一種掩膜版的張網(wǎng)裝置、張網(wǎng)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種掩膜版的張網(wǎng)裝置、張網(wǎng)方法，屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的掩膜版由于拉力不均勻而產(chǎn)生褶皺導(dǎo)致紅綠藍(lán)器件混色的問題。本發(fā)明的掩膜版的張網(wǎng)裝置，采用兩對(duì)第一夾具分別夾住拉伸所述掩膜版的四角，設(shè)于相鄰的第一夾具之間的多個(gè)第二夾具夾住拉伸所述掩膜版的邊緣，這樣多個(gè)第二夾具實(shí)現(xiàn)對(duì)掩膜版的精確調(diào)整和控制，均勻的拉伸，提升張網(wǎng)能力，使掩膜版不易產(chǎn)生褶皺，降低混色，提高顯示良率。本發(fā)明的掩膜版的張網(wǎng)裝置適用于拉伸各種掩膜版，尤其適用于制備小尺寸顯示面板的掩膜版。
【專利說明】
一種掩膜版的張網(wǎng)裝置、張網(wǎng)方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩膜版的張網(wǎng)裝置、張網(wǎng)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de，0LED)顯示裝置具有輕薄，低功耗，高對(duì)比度，高色域，可以實(shí)現(xiàn)柔性顯示等優(yōu)點(diǎn)，是下一代顯示器的發(fā)展趨勢(shì)。
[0003]OLED顯示裝置包括被動(dòng)式有機(jī)電激發(fā)光二極管(PMOLED)和有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極體(AMOLED)兩種，其中AMOLED的實(shí)現(xiàn)方式包括:低溫多晶硅(LTPS)背板+精細(xì)金屬掩膜(FMM Mask)方式，和氧化物(Oxide)背板+白色OLED背光(WOLED)+彩膜的方式。前者主要適用于小尺寸面板，多用于移動(dòng)顯示裝置和手機(jī)；后者主要適用于大尺寸面板，多用于Moni tor和電視等。
[0004]目前LTPS背板+FMMMask的方式已經(jīng)初步成熟，實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。LTPS背板+FMM Mask是通過蒸鍍方式將OLED的材料按照預(yù)定程序蒸鍍到LTPS背板上，其利用FMM上的圖形，在LTPS背板上形成紅綠藍(lán)器件。
[0005]發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題:FMM在張網(wǎng)拉伸的過程中經(jīng)常會(huì)由于拉力不均勻而產(chǎn)生褶皺，使得FMM上的圖形難以與LTPS背板上預(yù)先設(shè)定的對(duì)應(yīng)位置精確對(duì)位，從而導(dǎo)致形成在LTPS背板上的紅綠藍(lán)器件混色，影響顯示。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有的掩膜版張網(wǎng)過程中由于拉力不均勻而產(chǎn)生褶皺導(dǎo)致紅綠藍(lán)器件混色的問題，提供一種掩膜版的張網(wǎng)裝置、張網(wǎng)方法。
[0007 ]解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0008]—種掩膜版的張網(wǎng)裝置，包括夾具單元，所述夾具單元包括:
[0009]兩對(duì)第一夾具，分別用于夾住拉伸所述掩膜版的四角；
[0010]相鄰的所述第一夾具之間設(shè)有多個(gè)第二夾具，用于夾住拉伸所述掩膜版的邊緣。
[0011]優(yōu)選的是，所述第一夾具與所述掩膜版的接觸面積大于所述第二夾具與所述掩膜版的接觸面積。
[0012]優(yōu)選的是，所述掩膜版深入所述第二夾具的方向上的尺寸與所述掩膜版深入每個(gè)第一夾具的方向上的尺寸相同；在垂直于所述深入的方向上，所述第一夾具的尺寸大于所述第二夾具的尺寸。
[0013]優(yōu)選的是，所述張網(wǎng)裝置還包括測(cè)量單元和調(diào)整單元:
[0014]所述測(cè)量單元用于檢測(cè)掩膜版的平坦度;并將檢測(cè)結(jié)果反饋調(diào)整單元；
