蒸鍍裝置及包含基于蒸鍍裝置的成膜工序的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供蒸鍍裝置及包含基于蒸鍍裝置的成膜工序的制造方法，能夠使具有立體形狀的工件的各個面的蒸鍍量的偏差變小。蒸鍍裝置具備：拱頂，其構(gòu)成為繞中心軸線旋轉(zhuǎn)；環(huán)狀的鏈條，其圍繞中心軸線并且配置于拱頂上；傳遞軸，其傳遞拱頂?shù)男D(zhuǎn)運動；第一齒輪部，其將拱頂?shù)男D(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為傳遞軸的旋轉(zhuǎn)運動；第二齒輪部，其具備鏈條驅(qū)動鏈輪，并將傳遞軸的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為鏈條驅(qū)動鏈輪的旋轉(zhuǎn)運動；以及托盤保持件，其沿環(huán)狀的鏈條配置在拱頂上，并且具備第一內(nèi)部傳遞軸和保持托盤的旋轉(zhuǎn)部。蒸鍍裝置構(gòu)成為，通過拱頂?shù)男D(zhuǎn)而使鏈條驅(qū)動鏈輪旋轉(zhuǎn)從而驅(qū)動環(huán)狀的鏈條，使第一內(nèi)部傳遞軸旋轉(zhuǎn)，通過第一內(nèi)部傳遞軸的旋轉(zhuǎn)而使旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)。
【專利說明】
蒸鍍裝置及包含基于蒸鍍裝置的成膜工序的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及蒸鍍裝置及包含基于蒸鍍裝置的成膜工序的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為一例，蒸鍍裝置用于在透鏡或衍射光柵等光學(xué)元件的表面形成膜。蒸鍍裝置包含用于釋放出形成膜的物質(zhì)的蒸鍍源、和覆蓋蒸鍍源并且能夠繞中心軸線旋轉(zhuǎn)的拱頂。在拱頂上借助托盤保持件而安裝有多個托盤，在各個托盤上安裝有多個工件、例如透鏡或衍射光柵。
[0003]為了實現(xiàn)對工件的均勻的蒸鍍量，已經(jīng)開發(fā)出了使托盤繞蒸鍍源旋轉(zhuǎn)(公轉(zhuǎn))并且使托盤本身繞自身的中心軸線旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))的蒸鍍裝置(例如，專利文獻I及專利文獻2)。
[0004]但是，上述以往技術(shù)的蒸鍍裝置的機構(gòu)在使設(shè)置于拱頂?shù)亩鄠€托盤可靠地自轉(zhuǎn)這一點上還有不足。此外，在使具有立體形狀的工件的各個面的蒸鍍量的偏差變小這一點上，只通過上述公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)動作還有不足。另一方面，從制造及維持成本的觀點考慮，優(yōu)選使蒸鍍裝置的構(gòu)造盡可能簡單。
[0005]還沒有開發(fā)出像這樣能夠使設(shè)置于拱頂?shù)亩鄠€托盤可靠地自轉(zhuǎn)、并能夠使具有立體形狀的工件的各個面的蒸鍍量的偏差變小的蒸鍍裝置及包含基于蒸鍍裝置的成膜工序的制造方法。
[0006]專利文獻I:日本特開昭62-270768號公報
[0007]專利文獻2:日本特開平4-329869號公報
[0008]因此，存在對能夠使設(shè)置于拱頂?shù)亩鄠€托盤可靠地自轉(zhuǎn)、并能夠使具有立體形狀的工件的各個面的蒸鍍量的偏差變小的蒸鍍裝置及包含基于蒸鍍裝置的成膜工序的制造方法的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的第一方式的蒸鍍裝置具備:拱頂，其構(gòu)成為繞中心軸線旋轉(zhuǎn)；
[0010]環(huán)狀的鏈條，其圍繞該中心軸線并且配置于該拱頂上；
[0011 ]傳遞軸，其傳遞該拱頂?shù)男D(zhuǎn)運動；
[0012]第一齒輪部，其將該拱頂?shù)男D(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為該傳遞軸的旋轉(zhuǎn)運動；
