旋轉(zhuǎn)靶材的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及磁控濺射、金屬變形加工和裝配領(lǐng)域，特別涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材。
【背景技術(shù)】
[0002] 濺射鍍膜工藝廣泛應(yīng)用于集成電路、磁記錄、刀具、平面顯示器以及玻璃表面涂層 等領(lǐng)域。隨著表面鍍膜技術(shù)的不斷發(fā)展，濺射靶材這一具有高附加值的功能材料的需求量 也逐年增多，因此需要不斷提高濺射靶材的利用效率，減少靶材的消耗，降低成本，保護(hù)環(huán) 境。
[0003] Low-E玻璃又稱低輻射玻璃，是在玻璃表面鍍上多層金屬或其他化合物組成的膜 系產(chǎn)品。其鍍膜層具有對(duì)可見光高透過及對(duì)中遠(yuǎn)紅外線高反射的特性，使其與普通玻璃及 傳統(tǒng)的建筑用鍍膜玻璃相比，具有優(yōu)異的隔熱效果和良好的透光性。而鎳鉻合金靶材作為 濺射鍍膜的打底材料，廣泛應(yīng)用于Low-E玻璃等鍍膜領(lǐng)域。目前鎳鉻靶材的主要形狀是平 面靶，靶材的利用率大約30%，隨著生產(chǎn)工藝和設(shè)備的不斷發(fā)展，管狀靶材越來越多的取代 常規(guī)的平面矩形靶材，使得靶材的利用率高達(dá)到60%以上。然而在靶材的實(shí)際使用過程中 發(fā)現(xiàn)，由于磁場的作用，旋轉(zhuǎn)靶材靠近兩個(gè)端頭的濺射速度要高于中間位置，這就會(huì)出現(xiàn)靶 材兩端已經(jīng)濺射完了，而管身還有部分未被完全濺射，導(dǎo)致材料利用率降低。
[0004] 目前常規(guī)生產(chǎn)鎳鉻管有兩種，一部分端頭加工成狗骨形，一部分端頭加工成平頭。 狗骨形的靶材的材料利用率在73%以上，但該靶材的制備需要采用外徑與管頭大小一樣 的管坯加工，需要浪費(fèi)大量的材料并耗費(fèi)較大的人力、時(shí)間；而平管頭的靶材的利用率僅 65%〇 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005] 本實(shí)用新型的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)靶材，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的材料利用率低 等問題。
[0006] 為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供的旋轉(zhuǎn)靶材如下：
[0007] 一種旋轉(zhuǎn)靶材，其包括管狀結(jié)構(gòu)的管體和環(huán)狀結(jié)構(gòu)的端頭，所述端頭的內(nèi)徑固定 地套設(shè)于所述管體的端部。
[0008] 在上述旋轉(zhuǎn)靶材的一種優(yōu)選實(shí)施方式中，所述管體的端部外表面光滑，所述端頭 的內(nèi)表面光滑，所述管體的端部和所述端頭之間為過盈配合。
[0009] 在上述旋轉(zhuǎn)靶材的一種優(yōu)選實(shí)施方式中，所述管體的端部設(shè)有外螺紋，所述端頭 的內(nèi)表面設(shè)有內(nèi)螺紋，所述管體的端部和所述端頭之間螺紋連接。
[0010] 在上述旋轉(zhuǎn)靶材的一種優(yōu)選實(shí)施方式中，所述管體的端部和所述端頭之間夾置有 導(dǎo)電導(dǎo)熱的墊片。
[0011] 在上述旋轉(zhuǎn)靶材的一種優(yōu)選實(shí)施方式中，所述管體的端部外徑收縮變小，且所述 端頭的外表面設(shè)有向所述管體傾斜的斜面。
[0012] 在上述旋轉(zhuǎn)靶材的一種優(yōu)選實(shí)施方式中，所述端頭的內(nèi)徑比所述旋轉(zhuǎn)靶材使用完 后的最小外徑小1mm，所述管體的外徑比所述端頭的內(nèi)徑大0?〇? lmm〇
[0013] 在上述旋轉(zhuǎn)靶材的一種優(yōu)選實(shí)施方式中，所述端頭、管體為鎳鉻材質(zhì)。
[0014] 在上述旋轉(zhuǎn)靶材的一種優(yōu)選實(shí)施方式中，所述管體包括外徑依次變小的本體段、 連接段和收縮段，裝配時(shí)，所述收縮段、所述連接段從所述斜面的一端插入所述端頭的內(nèi) 部，直至所述連接段與所述本體段的相鄰臺(tái)階和所述端頭的端面接觸。
[0015] 分析可知，本實(shí)用新型提供一種高利用率的旋轉(zhuǎn)靶材，通過連接的辦法增加靶材 端頭的厚度，使端頭和管身能夠同時(shí)被濺射完，提高靶材的利用率，同時(shí)具有工藝簡單、生 產(chǎn)成本低、連接處結(jié)合緊密、導(dǎo)熱效果好的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0016] 圖1為本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)靶材實(shí)施例的端頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017] 圖2為本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)靶材實(shí)施例的管體（端部）的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018] 下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0019] 圖1、圖2分別示出了本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)靶材實(shí)施例的端頭、管體的結(jié)構(gòu)，如圖所 示，該實(shí)施例包括管狀結(jié)構(gòu)的管體2和環(huán)狀結(jié)構(gòu)的端頭1，端頭1的內(nèi)徑固定地套設(shè)于管體 2的端部，顯然，端頭1的外徑明顯大于管體2,端頭1厚度的增加可以使端頭1和管體2能 夠同時(shí)被濺射完，提高靶材的利用率。優(yōu)選地，端頭1、管體2為鎳鉻材質(zhì)，二者組成的本實(shí) 施例為適用于磁控濺射的鎳鉻靶材。在其他實(shí)施例中，端頭及管體組成的本實(shí)施例也可以 為適用于濺射鍍膜的金屬靶材、合金靶材、非金屬靶材，例如鎳靶材、鐵鎳靶材等。
