基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種采用化學(xué)相沉積方法制備納米材料試驗(yàn)樣品的裝置，尤其涉及一種基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，屬于納米材料制備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]納米材料是指在三維空間中至少有一個(gè)維度的尺寸小于10nm或者由它們作為基本單元構(gòu)成的材料。由于它的尺寸已經(jīng)接近電子的相干長(zhǎng)度，它的性質(zhì)因?yàn)閺?qiáng)相干所帶來(lái)的自組織使得性質(zhì)發(fā)生很大變化，如光學(xué)、熱學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)、力學(xué)以及化學(xué)方面的性質(zhì)和塊體材料相比將會(huì)有顯著的不同。所以，納米尺度和性能特異變化是納米材料必須同時(shí)具備的兩個(gè)基本特征。
[0003]半導(dǎo)體納米材料的量子尺寸效應(yīng)和表面與界面等效應(yīng)，使其表現(xiàn)出獨(dú)特的光學(xué)特性，如光學(xué)發(fā)光性、吸收帶邊藍(lán)移、激子發(fā)光等。尤其是I1-VI族一維納米材料，它們是寬的直接帶隙半導(dǎo)體材料，是典型的光電半導(dǎo)體材料。帶隙半導(dǎo)體材料，是典型的光電半導(dǎo)體材料。以砸化鎘為(CdSe)例，作為典型的光電半導(dǎo)體材料之一，本身具有獨(dú)特的光電學(xué)性質(zhì)，在作為光源、光吸收、光波導(dǎo)、光致發(fā)光和光電轉(zhuǎn)換等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。
[0004]目前國(guó)內(nèi)尚無(wú)成熟的專(zhuān)門(mén)用來(lái)制備半導(dǎo)體納米材料相關(guān)樣品的裝置，也沒(méi)有配套的測(cè)試儀器。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場(chǎng)上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0006]本實(shí)用新型提供了一種基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，主要包括管式爐、調(diào)節(jié)控制室、氣體輸入室和尾氣回收室，其中管式爐由襯底、石英管、陶瓷舟、熱電偶和硅碳棒構(gòu)成，所述石英管從襯底中間穿設(shè)而過(guò)，熱電偶插設(shè)在襯底上方，在石英管兩端各設(shè)置有一硅碳棒，調(diào)節(jié)控制室分別與兩個(gè)硅碳棒連接，氣體輸入室和尾氣回收室分別連接石英管的兩端。
[0007]優(yōu)選的，上述陶瓷舟設(shè)置在石英管內(nèi)部，熱電偶設(shè)置在陶瓷舟的正上方，熱電偶的底部接觸石英管外壁。
[0008]優(yōu)選的，上述陶瓷舟內(nèi)部裝有藥品。
[0009]優(yōu)選的，上述石英管兩端開(kāi)口，氣體從石英管的一端進(jìn)入，另一端排出。
[0010]優(yōu)選的，上述氣體輸入室和尾氣回收室分別通過(guò)硅碳棒連接石英管的兩端。
[0011 ] 優(yōu)選的，上述尾氣回收室內(nèi)裝有NaOH溶液。
[0012]本實(shí)用新型提供的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，具有操作簡(jiǎn)單、易于控制和實(shí)驗(yàn)周期短等特點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]附圖標(biāo)記:1-管式爐；2-襯底；3_石英管；4_陶瓷舟；5_熱電偶；6_娃碳棒；7-調(diào)節(jié)控制室；8_氣體輸入室；9_尾氣回收室。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0016]本實(shí)用新型提供的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，主要包括管式爐1、調(diào)節(jié)控制室7、氣體輸入室8和尾氣回收室9，其中管式爐I由襯底2、石英管3、陶瓷舟4、熱電偶5和硅碳棒6構(gòu)成，石英管3從襯底2中間穿設(shè)而過(guò)，熱電偶5插設(shè)在襯底2上方，在石英管3兩端各設(shè)置有一娃碳棒5，調(diào)節(jié)控制室7分別與兩個(gè)娃碳棒5連接，氣體輸入室8和尾氣回收室9分別連接石英管3的兩端。