[0013]第二齒輪部，其具備鏈條驅(qū)動鏈輪，并將該傳遞軸的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為該鏈條驅(qū)動鏈輪的旋轉(zhuǎn)運動；以及
[0014]托盤保持件，其沿該環(huán)狀的鏈條配置在該拱頂上，并且具備第一內(nèi)部傳遞軸和構(gòu)成為保持托盤的旋轉(zhuǎn)部。蒸鍍裝置構(gòu)成為，通過該拱頂?shù)男D(zhuǎn)使該鏈條驅(qū)動鏈輪旋轉(zhuǎn)從而驅(qū)動該環(huán)狀的鏈條，通過該環(huán)狀的鏈條的運動而使該托盤保持件的該第一內(nèi)部傳遞軸旋轉(zhuǎn)，通過該第一內(nèi)部傳遞軸的旋轉(zhuǎn)而使該旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)。
[0015]在本方式的蒸鍍裝置中，通過拱頂?shù)男D(zhuǎn)來驅(qū)動配置于該拱頂上的該環(huán)狀的鏈條，使沿該環(huán)狀的鏈條配置在該拱頂上的托盤保持件的該第一內(nèi)部傳遞軸旋轉(zhuǎn)。因此，在沿該環(huán)狀的鏈條配置在該拱頂上的各托盤保持件中，產(chǎn)生了托盤的旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))，其結(jié)果，能夠使安裝于托盤的具有立體形狀的工件的各個面的蒸鍍量的偏差變小。
[0016]本發(fā)明的第一方式的第一實施方式的蒸鍍裝置具有多個環(huán)狀的鏈條、和與多個該環(huán)狀的鏈條分別對應(yīng)的多個傳遞軸。
[0017]在本方式的蒸鍍裝置中，使沿著多個環(huán)狀的鏈條配置的多個托盤旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))，能夠使安裝于多個該托盤上的具有立體形狀的工件的各個面的蒸鍍量的偏差變小。
[0018]在本發(fā)明的第一方式的第二實施方式的蒸鍍裝置中，各托盤保持件還具備:固定部，其固定于蒸鍍裝置的拱頂;擺動部，其固定于擺動軸且構(gòu)成為進行擺動，所述擺動軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于該固定部；以及第二內(nèi)部傳遞軸，其通過萬向接頭與該第一內(nèi)部傳遞軸結(jié)合，并且以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于該擺動部。該第一內(nèi)部傳遞軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于該固定部，該旋轉(zhuǎn)部被該第二內(nèi)部傳遞軸支承，并且構(gòu)成為當從外部使該第一內(nèi)部傳遞軸旋轉(zhuǎn)時該旋轉(zhuǎn)部與該第二內(nèi)部傳遞軸一起旋轉(zhuǎn)并與該擺動部一起擺動。
[0019]在該第一內(nèi)部傳遞軸旋轉(zhuǎn)時，本方式的蒸鍍裝置的托盤與該旋轉(zhuǎn)部一起旋轉(zhuǎn)，并且該旋轉(zhuǎn)部與該擺動部一起擺動。這樣，通過使托盤旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))并擺動，能夠使安裝于托盤的具有立體形狀的工件的各個面的蒸鍍量的偏差進一步變小。
[0020]在本發(fā)明的第一方式的第三實施方式的蒸鍍裝置中，各托盤保持件具備包含旋轉(zhuǎn)板和曲柄桿的曲柄機構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)板構(gòu)成為借助該第一內(nèi)部傳遞軸的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，該曲柄桿構(gòu)成為將該曲柄旋轉(zhuǎn)板和該擺動部結(jié)合并通過該第一內(nèi)部傳遞軸的旋轉(zhuǎn)使該擺動部擺動。
[0021]在本實施方式的蒸鍍裝置中，曲柄機構(gòu)構(gòu)成為借助該第一內(nèi)部傳遞軸的旋轉(zhuǎn)運動而使該擺動部產(chǎn)生擺動。
