在框架60上固定一個(gè)蒸鍍掩模100而構(gòu)成。圖16所示的方式的帶框架的蒸鍍掩模200為在框架60上，在長(zhǎng)度方向或?qū)挾确较蛏吓帕泄潭?在圖示的方式中，在寬度方向上排列固定)多個(gè)蒸鍍掩模(在圖示的方式中為四個(gè)蒸鍍掩模)而構(gòu)成。
[0140]圖15所示的帶框架的蒸鍍掩模僅將一個(gè)蒸鍍掩模固定在框架上，故而如圖13(a)所示地，能夠由把持單元容易地把持蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向端部或?qū)挾确较蚨瞬?，容易相?duì)于長(zhǎng)度方向及寬度方向的雙方向拉伸蒸鍍掩模。另外，在圖13(a)中，在蒸鍍掩模的一部分的區(qū)域(在圖中的標(biāo)記A所示的一畫面內(nèi))，位于該一部分區(qū)域內(nèi)的全部，或是一部分開口部的形狀或尺寸發(fā)生變動(dòng)，為了消除該開口部的形狀或尺寸的變動(dòng)，在圖13(b)中，在蒸鍍掩模100的一面上，在產(chǎn)生該開口部的變動(dòng)的區(qū)域附近(在圖示的方式中，在標(biāo)記A所示的一畫面和與該標(biāo)記A所示的一畫面鄰接的其它一畫面之間)固定拉伸輔助部件50并對(duì)該拉伸輔助部件50進(jìn)行拉伸，由此將固定于該拉伸輔助部件50的蒸鍍掩模拉伸，消除上述的開口部的變動(dòng)。圖13(a)為在第一拉伸工序之前，使用把持單元拉伸蒸鍍掩模的第二拉伸工序時(shí)的蒸鍍掩模之一例的正面圖。圖13(b)為表示在第二拉伸工序之后，進(jìn)行拉伸輔助部件固定工序的狀態(tài)之一例的蒸鍍掩模的正面圖。圖13(c)為表示通過第一拉伸工序消除開口部的變動(dòng)的蒸鍍掩模之一例的正面圖。
[0141]在圖13(b)所示的方式中，在蒸鍍掩模100的一面上，在一畫面間和拉伸輔助部件50重合的部分的全部或者一部分，將蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50固定，但也能夠在蒸鍍掩模100的一面上，在構(gòu)成一畫面的區(qū)域和拉伸輔助部件50重合的部分的全部或一部分，將蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50固定(未圖示)。即，也能夠在一畫面內(nèi)將蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50固定。具體地，在圖2?圖7等所示的蒸鍍掩模100中，在樹脂掩模20側(cè)的面上，也能夠在設(shè)于一畫面內(nèi)的多個(gè)開口部25中鄰接的開口部25間和拉伸輔助部件50重合的部分的全部或一部分，將蒸鍍掩模100的一面和拉伸輔助部件50固定。該情況下，對(duì)在一畫面內(nèi)設(shè)置的開口部25的附近進(jìn)行拉伸，能夠個(gè)別地消除在該開口部25產(chǎn)生的形狀或尺寸的變動(dòng)。即，將蒸鍍掩模的一面和拉伸輔助部件固定的固定位置能夠根據(jù)拉伸蒸鍍掩模整體的方式、拉伸一畫面整體的方式、將設(shè)于一畫面內(nèi)的多個(gè)開口部一同拉伸的方式，或者個(gè)別地拉伸設(shè)置在一畫面內(nèi)的開口部25的方式等而適當(dāng)設(shè)定，對(duì)其固定位置不作任何限定。
[0142]另一方面，如圖16所不，形成為在框架60將多個(gè)蒸鍍掩模在該蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向或?qū)挾确较蛏吓帕胁⒐潭ǘ鴺?gòu)成的(在圖示的方式中，在蒸鍍掩模的寬度方向上排列固定)的帶框架的蒸鍍掩模(以下也稱為帶框架的多面蒸鍍掩模的情形)的情況下，雖然對(duì)蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向或?qū)挾确较虻亩瞬?在圖示的方式中為蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向的端部)，能夠通過把持單元容易地把持，但由于與一個(gè)蒸鍍掩模鄰接的蒸鍍掩模的存在，難以由把持單元把持位于該鄰接的方向上的端部(在圖示的方式中為蒸鍍掩模的寬度方向的端部)。即，難易使用把持單元將蒸鍍掩模向長(zhǎng)度方向及寬度方向雙方拉伸而得到帶框架的多面蒸鍍掩模。