[0015]所述調(diào)整單元與所述第一夾具和第二夾具連接，并根據(jù)所述測(cè)量單元反饋的結(jié)果，控制所述第一夾具和第二夾具將所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。
[0016]優(yōu)選的是，所述測(cè)量單元為光耦合掃描器。
[0017]優(yōu)選的是，所述張網(wǎng)裝置還包括用于固定掩膜版的加載孔，所述加載孔設(shè)于所述掩膜版的上方。
[0018]優(yōu)選的是，所述相鄰的第二夾具之間的掩膜版具有開口，遠(yuǎn)離所述加載孔的第二夾具的開口小于靠近所述加載孔的第二夾具的開口。
[0019]本發(fā)明還提供一種掩膜版的張網(wǎng)方法，采用上述的掩膜版的張網(wǎng)裝置進(jìn)行張網(wǎng)。
[0020]優(yōu)選的是，所述張網(wǎng)方法包括以下步驟:
[0021 ]采用第一夾具夾住掩膜版的四角對(duì)掩膜版進(jìn)行初拉伸；
[0022]采用第二夾具夾住掩膜版的邊緣;所述測(cè)量單元檢測(cè)掩膜版的平坦度，并將檢測(cè)結(jié)果反饋調(diào)整單元；
[0023]所述調(diào)整單元根據(jù)所述檢測(cè)結(jié)果，控制所述第一夾具和第二夾具將所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。
[0024]本發(fā)明的掩膜版的張網(wǎng)裝置，采用兩對(duì)第一夾具分別夾住拉伸所述掩膜版的四角，設(shè)于相鄰的第一夾具之間的多個(gè)第二夾具夾住拉伸所述掩膜版的邊緣，這樣多個(gè)第二夾具實(shí)現(xiàn)對(duì)掩膜版的精確調(diào)整和控制，均勻的拉伸，提升張網(wǎng)能力，使掩膜版不易產(chǎn)生褶皺，降低混色，提高顯示良率。本發(fā)明的掩膜版的張網(wǎng)裝置適用于拉伸各種掩膜版，尤其適用于制備小尺寸顯示面板的掩膜版。
【附圖說明】
[0025]圖1為本發(fā)明的實(shí)施例1的掩膜版的張網(wǎng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2為本發(fā)明的實(shí)施例2的掩膜版的張網(wǎng)裝置的示意圖；
[0027]圖3為本發(fā)明的實(shí)施例2的掩膜版的張網(wǎng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖4為本發(fā)明的實(shí)施例3的掩膜版的張網(wǎng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖5為本發(fā)明的實(shí)施例4的張網(wǎng)方法的流程圖；
[0030]其中，附圖標(biāo)記為:1、夾具單元；11、第一夾具；12、第二夾具;2、掩膜版;3、測(cè)量單元;4、調(diào)整單元;5、加載孔。
【具體實(shí)施方式】
[0031]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0032]實(shí)施例1:
[0033]本實(shí)施例提供一種掩膜版的張網(wǎng)裝置，如圖1所示，包括夾具單元I，所述夾具單元I包括:
[0034]兩對(duì)第一夾具11，分別用于夾住拉伸所述掩膜版2的四角；
[0035]相鄰的所述第一夾具11之間設(shè)有多個(gè)第二夾具12，用于夾住拉伸所述掩膜版2的邊緣。
[0036]本實(shí)施例的掩膜版的張網(wǎng)裝置，采用兩對(duì)第一夾具11分別夾住拉伸所述掩膜版2的四角，設(shè)于相鄰的第一夾具11之間的多個(gè)第二夾具12夾住拉伸所述掩膜版2的邊緣，這樣多個(gè)第二夾具12實(shí)現(xiàn)對(duì)掩膜版2的精確調(diào)整和控制，均勻的拉伸，提升張網(wǎng)能力，使掩膜版2不易產(chǎn)生褶皺，降低混色，提高顯示良率。具體的，拉伸第一夾具11、第二夾具12可采用手動(dòng)拉伸，也可采用儀器控制進(jìn)行自動(dòng)拉伸。本發(fā)明的掩膜版的張網(wǎng)裝置適用于拉伸各種掩膜版，尤其適用于制備小尺寸顯示面板的掩膜版。
[0037]實(shí)施例2:
[0038]本實(shí)施例提供一種掩膜版的張網(wǎng)裝置，如圖2所示，包括夾具單元I，測(cè)量單元3和調(diào)整單元4。