[0022]在本發(fā)明的第一方式的第四實施方式的蒸鍍裝置中，各托盤保持件構(gòu)成為，能夠變更該曲柄桿與該曲柄旋轉(zhuǎn)板的結(jié)合位置相對于該曲柄旋轉(zhuǎn)板的中心位置的距離，從而能夠改變由擺動所引起的托盤的面相對于基準位置的傾斜角度的最大值。
[0023]在本實施方式的蒸鍍裝置中，通過變更該曲柄桿與該曲柄旋轉(zhuǎn)板的結(jié)合位置相對于該曲柄旋轉(zhuǎn)板的中心位置的距離，能夠改變由擺動所引起的托盤的面相對于基準位置的傾斜角度的最大值。
[0024]本發(fā)明的第二方式的包含基于蒸鍍裝置的成膜工序的制造方法包含基于蒸鍍裝置的成膜工序，其中，該蒸鍍裝置具備:拱頂，其構(gòu)成為繞中心軸線旋轉(zhuǎn);環(huán)狀的鏈條，其圍繞該中心軸線并且配置于該拱頂上；以及托盤保持件，其沿著該鏈條配置，并且構(gòu)成為經(jīng)由該鏈條將該拱頂?shù)男D(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為繞自身的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)運動及繞自身的擺動中心軸的擺動運動。在該成膜工序中，在該拱頂?shù)男D(zhuǎn)過程中，一邊實施該托盤保持件的旋轉(zhuǎn)運動及擺動運動，一邊通過蒸鍍在安裝于托盤的工件上生成膜，所述托盤被保持于該托盤保持件。
[0025]在本方式的制造方法中，托盤在拱頂?shù)男D(zhuǎn)過程中接受旋轉(zhuǎn)及擺動，能夠使安裝于托盤上的具有立體形狀的工件的各個面的蒸鍍量的偏差變小。
【附圖說明】
[0026]圖1是示出本發(fā)明的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0027]圖2是本發(fā)明的蒸鍍裝置的拱頂?shù)母┮晥D。
[0028]圖3是本發(fā)明的蒸鍍裝置的拱頂?shù)陌行妮S線的剖視圖。
[0029]圖4是用于說明第一齒輪部的圖。
[0030]圖5是用于說明第二齒輪部的圖。
[0031]圖6是用于說明第二齒輪部的圖。
[0032]圖7是用于說明托盤保持件的圖。
[0033]圖8是用于說明托盤保持件的固定部及擺動部的內(nèi)部的機構(gòu)的圖。
[0034]圖9是用于說明托盤上的工件的位置對蒸鍍裝置向工件蒸鍍的蒸鍍量的影響的圖。
【具體實施方式】
[0035]圖1是示出本發(fā)明的蒸鍍裝置300的結(jié)構(gòu)的圖。蒸鍍裝置300包含蒸鍍源320、拱頂310以及圍繞它們的腔室330。腔室330通過使用排氣口 335進行排氣而保持為規(guī)定的真空度。拱頂310構(gòu)成為在其內(nèi)表面安裝有工件400，并且被設(shè)置為覆蓋蒸鍍源320。作為一例，工件400是衍射光柵等光學(xué)元件，并且該工件400被安裝于未圖示的托盤，該未圖示的托盤被未圖示的托盤保持件保持于拱頂310的內(nèi)表面。從蒸鍍源320釋放出的物質(zhì)到達工件400，并被蒸鍍在其表面上，該工件400被安裝于覆蓋蒸鍍源320的拱頂310的內(nèi)表面上。為使物質(zhì)相同地蒸鍍在安裝于拱頂310的內(nèi)表面的多個工件400上，在蒸鍍工藝中，通過未圖示的驅(qū)動部使拱頂310繞其中心軸線旋轉(zhuǎn)。上述內(nèi)容同樣適用于本發(fā)明的蒸鍍裝置300及以往的蒸鍍裝置。關(guān)于本發(fā)明的蒸鍍裝置300的特征性的結(jié)構(gòu)，在以下進行說明。
[0036]圖2是本發(fā)明的蒸鍍裝置300的拱頂310的俯視圖。本發(fā)明的蒸鍍裝置300構(gòu)成為，通過拱頂310的旋轉(zhuǎn)運動使設(shè)置于拱頂310上的托盤保持件1000的一部分旋轉(zhuǎn)，由此使安裝于托盤保持件1000的托盤旋轉(zhuǎn)。