[0143]本發(fā)明一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法如上述說明地，在蒸鍍掩模的一面重合拉伸輔助部件50，在該蒸鍍掩模的一面和拉伸輔助部件50重合的部分的至少一部分，將拉伸輔助部件50固定在蒸鍍掩模的一面，利用拉伸輔助部件50，S卩，通過拉伸該被固定的拉伸輔助部件50，拉伸固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模。因此，如圖14所示地，即使在一個(gè)蒸鍍掩模100和與該一個(gè)蒸鍍掩模鄰接的其它蒸鍍掩模100A之間無間隙，或者間隙小的情況下，也能夠?qū)⒐潭ㄔ谠撘粋€(gè)蒸鍍掩模的一面而構(gòu)成的拉伸輔助部件50也向相鄰的蒸鍍掩模方向側(cè)拉伸，在形成帶框架的多面蒸鍍掩模時(shí)，也能夠進(jìn)行蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向及寬度方向的雙軸拉伸。換言之，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的制造方法，在形成為帶框架的多面蒸鍍掩模時(shí)，能夠盡量縮小鄰接的蒸鍍掩模的間隔。另外，在圖示的方式中，為了便于說明，將蒸鍍掩模100以外的蒸鍍掩模在圖中的標(biāo)記Y的部位固定在框架上而進(jìn)行記載。另外，在圖14(a)中，在第一拉伸工序之前進(jìn)行使用把持單元將蒸鍍掩模100向第一方向(在圖示的方式中為蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向)拉伸的第二拉伸工序，雖然由于第二拉伸工序在構(gòu)成蒸鍍掩模100的一畫面的開口部產(chǎn)生形狀或尺寸的變動(dòng)，但通過第一拉伸工序?qū)⒗燧o助部件50向第二方向(在圖示的方式中，為相鄰的蒸鍍掩模方向側(cè)(蒸鍍掩模的寬度方向)拉伸，從而如圖14(b)所示地，消除在開口部產(chǎn)生的形狀或尺寸的變動(dòng)。另外，相鄰的蒸鍍掩模方向并不限定于與上述第一方向正交的方向，也可以相對(duì)于該正交方向的軸具有一定程度的角度，例如0° ±45。、0?！?0。、0?！?°作用的角度。
[0144](框架固定工序)
[0145]框架固定工序在如圖15、圖16所示地形成有貫通孔的框架60上以相對(duì)的方式使該框架60的框架部分和在上述第一拉伸工序中被拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模的金屬掩模10重合，將在上述第一拉伸工序中被拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模100固定在框架60上?？蚣?0和蒸鍍掩模100的固定對(duì)框架60和蒸鍍掩模的金屬部分相接的位置進(jìn)行，對(duì)其位置并不作特別限定。圖15是從樹脂掩模側(cè)看到的在框架60上固定有一個(gè)蒸鍍掩模的帶框架的蒸鍍掩模的正面圖。圖16是從樹脂掩模側(cè)看到的在框架60上沿長(zhǎng)度方向或?qū)挾确较蚺帕泄潭?在圖示的方式中在寬度方向上排列固定)多個(gè)蒸鍍掩模100的帶框架的多面蒸鍍掩模200的正面圖。
[0146](框架)
[0147]框架60為大致矩形的框部件，具有用于使設(shè)置在最終被固定的蒸鍍掩模100的樹脂掩模20的開口部25在蒸鍍?cè)磦?cè)露出的貫通孔。對(duì)框架的材料并無特別限定，但能夠使用剛性大的金屬材料，例如SUS、因瓦合金材料、陶瓷材料等。其中，金屬框架容易與蒸鍍掩模的金屬掩模熔接，變形等的影響小，優(yōu)選之。對(duì)以下的加強(qiáng)框架65的材料也同樣。
[0148]框架的厚度并不作特別限定，從剛性等方面來看，以1mm?30mm左右為好。框架的開口的內(nèi)周端面和框架的外周端面間的寬度若為能夠固定該框架和蒸鍍掩模的金屬掩模的寬度，則不作特別限定，例如能夠示例1mm?200mm左右的寬度。
[0149]另外，如圖17(a)?(C)所示，在不妨礙構(gòu)成蒸鍍掩模100的樹脂掩模20的開口部25露出的范圍，也可以使用在貫通孔的區(qū)域設(shè)有加強(qiáng)框架65等的框架60。通過設(shè)置加強(qiáng)框架65，能夠利用該加強(qiáng)框架65固定框架60和蒸鍍掩模100?？蚣?0和加強(qiáng)框架既可以為相同材料，也可以為不同的材料。
[0150]以下，對(duì)利用加強(qiáng)框架65的固定方法之一例進(jìn)行說明。
