一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)的制作方法
【專利說(shuō)明】
[0001]技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型涉及一種射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，尤其是一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)。
[0002]【背景技術(shù)】:為滿足氣相沉積膜設(shè)備在沉積時(shí)的反應(yīng)要求，在沉積過(guò)程中需要向腔室內(nèi)導(dǎo)入高能量加速反應(yīng)，將電能轉(zhuǎn)化后導(dǎo)入腔室，提高腔室內(nèi)部能量。
[0003]【實(shí)用新型內(nèi)容】:針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，包括能量輸出裝置，金屬導(dǎo)通桿，極板和腔室。能量輸出裝置通過(guò)金屬導(dǎo)通桿與極板連接，極板設(shè)置在腔室的上端。
[0005]優(yōu)選的，所述的金屬導(dǎo)通桿可以為板狀折彎的、條狀折彎的、板狀的或柱狀的等形狀。
[0006]優(yōu)選的，所述的極板和腔室可以為圓形或方形等形狀。
[0007]本實(shí)用新型可以根據(jù)能量輸入系統(tǒng)的安裝布局使用不同形狀的金屬導(dǎo)通桿，確保整個(gè)系統(tǒng)能量的正常導(dǎo)入。金屬導(dǎo)通桿與極板在極板中心一定范圍內(nèi)進(jìn)行連接，保證能量導(dǎo)入極板的均勻性。
【附圖說(shuō)明】
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[0008]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2是實(shí)施例1中金屬導(dǎo)通桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖5是實(shí)施例3中金屬導(dǎo)通桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖7是實(shí)施例4中金屬導(dǎo)通桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖8是是本實(shí)用新型實(shí)施例5的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖9是實(shí)施例5中金屬導(dǎo)通桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
:
[0017]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0018]金屬導(dǎo)通桿根據(jù)能量輸入系統(tǒng)的安裝布局，可以制作成板狀、條狀、柱狀及各形狀反復(fù)折若干個(gè)彎的結(jié)構(gòu)。金屬導(dǎo)通桿與極板在極板中心及距離極板中心一定范圍內(nèi)的進(jìn)行連接，將能量導(dǎo)通至極板然后輸入到腔室內(nèi)部。
[0019]實(shí)施例1
[0020]如圖1和圖2所不:一種氣相?/L積I吳設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，包括能M輸出裝置I，金屬導(dǎo)通桿2，極板3和腔室4。能量輸出裝置I通過(guò)金屬導(dǎo)通桿2與極板3連接，極板設(shè)3置在腔室4的上端。所述的金屬導(dǎo)通桿2為板狀折彎形狀的。所述的極板3和腔室4為圓形的。
[0021]實(shí)施例2
[0022]如圖3所示:其結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1類似，只是極板和腔室為方形的。
[0023]實(shí)施例3
[0024]如圖4和圖5所示:其結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1類似，只是金屬導(dǎo)通桿為條狀折彎形狀的。
[0025]實(shí)施例4
[0026]如圖6和圖7所示:其結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1類似，只是金屬導(dǎo)通桿為板狀結(jié)構(gòu)。
[0027]實(shí)施例5
[0028]如圖8和圖9所示:其結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1類似，只是金屬導(dǎo)通桿為柱狀結(jié)構(gòu)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，其特征在于:包括能量輸出裝置，金屬導(dǎo)通桿，極板和腔室；能量輸出裝置通過(guò)金屬導(dǎo)通桿與極板連接，極板設(shè)置在腔室的上端。2.如權(quán)利要求1所述的一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，其特征在于:所述的金屬導(dǎo)通桿為板狀折彎的、條狀折彎的、板狀的或柱狀的結(jié)構(gòu)。3.如權(quán)利要求1所述的一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，其特征在于:所述的極板和腔室為圓形或方形。
【專利摘要】一種氣相沉積膜設(shè)備用射頻導(dǎo)入系統(tǒng)，包括能量輸出裝置，金屬導(dǎo)通桿，極板和腔室。能量輸出裝置通過(guò)金屬導(dǎo)通桿與極板連接，極板設(shè)置在腔室的上端。本實(shí)用新型可以根據(jù)能量輸入系統(tǒng)的安裝布局使用不同形狀的金屬導(dǎo)通桿，確保整個(gè)系統(tǒng)能量的正常導(dǎo)入。金屬導(dǎo)通桿與極板在極板中心一定范圍內(nèi)進(jìn)行連接，保證能量導(dǎo)入極板的均勻性。
【IPC分類】C23C16/505
【公開(kāi)號(hào)】CN204738022
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520328874
【發(fā)明人】王燚, 劉億軍
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月4日
【申請(qǐng)日】2015年5月21日