[0037]為了將拱頂310的旋轉(zhuǎn)運動傳遞給托盤保持件1000，蒸鍍裝置300在拱頂310上具備第一齒輪部150、第二齒輪部160A及160B以及旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A及155B。第一齒輪部150與安裝于拱頂310的旋轉(zhuǎn)軸軸承部上的固定齒輪3101卡合，如果拱頂310旋轉(zhuǎn)，則使旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運動。第二齒輪部160A將旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為鏈輪的旋轉(zhuǎn)運動，通過鏈輪的旋轉(zhuǎn)運動來驅(qū)動環(huán)狀鏈條205。其結(jié)果，與環(huán)狀鏈條205連結(jié)的多個托盤保持件1000的旋轉(zhuǎn)部分旋轉(zhuǎn)。進而，旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的旋轉(zhuǎn)運動向旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B傳遞。第二齒輪部160B將旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為鏈輪的旋轉(zhuǎn)運動，通過鏈輪的旋轉(zhuǎn)運動來驅(qū)動環(huán)狀鏈條210。其結(jié)果，與環(huán)狀鏈條210連結(jié)的多個托盤保持件1000的旋轉(zhuǎn)部分旋轉(zhuǎn)。
[0038]圖3是本發(fā)明的蒸鍍裝置300的拱頂310的包含中心軸線的剖視圖。拱頂310構(gòu)成為從腔室330的天花板吊下并且借助未圖示的驅(qū)動裝置而繞中心軸線旋轉(zhuǎn)?？梢詷?gòu)成為:拱頂310的轉(zhuǎn)速能夠在例如I分鐘內(nèi)旋轉(zhuǎn)10圈至旋轉(zhuǎn)20圈的范圍內(nèi)進行調(diào)整。如果拱頂310繞中心軸線旋轉(zhuǎn)，則如上所述，第一齒輪部150借助拱頂310的旋轉(zhuǎn)運動而使旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運動。第二齒輪部160A借助旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的旋轉(zhuǎn)運動而使鏈輪產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運動，并且使旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運動。第二齒輪部160B將旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為鏈輪的旋轉(zhuǎn)運動。
[0039]托盤保持件1000包含固定部1100和擺動部1200。固定部1100的旋轉(zhuǎn)部分借助環(huán)狀鏈條205或者210而旋轉(zhuǎn)。關(guān)于托盤保持件1000，在下文進行詳細的說明。
[0040]圖4是用于說明第一齒輪部150的圖。圖4的(a)是第一齒輪部150及安裝于拱頂310的旋轉(zhuǎn)軸軸承部上的固定齒輪3101的俯視圖。圖4的(b)是第一齒輪部150的側(cè)視圖。圖4的(c)是第一齒輪部150及安裝于拱頂310的旋轉(zhuǎn)軸軸承部上的固定齒輪3101的側(cè)視圖。如圖4的(a)及圖4的(c)所示，第一齒輪部150的惰輪1501—方面與安裝于拱頂310的旋轉(zhuǎn)軸軸承部上的固定齒輪3101卡合，另一方面與第一齒輪部150的驅(qū)動齒輪1503卡合。由于第一齒輪部150被固定于拱頂310上，因此，如果拱頂310繞中心軸線旋轉(zhuǎn)，則與固定齒輪3101卡合的惰輪1501旋轉(zhuǎn)。進而，如果惰輪1501旋轉(zhuǎn)，則與惰輪1501卡合的驅(qū)動齒輪1503旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動齒輪1503的旋轉(zhuǎn)運動被螺旋齒輪1505轉(zhuǎn)換為旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的旋轉(zhuǎn)運動。這樣，第一齒輪部150通過拱頂310的旋轉(zhuǎn)運動而使旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運動。