[0151]例如，在經(jīng)上述說明的第一拉伸工序而形成圖16所示的方式的帶框架的蒸鍍掩模的情況下，在同時(shí)進(jìn)行第一方向及第二方向的拉伸之后，需要將該被拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模固定。這是因?yàn)?，在進(jìn)行向第一方向(例如，蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向)的拉伸之后，進(jìn)行向與該第一方向不同的第二方向(例如，蒸鍍掩模的寬度方向)的拉伸之前，在框架60上固定有已進(jìn)行了向該第一方向的拉伸的蒸鍍掩模的情況下，在該階段，框架60和蒸鍍掩模100被完全固定，之后，為了消除由于向第一方向的拉伸而產(chǎn)生的開口部的形狀，或尺寸的變動(dòng)，即使進(jìn)行向與該第一方向不同的第二方向的拉伸，也可以維持向第二方向的拉伸的狀態(tài)，不能夠?qū)⒄翦冄谀?00固定在框架60上。
[0152]另一方面，在使用設(shè)有加強(qiáng)框架65的框架60的情況下，在將蒸鍍掩模向第一方向(例如，蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向)拉伸，將進(jìn)行了向第一方面的拉伸的蒸鍍掩模100固定在框架60的主體部之后，也能夠使用該加強(qiáng)框架65再次將框架60和蒸鍍掩模100固定(參照?qǐng)D18)。具體地，對(duì)多個(gè)蒸鍍掩模的一部分或全部，使用特定的方法進(jìn)行向第一方向的拉伸，在將蒸鍍掩模100固定在框架60的主體部之后，通過以上說明的第一拉伸工序相對(duì)于與該第一方向不同的第二方向進(jìn)行了拉伸之后，也能夠使用加強(qiáng)框架65將通過該第一拉伸工序進(jìn)行了拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模固定。即，通過使用具有加強(qiáng)框架的框架，一旦得到了在框架60的主體部固定蒸鍍掩模而構(gòu)成的帶框架的蒸鍍掩模之后，將拉伸輔助部件50固定在開口部的形狀或尺寸發(fā)生了變動(dòng)的區(qū)域的附近，拉伸該拉伸輔助部件50，從而能夠使用加強(qiáng)框架65將進(jìn)行了拉伸的蒸鍍掩模固定。換言之，能夠使用加強(qiáng)框架65將開口部的形狀或尺寸的變動(dòng)消除的蒸鍍掩模固定。在該方法中，也能夠?qū)⑸鲜隼燧o助部件固定工序或第一拉伸工序作為對(duì)在得到帶框架的蒸鍍掩模之后產(chǎn)生的開口部的變動(dòng)進(jìn)行微調(diào)整的方法而適用。開口部的變動(dòng)的微調(diào)整既可以通過將開口部25向伸長(zhǎng)的方向拉伸而進(jìn)行，也可以通過將開口部25向縮收的方向拉伸而進(jìn)行。另外，在此所稱的框架的主體部是指與加強(qiáng)框架65不同的部分、即外框。
[0153]以上，在將蒸鍍掩模100向第一方向拉伸的狀態(tài)下將該蒸鍍掩模100固定在框架60的主體部，然后使用以上說明的第一拉伸工序?qū)⒈还潭ǖ恼翦冄谀＿M(jìn)一步向與第一方向不同的第二方向拉伸，將蒸鍍掩模100固定在框架60的加強(qiáng)框架65上，但也可以代替該方式，首先使用以上說明的第一拉伸工序拉伸蒸鍍掩模，將蒸鍍掩模100固定在框架60的加強(qiáng)框架65上，然后將固定在加強(qiáng)框架65上的蒸鍍掩模向與先前拉伸的方向不同的方向拉伸，從而將蒸鍍掩模固定在框架60的主體部。另外，也可以在進(jìn)行了向第一方向、第二方向的拉伸之后，將蒸鍍掩模固定在框架60的主體部及加強(qiáng)框架65上。
[0154]向第一方向的拉伸、向第二方向的拉伸既可以通過第一拉伸工序進(jìn)行，也可以通過第一拉伸工序進(jìn)行向任一方的方向的拉伸。例如，可以通過使用了上述把持單元等的第二拉伸工序進(jìn)行向第一方向的拉伸，并且通過上述第一拉伸工序進(jìn)行向第二方向的拉伸。另外，也可以使用上述第一拉伸工序進(jìn)行向第一方向的拉伸，并且通過第二拉伸工序進(jìn)行向第二方向的拉伸。作為一例，在進(jìn)行第一拉伸工序之前的階段，通過使用了上述把持單元等的第二拉伸工序?qū)⒄翦冄谀Ｏ虻谝环较蚶?，在第二拉伸工序之后，通過第一拉伸工序?qū)燧o助部件進(jìn)行拉伸，由此將固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模向第二方向拉伸。另外，作為其它一例，同時(shí)進(jìn)行使用了把持單元等的第二拉伸工序中進(jìn)行的向第一方向的拉伸、和第一拉伸工序中進(jìn)行的向第二方向的拉伸。