[0039]具體的，所述夾具單元I包括:兩對(duì)第一夾具11，分別用于夾住拉伸所述掩膜版2的四角；相鄰的所述第一夾具11之間設(shè)有多個(gè)第二夾具12，用于夾住拉伸所述掩膜版2的邊緣，其中所述第一夾具11與所述掩膜版2的接觸面積大于所述第二夾具12與所述掩膜版2的接觸面積。
[0040]也就是說，如圖3虛線框起的部分所示，第一夾具11夾住掩膜版2的四個(gè)角部，中間部分的多個(gè)第二夾具12夾住掩膜版2的四個(gè)邊緣。其中第二夾具12與掩膜版2的接觸面積相較于第一夾具11而言要小，即夾住掩膜版2的四角的第一夾具11與掩膜版2的接觸面積更大些，這樣有利于第一夾具11承受拉力且不易發(fā)生形變。
[0041]優(yōu)選的是，所述掩膜版2深入所述第二夾具12的方向上的尺寸與所述掩膜版2深入每個(gè)第一夾具11的方向上的尺寸相同；在垂直于所述深入的方向上，所述第一夾具11的尺寸大于所述第二夾具12的尺寸。
[0042]也就是說，在此給出一種具體的設(shè)計(jì)方式:第一夾具11與第二夾具12深入掩膜版2的尺寸相同，而角部的第一夾具11比中部的第二夾具12寬，其中中部的第二夾具12的主要作用是精細(xì)調(diào)整，所以其受力較小。
[0043]需要說明的是，第二夾具12的寬度應(yīng)盡量小，這樣會(huì)大幅的提高第二夾具12的密度，實(shí)現(xiàn)高精度的精細(xì)拉伸，更有利于控制調(diào)整顯示區(qū)的褶皺。
[0044]具體的，所述測(cè)量單元3可以是光耦合掃描器，測(cè)量單元3用于檢測(cè)掩膜版2的平坦度，并將檢測(cè)結(jié)果反饋調(diào)整單元4;所述調(diào)整單元4與所述第一夾具11和第二夾具12連接，并根據(jù)所述測(cè)量單元3反饋的結(jié)果，控制所述第一夾具11和第二夾具12將所述掩膜版2不平坦的位置拉伸至平坦。
[0045]也就是說，光耦合掃描器先掃描掩膜版2上褶皺的位置處，然后將褶皺的具體位置反饋給調(diào)整單元4，調(diào)整單元4判斷出距離褶皺最近處的第二夾具12，并啟動(dòng)該第二夾具12對(duì)掩膜版2進(jìn)行拉伸。需要說明的是，光耦合掃描器反饋給調(diào)整單元4褶皺位置處的同時(shí)還將褶皺的大小反饋調(diào)整單元4，調(diào)整單元4判斷出距離褶皺最近處的第二夾具12的同時(shí)判斷出將褶皺拉平所需要的力。
[0046]實(shí)施例3:
[0047]本實(shí)施例提供一種掩膜版的張網(wǎng)裝置，如圖4所示，所述張網(wǎng)裝置設(shè)有用于固定掩膜版2的加載孔5，所述加載孔5設(shè)于掩膜版2的上方。
[0048]也就是說，張網(wǎng)裝置上設(shè)有加載孔5，其可用于對(duì)位，即當(dāng)加載孔5與掩膜版2預(yù)定的位置重合代表掩膜版2已平整。若加載孔5與掩膜版2預(yù)定的位置沒有重合，則代表掩膜版2上有褶皺。
[0049]優(yōu)選的是，所述相鄰的第二夾具之間的掩膜版2具有開口，遠(yuǎn)離所述加載孔的第二夾具的開口小于靠近所述加載孔5的第二夾具的開口。
[0050]也就是說，第二夾具12開口根部區(qū)域之間互相構(gòu)成一個(gè)弧形。如圖4中弧形虛線部分所示，該圓弧越靠近加載孔處的弧度越大。這樣的弧形設(shè)計(jì)的作用是:利于減小顯示區(qū)的褶皺。
[0051 ]顯然，上述各實(shí)施例的【具體實(shí)施方式】還可進(jìn)行許多變化;例如:第二夾具的寬度及相鄰的第二夾具之間的距離在此不做限定，可以根據(jù)具體的生產(chǎn)情況進(jìn)行調(diào)整。加載孔的數(shù)量，以及加載孔的具體位置可以根據(jù)不同大小的掩膜版進(jìn)行調(diào)整。
[0052]實(shí)施例4:
[0053]本實(shí)施例提供一種掩膜版的張網(wǎng)方法，采用上述實(shí)施例的掩膜版的張網(wǎng)裝置進(jìn)行張網(wǎng)。
[0054]優(yōu)選的是，如圖5所示，所述張網(wǎng)方法包括以下步驟:
[0055]SOl、采用第一夾具夾住掩膜版的四角，先采用第一夾具11進(jìn)行初拉伸，由于第一夾具11與掩膜版2的接觸面積更大些因此，先拉伸第一夾具11使得掩膜版張開的速度更快。