[0041 ]圖5是用于說明第二齒輪部160A的圖。圖5的(a)是第二齒輪部160A及旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的俯視圖。圖5的(b)是第二齒輪部160A的側(cè)視圖。圖5的(c)是第二齒輪部160A及旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B的側(cè)視圖。
[0042]如圖5的(a)所示，旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的旋轉(zhuǎn)運動經(jīng)由萬向接頭157A2傳遞給第二齒輪部160A。
[0043 ]如圖5的(b)及圖5的(c)所示，經(jīng)由萬向接頭157A2傳遞到第二齒輪部160A的旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的旋轉(zhuǎn)運動被斜齒輪1601A轉(zhuǎn)換為鏈輪1603A的旋轉(zhuǎn)運動。環(huán)狀鏈條205與鏈輪1603A及1605A卡合，通過鏈輪1603A的旋轉(zhuǎn)運動來驅(qū)動環(huán)狀鏈條205。除了鏈輪1603A之外還設(shè)置鏈輪1605A的理由是為了強化鏈輪1603A與環(huán)狀鏈條205的卡合。這樣，第二齒輪部160A通過旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的旋轉(zhuǎn)運動來驅(qū)動環(huán)狀鏈條205。
[0044]如圖5的(c)所示，旋轉(zhuǎn)傳遞軸155A的旋轉(zhuǎn)運動經(jīng)由萬向接頭157A2及萬向接頭157B1而進一步傳遞到旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B。
[0045]圖6是用于說明第二齒輪部160B的圖。圖6的(a)是第二齒輪部160B及旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B的俯視圖。圖6的(b)是第二齒輪部160B的側(cè)視圖。圖6的(c)是第二齒輪部160B及旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B的側(cè)視圖。
[0046]如圖6的(a)所示，旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B的旋轉(zhuǎn)運動經(jīng)由萬向接頭157B2傳遞給第二齒輪部160B。
[0047]如圖6的(b)及圖6的(C)所示，經(jīng)由萬向接頭157B2傳遞給第二齒輪部160B的旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B的旋轉(zhuǎn)運動被斜齒輪1601B而轉(zhuǎn)換為鏈輪1603B的旋轉(zhuǎn)運動。環(huán)狀鏈條210與鏈輪1603B及1605B卡合，通過鏈輪1603B的旋轉(zhuǎn)運動來驅(qū)動環(huán)狀鏈條210。除了鏈輪1603B之外還設(shè)置鏈輪1605B的理由是為了強化鏈輪1603B與環(huán)狀鏈條210的卡合。這樣，第二齒輪部160B通過旋轉(zhuǎn)傳遞軸155B的旋轉(zhuǎn)運動而使鏈輪1603B產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運動，驅(qū)動環(huán)狀鏈條210。