[0155]設(shè)有加強(qiáng)框架的的框架60既可以通過例如一體地形成框架60的主體部和框架60的加強(qiáng)框架65而得到，也可以通過在僅具有主體部的框架上固定加強(qiáng)框架65而得到。另外，圖17(c)所示的格子狀的加強(qiáng)框架65既可以為對(duì)例如金屬板等進(jìn)行加工的一體型框架，也可以為將多個(gè)加強(qiáng)框架65縱橫地裝入的框架。在后者的情況下，在框架60的寬度方向(圖17
(c)的橫向)上排列配置多個(gè)蒸鍍掩模時(shí)，以在與相鄰的蒸鍍掩模的方向(圖中的橫向)正交的方向(圖中的縱向)上延伸的加強(qiáng)框架65與蒸鍍掩模相接的方式，換言之，以在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65位于上側(cè)的方式進(jìn)行安裝為好。另外，在圖17(c)中，以在相鄰的蒸鍍掩模的方向上延伸的加強(qiáng)框架65位于在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的上側(cè)的方式進(jìn)行安裝。另外，加強(qiáng)框架65并不限定于圖示的方式，可以為組合有在隨機(jī)的方向上延伸的多個(gè)加強(qiáng)框架65的方式。
[0156]另外，上述第一拉伸工序也能夠在將蒸鍍掩模100暫時(shí)固定在框架60的主體部或加強(qiáng)框架65的狀態(tài)下進(jìn)行。暫時(shí)固定能夠通過在框架60的不與蒸鍍掩模100相接側(cè)的面，或者蒸鍍掩模100的不與框架相接側(cè)的面上配置具有磁性的部件，例如磁性板或磁鐵片等，并且拉引蒸鍍掩模100和框架60的主體部，或者加強(qiáng)框65而進(jìn)行。例如，在進(jìn)行了向第一方向的拉伸之后，將進(jìn)行了該第一方向的拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模暫時(shí)固定在框架60的主體部或加強(qiáng)框架65上，通過第一拉伸工序拉伸被暫時(shí)固定的狀態(tài)的蒸鍍掩模，在第一拉伸工序后，通過將框架60和蒸鍍掩模焊接固定，也能夠得到帶框架的蒸鍍掩模。另外，在使用由具有磁性的材料構(gòu)成的拉伸輔助部件50、或?qū)⒕哂写判缘牟牧虾推渌牧?、例如與具有自吸附性的材料組合的拉伸輔助部件50的情況下，也能夠不使用另外的磁性板或磁鐵片等，利用拉伸輔助部件50本身的磁性邊暫時(shí)固定框架60的加強(qiáng)框架65和蒸鍍掩模100，邊通過拉伸輔助部件50拉伸蒸鍍掩模100。即，此時(shí)的拉伸輔助部件50發(fā)揮暫時(shí)固定蒸鍍掩模和框架的作用、和拉伸蒸鍍掩模的作用二者。通過進(jìn)行暫時(shí)固定，能夠抑制由于拉伸蒸鍍掩模而產(chǎn)生的位置偏移等，能夠精度更佳地拉伸蒸鍍掩模。另外，也能夠代替上述示例的方法，在進(jìn)行了向第一方向的拉伸之后，將進(jìn)行了該第一方向的拉伸的狀態(tài)的蒸鍍掩模焊接固定在框架60的主體部，接著，將焊接固定在框架60上的主體部的蒸鍍掩模暫時(shí)固定在加強(qiáng)框架65上，之后，對(duì)已進(jìn)行了向框架60的主體部的熔接固定、及向加強(qiáng)框架65的暫時(shí)固定的蒸鍍掩模進(jìn)行第一拉伸工序。通過該方法，能夠利用暫時(shí)固定抑制由于拉伸蒸鍍掩模而產(chǎn)生的位置偏移等，能夠高精度地拉伸蒸鍍掩模。
[0157]對(duì)形成為圖17(c)所示方式的格子狀的加強(qiáng)框架65時(shí)的各加強(qiáng)框架65的寬度并不作特別限定，可以將全部的加強(qiáng)框架65的寬度形成為相同大小，也能夠?qū)γ總€(gè)加強(qiáng)框架65使寬度變化。另外，在排列多個(gè)蒸鍍掩模而進(jìn)行配置時(shí)，為了增加分配給框架的蒸鍍掩模的數(shù)量，需要縮小相鄰的蒸鍍掩模的間隔。在將相鄰的蒸鍍掩模的間隔縮小的情況下，需要伴隨與此也將在與相鄰的蒸鏡掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架的的寬度縮小。但是，在將加強(qiáng)框架65的寬度縮小時(shí)，在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的剛性下降，在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65固定有蒸鍍掩模時(shí)容易產(chǎn)生變形等。