[0020] 如圖所示，管體2的端部外表面光滑，無凸出、凹陷等結(jié)構(gòu)，端頭1的內(nèi)表面光滑， 無凸出、凹陷結(jié)構(gòu)。具體而言，管體2包括外徑依次減小的本體段23、連接段22、收縮段21， 例如構(gòu)成管體2主要部分的本體段23的外徑R2大于連接段的外徑R1。端頭1結(jié)構(gòu)則較為 簡單，基本為一圓環(huán)，圖1中右側(cè)的部分設(shè)有斜面11。裝配時(shí)，管體2的收縮段21、連接段 22從斜面11的一端插入端頭1內(nèi)部，直至連接段22與本體段23的相鄰臺(tái)階和端頭1的端 面接觸，并且連接段22和端頭1之間為過盈配合，防止二者發(fā)生相對(duì)滑動(dòng)。收縮段21的設(shè) 置便于管體2端部插入端頭1中。斜面11向管體2的本體段23傾斜，形成自然過渡。
[0021] 更優(yōu)選地，端頭1的內(nèi)徑r比旋轉(zhuǎn)靶材使用完后的最小外徑小1_，管體2連接段 22的外徑R1比端頭1的內(nèi)徑r大0?0? lmm〇
[0022] 在其他實(shí)施例中，管體的端部可以設(shè)置外螺紋，端頭的內(nèi)表面設(shè)置內(nèi)螺紋，管體的 端部和端頭之間螺紋連接，以固定連接二者，防止發(fā)生相對(duì)滑動(dòng)。另外，還可以在管體的端 部和端頭之間夾置導(dǎo)電導(dǎo)熱的墊片，例如薄銅片，使兩者緊密連接，不產(chǎn)生相對(duì)滑動(dòng)。
[0023] 在制造圖1、圖2所示的實(shí)施例時(shí)，可以采用以下工藝，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解， 下述僅為舉例，而非對(duì)圖1、圖2所示實(shí)施例的限制。
[0024] 更具體而言，圖1、圖2所示的鎳鉻管靶材實(shí)施例成品的規(guī)格為：端頭1的內(nèi)徑r為 132mm，外徑為159mm ;管體2的外徑R2為152mm，長度為3200mm。
[0025] 圖1、圖2所示的鎳鉻管旋轉(zhuǎn)靶材與現(xiàn)有技術(shù)的旋轉(zhuǎn)靶材比較如下：
[0026] 相比之下，現(xiàn)有技術(shù)中，另一種鎳鉻管旋轉(zhuǎn)靶材的規(guī)格為：內(nèi)外徑D125/D152mm， 長度3190mm。端頭和管體的外徑相同，沒有熱鑲加厚。
[0027] 經(jīng)過測試，以上兩種鎳鉻管旋轉(zhuǎn)靶材的材料利用率及相關(guān)比較如下表：
[0028]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種旋轉(zhuǎn)祀材，其特征在于，包括管狀結(jié)構(gòu)的管體和環(huán)狀結(jié)構(gòu)的端頭，所述端頭的內(nèi) 徑固定地套設(shè)于所述管體的端部； 其中，所述管體的端部和所述端頭之間夾置有導(dǎo)電導(dǎo)熱的墊片； 所述管體的端部外徑收縮變小，且所述端頭的外表面設(shè)有向所述管體傾斜的斜面；所 述管體包括外徑依次變小的本體段、連接段和收縮段，裝配時(shí)，所述收縮段、所述連接段從 所述斜面的一端插入所述端頭的內(nèi)部，直至所述連接段與所述本體段的相鄰臺(tái)階和所述端 頭的端面接觸。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)祀材，其特征在于，所述管體的端部外表面光滑，所述端 頭的內(nèi)表面光滑，所述管體的端部和所述端頭之間為過盈配合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)祀材，其特征在于，所述管體的端部設(shè)有外螺紋，所述端 頭的內(nèi)表面設(shè)有內(nèi)螺紋，所述管體的端部和所述端頭之間螺紋連接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)祀材，其特征在于，所述端頭的內(nèi)徑比所述旋轉(zhuǎn)祀材使 用完后的最小外徑小1mm，所述管體的外徑比所述端頭的內(nèi)徑大0?0. 1mm。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的旋轉(zhuǎn)祀材，其特征在于，所述端頭、管體為鑲銘材質(zhì)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種旋轉(zhuǎn)靶材，該旋轉(zhuǎn)靶材包括管狀結(jié)構(gòu)的管體和環(huán)狀結(jié)構(gòu)的端頭，所述端頭的內(nèi)徑固定地套設(shè)于所述管體的端部。本實(shí)用新型通過連接的辦法增加靶材端頭的厚度，使端頭和管體能夠同時(shí)被濺射完，提高靶材的利用率，同時(shí)具有工藝簡單、生產(chǎn)成本低、連接處結(jié)合緊密、導(dǎo)熱效果好的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】C23C14-35
【公開號(hào)】CN204281849
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420525878
【發(fā)明人】張鳳戈, 穆健剛, 馬志偉, 李建奎, 楊本潤, 劉健, 陳鵬
【申請(qǐng)人】安泰科技股份有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請(qǐng)日】2014年9月12日