[0048]圖7是用于說明托盤保持件1000的圖。圖7的(a)是設(shè)置于拱頂310的托盤保持件1000的沿拱頂310的徑向的側(cè)視圖。圖7的(b)是沿與圖7的(a)的側(cè)面垂直的側(cè)面的側(cè)視圖。托盤保持件1000包含固定部1100、擺動部1200以及旋轉(zhuǎn)部1300。固定部1100被固定于拱頂310的面上。此時，固定部1100以固定部1100的中心軸線與拱頂310的中心軸線平行的方式被固定。擺動部1200的擺動中心軸1109以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝于固定部1100。可以構(gòu)成為:擺動中心軸1109與固定部1100的中心軸線所成的角度為直角。進而，擺動中心軸1109可以構(gòu)成為與包含拱頂310的中心軸線及固定部1100的中心軸線的平面垂直。
[0049]旋轉(zhuǎn)部1300構(gòu)成為通過卡盤來保持托盤1400A或者托盤1400B?？ūP構(gòu)成為能夠?qū)?yīng)于尺寸不同的托盤1400A及托盤1400B的尺寸而移動。
[0050]圖8是用于說明托盤保持件1000的固定部1100及擺動部1200的內(nèi)部的機構(gòu)的圖。圖8的(a)是與圖7的(a)對應(yīng)的圖，圖8的(b)是與圖7的(b)對應(yīng)的圖。
[0051 ]在固定部1100的內(nèi)部具備第一旋轉(zhuǎn)軸(第一內(nèi)部傳遞軸)1121。第一旋轉(zhuǎn)軸1121的一個端部與鏈輪1101結(jié)合，第一旋轉(zhuǎn)軸1121構(gòu)成為當鏈輪1101借助環(huán)狀鏈條205或者210旋轉(zhuǎn)時進行旋轉(zhuǎn)。在擺動部1200的內(nèi)部具備第二旋轉(zhuǎn)軸(第二內(nèi)部傳遞軸)1125。第二旋轉(zhuǎn)軸1125通過萬向接頭1123而與第一旋轉(zhuǎn)軸1121的另一個端部結(jié)合，并且構(gòu)成為當?shù)谝恍D(zhuǎn)軸1121旋轉(zhuǎn)時進行旋轉(zhuǎn)。第二旋轉(zhuǎn)軸1125與旋轉(zhuǎn)部1300結(jié)合。因此，當鏈輪1101借助環(huán)狀鏈條205或者210而旋轉(zhuǎn)時，則第一旋轉(zhuǎn)軸1121及第二旋轉(zhuǎn)軸1125旋轉(zhuǎn)，保持著托盤的旋轉(zhuǎn)部1300旋轉(zhuǎn)。
[0052]這樣，當拱頂310旋轉(zhuǎn)而使得鏈條被驅(qū)動從而使鏈輪1101旋轉(zhuǎn)時，保持著托盤的旋轉(zhuǎn)部1300旋轉(zhuǎn)。例如，以在拱頂310旋轉(zhuǎn)I圈的期間內(nèi)使旋轉(zhuǎn)部1300旋轉(zhuǎn)1圈的方式設(shè)定齒輪比。
[0053]如圖7的(a)所示，固定部1100具備曲柄旋轉(zhuǎn)板1103。在曲柄旋轉(zhuǎn)板1103的與中心相距d的位置處結(jié)合有第一桿1105的第一端部。第一桿1105的第二端部與第二桿1107的第一端部結(jié)合。第二桿1107的第二端部與擺動部1200結(jié)合。如圖8的(a)所不，在第一旋轉(zhuǎn)軸1121上安裝有蝸桿1127。蝸桿1127與蝸輪1129卡合，在蝸輪1129的旋轉(zhuǎn)軸上安裝有曲柄旋轉(zhuǎn)板1103。因此，如果第一旋轉(zhuǎn)軸1121旋轉(zhuǎn)，則蝸桿1127及蝸輪1129旋轉(zhuǎn)，進而，曲柄旋轉(zhuǎn)板1103旋轉(zhuǎn)。如果曲柄旋轉(zhuǎn)板1103旋轉(zhuǎn)，則由于第一桿1105及第二桿1107的運動，使得擺動部1200繞擺動中心軸1109擺動。以旋轉(zhuǎn)部1300所保持的托盤的面與拱頂310在固定部1100的中心軸線的位置處的切平面平行的狀態(tài)為基準，將在拱頂310的沿徑向的截面中的、托盤的面的傾斜度的最大值稱為擺角。即，擺角是指由于擺動而引起的、托盤的面相對于基準位置的傾斜角度的最大值，是在圖7的(a)中以Θ所表示的角度。通過變更第一桿1105的第一端部在曲柄旋轉(zhuǎn)板1103上的固定位置相對于中心的距離d，能夠變更擺角Θ。越是增大距離d，則擺角Θ變得越大。以使擺角Θ為例如± 10度的方式設(shè)定距離d。