[0158]考慮該方面，在將在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度縮小時(shí)，優(yōu)選使在相鄰的蒸鍍掩模的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度比該寬度大。通過增大在相鄰的蒸鍍掩模的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度，能夠提高作為加強(qiáng)框架65整體的剛性，在將蒸鍍掩模固定在加強(qiáng)框架65上時(shí)，能夠抑制在加強(qiáng)框架65產(chǎn)生變形等的情形。即，優(yōu)選方式的加強(qiáng)框架為在相鄰的蒸鍍掩模的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度大于在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度。作為一例，在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度為0.5mm?50mm左右，在相鄰的蒸鍍掩模的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度為0.5mm?50mm左右。優(yōu)選方式的加強(qiáng)框架65在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度、及在相鄰的蒸鍍掩模的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度在上述示例的寬度的范圖內(nèi)，且滿足在相鄰的蒸鍍掩模的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度大于在與相鄰的蒸鍍掩模的方向正交的方向上延伸的加強(qiáng)框架65的寬度的關(guān)系。作為加強(qiáng)框架65的厚度之一例，為0.0lmm?30mm左右。
[0159]另外，在與加強(qiáng)框架65重合的框架60的主體部形成槽，通過將該槽和加強(qiáng)框架65嵌合，也能夠?qū)⒅黧w部和加強(qiáng)框架60的面位置對(duì)齊。另外，在安裝多個(gè)加強(qiáng)框架65而形成為格子狀的加強(qiáng)框架65的情況下，也能夠以各自的加強(qiáng)框架65的面位置相同的方式適當(dāng)?shù)卦诩訌?qiáng)框架65設(shè)置槽等。
[0160]對(duì)固定方法并不作特別限定，能夠使用激光焊接、電弧焊接、電阻焊接、電子束焊接法等目前公知的各種焊接法，或粘接劑、螺絲固定等進(jìn)行固定。
[0161 ]而且，在上述的框架固定工序結(jié)束之后，從蒸鍍掩模拆下被固定在蒸鍍掩模100的一面上而構(gòu)成的拉伸輔助部件50，從而得到在框架上固定蒸鍍掩模而構(gòu)成的帶框架的蒸鍍掩模。
[0162]《蒸鍍掩模的拉伸方法》
[0163]接著，對(duì)本發(fā)明一實(shí)施方式的蒸鍍掩模的拉伸方法進(jìn)行說明。本發(fā)明一實(shí)施方式的蒸鍍掩模的拉伸方法為將形成有縫隙的金屬掩模、和在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的樹脂掩模層積而構(gòu)成的蒸鍍掩模的拉伸方法，其特征在于，包含:拉伸輔助部件固定工序，在蒸鍍掩模的一面上重疊拉伸輔助部件，在蒸鍍掩模的一面和拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將拉伸輔助部件固定在蒸鍍掩模上;第一拉伸工序，通過拉伸被固定在蒸鍍掩模上的拉伸輔助部件，拉伸被固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模。根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的蒸鍍掩模的拉伸方法，能夠以簡(jiǎn)單的方法拉伸蒸鍍掩模，并且即使在其它蒸鍍掩模與該蒸鍍掩模鄰接的狀況下，也能夠?qū)⒐潭ㄔ谠摾燧o助部件的蒸鍍掩模向該其它蒸鍍掩模的方向側(cè)拉伸。
[0164]另外，在一實(shí)施方式的蒸鍍掩模的拉伸方法中，在預(yù)先使用把持單元等將蒸鍍掩模向第一方向、例如蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向或?qū)挾确较蚶熘?，進(jìn)行上述第一拉伸工序，在第一拉伸工序中，將拉伸輔助部件向與事先拉伸的上述第一方向不同的第二方向，例如與第一方向正交的方向拉伸。即，也可以還包含在第一拉伸工序之前，使用把持單元等將蒸鍍掩模向第一方向拉伸的第二拉伸工序。另外，也可以同時(shí)進(jìn)行第一拉伸工序和第二拉伸工序。
