一種單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
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[0001]本實(shí)用新型涉及一種冷卻裝置，尤其是一種單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻
目.0
【背景技術(shù)】
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[0002]單晶銅鍵合線從退火機(jī)被抽出后，由于自身溫度較高，如果在空氣中其表面容易被氧化，嚴(yán)重影響其質(zhì)量。因此，在對(duì)單晶銅鍵合線進(jìn)行降溫的同時(shí)，還要防止單晶銅鍵合線被氧化。傳統(tǒng)的冷卻裝置是采用循環(huán)方式，雖然能夠冷卻單晶銅鍵合線，但缺點(diǎn)是:循環(huán)過(guò)程中會(huì)不斷產(chǎn)生冷卻液的沉淀物和外界的灰塵等贓物，這些贓物會(huì)沾污單晶銅鍵合線表面而使單晶銅鍵合線的質(zhì)量降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

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[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種降溫速度快，能防止單晶銅鍵合線表面被氧化、沾污的單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻裝置。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻裝置，包括冷卻管、進(jìn)氣管、回氣管、冷卻室、氣泵、氮?dú)庋a(bǔ)充罐和繞線箱，冷卻管的一端與繞線箱相連通，另一端焊接在退火機(jī)的出線口處，退火機(jī)一端的冷卻管與回氣管的一端相連通，回氣管的另一端與冷卻室相連通。冷卻管距離繞線箱較近的一端與進(jìn)氣管相連通，進(jìn)氣管的另一端與冷卻室相連通，在進(jìn)氣管上設(shè)有氣泵。冷卻管、進(jìn)氣管、回氣管、冷卻室和氣泵組成一個(gè)氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)。在冷卻室的一側(cè)設(shè)有與冷卻室相連通的氮?dú)庋a(bǔ)充罐，用以為氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)提供充足的氮?dú)狻?br>[0005]進(jìn)一步的，所述繞線箱為方形，內(nèi)部設(shè)有繞線裝置，在前箱板上設(shè)有一個(gè)進(jìn)線孔，通過(guò)進(jìn)線孔使冷卻管與繞線箱相連通，在左箱板上設(shè)有便于開(kāi)關(guān)的密封門(mén)，在頂板上設(shè)有便于觀察內(nèi)部繞線裝置的玻璃窗。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果是，節(jié)約氮?dú)?，降低成本，冷卻速度快，能防止單晶銅鍵合線表面被氧化、沾污，進(jìn)一步提高單晶銅鍵合線的質(zhì)量。
【附圖說(shuō)明】
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[0007]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0008]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖中冷卻管、2進(jìn)氣管、3回氣管、4冷卻室、5氣泵、6氮?dú)庋a(bǔ)充罐、7繞線箱。【具體實(shí)施方式】:
[0010]如圖1所示，一種單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻裝置，包括冷卻管(1)、進(jìn)氣管(2)、回氣管(3)、冷卻室(4)、氣泵(5)、氮?dú)庋a(bǔ)充罐(6)和繞線箱(7)，冷卻管(I)的一端與繞線箱(7)相連通，另一端焊接在退火機(jī)的出線口處，退火機(jī)一端的冷卻管⑴與回氣管(3)的一端相連通，回氣管(3)的另一端與冷卻室(4)相連通。冷卻管(I)距離繞線箱(7)較近的一端與進(jìn)氣管(2)相連通，進(jìn)氣管(2)的另一端與冷卻室(4)相連通，在進(jìn)氣管(2)上設(shè)有氣泵(5)。冷卻管(1)、進(jìn)氣管(2)、回氣管(3)、冷卻室(4)和氣泵(5)組成一個(gè)氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)。在冷卻室(4)的一側(cè)設(shè)有與冷卻室(4)相連通的氮?dú)庋a(bǔ)充罐(6)，用以為氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)提供充足的氮?dú)狻Ｋ隼@線箱(7)為方形，內(nèi)部設(shè)有繞線裝置，在前箱板上設(shè)有一個(gè)進(jìn)線孔，通過(guò)進(jìn)線孔使冷卻管(I)與繞線箱(7)相連通，在左箱板上設(shè)有便于開(kāi)關(guān)的密封門(mén)，在頂板上設(shè)有便于觀察內(nèi)部繞線裝置的玻璃窗。