[0054]這樣，在拱頂310旋轉(zhuǎn)而使得鏈條被驅(qū)動從而使鏈輪1101旋轉(zhuǎn)時，擺動部1200進行擺動。例如，以通過使拱頂310旋轉(zhuǎn)一圈來實施I個周期的擺動的方式設(shè)定齒輪比。
[0055]如上所述，在拱頂310旋轉(zhuǎn)過程中，旋轉(zhuǎn)部1300借助第二旋轉(zhuǎn)軸1125而旋轉(zhuǎn)。進而，由于第二旋轉(zhuǎn)軸1125被支承于擺動部1200的內(nèi)部，因此，在擺動部1200繞擺動中心軸1109擺動時，與第二旋轉(zhuǎn)軸1125結(jié)合的旋轉(zhuǎn)部1300也同樣地擺動。由此，保持于旋轉(zhuǎn)部1300的托盤接受旋轉(zhuǎn)及擺動。
[0056]圖9是用于說明托盤上的工件的位置對蒸鍍裝置向工件蒸鍍的蒸鍍量的影響的圖。這里，設(shè)托盤被固定于拱頂。設(shè)拱頂310是球狀且蒸鍍源配置在球的中心。在圖9中，工件400a配置于托盤1400的左側(cè)，工件400b配置于托盤1400的中央，工件400c配置于托盤1400的右側(cè)。在這種情況下，蒸鍍物質(zhì)沿著工件的位置處的拱頂310的面的法線向工件飛來。圖9是包含拱頂?shù)那虻闹行募吧鲜龇ň€的剖視圖。將蒸鍍物飛來的方向即法線與垂直于托盤1400且穿過工件的中心的工件的中心軸線所成的角度稱作成膜角度。成膜角度是以在圖9中由點劃線表示的工件的中心軸線為基準繞順時針測定的。在圖9中，如果設(shè)工件400a的成膜角度為ω，則工件400c的成膜角度是-ω。此外，工件400b成膜角度是O。即使拱頂310旋轉(zhuǎn)，上述成膜角度也不變。其結(jié)果，在工件400a上，右側(cè)的側(cè)面的蒸鍍量(所生成的膜的厚度)比左側(cè)的側(cè)面的蒸鍍量大。此外，在工件400c上，左側(cè)的側(cè)面的蒸鍍量比右側(cè)的側(cè)面的蒸鍍量大。
[0057]因此，如果使托盤1400繞托盤1400的中心軸線、即工件400b的中心軸線旋轉(zhuǎn)，則由于該旋轉(zhuǎn)而使得工件400a及工件400c的成膜角度變化，各個工件的各部分的蒸鍍量的偏差減少。
[0058]進而，通過實施托盤1400的擺動動作，即使在設(shè)置于托盤1400上的工件呈立體形狀的情況下，也能夠使工件的各部分的蒸鍍量的偏差減少。
[0059]單位時間內(nèi)的托盤的旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))圈數(shù)與單位時間內(nèi)的拱頂?shù)男D(zhuǎn)圈數(shù)之比、以及用于決定擺動的周期的單位時間內(nèi)的曲柄旋轉(zhuǎn)板1103的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)與單位時間內(nèi)的拱頂?shù)男D(zhuǎn)圈數(shù)之比能夠通過改變齒輪比來設(shè)定為期望的值。此外，如上所述，能夠通過變更第一桿1105的第一端部在曲柄旋轉(zhuǎn)板1103上的固定位置相對于中心的距離d來變更擺角Θ。這樣，能夠?qū)?yīng)于工件的規(guī)格來適當?shù)卣{(diào)整托盤的自轉(zhuǎn)周期、擺動周期以及擺角。
【主權(quán)項】
1.一種蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置具備: 拱頂，其構(gòu)成為繞中心軸線旋轉(zhuǎn)； 環(huán)狀的鏈條，其圍繞該中心軸線并且配置于該拱頂上； 傳遞軸，其傳遞該拱頂?shù)男D(zhuǎn)運動； 第一齒輪部，其將該拱頂?shù)男D(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為該傳遞軸的旋轉(zhuǎn)運動； 第二齒輪部，其具備鏈條驅(qū)動鏈輪，并將該傳遞軸的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為該鏈條驅(qū)動鏈輪的旋轉(zhuǎn)運動；以及 托盤保持件，其沿該環(huán)狀的鏈條配置在該拱頂上，并且具備第一內(nèi)部傳遞軸和構(gòu)成為保持托盤的旋轉(zhuǎn)部，其中， 該蒸鍍裝置構(gòu)成為，通過該拱頂?shù)男D(zhuǎn)使該鏈條驅(qū)動鏈輪旋轉(zhuǎn)從而驅(qū)動該環(huán)狀的鏈條，通過該環(huán)狀的鏈條的運動而使該托盤保持件的該第一內(nèi)部傳遞軸旋轉(zhuǎn)，通過該第一內(nèi)部傳遞軸的旋轉(zhuǎn)而使該旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其中， 該蒸鍍裝置具備多個環(huán)狀的鏈條、和與多個該環(huán)狀的鏈條分別對應(yīng)的多個傳遞軸。