[0165]拉伸輔助部件固定工序、第一拉伸工序能夠直接適用在上述本發(fā)明一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模中說明的拉伸輔助部件固定工序、第一拉伸工序，在此省略詳細(xì)的說明。
[0166]《有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法》
[0167]接著，對(duì)本發(fā)明一實(shí)施方式的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法進(jìn)行說明。本發(fā)明一實(shí)施方式的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法具有通過使用帶框架的蒸鍍掩模的蒸鍍法形成蒸鍍圖案的工序，在制造該有機(jī)半導(dǎo)體元件的工序中，在使用通過上述本發(fā)明的制造方法制造的一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模的方面具有特征。
[0168]具有通過使用帶框架的蒸鍍掩模的蒸鍍法形成蒸鍍圖案的工序的一實(shí)施方式的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，具有在基板上形成電極的電極形成工序、有機(jī)層形成工序、相對(duì)電極形成工序、密封層形成工序等，在各任意工序中，通過使用帶框架的蒸鍍掩模的蒸鍍法在基板上形成蒸鍍圖案。例如，在有機(jī)EL顯示器的R、G、B各色的發(fā)光層形成工序中分別適用使用了帶框架的蒸鍍掩模的蒸鍍法的情況下，在基板上形成各色發(fā)光層的蒸鍍圖案。另夕卜，本發(fā)明一實(shí)施方式的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法并不限定于該些工序，可適用使用蒸鍍法的目前公知的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造中的任意工序。
[0169]本發(fā)明一實(shí)施方式的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法的特征在于，在形成上述蒸鍍圖案的工序中使用的帶框架的蒸鍍掩模為通過上述說明的本發(fā)明的制造方法而制造的一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模。
[0170]對(duì)帶框架的蒸鍍掩模，能夠直接使用由以上說明的本發(fā)明一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模來制造，在此省略詳細(xì)的說明。根據(jù)使用了由以上說明的本發(fā)明一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模制造而得到的帶框架的蒸鍍掩模的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，由于使用抑制了蒸鍍掩模的開口部的形狀或尺寸的變動(dòng)的該帶框架的蒸鍍掩模，故而能夠形成具有高精細(xì)的圖案的有機(jī)半導(dǎo)體元件。作為由本發(fā)明一實(shí)施方式的制造方法制造的有機(jī)半導(dǎo)體元件，例如能夠舉出有機(jī)EL元件的有機(jī)層、發(fā)光層或陰極電極等。特別是，本發(fā)明一實(shí)施方式的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法能夠適用于要求高精細(xì)的圖案精度的有機(jī)EL元件的R、G、B發(fā)光層的制造。
[0171]《拉伸裝置》
[0172]接著，對(duì)本發(fā)明一實(shí)施方式的拉伸裝置進(jìn)行說明。本發(fā)明一實(shí)施方式的拉伸裝置用于拉伸蒸鍍掩模，該蒸鍍掩模將形成有縫隙的金屬掩模、和在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的樹脂掩模層積而構(gòu)成，該拉伸裝置的特征在于，具備:拉伸輔助部件;用于對(duì)該拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸的驅(qū)動(dòng)單元，拉伸輔助部件在與蒸鍍掩模的一面重合時(shí)，能夠在與該蒸鍍掩模的一面重合的部分的至少一部分固定。
