傘形氣動(dòng)擋板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)中的擋板，具體的說是一種傘形氣動(dòng)擋板。
【背景技術(shù)】
[0002]真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)中光電倍增管鍍AL薄膜設(shè)備是加工生產(chǎn)光電倍增管的重要工藝組成部分，光電倍增管為直徑Φ500_全橢球形石英玻璃球殼，球殼豎直放置(球殼口向上)要求蒸鍍鋁膜位置為球殼開口方向赤道以上至玻殼頸部位置，同時(shí)赤道以下至球殼頂部不允許有任何劃傷，鍍膜邊緣整齊。
[0003]光電倍增管內(nèi)部半球鍍膜，由于球殼開口遠(yuǎn)小于球殼內(nèi)徑，一直以來都是較難實(shí)現(xiàn)的鍍膜形式；為實(shí)現(xiàn)其只鍍半球，另外半球不鍍膜，普遍采取的方式為手動(dòng)安置擋板于球殼內(nèi)部，遮擋不鍍膜的半球。
[0004]手動(dòng)安置擋板于球殼內(nèi)部，難以避免對(duì)球殼內(nèi)表面造成劃傷，不能滿足光電倍增管鍍膜要求；手動(dòng)擋板為幾塊扇形板拼接成圓，鍍膜邊緣呈現(xiàn)鋸齒狀，極不整齊，鍍膜合格率低。同時(shí)由于球殼開口小、內(nèi)徑大，手動(dòng)安置擋板極不方便，工作效率低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中光電倍增管內(nèi)部半球鍍膜采用手動(dòng)遮擋方式導(dǎo)致球殼內(nèi)表面造成劃傷、鍍膜邊緣極不整齊、工作效率低等不足，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種可避免對(duì)玻殼造成損害、增大光電倍增管鍍膜合格率、提高工作效率的傘形氣動(dòng)擋板。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0007]本實(shí)用新型傘形氣動(dòng)擋板，包括控制氣缸、傘支桿及傘形擋板，其中控制氣缸安裝于傘支桿的一端，傘支桿的另一端連接傘形擋板。
[0008]傘支桿為一細(xì)長(zhǎng)形桿，細(xì)長(zhǎng)形桿內(nèi)部設(shè)有抽拉桿，抽拉桿的一端與控制氣缸的活塞桿連接，抽拉桿的另一端連接傘形擋板的固定盤。
[0009]傘形擋板為四連桿機(jī)構(gòu)，其上有兩個(gè)圓盤，其中一個(gè)為固定盤，與傘支桿連接，固定不動(dòng)，另外一個(gè)為移動(dòng)盤，與抽拉桿連接，上下移動(dòng)，兩個(gè)圓盤通過多套四連桿機(jī)構(gòu)相互連接。
[0010]所述四連桿機(jī)構(gòu)為16?40套。
[0011]傘形擋板懸浮于球殼內(nèi)部，打開或收起時(shí)與球殼沒有任何接觸點(diǎn)。
[0012]本實(shí)用新型具有以下有益效果及優(yōu)點(diǎn):
[0013]1.本實(shí)用新型針對(duì)光電倍增管半球鍍AL薄膜研制開發(fā)了傘形氣動(dòng)擋板，實(shí)現(xiàn)擋板自動(dòng)展開及收起，擋板不接觸玻殼，避免了對(duì)玻殼造成損害，增大了光電倍增管鍍膜合格率，提高工作效率。
[0014]2.本實(shí)用新型傘形氣動(dòng)擋板為氣動(dòng)控制，操作極為簡(jiǎn)單，點(diǎn)動(dòng)控制按鈕即可實(shí)現(xiàn)擋板撐開及回收，極大的提高了鍍膜效率。
[0015]3.本實(shí)用新型傘形氣動(dòng)擋板撐開后為一圓形平面，球殼鍍膜后，邊緣極為整齊。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型傘形氣動(dòng)擋板展開狀態(tài)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型傘形氣動(dòng)擋板收起狀態(tài)示意圖。
[0018]其中，I為傘形擋板，2為傘支桿，3為光電倍增管，4為控制氣缸，A為鍍膜面，B為不鍍膜面。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合說明書附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步闡述。