[0011]工作原理及操作方法:工作時(shí)，先向冷卻管(1)、進(jìn)氣管(2)、回氣管(3)、冷卻室
(4)內(nèi)充滿氮?dú)?，作為冷卻氣體，氮?dú)庠诶鋮s室(4)內(nèi)冷卻后經(jīng)氣泵(5)、進(jìn)氣管(2)進(jìn)入冷卻管(I)對(duì)拉出的單晶銅鍵合線進(jìn)行冷卻，帶走單晶銅鍵合線的熱量后經(jīng)回氣管(3)進(jìn)入冷卻室(4)再進(jìn)行冷卻，然后再被氣泵(5)送入冷卻管(I)，如此往復(fù)循環(huán)流動(dòng)。在冷卻的過(guò)程中，由較少一部分氮?dú)饨?jīng)繞線箱(7)前面的進(jìn)線孔進(jìn)入繞線箱(7)，所損失的氮?dú)庥傻獨(dú)庋a(bǔ)充罐(6)及時(shí)給予補(bǔ)充。在繞線箱(7)頂板上設(shè)有玻璃窗，便于觀察內(nèi)部繞線裝置的運(yùn)行情況，當(dāng)繞線結(jié)束后，打開(kāi)繞線箱(7)的密封門(mén)，取下線軸即可。
[0012]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:
[0013]1.冷卻管⑴、進(jìn)氣管(2)、回氣管⑶、冷卻室(4)和氣泵(5)組成一個(gè)氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)，使冷卻氣體在氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)中循環(huán)使用，節(jié)約氮?dú)?，降低生產(chǎn)成本。
[0014]2.單晶銅鍵合線完全在密閉的冷卻管⑴中進(jìn)行冷卻，能防止單晶銅鍵合線表面被氧化、沾污，進(jìn)一步提高單晶銅鍵合線的質(zhì)量。
[0015]3.整個(gè)繞線過(guò)程在繞線箱(7)內(nèi)完成，能防止單晶銅鍵合線表面被空氣中的灰塵沾污，進(jìn)一步提高單晶銅鍵合線的質(zhì)量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻裝置，其特征在于:包括冷卻管、進(jìn)氣管、回氣管、冷卻室、氣泵、氮?dú)庋a(bǔ)充罐和繞線箱，冷卻管的一端與繞線箱相連通，另一端焊接在退火機(jī)的出線口處，退火機(jī)一端的冷卻管與回氣管的一端相連通，回氣管的另一端與冷卻室相連通，冷卻管距離繞線箱較近的一端與進(jìn)氣管相連通，進(jìn)氣管的另一端與冷卻室相連通，在進(jìn)氣管上設(shè)有氣泵，在冷卻室的一側(cè)設(shè)有與冷卻室相連通的氮?dú)庋a(bǔ)充罐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻裝置，其特征在于:冷卻管、進(jìn)氣管、回氣管、冷卻室和氣泵組成一個(gè)氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻裝置，其特征在于:所述繞線箱為方形，內(nèi)部設(shè)有繞線裝置，在前箱板上設(shè)有一個(gè)進(jìn)線孔，通過(guò)進(jìn)線孔使冷卻管與繞線箱相連通，在左箱板上設(shè)有便于開(kāi)關(guān)的密封門(mén)，在頂板上設(shè)有便于觀察內(nèi)部繞線裝置的玻璃窗。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種單晶銅鍵合線退火工藝后的快速冷卻裝置，包括冷卻管、進(jìn)氣管、回氣管、冷卻室、氣泵、氮?dú)庋a(bǔ)充罐和繞線箱，冷卻管、進(jìn)氣管、回氣管、冷卻室和氣泵組成一個(gè)氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)，使冷卻氣體在氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)中循環(huán)使用。在冷卻室的一側(cè)設(shè)有與冷卻室相連通的氮?dú)庋a(bǔ)充罐，用以為氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)提供充足的氮?dú)?。本?shí)用新型的有益效果是，節(jié)約氮?dú)?，降低成本，冷卻速度快，能防止單晶銅鍵合線表面被氧化、沾污，進(jìn)一步提高單晶銅鍵合線的質(zhì)量。
【IPC分類】C30B33-02, C22F1-08
【公開(kāi)號(hào)】CN204529944
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520205221
【發(fā)明人】田鵬, 李勇, 趙峰
【申請(qǐng)人】滕州晨暉電子集團(tuán)有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年4月1日