[0173]構(gòu)成拉伸裝置的拉伸輔助部件及驅(qū)動(dòng)單元能夠適當(dāng)選擇使用在上述一實(shí)施方式的帶框架的蒸鍍掩模的拉伸方法中說明的拉伸輔助部件50、驅(qū)動(dòng)單元55，在此省略詳細(xì)的說明。根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的拉伸裝置，將拉伸輔助部件重合在蒸鍍掩模的一面，并在與該蒸鍍掩模的一面重合的部分的至少一部分將蒸鍍掩模和拉伸輔助部件固定，通過使與該拉伸輔助部件連結(jié)的驅(qū)動(dòng)單元作動(dòng)，能夠拉伸蒸鍍掩模。
[0174]在以上說明的各種方式的本發(fā)明中，作為拉伸對(duì)象的蒸鍍掩模，特別適合于使用將形成有縫隙的金屬掩模、和在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的樹脂掩模層積而構(gòu)成的蒸鍍掩模的情況。這是因?yàn)?，在使用特定的方法，例如把持單元等拉伸物性不同的兩個(gè)掩模、即將樹脂掩模和金屬掩模層積的蒸鍍掩模的情況下，與拉伸僅由金屬掩模構(gòu)成的蒸鍍掩模，或僅由樹脂掩模構(gòu)成的蒸鍍掩模的情況相比，容易產(chǎn)生與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的尺寸或位置的變動(dòng)。在各種方式的本發(fā)明中，即使在開口部的尺寸或位置產(chǎn)生了變動(dòng)的情況下，也能夠通過利用拉伸輔助部件50拉伸蒸鍍掩模而容易地消除這些變動(dòng)。
[0175]《變形方式》
[0176]在變形方式的蒸鍍掩模的拉伸方法、帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法、拉伸裝置中，作為拉伸對(duì)象的蒸鍍掩模，使用與將形成有上述縫隙的金屬掩模和在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的樹脂掩模層積而構(gòu)成的蒸鍍掩模不同的蒸鍍掩模(以下稱為不同的蒸鍍掩模)，利用拉伸輔助部件50進(jìn)行不同的蒸鍍掩模的拉伸。作為上述不同的蒸鍍掩模，能夠舉出僅由金屬材料構(gòu)成的金屬掩模形成的蒸鍍掩模、僅由樹脂材料構(gòu)成的樹脂掩模形成的蒸鍍掩模，或者由金屬或樹脂材料以外的材料構(gòu)成的蒸鍍掩模。另外，本發(fā)明中的各實(shí)施方式和變形方式僅作為拉伸對(duì)象的蒸鍍掩模不同，除此之外一致。在變形例的蒸鍍掩模中，僅由樹脂材料構(gòu)成的樹脂掩模形成的蒸鍍掩模與由金屬材料構(gòu)成的蒸鍍掩模相比，在使用把持單元等拉伸蒸鍍掩模時(shí)，在與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的形狀或尺寸上容易產(chǎn)生變動(dòng)，在該方面，能夠適合使用利用了拉伸輔助部件50的拉伸方法。另外，僅由具有厚度為20μπι以下的部位的金屬掩模構(gòu)成的蒸鍍掩模也與上述僅由樹脂掩模構(gòu)成的蒸鍍掩模同樣，在使用把持單元等拉伸蒸鍍掩模時(shí)，在與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的形狀或尺寸上容易產(chǎn)生變動(dòng)，在該方面，能夠適合使用利用了拉伸輔助部件50的拉伸方法。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種蒸鍍掩模的拉伸方法，該蒸鍍掩模將形成有縫隙的金屬掩模、和樹脂掩模層積而形成，所述樹脂掩模在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部，該蒸鍍掩模的拉伸方法的特征在于，包含: 拉伸輔助部件固定工序，在所述蒸鍍掩模的一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上； 第一拉伸工序，通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸。2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模的拉伸方法，其特征在于， 還包含在所述第一拉伸工序之前，將所述蒸鍍掩模向第一方向拉伸的第二拉伸工序， 在所述第一拉伸工序中，通過拉伸固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件，將固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模向與所述第一方向不同的第二方向拉伸。3.