[0056]S02、采用第二夾具夾住掩膜版的邊緣，然后所述測(cè)量單元檢測(cè)掩膜版的平坦度，并將檢測(cè)結(jié)果反饋調(diào)整單元;具體的，光耦合掃描器測(cè)量掩膜版2上褶皺位置以及褶皺的大小并反饋調(diào)整單元4。
[0057]S03、所述調(diào)整單元根據(jù)所述檢測(cè)結(jié)果，控制所述第一夾具和第二夾具將所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。也就是說，調(diào)整單元4通過控制與褶皺同一條線附近的第二夾具12進(jìn)行精細(xì)拉伸。
[0058]S04、重復(fù)上述的S02-S03步，直到掩膜版2各個(gè)位置均被拉伸平坦為止。
[0059]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掩膜版的張網(wǎng)裝置，其特征在于，包括夾具單元，所述夾具單元包括: 兩對(duì)第一夾具，分別用于夾住拉伸所述掩膜版的四角； 相鄰的所述第一夾具之間設(shè)有多個(gè)第二夾具，用于夾住拉伸所述掩膜版的邊緣。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的張網(wǎng)裝置，其特征在于，所述第一夾具與所述掩膜版的接觸面積大于所述第二夾具與所述掩膜版的接觸面積。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版的張網(wǎng)裝置，其特征在于，所述掩膜版深入所述第二夾具的方向上的尺寸與所述掩膜版深入每個(gè)第一夾具的方向上的尺寸相同；在垂直于所述深入的方向上，所述第一夾具的尺寸大于所述第二夾具的尺寸。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的張網(wǎng)裝置，其特征在于，所述張網(wǎng)裝置還包括測(cè)量單元和調(diào)整單元: 所述測(cè)量單元用于檢測(cè)掩膜版的平坦度;并將檢測(cè)結(jié)果反饋調(diào)整單元； 所述調(diào)整單元與所述第一夾具和第二夾具連接，并根據(jù)所述測(cè)量單元反饋的結(jié)果，控制所述第一夾具和第二夾具將所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜版的張網(wǎng)裝置，其特征在于，所述測(cè)量單元為光耦合掃描器。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的張網(wǎng)裝置，其特征在于，所述張網(wǎng)裝置還包括用于固定掩膜版的加載孔，所述加載孔設(shè)于所述掩膜版的上方。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜版的張網(wǎng)裝置，其特征在于，所述相鄰的第二夾具之間的掩膜版具有開口，遠(yuǎn)離所述加載孔的第二夾具的開口小于靠近所述加載孔的第二夾具的開□ O8.—種掩膜版的張網(wǎng)方法，其特征在于，采用權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的掩膜版的張網(wǎng)裝置進(jìn)行張網(wǎng)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩膜版的張網(wǎng)方法，其特征在于，所述掩膜版的張網(wǎng)裝置為權(quán)利要求4所述的掩膜版的張網(wǎng)裝置，所述方法包括以下步驟: 采用第一夾具夾住掩膜版的四角對(duì)掩膜版進(jìn)行初拉伸； 采用第二夾具夾住掩膜版的邊緣;所述測(cè)量單元檢測(cè)掩膜版的平坦度，并將檢測(cè)結(jié)果反饋調(diào)整單元； 所述調(diào)整單元根據(jù)所述檢測(cè)結(jié)果，控制所述第一夾具和第二夾具將所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。
【文檔編號(hào)】C23C14/04GK106086784SQ201610537988
【公開日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年7月8日
【發(fā)明人】孫樸
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司