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍裝置，其中， 該托盤保持件還具備: 固定部，其固定于蒸鍍裝置的拱頂； 擺動部，其固定于擺動軸且構(gòu)成為進行擺動，所述擺動軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于該固定部；以及 第二內(nèi)部傳遞軸，其通過萬向接頭與該第一內(nèi)部傳遞軸結(jié)合，并且以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于該擺動部， 該第一內(nèi)部傳遞軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于該固定部，該旋轉(zhuǎn)部被該第二內(nèi)部傳遞軸支承并且構(gòu)成為保持托盤， 該蒸鍍裝置構(gòu)成為，在該第一內(nèi)部傳遞軸借助環(huán)狀的鏈條旋轉(zhuǎn)時，該旋轉(zhuǎn)部與該第二內(nèi)部傳遞軸一起旋轉(zhuǎn)，并且與該擺動部一起擺動。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍裝置，其中， 該托盤保持件具備包含曲柄旋轉(zhuǎn)板和曲柄桿的曲柄機構(gòu)，該曲柄旋轉(zhuǎn)板構(gòu)成為借助該第一內(nèi)部傳遞軸的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，該曲柄桿構(gòu)成為將該曲柄旋轉(zhuǎn)板與該擺動部結(jié)合在一起并通過該第一內(nèi)部傳遞軸的旋轉(zhuǎn)而使該擺動部擺動。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍裝置，其中， 該托盤保持件構(gòu)成為，能夠變更該曲柄桿與該曲柄旋轉(zhuǎn)板的結(jié)合位置相對于該曲柄旋轉(zhuǎn)板的中心位置的距離，從而能夠改變由擺動所引起的托盤的面相對于基準位置的傾斜角度的最大值。6.一種包含基于蒸鍍裝置的成膜工序的制造方法，該蒸鍍裝置具備: 拱頂，其構(gòu)成為繞中心軸線旋轉(zhuǎn)； 環(huán)狀的鏈條，其圍繞該中心軸線并且配置于該拱頂上；以及 托盤保持件，其沿著該鏈條配置，并且構(gòu)成為將經(jīng)由該鏈條傳遞的該拱頂?shù)男D(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為繞自身的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)運動和繞自身的擺動中心軸的擺動運動，其中， 在該拱頂?shù)男D(zhuǎn)過程中，一邊實施該托盤保持件的旋轉(zhuǎn)運動和擺動運動，一邊通過蒸鍍在安裝于托盤的工件上生成膜，所述托盤被保持于該托盤保持件。
【文檔編號】C23C14/24GK106048550SQ201610227063
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年4月13日 公開號201610227063.X, CN 106048550 A, CN 106048550A, CN 201610227063, CN-A-106048550, CN106048550 A, CN106048550A, CN201610227063, CN201610227063.X
【發(fā)明人】樋口俊郎, 上野博, 木村仁
【申請人】納盧克斯株式會社