一種真空鍍膜機工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及機械設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及需要工件盤與真空箱體整體絕緣的工況、真空蒸發(fā)鍍膜、真空離子鍍膜和真空多弧鍍膜設(shè)備的工件盤與箱體整體絕緣工況下的真空鍍膜機工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]由于真空鍍膜特定工藝和設(shè)備安全操作的需要，真空鍍膜機根據(jù)不同的鍍膜方式常將將工件盤與真空箱體整體絕緣，這樣可在工件盤上加偏壓，部分工藝工件盤偏壓甚至大于5000V，若真空箱體不能與工件盤整體絕緣將會對產(chǎn)品的鍍膜質(zhì)量和設(shè)備的安全操作帶來巨大隱患，鑒于此，必須進行優(yōu)良的絕緣設(shè)計和制造，目前，國內(nèi)絕大多數(shù)設(shè)備工件盤與箱體絕緣常采用陶瓷軸承支撐工件自轉(zhuǎn)系的方式進行，此方式在使用初期能夠起到較好的絕緣作用，但是隨設(shè)備使用工作時間的增加，在陶瓷軸承支撐座與陶瓷軸承之間間隙將被磨料或鍍膜中產(chǎn)生的粉塵填塞，工件盤加偏壓工作時將要發(fā)生打火，對絕緣的安全性將是巨大挑戰(zhàn)，同時打火將可能導(dǎo)致緊固陶瓷軸承的緊固件損壞，這樣陶瓷軸承損壞后將難以拆卸，因此一種既能夠優(yōu)良絕緣，又能夠便于維護保養(yǎng)的絕緣結(jié)構(gòu)迫在眉睫。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為解決目前現(xiàn)有技術(shù)問題，本實用新型將設(shè)備工件盤放置在特定軌道上，軌道與真空箱體使用絕緣材料和絕緣設(shè)計達到工件盤與真空箱體整體絕緣的目的的一種真空鍍膜機工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置。
[0004]本實用新型為實現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案為:一種真空鍍膜機工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于包括:箱體底座、絕緣墊塊、放置工件盤軌道、緊固件絕緣筒、不銹鋼平面墊圈、不銹鋼內(nèi)六角螺釘、防電離絕緣塊，所述工件盤放置在軌道上，軌道與箱體通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘連接，軌道與箱體底座之間用15-30mm聚四氟乙烯的絕緣墊塊隔離，內(nèi)六角螺釘穿過緊固件絕緣筒與箱體底座螺紋連接并鎖緊，內(nèi)六角螺釘下墊有不銹鋼平面墊圈，緊固件絕緣筒頂部通過防電離絕緣塊與緊固件絕緣筒過盈配合壓緊，防止電離打火損壞不銹鋼螺釘。
[0005]優(yōu)選的，以上所有配合間隙不超過3mm;
[0006]優(yōu)選的，所述絕緣墊塊厚度為15-30mm。
[0007]本實用新型具有以下有益效果:本實用新型裝置可讓工件盤與真空箱體整體絕緣更加具有可靠性，同時對于絕緣部件的維護保養(yǎng)將極其便捷有效，由于采用了特定的工藝，不會在絕緣部件之間的空隙發(fā)生電離打火現(xiàn)象，因此，該裝置具有安全性、可靠性和維護保養(yǎng)的便捷性。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型正面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖中:1-箱體底座；2_絕緣墊塊；3放置工件盤軌道；4_緊固件絕緣筒；5_不銹鋼平面墊圈；6_不銹鋼內(nèi)六角螺釘；7_防電離絕緣塊。
【具體實施方式】
[0010]工件盤放置在軌道上，軌道與箱體通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)連接，軌道(3)與箱體底座(I)之間用15-30mm聚四氟乙烯絕緣墊塊(2)隔離，內(nèi)六角螺釘(6)穿過緊固件絕緣筒(4)與箱體底座螺紋連接并鎖緊，內(nèi)六角螺釘(6)下墊不銹鋼平面墊圈(5)，防止鎖死過程中緊固件絕緣筒(5)受力不均變形損壞，緊固件絕緣筒(5)頂部通過防電離絕緣塊(7)與緊固件絕緣筒(5)過盈配合壓緊，防止電離打火損壞不銹鋼螺釘。
[0011]要確保工件盤與箱體整體絕緣，必須確保放置工件盤軌道(3)與箱體底座(I)整體絕緣，放置工件盤軌道(3)與箱體底座(I)通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)聯(lián)接緊固，放置工件盤軌道(3)與箱體底座(I)之間平面接觸面均使用聚四氟乙烯材料的絕緣墊塊(2)進行絕緣，不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)需通過放置工件盤軌道的圓孔與箱體底座(I)面上的螺紋孔進行配合鎖緊，不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)與放置工件盤軌道(3)之間的絕緣采用聚四氟乙烯材料的緊固件絕緣筒(4)來進行絕緣，必須確保絕緣筒穿過放置工件盤軌道(3)上的圓孔如圖，不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)加裝不銹鋼平面墊圈(5)，確保緊固件絕緣筒(4)均勻受力，不被不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)鎖緊時損壞，在緊固件絕緣筒(4)上端加裝防電離絕緣塊(7)，確保不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6 )不被鍍膜過程中的電離打火損壞
[0012]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實用新型的技術(shù)方案及其實用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種真空鍍膜機工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于包括:箱體底座、絕緣墊塊、放置工件盤軌道、緊固件絕緣筒、不銹鋼平面墊圈、不銹鋼內(nèi)六角螺釘、防電離絕緣塊，所述工件盤放置在軌道上，軌道與箱體通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘連接，軌道與箱體底座之間用15-30mm聚四氟乙烯的絕緣墊塊隔離，內(nèi)六角螺釘穿過緊固件絕緣筒與箱體底座螺紋連接并鎖緊，內(nèi)六角螺釘下墊有不銹鋼平面墊圈，緊固件絕緣筒頂部通過防電離絕緣塊與緊固件絕緣筒過盈配合壓緊，防止電離打火損壞不銹鋼螺釘。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜機工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于以上所有配合間隙不超過3mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜機工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于所述絕緣墊塊厚度為15-30_。
【專利摘要】本實用新型涉及機械設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及需要工件盤與真空箱體整體絕緣的工況、真空蒸發(fā)鍍膜、真空離子鍍膜和真空多弧鍍膜設(shè)備的工件盤與箱體整體絕緣工況下的真空鍍膜機工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，包括：箱體底座、絕緣墊塊、放置工件盤軌道、緊固件絕緣筒、不銹鋼平面墊圈、不銹鋼內(nèi)六角螺釘、防電離絕緣塊，本實用新型裝置可讓工件盤與真空箱體整體絕緣更加具有可靠性，同時對于絕緣部件的維護保養(yǎng)將極其便捷有效，由于采用了特定的工藝，不會在絕緣部件之間的空隙發(fā)生電離打火現(xiàn)象，因此，該裝置具有安全性、可靠性和維護保養(yǎng)的便捷性。
【IPC分類】C23C14/00, C23C14/50
【公開號】CN204825041
【申請?zhí)枴緾N201520564360
【發(fā)明人】張斌, 張松林
【申請人】成都超邁光電科技有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年7月30日