一種帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于，包括: 準(zhǔn)備工序，準(zhǔn)備將金屬掩模和樹脂掩模層積而構(gòu)成的蒸鍍掩模，所述金屬掩模形成有縫隙，所述樹脂掩模在與所述縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部； 拉伸輔助部件固定工序，在所述蒸鍍掩模的一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上； 第一拉伸工序，通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸； 框架固定工序，將在所述第一拉伸工序中被拉伸的狀態(tài)的所述蒸鍍掩模固定在形成有貫通孔的框架上。4.如權(quán)利要求3所述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于， 還包含在所述第一拉伸工序之前，將所述蒸鍍掩模向第一方向拉伸的第二拉伸工序， 在所述第一拉伸工序中，通過拉伸固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件，將固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模向與所述第一方向不同的第二方向拉伸。5.如權(quán)利要求3所述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于， 所述帶框架的蒸鍍掩模為在所述框架上排列固定多個(gè)所述蒸鍍掩模而構(gòu)成的帶框架的蒸鍍掩模， 在該帶框架的蒸鍍掩模的制造階段，所述多個(gè)蒸鍍掩模中的至少一個(gè)蒸鍍掩模經(jīng)由所述拉伸輔助部件固定工序、所述第一拉伸工序、所述框架固定工序而被固定在所述框架上， 在所述第一拉伸工序中，通過對(duì)固定在所述一個(gè)蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，將固定在該拉伸輔助部件的一個(gè)蒸鍍掩模向與該一個(gè)蒸鍍掩模相鄰的蒸鍍掩模的方向拉伸。6.如權(quán)利要求5所述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于， 還包含在進(jìn)行所述第一拉伸工序之前，將所述一個(gè)蒸鍍掩模向與所述相鄰的蒸鍍掩模的方向不同的方向拉伸的第二拉伸工序。7.一種有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，其特征在于， 包含使用在框架上固定有蒸鍍掩模的帶框架的蒸鍍掩模而在蒸鍍對(duì)象物形成蒸鍍圖案的工序， 在形成所述蒸鍍圖案的工序中，固定在所述框架上的所述蒸鍍掩模通過包含準(zhǔn)備工序、拉伸輔助部件固定工序、第一拉伸工序、框架固定工序的工序而被制造， 所述準(zhǔn)備工序準(zhǔn)備蒸鍍掩模，該蒸鍍掩模將形成有多個(gè)縫隙的金屬掩模、和在與該縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部的樹脂掩模層積而構(gòu)成， 所述拉伸輔助部件固定工序在所述蒸鍍掩模的一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上， 所述第一拉伸工序通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸， 所述框架固定工序?qū)⒃谒龅谝焕旃ば蛑斜焕斓臓顟B(tài)的所述蒸鍍掩模固定在形成有貫通孔的框架上。8.—種拉伸裝置，用于對(duì)層積金屬掩模和樹脂掩模而構(gòu)成的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸，所述金屬掩模形成有縫隙，所述樹脂掩模在與所述縫隙重合的位置形成有與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開口部，該拉伸裝置的特征在于， 具備拉伸輔助部件、和用于拉伸該拉伸輔助部件的驅(qū)動(dòng)單元， 所述拉伸輔助部件在與所述蒸鍍掩模的一面重合時(shí)，可在與該蒸鍍掩模的一面重合的部分的至少一部分固定。
【文檔編號(hào)】C23C14/04GK106029939SQ201580010163
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2015年3月30日
【發(fā)明人】小幡勝也, 岡本英介, 本間良幸, 武田利彥
【申請(qǐng)人】大日本印刷株式會(huì)社