[0020]如圖1所示，本實(shí)用新型傘形氣動(dòng)擋板包括控制氣缸4、傘支桿2及傘形擋板1，其中控制氣缸4安裝于傘支桿2的一端，傘支桿2的另一端連接傘形擋板I。
[0021]傘支桿2為一細(xì)長(zhǎng)形桿，細(xì)長(zhǎng)形桿內(nèi)部設(shè)有抽拉桿，抽拉桿的一端與控制氣缸4的活塞桿連接，抽拉桿的另一端連接傘形擋板I的固定盤。
[0022]傘形擋板I為四連桿機(jī)構(gòu)，其上有兩個(gè)圓盤，其中一個(gè)為固定盤，與傘支桿2連接，固定不動(dòng)，另外一個(gè)為移動(dòng)盤，與抽拉桿連接，上下移動(dòng)，兩個(gè)圓盤通過多套四連桿機(jī)構(gòu)相互連接。四連桿機(jī)構(gòu)為16?40套，本實(shí)施例采用36套。
[0023]控制氣缸4主要控制傘形擋板I的撐開至直徑Φ500ι?πι以內(nèi)及收回至直徑90mm以內(nèi)，依靠電磁閥控制。傘形擋板I主體外部的細(xì)長(zhǎng)形桿為直線度及圓度極高的不銹鋼管，內(nèi)部安裝直線度及圓度極高的不銹鋼抽拉桿，控制氣缸4帶動(dòng)不銹鋼桿于不銹鋼管內(nèi)部上下運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)傘形擋板I的撐開及收起，收起狀態(tài)示意圖如圖2所示。
[0024]傘形擋板I懸浮于球殼內(nèi)部，傘形氣動(dòng)擋板撐開后為一圓形平面，與球殼內(nèi)壁之間留有縫隙，沒有任何接觸點(diǎn)，就實(shí)現(xiàn)了鍍膜時(shí)對(duì)球殼內(nèi)表面的零劃傷，保證了球殼鍍膜的合格率，球殼鍍膜后，邊緣極為整齊。
[0025]本實(shí)用新型為氣動(dòng)控制，操作極為簡(jiǎn)單，點(diǎn)動(dòng)控制按鈕即可實(shí)現(xiàn)擋板撐開及回收，極大的提高了鍍膜效率。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種傘形氣動(dòng)擋板，其特征在于:包括控制氣缸、傘支桿及傘形擋板，其中控制氣缸安裝于傘支桿的一端，傘支桿的另一端連接傘形擋板。2.按權(quán)利要求1所述的傘形氣動(dòng)擋板，其特征在于:傘支桿為一細(xì)長(zhǎng)形桿，細(xì)長(zhǎng)形桿內(nèi)部設(shè)有抽拉桿，抽拉桿的一端與控制氣缸的活塞桿連接，抽拉桿的另一端連接傘形擋板的固定盤。3.按權(quán)利要求1所述的傘形氣動(dòng)擋板，其特征在于:傘形擋板為四連桿機(jī)構(gòu)，其上有兩個(gè)圓盤，其中一個(gè)為固定盤，與傘支桿連接，固定不動(dòng)，另外一個(gè)為移動(dòng)盤，與抽拉桿連接，上下移動(dòng)，兩個(gè)圓盤通過多套四連桿機(jī)構(gòu)相互連接。4.按權(quán)利要求3所述的傘形氣動(dòng)擋板，其特征在于:所述四連桿機(jī)構(gòu)為16?40套。5.按權(quán)利要求1所述的傘形氣動(dòng)擋板，其特征在于:傘形擋板懸浮于球殼內(nèi)部，打開或收起時(shí)與球殼沒有任何接觸點(diǎn)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種傘形氣動(dòng)擋板，包括控制氣缸、傘支桿及傘形擋板，其中控制氣缸安裝于傘支桿的一端，傘支桿的另一端連接傘形擋板；傘支桿為一細(xì)長(zhǎng)形桿，細(xì)長(zhǎng)形桿內(nèi)部設(shè)有抽拉桿，抽拉桿的一端與控制氣缸的活塞桿連接，抽拉桿的另一端連接傘形擋板的固定盤。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)擋板自動(dòng)展開及收起，擋板不接觸玻殼，避免了對(duì)玻殼造成損害，增大了光電倍增管鍍膜合格率，提高工作效率，球殼鍍膜后，邊緣極為整齊。
【IPC分類】C23C14/04, C23C14/24
【公開號(hào)】CN204779783
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520490801
【發(fā)明人】慈連鰲
【申請(qǐng)人】沈陽騰鰲真空技術(shù)有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年7月9日