[0017]其中，陶瓷舟4設(shè)置在石英管3內(nèi)部，熱電偶5設(shè)置在陶瓷舟4的正上方，熱電偶5的底部接觸石英管3外壁。陶瓷舟4內(nèi)部裝有藥品。石英管2兩端開(kāi)口，氣體6從石英管2的一端進(jìn)入，另一端排出。氣體輸入室8和尾氣回收室9分別通過(guò)硅碳棒5連接石英管3的兩端。尾氣回收室9內(nèi)裝有NaOH溶液。
[0018]本實(shí)用新型采用硅碳棒6加熱，硅碳棒6所在的中心溫區(qū)溫度最高，升溫速率可以通過(guò)調(diào)節(jié)控制室7的電壓電流進(jìn)行控制，且溫區(qū)的分布近似高斯分布，即硅碳棒6對(duì)于石英管3的位置溫度最高，石英管3內(nèi)溫度隨著遠(yuǎn)離硅碳棒6而存在一定的溫度梯度，石英管3兩側(cè)的溫度接近室溫。將裝有藥品和襯底的陶瓷舟4，放在石英管3內(nèi)不同位置(原則上藥品位于中心溫區(qū)，襯底位于上下游)。在石英管3的上游通過(guò)氣體輸入室8通入氬氫混合氣，下游連接裝有NaOH溶液的尾氣處理裝置尾氣回收室9當(dāng)中。本實(shí)用新型提供的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，具有操作簡(jiǎn)單、易于控制和實(shí)驗(yàn)周期短等特點(diǎn)。
[0019]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍，本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】，凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，其特征在于:所述基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)主要包括管式爐(I)、調(diào)節(jié)控制室(7)、氣體輸入室(8)和尾氣回收室(9)，其中管式爐(I)由襯底(2)、石英管(3)、陶瓷舟(4)、熱電偶(5)和硅碳棒(6)構(gòu)成，所述石英管(3)從襯底(2)中間穿設(shè)而過(guò)，熱電偶(5)插設(shè)在襯底(2)上方，在石英管(3)兩端各設(shè)置有一硅碳棒(5)，調(diào)節(jié)控制室(7)分別與兩個(gè)硅碳棒(5)連接，氣體輸入室(8)和尾氣回收室(9)分別連接石英管(3)的兩端。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，其特征在于:所述陶瓷舟⑷設(shè)置在石英管⑶內(nèi)部，熱電偶(5)設(shè)置在陶瓷舟⑷的正上方，熱電偶(5)的底部接觸石英管(3)外壁。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，其特征在于:所述陶瓷舟(4)內(nèi)部裝有藥品。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，其特征在于:所述石英管(2)兩端開(kāi)口，氣體(6)從石英管(2)的一端進(jìn)入，另一端排出。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，其特征在于:所述氣體輸入室⑶和尾氣回收室(9)分別通過(guò)硅碳棒(5)連接石英管(3)的兩端。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，其特征在于:所述尾氣回收室(9)內(nèi)裝有NaOH溶液。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，主要包括管式爐(1)、調(diào)節(jié)控制室(7)、氣體輸入室(8)和尾氣回收室(9)，其中管式爐(1)由襯底(2)、石英管(3)、陶瓷舟(4)、熱電偶(5)和硅碳棒(6)構(gòu)成，所述石英管(3)從襯底(2)中間穿設(shè)而過(guò)，熱電偶(5)插設(shè)在襯底(2)上方，在石英管(3)兩端各設(shè)置有一硅碳棒(5)，調(diào)節(jié)控制室(7)分別與兩個(gè)硅碳棒(5)連接，氣體輸入室(8)和尾氣回收室(9)分別連接石英管(3)的兩端。本實(shí)用新型提供的基于化學(xué)氣相沉積法制備樣品的系統(tǒng)，具有操作簡(jiǎn)單、易于控制和實(shí)驗(yàn)周期短等特點(diǎn)。
【IPC分類(lèi)】G01N1/28, C23C16/44, B82Y40/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204803403
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520388465
【發(fā)明人】陳小梅
【申請(qǐng)人】陳小梅
【公開(kāi)日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年6月3日